技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
一種基于隧道磁阻效應(yīng)的單軸微機械位移傳感器，包括鍵合基板、位移敏感體、鐵磁性薄膜和隧道磁敏電阻，位移敏感體由位移敏感體框體、敏感質(zhì)量塊及回折梁構(gòu)成，位移敏感體框體固定在鍵合基板上，敏感質(zhì)量塊置于位移敏感體框體內(nèi)，通過回折梁與位移敏感體框體連接，敏感質(zhì)量塊上表面固定有鐵磁性薄膜，鍵合基板上表面設(shè)有與鐵磁性薄膜位置對應(yīng)的隧道磁敏電阻。本發(fā)明的單軸微機械位移傳感器采用整體結(jié)構(gòu)設(shè)計，將位移傳感器集成制作于同一框體上，可將微機械位移傳感器的靈敏度提高1～2個數(shù)量級。

技術(shù)研發(fā)人員：崔敏;劉曉東;黃用;王威;李新娥
受保護的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.12
技術(shù)公布日：2017.09.05