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基于隧道磁阻效應(yīng)的單軸微機(jī)械位移傳感器的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11383884

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本發(fā)明屬于微慣性導(dǎo)航技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種用于測(cè)量位移的傳感器,特別是涉及一種利用隧道磁阻效應(yīng)測(cè)量位移的傳感器裝置。背景技術(shù)微機(jī)械位移傳感器常用的檢測(cè)方式包括壓阻式、電容式、壓電式和隧道效應(yīng)式等。壓阻式是基于高摻雜硅的壓阻效應(yīng)原理實(shí)現(xiàn)的,高摻雜硅形成的壓敏器件對(duì)溫度有較強(qiáng)的依賴性,其由壓敏器件組成的電橋檢測(cè)電路會(huì)因溫度變化引起靈敏度漂移。電容式精度的提高依賴于電容面積的增大,但由于器件的微小型化,其精度因有效電容面積的縮小而難以提高。壓電效應(yīng)傳感器靈敏度易漂移,需經(jīng)常校正,歸零慢,不宜連續(xù)測(cè)試。隧道...
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