本發(fā)明涉及一種膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢系統(tǒng)及氦氣干檢方法。
背景技術(shù)：
目前燃?xì)獗矶酁槟な饺細(xì)獗?，?duì)于燃?xì)獗頇z漏一般采用干式比較法和水試法兩種方式，干式比較法是將干空氣充入燃?xì)獗韮?nèi)，待壓力平衡后，測(cè)量表內(nèi)高壓氣體的壓力變化來(lái)判斷其密封性，由于壓力在短時(shí)間內(nèi)無(wú)法達(dá)到平衡，其檢測(cè)效率偏低。水試法將燃?xì)獗沓湟砸欢▔毫Φ目諝馊缓蠼菰谒校ㄟ^(guò)觀察水中是否有氣泡來(lái)判斷燃?xì)獗硎欠裼行孤┣闆r存在。然而，水試法存在誤檢漏檢可能、檢測(cè)視野受限、檢測(cè)效率低的問(wèn)題。還有一種氣壓法檢漏方法：是由儀器將控制壓力精確的壓縮空氣輸入到試件中，然后自動(dòng)關(guān)斷充氣氣源，電磁閥準(zhǔn)確控制規(guī)定時(shí)間的氣流平衡，再關(guān)斷起平衡作用的電磁閥(在平衡閥一端接有被試件，另一端接不泄漏的標(biāo)準(zhǔn)件)，通過(guò)被試件與標(biāo)準(zhǔn)件同一氣路相連接的精密微差壓傳感器，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)測(cè)量出標(biāo)準(zhǔn)件與被試件的差壓值，再通過(guò)溫度補(bǔ)償而得到被試件的實(shí)際泄漏產(chǎn)生的壓力降，從而判斷試件是否泄漏。在實(shí)際使用出現(xiàn)由于環(huán)境溫度、壓力的微小的變化，就會(huì)常常出現(xiàn)誤判的現(xiàn)象。由于燃?xì)獗淼奶厥庑?，企業(yè)要求燃?xì)獗硗饴┝繛榱悖@也是目前燃?xì)獗硇袠I(yè)最終的出廠檢驗(yàn)沒(méi)有使用此類設(shè)備的原因。
中國(guó)專利公告號(hào)cn203100988公開(kāi)了一種燃?xì)獗戆胱詣?dòng)水試檢漏設(shè)備，該設(shè)備包括支撐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、托架機(jī)構(gòu)、控制系統(tǒng)和水箱，所述支撐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)向立柱、主氣缸、圓盤(pán)軸、擺動(dòng)平臺(tái)、擺動(dòng)氣缸、升降套桿和支臂；托架機(jī)構(gòu)設(shè)置在支撐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)，水箱設(shè)置在支撐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的另一側(cè)；所述托架機(jī)構(gòu)包括托架、副氣缸、恒壓氣源連接口和氣壓表；所述主氣缸、副氣缸、擺動(dòng)氣缸和標(biāo)準(zhǔn)氣缸均通過(guò)管路和電磁閥與恒壓氣源相連接。
中國(guó)專利cn105675220a公開(kāi)了一種燃?xì)獗砻芊庑詸z測(cè)裝置。其主要解決現(xiàn)有檢測(cè)裝置存在誤檢漏檢可能、檢測(cè)視野受限、檢測(cè)效率低的問(wèn)題。其包括液池、連接板、若干掛表密封機(jī)構(gòu)和充氣機(jī)構(gòu)，在液池池口的內(nèi)側(cè)壁上分別設(shè)有兩支撐臂，連接板鉸接在兩支撐臂上，掛表密封機(jī)構(gòu)的掛表氣缸設(shè)置在連接板上，拉桿的一端與掛表氣缸的活塞桿相連接，另一端設(shè)有擋圈，定位套套裝在拉桿上，其一端固定在連接板上，另一端設(shè)有定位圈，密封圈套裝在擋圈與定位圈之間的拉桿上，充氣機(jī)構(gòu)的充氣管接頭與開(kāi)設(shè)在掛表氣缸活塞桿上的充氣通道、開(kāi)設(shè)在拉桿上的充氣通孔相連通。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢系統(tǒng)及方法。
本發(fā)明的膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢系統(tǒng)包括檢漏真空箱、真空泵、真空計(jì)、閥門(mén)和管道，
其中，檢漏真空箱具有一個(gè)進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道的一端與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)出氣口連接(進(jìn)氣管道的一端分叉，分別與膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連接)，該進(jìn)氣管道的另一端分別連接有經(jīng)第一到第三閥門(mén)控制的氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道，其中氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道可切換地與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連通；
該進(jìn)氣管道進(jìn)一步分支出一個(gè)用于對(duì)膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)空腔抽真空的膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道，該膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道經(jīng)由第四閥門(mén)連接于第一抽真空裝置，
檢漏真空箱的出口連接一個(gè)檢漏真空箱出口管道，該檢漏真空箱出口管道進(jìn)一步分為三個(gè)支路，第一支路經(jīng)由第五閥門(mén)連接第一抽真空裝置，第二支路經(jīng)由第六閥門(mén)連接第二抽真空裝置，該第二抽真空裝置進(jìn)一步經(jīng)由第七閥門(mén)連接于氦質(zhì)譜檢漏儀，該氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)一步連接第三抽真空裝置，第三支路經(jīng)由第八閥門(mén)連接排氣管道；
其中，第一抽真空裝置用于對(duì)膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)腔和膜式燃?xì)獗硗獾臋z漏真空箱內(nèi)部抽真空，第二抽真空裝置用于對(duì)膜式燃?xì)獗硗獾臋z漏真空箱內(nèi)部抽真空，
優(yōu)選地，該進(jìn)氣管道的另一端還連接有經(jīng)第九閥門(mén)控制的氮?dú)膺M(jìn)氣管，其中氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、放大氣管道、氮?dú)膺M(jìn)氣管可切換地與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口連通。
本發(fā)明的氦氣干檢系統(tǒng)包括：膜式燃?xì)獗硗庹婵障到y(tǒng)和膜式燃?xì)獗韮?nèi)真空系統(tǒng)，其中，膜式燃?xì)獗硗庹婵障到y(tǒng)包括膜式燃?xì)獗硗獾臋z漏真空箱內(nèi)空間和檢漏真空箱出口管道；膜式燃?xì)獗韮?nèi)真空系統(tǒng)包括膜式燃?xì)獗韮?nèi)腔、氦氣進(jìn)氣管、膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道。
第三抽真空裝置用于清除至質(zhì)譜儀連接管路中的氦氣。
優(yōu)選地，在抽真空中，膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口均朝下設(shè)置。
設(shè)置第二抽真空裝置的目的是，通過(guò)第一抽真空裝置將檢漏真空箱和膜式燃?xì)獗沓檎婵罩烈欢ㄕ婵斩?例如50kpa)時(shí)，通過(guò)閥門(mén)切換抽另一檢漏真空箱，利用第二抽真空裝置進(jìn)行進(jìn)一步抽真空，抽到一定真空度(例如30pa)后，利用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏。
進(jìn)一步地，第一抽真空裝置和第二抽真空裝置各自包括串聯(lián)的羅茨泵、真空泵，檢漏預(yù)抽真空泵采用例如leybold的sv200真空泵，檢漏真空箱容積加抽氣管道扣除工件工裝模塊體積，實(shí)際抽真空容積(最大)為約15升，采用leybold的sv200真空泵預(yù)抽真空，根據(jù)理論計(jì)算大約12秒左右，可以將真空箱抽到30pa的真空度，為了確保真空系統(tǒng)的快速抽氣能力，增加使用wau251羅茨泵，將羅茨泵與真空泵串聯(lián)使用。
進(jìn)一步地，上述閥門(mén)為電磁閥。
進(jìn)一步地，第一抽真空裝置能夠并聯(lián)連接多個(gè)檢漏真空箱和位于檢漏真空箱內(nèi)的多個(gè)膜式燃?xì)獗恚约暗诙檎婵昭b置能夠并聯(lián)連接多個(gè)檢漏真空箱。
進(jìn)一步地，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個(gè)支管經(jīng)由第十閥門(mén)連接氦氣回收系統(tǒng)。
進(jìn)一步地，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個(gè)支管經(jīng)由第十一閥門(mén)連通大氣(用于放大氣)。
進(jìn)一步地，氦氣回收系統(tǒng)包括依次連接的回收抽真空緩沖罐、真空泵、低壓罐、壓縮機(jī)、高壓鋼瓶，優(yōu)選兩個(gè)高壓鋼瓶以起到緩沖作用。
進(jìn)一步地，本發(fā)明的氦氣干檢系統(tǒng)的管路(例如檢漏真空箱出口管道)上連接有用于校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)漏孔(lk)。
本發(fā)明進(jìn)一步提供了一種利用上述系統(tǒng)的膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢方法，該方法包括：
(a)打開(kāi)第四閥門(mén)、第五閥門(mén),利用第一抽真空裝置對(duì)膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行同時(shí)抽真空，當(dāng)壓力達(dá)到45-55kpa，優(yōu)選47-52kpa，更優(yōu)選約50kpa時(shí)關(guān)閉第四閥門(mén)；檢漏真空箱繼續(xù)抽真空，當(dāng)檢漏真空箱真空度達(dá)到90-110pa，優(yōu)選95-105pa，更優(yōu)選約100pa時(shí)，關(guān)閉真空箱抽真空閥門(mén)第五閥門(mén)，優(yōu)選此段抽真空時(shí)間設(shè)定為2-6s，更優(yōu)選3秒，保持真空箱及工件內(nèi)腔的真空壓力，測(cè)試工件內(nèi)腔及真空箱的真空度變化，判斷工件是否存在大漏，對(duì)于檢大漏不合格工件，停止檢漏，設(shè)備給出大漏報(bào)警指示；
(b)對(duì)于檢大漏合格的工件，第四閥門(mén)、第五閥門(mén)保持打開(kāi)，對(duì)真空箱及工件內(nèi)腔繼續(xù)抽真空，直至真空箱的真空度達(dá)到≤30pa，關(guān)閉第四閥門(mén)、第五閥門(mén)，完成真空預(yù)抽；
(c)打開(kāi)第六閥門(mén)利用第二抽真空裝置對(duì)檢漏真空箱繼續(xù)抽真空，同時(shí)打開(kāi)第七閥門(mén)將真空箱與質(zhì)譜儀之間管路聯(lián)通，而第一抽真空裝置通過(guò)閥門(mén)切換對(duì)下一組膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行如步驟(a)和步驟(b)的抽真空；
(d)氦質(zhì)譜檢漏工序(用于對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，工序時(shí)間例如13-20秒，例如14s)：當(dāng)真空箱真空度達(dá)到真空度≤30pa，氦質(zhì)譜檢漏儀接入系統(tǒng)進(jìn)行氦氣本底測(cè)試(本底測(cè)試時(shí)間為例如大約3s至5s)，當(dāng)系統(tǒng)氦氣本底值符合氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試的要求時(shí)(一般設(shè)定系統(tǒng)氦氣本底值≤1×10－6pa.m3/s為本底合格)，檢漏儀自動(dòng)進(jìn)行本底漏率清零處理，然后正式進(jìn)入氦檢測(cè)試；
(e)打開(kāi)氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)對(duì)膜式燃?xì)獗磉M(jìn)行氦氣的沖注，當(dāng)膜式燃?xì)獗韮?nèi)壓力達(dá)到設(shè)定值(例如絕壓45-55kpa，優(yōu)選50kpa)時(shí)關(guān)閉氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)，真空箱抽真空檢漏(測(cè)試?yán)?至11秒鐘)，對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，得到工件的泄漏率，檢測(cè)完畢關(guān)閉第七閥門(mén)。
(f)任選地進(jìn)行下一個(gè)檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼臋z漏。
任選地，在步驟(a)之前，通過(guò)從標(biāo)準(zhǔn)漏孔(lk)引入氦氣對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
本發(fā)明的方法進(jìn)一步包括氦氣回收工序，該工序包括：
打開(kāi)氦氣回收系統(tǒng)的進(jìn)口閥門(mén)(第十閥門(mén))，使膜式燃?xì)獗韮?nèi)的氦氣進(jìn)入回收抽真空緩沖罐，再由真空泵抽入低壓罐；
隨著低壓的壓力變化，壓縮機(jī)間歇性工作以保持低壓罐的壓力，同時(shí)壓縮機(jī)將低壓罐內(nèi)的氣體壓入高壓鋼瓶。
打開(kāi)第十一閥門(mén)對(duì)膜式燃?xì)獗韮?nèi)外進(jìn)行放大氣處理，檢測(cè)壓力可以打開(kāi)真空箱。
在檢漏過(guò)程中，當(dāng)檢漏出現(xiàn)氦檢漏率達(dá)到≥1×10－6pa.m3/s時(shí)，設(shè)備將自動(dòng)停止檢漏，檢漏儀立即與真空箱切斷隔離，工件內(nèi)腔充入的氦氣立即轉(zhuǎn)入氦氣回收狀態(tài)，以防過(guò)多的氦氣漏入真空箱造成系統(tǒng)氦氣本底過(guò)高，影響設(shè)備的檢漏節(jié)拍。同時(shí)設(shè)備自動(dòng)報(bào)警并給出工件的不合格指示。
當(dāng)系統(tǒng)氦氣本底值超標(biāo)時(shí)，設(shè)備自動(dòng)延時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)氦氣本底氣鎮(zhèn)法清除操作。在系統(tǒng)氦氣本底值≤1×10－5pa.m3/s時(shí)，系統(tǒng)清除殘余氦氣的時(shí)間≤10s。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：
采用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法，幾乎無(wú)誤檢漏檢，檢測(cè)效率高，能夠短時(shí)間內(nèi)完成多個(gè)膜式燃?xì)獗淼臋z漏：
1、準(zhǔn)確率提高；設(shè)備檢測(cè)可以提高檢漏的精度，零誤判。
2、效率提高節(jié)約人工：一臺(tái)質(zhì)譜儀可以拖四個(gè)工位一臺(tái)設(shè)備可以保證15s內(nèi)完成一個(gè)燃?xì)獗頇z漏，目前人工檢測(cè)單表檢測(cè)時(shí)間為60s/人；單臺(tái)設(shè)備可以完成目前手工檢測(cè)4個(gè)人的人工量大大提高效率。
附圖說(shuō)明
圖1為現(xiàn)有技術(shù)膜式燃?xì)獗頇z漏圖。
圖2為本發(fā)明的膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢系統(tǒng)的示意圖。
圖3為氦氣回收系統(tǒng)示意圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
b1、b2、b3、b4：真空泵。
fc1-1a、fc1-1b、fc1-2a、fc1-2b、fc1-3a、fc1-3b、fc1-4、fc4-1a、fc4-1b、fc4-2b、fc4-2a、fc4-3b、fc4-3a、fc4-4：電磁閥。
fq1-1、fq1-2、fq1-3、fq1-4、fz1、fq4-1、fq4-2、fq4-3、fq4-4、fz2、fq2、fc1-1、fc1-2、fc1-3、fc4-1、fc4-2、fc4-3、fq3、fq4、fq5、fq6、fq7：電磁閥。
vg1、vg4：真空計(jì)；g1、g4：壓力變送器；f1a、f4a：過(guò)濾消聲器；f1、f4：過(guò)濾器；q1：氮?dú)猓籷2：氦氣；q3：放大氣；q4：回收抽空；q5：膜式燃?xì)獗沓榭?工件抽空)。
1：減壓閥；2：壓力繼電器；3、21：電磁閥；4-檢漏真空箱；5：手動(dòng)球閥；6：低壓氣罐；7、23：壓阻規(guī)；8：he濃度變送器；9：低壓安全閥；10：過(guò)濾器；11：壓縮機(jī)；12：?jiǎn)蜗蜷y；13：高壓過(guò)濾器；14：高壓安全閥；15：高壓鋼瓶；16：真空泵；17：高壓減壓閥；20：膜式燃?xì)獗恚?2：回收抽真空緩沖罐；24：鋼瓶連接器；25排水器。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖來(lái)說(shuō)明本發(fā)明。應(yīng)該理解的是，這些說(shuō)明為示例性的，不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的任何限制。
如圖2所示，膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢系統(tǒng)包括檢漏真空箱、真空泵、真空計(jì)(vg1、vg4)、閥門(mén)和管道，
其中，檢漏真空箱4具有一個(gè)進(jìn)氣管道，進(jìn)氣管道的一端與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗?0的進(jìn)氣口連接，該進(jìn)氣管道的另一端分別連接有經(jīng)第一、第二、第三和第九閥門(mén)(fc1-1a、fc1-1b、fc1-2a、fc1-2b、fc1-3a、fc1-3b、fc1-4)控制的氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、氮?dú)膺M(jìn)氣管、放大氣管道，其中氦氣進(jìn)氣管、回收抽空管道、氮?dú)膺M(jìn)氣管、放大氣管道可切換地與檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗?0的進(jìn)氣口連接；
膜式燃?xì)獗?0的出氣口連接一個(gè)膜式燃?xì)獗沓檎婵展艿?，該膜式燃?xì)獗沓檎婵展艿澜?jīng)由第四閥門(mén)fc1-1連接于第一抽真空裝置，
檢漏真空箱的出口連接一個(gè)檢漏真空箱出口管道，該檢漏真空箱出口管道進(jìn)一步分為三個(gè)支路，第一支路經(jīng)由第五閥門(mén)fq1-1連接第一抽真空裝置(b1、b2)，第二支路經(jīng)由第六閥門(mén)fq1-2連接第二抽真空裝置(b3、b4)，該第二抽真空裝置進(jìn)一步經(jīng)由第七閥門(mén)fq2連接于氦質(zhì)譜檢漏儀ms，該氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)一步連接第三抽真空裝置(用于清除質(zhì)譜儀連接管路里面的氦)，第三支路經(jīng)由第八閥門(mén)連接排氣管道(放空)。在一個(gè)實(shí)施方式中，一個(gè)氦檢儀拖四個(gè)真空箱輪循檢測(cè)，b1、b2快速抽真空，將真空箱抽到50kpa，b1、b2完成工作，通過(guò)閥門(mén)切換b1、b2去抽另一個(gè)真空箱；b1、b2抽氣完，b3、b4介入進(jìn)行進(jìn)一步抽真空，抽到30pa后，氦氣檢漏儀可以介入檢測(cè)。
進(jìn)一步地，第一抽真空裝置和第二抽真空裝置各種包括串聯(lián)的羅茨泵、真空泵。檢漏預(yù)抽真空泵采用例如leybold的sv200真空泵，檢漏真空箱容積加抽氣管道扣除工件工裝模塊體積，實(shí)際抽真空容積(最大)為約15升，采用leybold的sv200真空泵預(yù)抽真空，根據(jù)理論計(jì)算大約12秒左右，可以將真空箱抽到30pa的真空度，為了確保真空系統(tǒng)的快速抽氣能力，增加使用wau251羅茨泵，將羅茨泵與真空泵串聯(lián)使用。
進(jìn)一步地，上述閥門(mén)為電磁閥。
進(jìn)一步地，第一抽真空裝置能夠并聯(lián)連接多個(gè)檢漏真空箱和位于檢漏真空箱內(nèi)的多個(gè)膜式燃?xì)獗?，以及第二抽真空裝置能夠并聯(lián)連接多個(gè)檢漏真空箱。
進(jìn)一步地，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個(gè)支管經(jīng)由第十閥門(mén)fc1-2連接氦氣回收系統(tǒng)。
進(jìn)一步地，膜式燃?xì)獗肀韮?nèi)抽真空管道分出一個(gè)支管經(jīng)由第十一閥門(mén)fc1-3連通大氣(用于放大氣)。
進(jìn)一步地，本發(fā)明的氦氣干檢系統(tǒng)的管路(例如檢漏真空箱出口管道)上連接有用于校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀的標(biāo)準(zhǔn)漏孔(lk)，通過(guò)經(jīng)由閥門(mén)fq5從標(biāo)準(zhǔn)漏孔(lk)引入氦氣在氦氣檢漏之前對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
進(jìn)一步地，如圖3所示，氦氣回收系統(tǒng)包括依次連接的回收抽真空緩沖罐22、真空泵16、低壓罐6、壓縮機(jī)11、高壓鋼瓶15，優(yōu)選兩個(gè)高壓鋼瓶15以起到緩沖作用。
真空計(jì)如vg1、vg4可以安裝在抽真空管路上用于測(cè)量真空度，另外還可安裝壓力變送器如g1、g4用于調(diào)節(jié)。檢漏真空箱4的進(jìn)氣管道上可以安裝過(guò)濾器f1、f4。
利用上述系統(tǒng)的膜式燃?xì)獗碚麢C(jī)密封性氦氣干檢方法包括：
(a)打開(kāi)第四閥門(mén)fc1-1、第五閥門(mén)fq1-1；利用第一抽真空裝置(b1羅茨泵，b2真空泵)對(duì)膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行同時(shí)抽真空，當(dāng)壓力達(dá)到45-55kpa，優(yōu)選47-52kpa，更優(yōu)選約50kpa時(shí)關(guān)閉第四閥門(mén)fc1-1；檢漏真空箱繼續(xù)抽真空，當(dāng)檢漏真空箱真空度達(dá)到90-110pa，優(yōu)選95-105pa，更優(yōu)選約100pa時(shí)，關(guān)閉檢漏真空箱抽真空閥門(mén)即第五閥門(mén)fq1-1，優(yōu)選此段抽真空時(shí)間設(shè)定為2-6s，更優(yōu)選3秒，保持真空箱及工件內(nèi)腔的真空壓力，測(cè)試工件內(nèi)腔及真空箱的真空度變化，判斷工件是否存在大漏，對(duì)于檢大漏不合格工件，停止檢漏，設(shè)備給出大漏報(bào)警指示；
判斷是否大漏的方法：
工件內(nèi)腔真空壓力值保持相對(duì)穩(wěn)定無(wú)較大變化時(shí)，同時(shí)真空箱的真空度沒(méi)有較大變化時(shí)，可以判定工件無(wú)大漏。反之則工件存在大漏。
檢大漏完成，同時(shí)真空箱及工件內(nèi)腔放入大氣，真空箱及工件內(nèi)腔壓力與大氣平衡后，打開(kāi)真空箱門(mén)，工件由電動(dòng)滑臺(tái)和氣爪組成的物料移送裝置自動(dòng)抓取輸出真空箱。
(b)對(duì)于檢大漏合格的工件，第四閥門(mén)fc1-1、第五閥門(mén)fq1-1保持打開(kāi)，對(duì)真空箱及工件內(nèi)腔繼續(xù)抽真空，直至真空箱的真空度達(dá)到≤30pa，關(guān)閉第四閥門(mén)fc1-1、第五閥門(mén)fq1-1，完成真空預(yù)抽；
(c)打開(kāi)第六閥門(mén)fq1-2利用第二抽真空裝置(b3羅茨泵、b4真空泵)對(duì)檢漏真空箱4繼續(xù)抽真空，同時(shí)打開(kāi)第七閥門(mén)fq2將檢漏真空箱4與質(zhì)譜儀ms之間管路聯(lián)通，而第一抽真空裝置(b1、b2)可以通過(guò)閥門(mén)切換對(duì)下一組膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行如步驟(a)、(b)的抽真空；
(d)氦質(zhì)譜檢漏工序(用于對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，工序時(shí)間例如13-20秒，例如14s)：當(dāng)檢漏真空箱4真空度達(dá)到真空度≤30pa，氦質(zhì)譜檢漏儀ms接入系統(tǒng)進(jìn)行氦氣本底測(cè)試(本底測(cè)試時(shí)間為例如大約3s至5s)，當(dāng)系統(tǒng)氦氣本底值符合氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試的要求時(shí)(一般設(shè)定系統(tǒng)氦氣本底值≤1×10－6pa.m3/s為本底合格)，檢漏儀自動(dòng)進(jìn)行本底漏率清零處理，然后正式進(jìn)入氦檢測(cè)試；
(e)打開(kāi)氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)fc1-3a，fc1-3b對(duì)膜式燃?xì)獗磉M(jìn)行氦氣的沖注，當(dāng)膜式燃?xì)獗?0內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定值(例如絕壓45-55kpa，優(yōu)選50kpa)時(shí)關(guān)閉氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)，真空箱抽真空檢漏(測(cè)試?yán)?至11秒鐘)，對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，得到工件的泄漏率，檢測(cè)完畢關(guān)閉第七閥門(mén)。
(f)任選地進(jìn)行下一個(gè)檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼臋z漏。
任選地，在步驟(a)之前，通過(guò)從標(biāo)準(zhǔn)漏孔(lk)引入氦氣對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行校準(zhǔn)。
打開(kāi)fc1-2進(jìn)行工件內(nèi)氦氣回收，回收完畢關(guān)閉fc1-2；打開(kāi)fc1-3，fc1-4對(duì)工件內(nèi)外進(jìn)行放大氣處理，檢測(cè)壓力可以打開(kāi)真空箱。
在檢漏過(guò)程中，當(dāng)檢漏出現(xiàn)氦檢漏率達(dá)到≥1×10－6pa.m3/s時(shí)，設(shè)備將自動(dòng)停止檢漏，檢漏儀立即與真空箱切斷隔離，工件內(nèi)腔充入的氦氣立即轉(zhuǎn)入氦氣回收狀態(tài)，以防過(guò)多的氦氣漏入真空箱造成系統(tǒng)氦氣本底過(guò)高，影響設(shè)備的檢漏節(jié)拍。同時(shí)設(shè)備自動(dòng)報(bào)警并給出工件的不合格指示。
實(shí)施例1
如圖2所示，(a)使膜式燃?xì)獗淼倪M(jìn)氣口和出氣口均朝下設(shè)置，打開(kāi)第四閥門(mén)fc1-1、第五閥門(mén)fq1-1；利用第一抽真空裝置(b1羅茨泵，b2真空泵)對(duì)膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行同時(shí)抽真空，當(dāng)壓力達(dá)到約50kpa時(shí)關(guān)閉第四閥門(mén)；檢漏真空箱繼續(xù)抽真空，當(dāng)檢漏真空箱真空度達(dá)到約100pa時(shí)，關(guān)閉檢漏真空箱抽真空閥門(mén)即第五閥門(mén)fq1-1，優(yōu)選此段抽真空時(shí)間設(shè)定為3秒，保持真空箱及工件內(nèi)腔的真空壓力，測(cè)試膜式燃?xì)獗韮?nèi)腔及真空箱的真空度變化，判斷膜式燃?xì)獗硎欠翊嬖诖舐?，?duì)于檢大漏不合格膜式燃?xì)獗?，停止檢漏，設(shè)備給出大漏報(bào)警指示；
判斷是否大漏的方法：
膜式燃?xì)獗韮?nèi)腔真空壓力值保持相對(duì)穩(wěn)定無(wú)較大變化時(shí)，同時(shí)真空箱的真空度沒(méi)有較大變化時(shí)，可以判定膜式燃?xì)獗頍o(wú)大漏。反之則膜式燃?xì)獗泶嬖诖舐?/p>
檢大漏完成，同時(shí)真空箱及工件內(nèi)腔放入大氣，真空箱及膜式燃?xì)獗韮?nèi)腔壓力與大氣平衡后，打開(kāi)真空箱門(mén)，膜式燃?xì)獗碛呻妱?dòng)滑臺(tái)和氣爪組成的物料移送裝置自動(dòng)抓取輸出真空箱。
(b)對(duì)于檢大漏合格的膜式燃?xì)獗?，第四閥門(mén)fc1-1、第五閥門(mén)fq1-1保持打開(kāi)，對(duì)真空箱及膜式燃?xì)獗韮?nèi)腔繼續(xù)抽真空，直至真空箱的真空度達(dá)到≤30pa，關(guān)閉第四閥門(mén)、第五閥門(mén)，完成真空預(yù)抽；
(c)打開(kāi)第六閥門(mén)fq1-2利用第二抽真空裝置(b3羅茨泵、b4真空泵)對(duì)檢漏真空箱4繼續(xù)抽真空，同時(shí)打開(kāi)第七閥門(mén)fq2將檢漏真空箱4與質(zhì)譜儀ms之間管路聯(lián)通，，而第一抽真空裝置(b1、b2)通過(guò)閥門(mén)切換對(duì)下一組膜式燃?xì)獗砗蜋z漏真空箱進(jìn)行如步驟(a)、(b)的抽真空；
(d)氦質(zhì)譜檢漏工序(用于對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，工序時(shí)間14s)：當(dāng)檢漏真空箱4真空度達(dá)到真空度≤30pa，氦質(zhì)譜檢漏儀ms接入系統(tǒng)進(jìn)行氦氣本底測(cè)試(本底測(cè)試時(shí)間為約3s至5s)，當(dāng)系統(tǒng)氦氣本底值符合氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試的要求時(shí)(一般設(shè)定系統(tǒng)氦氣本底值≤1×10－6pa.m3/s為本底合格)，檢漏儀自動(dòng)進(jìn)行本底漏率清零處理，然后正式進(jìn)入氦檢測(cè)試；
(e)打開(kāi)氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)fc1-3a，fc1-3b對(duì)膜式燃?xì)獗磉M(jìn)行氦氣的沖注，當(dāng)膜式燃?xì)獗?0內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定值(例如絕壓50kpa)時(shí)關(guān)閉氦氣進(jìn)氣管上的閥門(mén)，真空箱抽真空檢漏(測(cè)試9至11秒鐘)，對(duì)工件進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試，得到工件的泄漏率，檢測(cè)完畢關(guān)閉第七閥門(mén)。
(f)進(jìn)行下一個(gè)檢漏真空箱內(nèi)的膜式燃?xì)獗淼臋z漏。
結(jié)果顯示，上述方法長(zhǎng)期運(yùn)行，無(wú)誤檢漏檢，檢測(cè)效率高，完成全部檢漏工序僅需約56秒。經(jīng)濟(jì)效益明顯。
對(duì)比例1
采用現(xiàn)有技術(shù)的整機(jī)密封性水檢法，如圖1所示，進(jìn)氣口進(jìn)氣壓力：50kpa-60kpa出氣口出氣壓力：45kpa-55kpa檢測(cè)時(shí)間：2分鐘。雖然它的設(shè)備簡(jiǎn)單，結(jié)果直觀，但檢測(cè)精度和效率低，人為因素影響較大，目前燃?xì)獗硇袠I(yè)整機(jī)密封性合格率高達(dá)99.5％以上,長(zhǎng)期觀察過(guò)程中操作工很容易出現(xiàn)視覺(jué)疲勞，或者操作工在檢測(cè)過(guò)程中注意力轉(zhuǎn)移時(shí)，燃?xì)獗硇孤c(diǎn)出現(xiàn)氣泡時(shí)沒(méi)有觀察到造成漏檢。無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定量測(cè)漏，同時(shí)還會(huì)給燃?xì)獗韼?lái)潮濕生銹及繁瑣的試件表面附水后處理。只能檢測(cè)最高為10-2至10-3mbarl/s的泄露。另外，由于水的表面張力，小氣泡根本無(wú)法形成，所以，在水中進(jìn)行氣泡檢測(cè)根本無(wú)法檢測(cè)出較小漏孔。其次，生產(chǎn)效率低下人工成本高，生產(chǎn)效率：480臺(tái)/人.8小時(shí)，人工成本：5000元/月.人，浪費(fèi)水資源比較大，單表檢漏成本約0.53元。
而本發(fā)明的氦氣干檢法，如果兩臺(tái)設(shè)備8工位450臺(tái)/小時(shí)，人工數(shù)1人：設(shè)備維護(hù)兼故障排除，單表檢漏成本約0.09元。
膜式燃?xì)獗頇z測(cè)記錄(實(shí)驗(yàn)記錄)
上表為實(shí)際測(cè)試數(shù)據(jù)，其中序號(hào)為14的那塊燃?xì)獗頌樗畽z漏檢產(chǎn)品，這樣流入到市場(chǎng)也會(huì)帶來(lái)隱患，而采用本發(fā)明檢漏系統(tǒng)和方法的序號(hào)1-13、15-20均為合格。