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一種絕對壓力比敏感元件的制作方法

文檔序號:11485956閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種絕對壓力比敏感元件,其特征在于,包括上蓋[1]、小波紋管[2]、大波紋管[3]以及設(shè)置有進氣孔的底座[4],小波紋管[2]和大波紋管[3]嵌套,均與上蓋[1]和底座[4]密封焊接,上蓋[1]、小波紋管[2]、大波紋管[3]以及底座[4]之間形成真空腔[6],上蓋[1]、小波紋管[2]以及底座[4]之間形成內(nèi)腔[5],上蓋[1]的下端在大氣壓狀態(tài)下與底座[4]的上端接觸止動,外界壓力P1作用在大波紋管[3]上時,內(nèi)腔[5]的壓力P2作用在小波紋管[2]上,隨內(nèi)腔[5]壓力P2增大,上蓋[1]與底座[4]脫離止動并產(chǎn)生向上的位移,直至P2達到規(guī)定值,位移達到最大值,反之,內(nèi)腔[5]的壓力P2減小時,上蓋[1]逐漸向下位移,直至與底座[4]接觸止動。

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