本實用新型涉及晶圓測試領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓測試的通訊檢測裝置。

背景技術(shù)：

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，在晶圓上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC芯片。在晶圓制造完成之后，晶圓測試是一步非常重要的測試，晶圓測試是通過探針臺對晶片上的每個IC芯片進行測試，通過與芯片上的外觸點接觸，測試其電氣特性，看是否符合出廠標(biāo)準(zhǔn)。晶圓測試時一般通過專門的測試儀進行測試，而測試儀在設(shè)計時，只有一些較常用的測試項目打包進了測試儀，驗證芯片的邏輯功能都采用固定的測試模式來實現(xiàn)。

測試儀上均自帶TTL接口用于與探針臺進行通信，在實際生產(chǎn)測試中經(jīng)常會發(fā)現(xiàn)某些設(shè)備與探針臺不能夠?qū)崿F(xiàn)通信，產(chǎn)生這個問題的主要原因是TTL接口損壞導(dǎo)致。

而TTL接口故障一般都是與探針臺連接上以后才能夠發(fā)現(xiàn)問題，如果設(shè)備故障，則需要再調(diào)換設(shè)備，十分影響測試效率。且測試經(jīng)常會用到排線，在逐根去量測的話，不僅費時間，而且容易出錯。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種實現(xiàn)通訊檢測且提高測試效率的通訊檢測裝置。

為了實現(xiàn)本實用新型的目的，本實用新型提供一種用于晶圓測試的通訊檢測裝置，包括基板，基板上設(shè)置有處理模塊、TTL通訊模塊、線纜檢測模塊、LED顯示模塊和按鍵選擇模塊，處理模塊通過TTL通訊模塊可向測試儀輸出第一測試信號，處理模塊通過TTL通訊模塊可向探針臺輸出第二測試信號，線纜檢測模塊向TTL通訊模塊輸出線纜檢測信號，LED顯示模塊根據(jù)線纜檢測信號顯示，按鍵選擇模塊可向處理模塊輸出測試儀檢測信號或探針臺檢測信號。

更進一步的方案是，線纜檢測模塊包括分頻器、控制譯碼器和八個測試譯碼器，分頻器向控制譯碼器輸出控制信號，分頻器分別向測試譯碼器輸出測試信號，控制譯碼器分別向測試譯碼器輸出使能信號。

由上述方案可見，通過通訊檢測裝置分別與測試儀、探針臺連接進行通訊檢測，并利用通訊檢測裝置模擬探針臺輸出的第一測試信號，和模擬測試儀輸出的第二測試信號，并利用LED顯示模塊顯示，使得用戶能夠更換且高效地獲知通訊功能是否正常，且還單獨具備線纜檢測功能，利用分頻器和譯碼器控制繼而實現(xiàn)多通道檢測，并配合LED顯示能夠跟快速地獲知線纜問題，繼而排除設(shè)備通訊問題提高晶圓測試效率。

附圖說明

圖1是本實用新型通訊檢測裝置實施例的系統(tǒng)框圖。

圖2是本實用新型通訊檢測裝置實施例中線纜檢測模塊的電路原理圖。

圖3是本實用新型通訊檢測裝置實施例中LED顯示模塊的電路原理圖。

圖4是本實用新型通訊檢測方法實施例的流程圖。

圖5是本實用新型通訊檢測方法實施例中測試儀檢測步驟的流程圖。

圖6是本實用新型通訊檢測方法實施例中探針臺檢測步驟的流程圖。

以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。

具體實施方式

用于晶圓測試的通訊檢測裝置實施例：

參照圖1，圖1是通訊檢測裝置的系統(tǒng)框圖，通訊檢測裝置包括基板，在基板上設(shè)置有處理模塊11、電源模塊12、ISP下載模塊13、線纜檢測模塊14、TTL通訊模塊15、LED顯示模塊16和按鍵選擇模塊17，處理模塊11可采用AT89S52單片機，或采用其他型號單片機或具有計算處理能力的芯片，電源模塊12為通訊檢測裝置提供供電。ISP下載模塊13用于向處理模塊11下載數(shù)據(jù)。按鍵選擇模塊17包括多個按鍵，按鍵可以分別觸發(fā)并向處理模塊11輸出測試儀檢測信號或探針臺檢測信號。TTL通訊模塊15為TTL通訊接口，其用于與測試儀的PCIINF板的TTL接口連接，或者TTL通訊接口還用于與探針臺的TTL接口連接。

參照圖2，線纜檢測模塊14包括分頻器141、控制譯碼器142和八個測試譯碼器143，控制譯碼器142和八個測試譯碼器143均可采用74HC138，分頻器141采用分頻器74HC4060，搭上振蕩電路后，產(chǎn)生固定頻率的方波，方波的頻率可通過根據(jù)實際需求進行調(diào)整，將分頻器141的高三位接到控制譯碼器142并輸出控制信號，將分頻器141的低三位分別接到八個測試譯碼器143上并輸出測試信號，控制譯碼器142分別與測試譯碼器143連接向測試譯碼器143輸出使能信號，通過控制譯碼器142的控制，八個測試譯碼器143會依次被選通，通過此方法，可以實現(xiàn)64通道的檢測。

參照圖3，LED顯示模塊包括多個LED燈T1-T64和EOT燈、REJ燈，LED燈T1-T64的正極分別與測試譯碼器143對應(yīng)的輸出管腳連接，EOT燈和REJ燈的正極與處理模塊11的對應(yīng)的輸出管腳連接。

用于晶圓測試的通訊檢測裝置的測試方法實施例：

參照圖4，測試方法包括分別進行的線纜檢測步驟S11、測試儀檢測步驟S12和探針臺檢測步驟S13。進行線纜檢測步驟S11時，可以將TTL接口模塊分別與測試儀或探針臺連接，通過控制譯碼器142的控制，八個測試譯碼器143的輸出管腳會依次輸出檢測信號繼而被選通，如果排線連接正常，LED將會按順序依次閃爍，如果排線有斷路，短路等情況，會出現(xiàn)某些燈不亮，某些燈同時亮的情況，通過此方法，可以有效的檢測排線，通過制作轉(zhuǎn)換接頭，可以很方便的實現(xiàn)所有的電纜，通訊接口的檢測。

進行測試儀檢測步驟S12時，參照圖5，首先將通訊檢測裝置通過TTL通訊模塊與測試儀連接，并通過按鍵別觸發(fā)并向處理模塊11輸出測試儀檢測信號，繼而處理模塊11通過TTL通訊模塊15可向測試儀21輸出一系列的測試信號和接收相應(yīng)的反饋信號，具體地，執(zhí)行步驟S121，檢測裝置的處理模塊調(diào)用測試儀檢測程序，在檢測裝置上的COMP燈亮起，隨后執(zhí)行步驟S122，處理模塊11向測試儀21輸出多個開始信號，隨后執(zhí)行步驟S123，判斷測試儀是否向通訊檢測裝置回傳多個失效信號，如通訊檢測裝置接收到多個失效信號則會LED顯示模塊的bin1-8燈顯示，如果沒有接收失效信號則LED顯示模塊將對應(yīng)地?zé)舨贿M行顯示。然后在執(zhí)行步驟S124，如測試儀回傳多個失效信號后，測試儀在檢測完畢后將向通訊檢測裝置回傳失敗控制信號(ROT信號)和打點控制信號（REJ信號），LED顯示模塊的對應(yīng)的燈則會根據(jù)ROT信號和REJ信號進行閃爍顯示，最后執(zhí)行步驟S125，測試儀向通訊檢測裝置輸出EOW信號，通訊裝置接收EOW信號可再次向外輸出開始信號，繼續(xù)其他設(shè)備的測試，且測試儀根據(jù)失效信號、失敗控制信號和打點控制信號生成測試結(jié)果，并向外輸出或通過顯示屏進行顯示，用戶可根據(jù)測試結(jié)果判斷通訊功能是否正常。

通過通訊檢測裝置模擬探針臺，利用先向測試儀發(fā)送開始信號，在測試儀接收到該信號的時候，測試儀開始測試，隨后BIN1-8燈即上面的多個失效信號所顯示的燈會依次顯示，而EOT信號是測試結(jié)束后測試儀會反饋EOT信號給探針臺，REJ信號是測試儀測試結(jié)果為FAIL時會反饋打點控制信號給探針臺，探針臺繼而進行打點動作，故通訊檢測裝置接收EOT信號和REJ信號后也會進行相應(yīng)的顯示，以上的這些燈都是用來判斷這些信號是否存在。

進行探針臺檢測步驟S13時，參照圖6，首先將通訊檢測裝置通過TTL通訊模塊與探針臺連接，并通過按鍵別觸發(fā)并向處理模塊11輸出探針臺檢測信號，繼而處理模塊11通過TTL通訊模塊15可向探針臺22輸出一系列的測試信號和接收相應(yīng)的反饋信號，具體地，執(zhí)行步驟S131，檢測裝置的處理模塊調(diào)用探針臺檢測程序，在檢測裝置上的COMP燈亮起，隨后執(zhí)行步驟S132，處理模塊接收探針臺輸出的開始信號，隨后執(zhí)行步驟S133，判斷測試次數(shù)是否小于預(yù)置閾值，在本實施例中，閾值設(shè)置為160次，如測試次數(shù)小于預(yù)置閾值，則執(zhí)行步驟S134，處理模塊向探針臺輸出失敗控制信號（EOT信號）和打點控制信號（REJ信號），然后執(zhí)行步驟S135，進行累積測試次數(shù)加1，探針臺根據(jù)打點控制信號進行打點動作，探針臺根據(jù)失敗控制信號和打點控制信號生成測試結(jié)果并進行顯示，用戶可以根據(jù)測試結(jié)果判斷通訊功能是否正常。然后將返回步驟S132繼續(xù)測試，由于探針臺在接收到失敗控制信號后，才會再向通訊檢測裝置發(fā)送開始信號，并繼續(xù)進行探針臺測試，通過通訊檢測裝置模擬測試儀向探針臺輸出相應(yīng)的測試信號，使得用戶能夠迅速對通訊功能進行檢測。

由上可見，通過通訊檢測裝置分別與測試儀、探針臺連接進行通訊檢測，并利用通訊檢測裝置模擬探針臺輸出的第一測試信號，和模擬測試儀輸出的第二測試信號，并利用LED顯示模塊顯示，本案LED顯示模塊包括多種顯示LED，其均設(shè)置在基板上，能夠根據(jù)不同功能進行配置和顯示，使得用戶能夠更換且高效地獲知通訊功能是否正常，且還單獨具備線纜檢測功能，利用分頻器和譯碼器控制繼而實現(xiàn)多通道檢測，并配合LED顯示能夠跟快速地獲知線纜問題，繼而排除設(shè)備通訊問題提高晶圓測試效率。