本發(fā)明屬于智能傳感器領(lǐng)域，更具體地涉及一種陀螺儀自校準裝置及方法。

背景技術(shù)：

微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanicalsystem，簡稱mems)在20世紀80年代隨著硅微機械加工技術(shù)的發(fā)展而逐漸成長起來，是微電子平面加工技術(shù)和硅微機械加工技術(shù)發(fā)展結(jié)合的產(chǎn)物。硅微機械技術(shù)是主要包括硅體微機械加工技術(shù)、表面微機械加工技術(shù)、鍵合技術(shù)、liga技術(shù)等。通過這些技術(shù)在硅片、玻璃等材料上制作尺度從微米級到毫米級的微傳感器或執(zhí)行器。

mems是將微傳感器、微執(zhí)行器和電路集成在一起的一種復(fù)雜系統(tǒng)。mems具有光、機、電一體化、體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。微機械陀螺儀按振動結(jié)構(gòu)可分為旋轉(zhuǎn)振動結(jié)構(gòu)和線振動結(jié)構(gòu)；按材料可以分為硅材料和非硅材料；按驅(qū)動方式可以分為壓電式驅(qū)動、靜電式驅(qū)動和電磁式驅(qū)動；按工作模式可以分為速率陀螺和速率積分陀螺；按檢測方式可以分為壓電性檢測、電容性檢測、光學(xué)檢測、壓阻型檢測和隧道效應(yīng)檢測；按加工方式分為體硅機械加工、表面微機械加工和liga技術(shù)。

傳統(tǒng)陀螺儀的標定校準需要高精度轉(zhuǎn)臺以及其他外部設(shè)備做支撐，操作復(fù)雜，成本高；且通常只在出廠之前進行標定校準，在使用過程中由于條件限制，不能對陀螺儀進行標定校準；而使用過程中陀螺儀又會由于器件老化、環(huán)境溫度變化、系統(tǒng)噪聲等原因，造成器件參數(shù)的變化，從而導(dǎo)致陀螺儀測量的精度下降，因此使mems陀螺儀一直處于低精度陀螺儀的行列，限制了mems陀螺儀的應(yīng)用領(lǐng)域。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

基于以上技術(shù)問題，本發(fā)明的主要目的在于提出一種陀螺儀自校準裝置及方法，用于解決以上技術(shù)問題中的至少之一。

為了實現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提出一種陀螺儀自校準裝置，包括信號發(fā)生器和信號處理電路，其中：

信號發(fā)生器，用于產(chǎn)生包括驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號，調(diào)制信號用于驅(qū)動陀螺儀輸出具有相移分量的電流信號；

信號處理電路，用于處理陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號，得到電壓值；

其中，基于調(diào)制信號中電激勵信號的角速度與電壓值之間存在的線性關(guān)系，陀螺儀得到校準后的外界環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述電激勵信號為調(diào)頻信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述信號處理電路包括：

放大電路，用于將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號，并放大轉(zhuǎn)化后的電壓信號；

解調(diào)電路，用于將放大后的電壓信號與調(diào)制信號相乘，得到解調(diào)信號，并輸出至濾波電路；

濾波電路，用于濾除解調(diào)信號中的高頻信號，得到電壓值。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述放大電路包括：

跨阻放大器，用于將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號；

運算放大器，用于放大轉(zhuǎn)化后的電壓信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述解調(diào)電路包括乘法器，用于將解調(diào)后的電壓信號與調(diào)制信號相乘，輸出至濾波電路。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述濾波電路包括濾波器，用于濾除解調(diào)電路輸出的信號中的高頻信號，得到電壓值；其中，所述濾波器可以為巴特沃斯低通濾波器、切比雪夫低通濾波器或貝塞爾低通濾波器等低通濾波器。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述調(diào)制信號分為四個支路傳輸，其中第一支路作為i信號直接驅(qū)動陀螺儀，第二支路通過移相器作為q信號驅(qū)動陀螺儀；第三支路和經(jīng)由移相器的第四支路連接至信號處理電路中的解調(diào)電路。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號包括：

與第一支路的調(diào)制信號相對應(yīng)的i電流信號，以及與第二支路的調(diào)制信號相對應(yīng)的q電流信號；

相應(yīng)的，信號處理電路包括兩個支路，每一支路均包括放大電路、解調(diào)電路和濾波電路，用于分別傳輸i電流信號和q電流信號；第三支路連接至傳輸i電流信號支路中的解調(diào)電路；經(jīng)由移相器的第四支路連接至傳輸q電流信號支路中的解調(diào)信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述陀螺儀為mems陀螺儀；mems陀螺儀包括二自由度微機械陀螺儀，例如為硅基微機械振動陀螺儀。

為了實現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提出一種陀螺儀自校準方法，包括：

步驟1、調(diào)節(jié)信號發(fā)生器，使信號發(fā)生器產(chǎn)生包含驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號，用于驅(qū)動陀螺儀；

步驟2、陀螺儀在調(diào)制信號的驅(qū)動下輸出具有相移分量的電流信號；

步驟3、信號處理電路處理具有相移分量的電流信號，得到電壓值；

步驟4、重復(fù)步驟1～3，得到包含不同角速度電激勵信號的至少兩個調(diào)制信號及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值；

根據(jù)至少兩個調(diào)制信號中電激勵信號的角速度及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值，得到電激勵信號的角速度與電壓值的線性關(guān)系曲線，基于此線性關(guān)系，所述陀螺儀得到校準后的外界環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

本發(fā)明提出的陀螺儀自校準裝置及方法，具有以下有益效果：

1、本發(fā)明采用電激勵信號替代傳統(tǒng)的高精度物理轉(zhuǎn)臺，完成陀螺儀的自校準，因此簡化了陀螺儀的出廠標定校準程序，且降低了自校準成本；

2、本發(fā)明采用電激勵信號進行自校準，因此校準的實施只需要常用的信號發(fā)生器即可，在陀螺儀的使用過程中，用戶可實時進行陀螺儀的自校準，因此避免了陀螺儀在使用過程中，由于器件老化、環(huán)境溫度變化、系統(tǒng)噪聲等產(chǎn)生的器件參數(shù)變化，從而避免了陀螺儀精度的下降；

3、本發(fā)明采用的電激勵信號是調(diào)頻信號，相比于調(diào)幅信號，調(diào)頻信號具有噪聲低，頻帶窄的特性，又不會影響輸出結(jié)果的靈敏度。

附圖說明

圖1是陀螺儀在采用高精度物理轉(zhuǎn)臺進行標定校準時的整體電路圖；

圖2是本發(fā)明一實施例提出的陀螺儀自校準裝置的整體電路圖；

圖3是本發(fā)明一實施例提出的信號發(fā)生器的電路結(jié)構(gòu)圖；

圖4是本發(fā)明另一實施例提出的陀螺儀自校準方法的流程圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明。

本發(fā)明公開了一種陀螺儀自校準裝置，包括信號發(fā)生器和信號處理電路，其中：

信號發(fā)生器，用于產(chǎn)生包括驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號，調(diào)制信號用于驅(qū)動陀螺儀輸出具有相移分量的電流信號；

信號處理電路，用于處理陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號，得到電壓值；

其中，基于調(diào)制信號中電激勵信號的角速度與電壓值之間存在的線性關(guān)系，陀螺儀得到校準后的外界環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

由于電激勵信號的角速度與電壓值成線性關(guān)系，通過實驗得到此線性關(guān)系，在后續(xù)陀螺儀處于檢測模態(tài)(即工作狀態(tài))時，根據(jù)實驗得到的陀螺儀在檢測模態(tài)下和電激勵信號進行自校準條件下的關(guān)系，將電激勵信號進行自校準條件下電激勵信號的角速度與電壓的線性關(guān)系轉(zhuǎn)換為工作條件下外部環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度與電壓的線性關(guān)系，從而在檢測模態(tài)下，通過測量陀螺儀系統(tǒng)的輸出電壓值，就可以求出此時除電激勵信號外的其他外部環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

通過實驗證明，電激勵信號的作用相當于通常標定校準方法中采用的高精度物理轉(zhuǎn)臺，其中，電激勵信號的角速度即相當于高精度物理轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)角速度。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述電激勵信號為調(diào)頻信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述信號處理電路包括：

放大電路，用于將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號，并放大轉(zhuǎn)化后的電壓信號；

解調(diào)電路，用于將放大后的電壓信號與調(diào)制信號相乘，得到解調(diào)信號，并輸出至濾波電路；

濾波電路，用于濾除解調(diào)信號中的高頻信號，得到電壓值。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述放大電路包括：

跨阻放大器，用于將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號；

運算放大器，用于放大轉(zhuǎn)化后的電壓信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述解調(diào)電路包括乘法器，用于將解調(diào)后的電壓信號與調(diào)制信號相乘，輸出至濾波電路。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述濾波電路包括濾波器，用于濾除解調(diào)電路輸出的信號中的高頻信號，得到電壓值；其中，該濾波器包括巴特沃斯低通濾波器、切比雪夫低通濾波器或貝塞爾低通濾波器等低通濾波器。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述調(diào)制信號分為四個支路傳輸，其中第一支路作為i信號直接驅(qū)動陀螺儀，第二支路通過移相器作為q信號驅(qū)動陀螺儀；第三支路和經(jīng)由移相器的第四支路連接至信號處理電路中的解調(diào)電路。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號包括：

與第一支路的調(diào)制信號相對應(yīng)的i電流信號，以及與第二支路的調(diào)制信號相對應(yīng)的q電流信號；

相應(yīng)的，信號處理電路包括兩個支路，每一支路均包括放大電路、解調(diào)電路和濾波電路，用于分別傳輸i電流信號和q電流信號；第三支路連接至傳輸i電流信號支路中的解調(diào)電路；經(jīng)由移相器的第四支路連接至傳輸q電流信號支路中的解調(diào)信號。

在本發(fā)明的一些實施例中，上述陀螺儀為mems陀螺儀；mems陀螺儀包括二自由度微機械陀螺儀，例如為硅基微機械振動陀螺儀。

本發(fā)明還公開了一種陀螺儀自校準方法，包括：

步驟1、調(diào)節(jié)信號發(fā)生器，使信號發(fā)生器產(chǎn)生包含驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號，用于驅(qū)動陀螺儀；

步驟2、陀螺儀在調(diào)制信號的驅(qū)動下輸出具有相移分量的電流信號；

步驟3、信號處理電路處理具有相移分量的電流信號，得到電壓值；

步驟4、重復(fù)步驟1～3，得到包含不同角速度電激勵信號的至少兩個調(diào)制信號及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值；

根據(jù)至少兩個調(diào)制信號中電激勵信號的角速度及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值，得到電激勵信號的角速度與電壓值的線性關(guān)系曲線，基于此線性關(guān)系，陀螺儀得到校準后的外界環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

在本發(fā)明的一些實施例中，提出了一種mems陀螺儀自校準裝置及方法，其中：

mems陀螺儀的自校準電路包括：

信號發(fā)生器電路，用于產(chǎn)生調(diào)制信號，包括陀螺儀的電驅(qū)動信號coswt和電激勵信號cosωt，兩路信號分別通過移相器、乘法器和加法器得到作用于mems陀螺儀的兩路調(diào)制信號。

信號處理電路，主要包括放大電路、解調(diào)電路和濾波電路。放大電路由跨阻放大器和運算放大器實現(xiàn)，解調(diào)電路由乘法器實現(xiàn)，濾波器采用兩階巴特沃斯低通濾波器。

其中，本實施例的mems陀螺儀結(jié)構(gòu)模型，采用的是兩自由度的硅基微機械振動陀螺儀，在忽略結(jié)構(gòu)誤差、頻率失調(diào)、外部環(huán)境變化的前提下可以得到適用于兩自由度陀螺儀的動力學(xué)運動方程。

mems陀螺儀自校準方法具體為：

采用電激勵信號代替高精度轉(zhuǎn)臺對陀螺儀進行自校準，在驅(qū)動信號作用下放置在高精度轉(zhuǎn)臺上的陀螺儀的輸出信號會產(chǎn)生一個與高精度轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)角速度相關(guān)的相位偏移量，通過對該型號偏移量的處理可以得到陀螺儀的旋轉(zhuǎn)角速度。實驗發(fā)現(xiàn)在沒有高精度轉(zhuǎn)臺時對陀螺儀施加電激勵信號，也會在陀螺儀的輸出信號中產(chǎn)生一個相位偏移量，該偏移量與高精度轉(zhuǎn)臺下產(chǎn)生的偏移量基本相同。因此可以采用電激勵信號對陀螺儀進行自校準，本實施例的電激勵信號采用的調(diào)頻信號，為了對陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號進行處理，先將陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號通過跨阻放大器轉(zhuǎn)化為電壓信號，再經(jīng)過電壓放大器將信號擺幅放大到2v(v為經(jīng)跨阻放大器轉(zhuǎn)化為的電壓信號的擺幅)；由于初始信號是驅(qū)動信號和電激勵信號組成的調(diào)制信號得出的，所以還需要對放大后的電壓信號進行解調(diào)，解調(diào)信號在校準模式和檢測模式下是不同的信號，與輸入的電激勵信號相關(guān)；將驅(qū)動信號和電激勵信號組成的調(diào)制信號和解調(diào)信號經(jīng)過模擬乘法器，解調(diào)后的信號包含直流信號和高頻交流信號，高頻信號被之后的二階低通濾波器濾除，這樣輸出只留下直流信號，該信號與電激勵信號的角速度近似成線性關(guān)系。

為了說明本發(fā)明公開的陀螺儀自校準裝置及方法，完成陀螺儀自校準的可行性，以下通過一具體電路進行說明。

1、采用高精度物理轉(zhuǎn)臺進行標定校準

如圖1所示，是mems陀螺儀在采用高精度物理轉(zhuǎn)臺進行標定校準時的整體電路圖，該電路圖包括用于產(chǎn)生驅(qū)動信號的信號發(fā)生器1、第一90°移相器2、mems陀螺儀3、跨阻放大器4、電壓運算放大器5、第一乘法器6和低通濾波器7組成。信號發(fā)生器1產(chǎn)生的驅(qū)動信號作用于兩自由度的陀螺儀作為驅(qū)動信號，使陀螺儀產(chǎn)生正弦諧振運動；第一移相器2用于使信號發(fā)生器1產(chǎn)生的驅(qū)動信號產(chǎn)生90°相移，這樣兩路i/q信號作用于陀螺儀3，陀螺儀3置于旋轉(zhuǎn)角速度為ω的高精度物理轉(zhuǎn)臺上，此時，陀螺儀3的動力學(xué)方程為：

方程中x(t)，y(t)是陀螺儀輸出的兩個電流信號，該電流信號中包含有相移分量，w是正弦驅(qū)動信號的頻率，q是陀螺儀的品質(zhì)因數(shù)，λ是與陀螺儀類型相關(guān)的常量，f是常量，λ的關(guān)系式為λ＝2n/(n²+1)，其中，n為陀螺儀包含的簡并對的個數(shù)。解上述微分方程組得：

其中相移θ1是一個與旋轉(zhuǎn)角速度ω相關(guān)的量：

a表示為

a＝|h[j(w+ω)]|＝|h[j(w-ω)]|(ω＜＜w)；(1-4)

之后跨阻放大器4將陀螺儀輸出的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號，再通過電壓運算放大器5將x(t)、y(t)的擺幅增大至2v(v為經(jīng)跨阻放大器轉(zhuǎn)換的電壓信號的實際擺幅)，則最終輸入到乘法器6時為2x(t)和2y(t)，將2x(t)、2y(t)分別與信號發(fā)生器的另兩個支路傳輸?shù)恼{(diào)制信號coswt、sinwt相乘得到解調(diào)后的信號

再通過后面的由電阻、電容和運算放大器構(gòu)成的低通濾波器7，最后得到的輸出結(jié)果為：

由公式(1-6)可知，在ω*q遠小于w時，輸出電壓與高精度物理轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)角速度近似成線性關(guān)系。

2、采用電激勵信號進行自校準

圖2是mems陀螺儀采用電激勵信號進行自校準時的整體電路圖，該電路包括產(chǎn)生包括驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號的信號發(fā)生器8、mems陀螺儀3、將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號的跨阻運算放大器4、用于電壓放大的電壓運算放大器5、用于信號解調(diào)的第一乘法器6和濾除低頻信號的低通濾波器7。

其中，信號發(fā)生器8的電路結(jié)構(gòu)如圖3所示，信號發(fā)生器產(chǎn)生的調(diào)制信號包括i調(diào)制信號和q調(diào)制信號，分別作用于陀螺儀的i/q兩個簡并諧振模態(tài)。其中i調(diào)制信號由兩路信號經(jīng)減法器13整合得到，其中一路由驅(qū)動信號fcos(wt)和電激勵信號cos(ω′t)經(jīng)第二乘法器9相乘得到，另一路由經(jīng)由第二移相器10的驅(qū)動信號fcos(wt)和經(jīng)由第三移相器11的電激勵信號cos(ω′t)通過第三乘法器12相乘得到，最終的i調(diào)制信號為fcos(w+ω′)t。模擬乘法器，90°移相器和加法器組成。其中q調(diào)制信號由兩路信號經(jīng)加法器18整合得到，其中一路由經(jīng)由第四移相器14的驅(qū)動信號fcos(wt)和電激勵信號cos(ω′t)經(jīng)第四乘法器15相乘得到；其中另一路由驅(qū)動信號fcos(wt)和經(jīng)由第五移相器16的電激勵信號cos(ω′t)經(jīng)第五乘法器17相乘得到，最終的q調(diào)制信號為fsin(w+ω′)t。

此時陀螺儀的動力學(xué)運動方程為

陀螺儀在電激勵信號作用下質(zhì)量塊在x軸和y軸上會產(chǎn)生偏移，質(zhì)量塊產(chǎn)生的位置移動被電容檢測單元檢測出來并轉(zhuǎn)化為電流信號，x(t)、y(t)就是陀螺儀在兩種簡并諧振模態(tài)下由電容檢測單元檢測得到的兩個電流信號，w為正弦驅(qū)動信號的頻率，q為陀螺儀的品質(zhì)因數(shù)，ω′為電激勵信號的角速度，解上述微分方程組得公式(2-2)。

θ3為x(t)、y(t)的相位偏移量，公式為：

通過對比陀螺儀在高精度轉(zhuǎn)臺和電激勵信號作用下具有相移分量的電流信號，可以看出物理旋轉(zhuǎn)和電激勵信號產(chǎn)生的電流信號中相移基本相同，唯一不同點是物理旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的電流信號中含有λ，該值是與陀螺儀的運動狀態(tài)相關(guān)的常數(shù)。陀螺儀輸出的具有相移分量的電流信號經(jīng)過由電阻和opa657構(gòu)成的跨阻放大器，將具有相移分量的電流信號轉(zhuǎn)化為電壓信號，然后通過由電阻和opa656n組成的電壓放大器，將信號的擺幅放大到原先的兩倍，之后將電壓放大器5放大后的信號與信號發(fā)生器8生成的調(diào)制信號通過第一乘法器6，得到解調(diào)后的信號，而解調(diào)后的信號有直流成分和高頻交流成分，還需要通過由電阻和電容組成的低通濾波器7進行低通濾波，得到最后的輸出電壓公式(2-4)。

在ω′*q遠小于w的情況下，輸出電壓z與電激勵信號的角速度ω′近似成線性關(guān)系。

由于已經(jīng)驗證了電激勵信號的角速度ω′就代表高精度轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)角速度ω，因此可以通過不斷調(diào)節(jié)電激勵信號的角速度ω′，測量不同角速度ω′下自校準電路的輸出電壓值，繪制出自校準電路的輸出電壓值與角速度ω′的關(guān)系，然后利用直線擬合得到輸出電壓值與角速度ω′關(guān)系的標度因數(shù)和零漂。之后根據(jù)實驗得到陀螺儀在工作條件下和電激勵信號進行自校準條件下的關(guān)系，然后將電激勵信號進行自校準條件下的標度因數(shù)和零飄轉(zhuǎn)換為工作條件下的標度因數(shù)和零漂，在工作條件下，通過測量陀螺儀系統(tǒng)的輸出電壓值，再利用公式(2-5)就可以求出此時外部環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

輸出電壓＝輸入角速度(ω)*標度因數(shù)(sf)+零漂(bias)；(2-5)

本發(fā)明在分析影響mems陀螺儀精度的基礎(chǔ)上，結(jié)合現(xiàn)有mems陀螺儀自校準方案設(shè)計出基于頻率調(diào)制電激勵信號的自校準方案，使陀螺儀的校準不再需要高精度轉(zhuǎn)臺系統(tǒng)，實現(xiàn)陀螺儀的自校準，簡化了陀螺儀校準過程，節(jié)約校準成本；同時本發(fā)明測得的標度因素準確率是原有方案的兩倍，測量的結(jié)果更精確。

在本發(fā)明的一些實施例中，根據(jù)上述陀螺儀自校準裝置完成陀螺儀自校準的可行性，提出一種陀螺儀自校準方法，該方法的具體流程圖如圖4所示，具體包括以下步驟：

步驟1、調(diào)節(jié)信號發(fā)生器，使信號發(fā)生器產(chǎn)生包含驅(qū)動信號和電激勵信號的調(diào)制信號，用于驅(qū)動陀螺儀；

步驟2、陀螺儀在調(diào)制信號的驅(qū)動下輸出具有相移分量的電流信號；

步驟3、信號處理電路處理具有相移分量的電流信號，得到電壓值；

步驟4、重復(fù)步驟1～3，直至得到包含不同角速度電激勵信號的至少兩個調(diào)制信號及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值；

根據(jù)至少兩個調(diào)制信號中電激勵信號的角速度及相對應(yīng)的至少兩個不同的電壓值，得到電激勵信號的角速度與電壓值的線性關(guān)系曲線，基于此線性關(guān)系，陀螺儀得到校準后的外界環(huán)境的旋轉(zhuǎn)角速度。

其中，步驟4中得到的包含不同角速度電激勵信號的調(diào)制信號及相對應(yīng)的不同的電壓值的數(shù)目，可預(yù)先設(shè)定，在得到數(shù)目小于預(yù)沒數(shù)目時，循環(huán)進行步驟1至3，直至得到的包含不同角速度電激勵信號的調(diào)制信號及相對應(yīng)的不同的電壓值的數(shù)目達到預(yù)設(shè)值。

以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。