本發(fā)明屬于馬達(dá)檢測(cè)領(lǐng)域，具體為一種線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法和檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

線性馬達(dá)的位移測(cè)試通常非常麻煩，由于位移特別小且在不停運(yùn)動(dòng)，常用的度量工具無法進(jìn)行有效的測(cè)量；另一方面，線性馬達(dá)的外殼不能打開進(jìn)行測(cè)量，否則會(huì)影響馬達(dá)的振動(dòng)，因此常用的激光等工具也無法達(dá)到相應(yīng)的目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提出了一種線性馬達(dá)位移檢測(cè)方法和檢測(cè)裝置，本發(fā)明利用線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)振動(dòng)時(shí)加速度與位移之間的特定關(guān)系，使用加速度檢測(cè)單元測(cè)量該線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)振動(dòng)時(shí)的加速度，再通過特定關(guān)系將測(cè)量得到的加速度結(jié)果轉(zhuǎn)化為位移振幅，從而得到所需的線性馬達(dá)的位移振幅的測(cè)量結(jié)果。

具體技術(shù)方案如下：

一種線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法，包括以下步驟：

s100：將線性馬達(dá)放置于檢測(cè)裝置上，并使所述線性馬達(dá)處于穩(wěn)態(tài)工作狀態(tài)，檢測(cè)所述線性馬達(dá)的加速度；

s200：將測(cè)得的所述線性馬達(dá)的加速度通過轉(zhuǎn)換公式獲得并輸出所述線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅；所述轉(zhuǎn)換公式為：

其中，a(0)為所述線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)工作初始時(shí)刻的加速度，y0為線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅值，wn為線性馬達(dá)的自由振蕩角頻率，ξ為阻尼系數(shù)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法還包括以下步驟：

s300：確定校準(zhǔn)常數(shù)；

s400：通過公式y(tǒng)1＝k·y0對(duì)線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅進(jìn)行校準(zhǔn)，并輸出穩(wěn)態(tài)位移振幅的校準(zhǔn)值；

其中，y0為所述步驟s200中計(jì)算獲得的線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅，y1為穩(wěn)態(tài)位移振幅的校準(zhǔn)值，k為校準(zhǔn)常數(shù)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟s300中所述校準(zhǔn)常數(shù)k的確定包括以下步驟：

s301：測(cè)量所述線性馬達(dá)的振子的質(zhì)量w1以及線性馬達(dá)除振子外的質(zhì)量w2；

s302：測(cè)量所述檢測(cè)裝置的質(zhì)量w3；

s303：通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

進(jìn)一步的，步驟s300中的所述校準(zhǔn)常數(shù)k的確定包括以下步驟：

s301’：調(diào)整線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)電壓，使線性馬達(dá)振子的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅等于振子不工作時(shí)與線性馬達(dá)邊沿之間的距離，記錄當(dāng)前的測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1；

s302’：根據(jù)所述當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅獲取預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓u0；

s303’：通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

一個(gè)實(shí)施例中，所述步驟s100中，所述檢測(cè)裝置包括檢測(cè)平臺(tái)以及加速度檢測(cè)單元；所述加速度檢測(cè)單元固定于所述檢測(cè)平臺(tái)上，且所述加速度檢測(cè)單元的測(cè)量方向與所述線性馬達(dá)的振動(dòng)方向共線。

為解決技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置，包括：

檢測(cè)平臺(tái)，用于放置待測(cè)的線性馬達(dá)；

加速度檢測(cè)單元，固定于所述檢測(cè)平臺(tái)上，用于檢測(cè)所述線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)工作時(shí)的加速度；

控制單元，與所述線性馬達(dá)和所述加速度檢測(cè)單元電連接，用于向所述線性馬達(dá)提供驅(qū)動(dòng)電壓，并將測(cè)得的所述線性馬達(dá)的加速度通過轉(zhuǎn)換公式獲得并輸出所述線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅；所述轉(zhuǎn)換公式為：

其中，a(0)為所述線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)工作初始時(shí)刻的加速度，y0為線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅值，wn為線性馬達(dá)的自由振蕩角頻率，ξ為阻尼系數(shù)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置還包括與所述控制單元電連接的校準(zhǔn)單元；所述校準(zhǔn)單元用于獲取校準(zhǔn)常數(shù)，并對(duì)所述控制單元輸出的所述穩(wěn)態(tài)位移振幅進(jìn)行校準(zhǔn)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述校準(zhǔn)單元包括計(jì)算模塊以及重量傳感器；所述重量傳感器測(cè)量所述線性馬達(dá)的振子的質(zhì)量w1、線性馬達(dá)的除振子外的質(zhì)量w2、以及所述檢測(cè)裝置的質(zhì)量w3，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送至所述計(jì)算模塊；

所述計(jì)算模塊根據(jù)所述測(cè)量結(jié)果通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述校準(zhǔn)單元包括計(jì)算模塊以及電壓傳感器；所述電壓傳感器用于在所述線性馬達(dá)的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅等于振子不工作時(shí)與線性馬達(dá)邊沿之間的距離時(shí)檢測(cè)當(dāng)前的測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1，并將所述測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1發(fā)送至所述計(jì)算模塊；

所述計(jì)算模塊用于根據(jù)所述線性馬達(dá)的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅獲取預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓u0，并根據(jù)公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)。

一個(gè)實(shí)施例中，所述線性馬達(dá)與所述檢測(cè)平臺(tái)剛性接觸，且所述加速度檢測(cè)單元的測(cè)量方向與所述線性馬達(dá)的振動(dòng)方向共線。

本發(fā)明的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置僅需要一套加速度檢測(cè)單元即可實(shí)現(xiàn)該線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)振動(dòng)時(shí)的位移振幅檢測(cè)，無需打開線性馬達(dá)的外殼即可實(shí)現(xiàn)測(cè)量，其測(cè)量精度高且測(cè)量裝置簡單可行。

附圖說明

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例中線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法流程圖；

圖2是本發(fā)明一實(shí)施例中的確定校準(zhǔn)常數(shù)的方法流程圖；

圖3是本發(fā)明另一實(shí)施例中的確定校準(zhǔn)常數(shù)的方法流程圖；

圖4是本發(fā)明一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅變化實(shí)驗(yàn)圖；

圖5是本發(fā)明一實(shí)施例中的加速度、穩(wěn)態(tài)位移振幅以及預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓隨時(shí)間變化的理論圖；

圖6是本發(fā)明一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7是本發(fā)明一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)框圖；

圖8是本發(fā)明一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；

圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；

圖10是本發(fā)明又一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)理解，附圖中所示各零部件是示意性而非限制性的，各特征未按比例畫出。

如圖1所述，本發(fā)明一實(shí)施例中提出了一種線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法；其中，本發(fā)明的所述線性馬達(dá)為可稱為線性電機(jī)、直線電機(jī)或直線馬達(dá)，包括振子和定子，所述定子可被驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生感應(yīng)磁場(chǎng)的結(jié)構(gòu)，所述振子與定子相互作用，產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)，振子根據(jù)定子驅(qū)動(dòng)信號(hào)的不同而產(chǎn)生不同形式的機(jī)械振動(dòng)。本發(fā)明的基本原理如下：

對(duì)于線性馬達(dá)來說，其電磁力可以看做是不變的，因此，振子在電磁力作用下的振蕩方程為：

式中，y(t)是振子振動(dòng)位移，x(t)是電磁力與振子彈性系數(shù)的比值。

在穩(wěn)態(tài)振蕩結(jié)束的地方，初始條件為

將式(2)中初始條件帶入式(1)，使用拉普拉斯變換方法對(duì)其求解，再進(jìn)行反拉普拉斯變化，可以得到位移的時(shí)域表示，再求兩次導(dǎo)數(shù)，可以得到加速度的時(shí)域方程表示為：

在穩(wěn)態(tài)振動(dòng)時(shí)，線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)波形和振動(dòng)的速度同相，控制驅(qū)動(dòng)波形在過零點(diǎn)釋放意味著馬達(dá)此時(shí)亦處于速度過零點(diǎn)或者接近于過零點(diǎn)，而由于速度是位移的一階微分，此時(shí)位移處于振幅峰值點(diǎn)，如圖4所示。在該圖4中，橫坐標(biāo)為時(shí)間變量，縱坐標(biāo)為位移振幅變量；其中，a所示坐標(biāo)位置為釋放點(diǎn)在電壓過零點(diǎn)時(shí)，振動(dòng)幅度到達(dá)最高點(diǎn)。

在0時(shí)刻，即初始時(shí)刻，加速度為：

其中，a(0)為線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)工作初始時(shí)刻的加速度，y0為線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅，wn為線性馬達(dá)的自由振蕩角頻率，ξ為阻尼系數(shù)。式(4)中除穩(wěn)態(tài)位移振幅y0外其余參數(shù)都是容易測(cè)量的，因此，根據(jù)式(4)變換可以得到穩(wěn)態(tài)位移振幅y0為：

由上述式(5)可知，通過測(cè)量線性馬達(dá)的加速度可間接獲得該振動(dòng)馬達(dá)的位移振幅。

進(jìn)一步參見圖1，本發(fā)明的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法具體包括以下步驟：

s100：將線性馬達(dá)放置于檢測(cè)裝置上，并使線性馬達(dá)處于穩(wěn)態(tài)工作狀態(tài)，檢測(cè)線性馬達(dá)的加速度。

s200：將測(cè)得的線性馬達(dá)的加速度通過轉(zhuǎn)換公式(即上面式(5))獲得并輸出線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅。

此外，本發(fā)明所提出的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法還包括對(duì)上述穩(wěn)態(tài)位移振幅進(jìn)行校準(zhǔn)的步驟：

s300：確定校準(zhǔn)常數(shù)k；

s400：通過公式y(tǒng)1＝k·y0對(duì)線性馬達(dá)的預(yù)測(cè)穩(wěn)態(tài)位移振幅進(jìn)行校準(zhǔn)，并輸出穩(wěn)態(tài)位移振幅的校準(zhǔn)值。

其中，y0為所述步驟s200中檢測(cè)到的線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅，y1為穩(wěn)態(tài)位移振幅的校準(zhǔn)值，k為校準(zhǔn)常數(shù)。

其中，步驟s300中的校準(zhǔn)常數(shù)k可通過兩種方法得到。圖2示出了借助重量比來獲得校準(zhǔn)常數(shù)k的流程步驟。該方法包括以下步驟：

s301：測(cè)量線性馬達(dá)的振子的質(zhì)量w1，以及除振子外的線性馬達(dá)其余部分的質(zhì)量w2；

s302：測(cè)量檢測(cè)裝置的質(zhì)量w3；

s303：通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

圖3示出了本發(fā)明借助驅(qū)動(dòng)電壓比值來獲取校準(zhǔn)常數(shù)k的方法。如圖3所示，該方法包括以下步驟：

s301’：調(diào)整線性馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)電壓，使線性馬達(dá)振子的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅等于振子不工作時(shí)與線性馬達(dá)邊沿之間的距離，記錄當(dāng)前的測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1；

s302’：根據(jù)當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅獲取預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓u0；

s303’：通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

其中，圖5示出了該加速度、穩(wěn)態(tài)位移振幅以及預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓隨時(shí)間變化的理論關(guān)系圖。如圖5所示，曲線l1表示理論驅(qū)動(dòng)電壓，其為正弦波，并在0相位釋放信號(hào)；曲線l2表示理論的加速度輸出曲線；曲線l3表示理論的穩(wěn)態(tài)位移振幅。因此，可分別從圖5中的加速度輸出曲線l2和穩(wěn)態(tài)位移振幅曲線l3中直接測(cè)量分別得到線性馬達(dá)的加速度和位移振幅的理論值。將該理論值與本發(fā)明通過圖1所示的檢測(cè)方法獲得的穩(wěn)態(tài)位移振幅的計(jì)算值進(jìn)行對(duì)比，可以看出本發(fā)明獲得的穩(wěn)態(tài)位移振幅的誤差小于5％。

圖6-7示出了本發(fā)明一實(shí)施例中的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置。如圖6-7所示，該線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)裝置大體上包括檢測(cè)平臺(tái)2、加速度檢測(cè)單元3、控制單元4以及校準(zhǔn)單元5。其中，該檢測(cè)平臺(tái)2具有檢測(cè)面21，待測(cè)的線性馬達(dá)1放置在檢測(cè)平臺(tái)2的檢測(cè)面21上。加速度檢測(cè)單元3固定在檢測(cè)平臺(tái)2上，用于檢測(cè)待測(cè)的線性馬達(dá)1在穩(wěn)態(tài)工作時(shí)的加速度。其中，在本實(shí)施例中，該加速度檢測(cè)單元3位于檢測(cè)平臺(tái)2的非檢測(cè)面上(即該加速度檢測(cè)單元3不放置在檢測(cè)面21上)?？刂茊卧?與線性馬達(dá)1以及加速度檢測(cè)單元3電連接，由此可一方面用于向線性馬達(dá)提供驅(qū)動(dòng)電壓，另一方面還對(duì)加速度檢測(cè)單元測(cè)得的振動(dòng)馬達(dá)的加速度通過轉(zhuǎn)換公式(上述式(5))來獲得該線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅，并輸出該穩(wěn)態(tài)位移振幅。而校準(zhǔn)單元5則與該控制單元4電連接，用于獲取校準(zhǔn)常數(shù)、對(duì)控制單元輸出的線性馬達(dá)的穩(wěn)態(tài)位移振幅進(jìn)行校準(zhǔn)，并輸出穩(wěn)態(tài)位移振幅的校準(zhǔn)值。其中，該加速度檢測(cè)單元3在本實(shí)施例中優(yōu)選為加速度計(jì)。

具體如圖7所示，該校準(zhǔn)單元6大體上包括計(jì)算模塊61以及傳感器模塊62。在本發(fā)明一實(shí)施例中，該傳感器模塊62可為重量傳感器。其中，該重量傳感器可測(cè)量該線性馬達(dá)的振子的質(zhì)量w1、除振子外的線性馬達(dá)其余部分的質(zhì)量w2、以及整個(gè)檢測(cè)裝置的質(zhì)量w3，并將測(cè)量結(jié)果發(fā)送至所述計(jì)算模塊61。而計(jì)算模塊61可根據(jù)上述的測(cè)量結(jié)果，通過公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，該傳感器模塊62為電壓傳感器。具體地，該電壓傳感器可在所述線性馬達(dá)的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅等于振子不工作時(shí)與線性馬達(dá)邊沿之間的距離時(shí)檢測(cè)當(dāng)前的測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1，并將測(cè)量驅(qū)動(dòng)電壓u1發(fā)送至計(jì)算模塊61。而計(jì)算模塊61則根據(jù)該線性馬達(dá)的當(dāng)前穩(wěn)態(tài)位移振幅獲取預(yù)測(cè)驅(qū)動(dòng)電壓uo，并根據(jù)公式計(jì)算獲得校準(zhǔn)常數(shù)k。

另外，為保證加速度測(cè)量的準(zhǔn)確度以及保證測(cè)量的加速度與線性馬達(dá)實(shí)際的加速度保持常系數(shù)關(guān)系，在本發(fā)明一實(shí)施例中還對(duì)該線性馬達(dá)與檢測(cè)裝置進(jìn)行限定。具體地，在本實(shí)施例中，該線性馬達(dá)優(yōu)選地與檢測(cè)平臺(tái)2剛性接觸，由此保證該加速度的測(cè)量精度。其中，該檢測(cè)平臺(tái)2可采用硬質(zhì)材料制成，如大理石板、硬質(zhì)玻璃等，以便實(shí)現(xiàn)與待檢測(cè)線性馬達(dá)之間的剛性接觸，實(shí)現(xiàn)將待測(cè)線性馬達(dá)的振動(dòng)有效傳遞到檢測(cè)平臺(tái)2的效果，提高檢測(cè)工裝檢測(cè)的準(zhǔn)確性。

當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，可以例如設(shè)置額外的夾緊機(jī)構(gòu)或者壓緊機(jī)構(gòu)，將線性馬達(dá)1固定在檢測(cè)平臺(tái)2上，并保持與該檢測(cè)平臺(tái)2的剛性接觸。圖8-9分別示出了保證該線性馬達(dá)1與檢測(cè)平臺(tái)2剛性接觸的兩個(gè)實(shí)施例。在圖8所示的實(shí)施例中可設(shè)置夾緊裝置11將線性馬達(dá)1夾緊在檢測(cè)平臺(tái)2上，以將該線性馬達(dá)1與檢測(cè)平臺(tái)2剛性接觸。其中，夾緊裝置11為各類機(jī)械連接的可起到緊固作用的夾持裝置，如連桿式夾持機(jī)構(gòu)或柔性夾持機(jī)構(gòu)等。而在圖9所示的實(shí)施例中，則可設(shè)置按壓裝置12從線性馬達(dá)1的重力方向?qū)⒕€性馬達(dá)1固定于檢測(cè)平臺(tái)2上。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，也可以采用其他手段來實(shí)現(xiàn)線性馬達(dá)1和檢測(cè)平臺(tái)2的剛性接觸。

另外，該加速度檢測(cè)單元3放置在該檢測(cè)平臺(tái)2沿垂直于線性馬達(dá)的振子的振動(dòng)方向設(shè)置的側(cè)面上，且該加速度檢測(cè)單元3的測(cè)量方向與線性馬達(dá)的振動(dòng)方向共線。在本實(shí)施例中，如圖6所示，該檢測(cè)平臺(tái)2大體上呈長方體狀；線性馬達(dá)1設(shè)置于該檢測(cè)平臺(tái)2上，且該線性馬達(dá)1的重心與檢測(cè)平臺(tái)2的重心共線。在本實(shí)施例中，線性馬達(dá)1沿水平方向振動(dòng)，其振動(dòng)方向如圖6中箭頭所示。在安裝時(shí)，該加速度檢測(cè)單元3可放置在檢測(cè)平臺(tái)沿垂直于振子的振動(dòng)方向的側(cè)面上，以使該加速度檢測(cè)單元3的測(cè)量方向與振子的振動(dòng)方向共線，從而提高加速度檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。

而在其他實(shí)施例中，該線性馬達(dá)1可沿重力方向振動(dòng)，如圖10所示。此時(shí)，該加速度檢測(cè)單元3放置在該檢測(cè)平臺(tái)2上垂直于重力方向且與檢測(cè)面相對(duì)設(shè)置的側(cè)面上，并且加速度檢測(cè)單元3的測(cè)量方向、線性馬達(dá)1的重心以及檢測(cè)平臺(tái)2的重心共線。

另外，為保證加速度測(cè)量的精確度，在測(cè)量過程中需保證整個(gè)檢測(cè)裝置不能發(fā)生旋轉(zhuǎn)。在本實(shí)施例中，加速度檢測(cè)單元3與檢測(cè)平臺(tái)2可通過機(jī)械方式連接，如采用螺釘結(jié)構(gòu)連接，或采用膠黏劑連接等。此外，加速度檢測(cè)單元3與檢測(cè)面呈180°放置，即加速度檢測(cè)單元3與檢測(cè)面不具有任何旋轉(zhuǎn)角度，保證加速度檢測(cè)單元3的測(cè)量方向與待測(cè)線性馬達(dá)1的振動(dòng)方向相同，從而保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性以及測(cè)量的加速度與線性馬達(dá)實(shí)際的加速度保持常系數(shù)關(guān)系。因此，采用本發(fā)明的位移振幅檢測(cè)方法可通過檢測(cè)工裝檢測(cè)臺(tái)振動(dòng)時(shí)的加速度來準(zhǔn)確檢測(cè)待測(cè)線性馬達(dá)工作時(shí)振子的加速度值。

進(jìn)一步如圖6所示，該檢測(cè)裝置還包括導(dǎo)線電極10，該導(dǎo)線電極10可分別與控制單元4和線性馬達(dá)1電連接，由此形成線性馬達(dá)工作的閉合驅(qū)動(dòng)回路。

本發(fā)明的線性馬達(dá)位移振幅檢測(cè)方法及檢測(cè)裝置僅需要一套加速度檢測(cè)單元即可實(shí)現(xiàn)該線性馬達(dá)穩(wěn)態(tài)振動(dòng)時(shí)的位移振幅檢測(cè)，無需打開線性馬達(dá)的外殼即可實(shí)現(xiàn)測(cè)量，其測(cè)量精度高且測(cè)量裝置簡單可行。

應(yīng)當(dāng)理解，以上借助優(yōu)選實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行的說明是示意性的而非限制性的。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上可以對(duì)各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。