本公開(kāi)涉及玻璃基板厚度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種玻璃基板厚度測(cè)量裝置。

背景技術(shù)：

在玻璃基板制程中，玻璃基板厚度測(cè)量為工藝調(diào)整提供依據(jù)，當(dāng)玻璃基板厚度超差時(shí)，工藝人員根據(jù)厚度測(cè)量?jī)x測(cè)得的數(shù)據(jù)做出相應(yīng)的調(diào)整將厚度調(diào)整到用戶允許范圍，滿足用戶的要求；現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)玻璃基板厚度的測(cè)量多采用垂直吊裝結(jié)合測(cè)厚傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)，但是由于不同品種的玻璃基板的板長(zhǎng)是不同的，無(wú)法實(shí)現(xiàn)使用一個(gè)測(cè)量裝置測(cè)量不同品種的玻璃基板的厚度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本公開(kāi)的目的是提供一種玻璃基板厚度測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置能夠解決玻璃基板在制程中生產(chǎn)不同板長(zhǎng)尺寸品種時(shí)測(cè)厚裝置無(wú)法匹配的技術(shù)問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本公開(kāi)提供一種玻璃基板厚度測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置包括：第一夾持部，用于將所述玻璃基板的上邊緣夾持在傳送機(jī)構(gòu)上；測(cè)量平臺(tái)，該測(cè)量平臺(tái)上設(shè)置有用于夾持所述玻璃基板的下邊緣的第二夾持部，以及用于檢測(cè)玻璃基板厚度的測(cè)厚傳感器；所述測(cè)量平臺(tái)包括底座和臺(tái)架，以及設(shè)置在所述臺(tái)架和底座之間的高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述臺(tái)架上設(shè)置有所述第二夾持部和所述測(cè)厚傳感器，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述臺(tái)架沿縱向接近或遠(yuǎn)離所述第一夾持部。

可選地，所述高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在所述臺(tái)架上的螺母、設(shè)置在所述底座上的絲杠，以及驅(qū)動(dòng)所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述絲杠沿縱向延伸。

可選地，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括水平延伸的轉(zhuǎn)軸和連接在該轉(zhuǎn)軸與所述絲杠之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)軸的外端設(shè)置有調(diào)節(jié)輪盤(pán)。

可選地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為減速箱，所述轉(zhuǎn)軸為所述減速箱的輸入軸，所述減速箱的輸出軸連接所述絲杠。

可選地，所述輸入軸上可轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在多個(gè)軸承座上，多個(gè)所述軸承座上安裝有鎖緊輪盤(pán)。

可選地，所述底座上設(shè)置有用于測(cè)量所述臺(tái)架當(dāng)前高度的測(cè)量尺。

可選地，所述測(cè)量尺為豎直布置的游標(biāo)尺，所述臺(tái)架上的設(shè)置有與所述游標(biāo)卡尺配合使用的指針。

可選地，所述底座上豎直設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)柱，所述臺(tái)架上對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)可滑動(dòng)地套設(shè)在該導(dǎo)柱上的滑套。

可選地，所述導(dǎo)柱的上端形成有用于限位所述滑套滑脫的限位凸臺(tái)。

可選地，所述導(dǎo)柱為四個(gè)并呈矩形布置，所述臺(tái)架形成為矩形框架，所述滑套為設(shè)置在所述矩形框架四角上的滑動(dòng)軸承。

通過(guò)上述技術(shù)方案，在高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，使得測(cè)量平臺(tái)上下移動(dòng)，以測(cè)量不同尺寸的玻璃基板的厚度，能夠解決玻璃基板在制程中不同品種無(wú)法匹配的技術(shù)問(wèn)題。

本公開(kāi)的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的具體實(shí)施方式部分予以詳細(xì)說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

附圖是用來(lái)提供對(duì)本公開(kāi)的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本公開(kāi)，但并不構(gòu)成對(duì)本公開(kāi)的限制。在附圖中：

圖1是根據(jù)本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施方式的玻璃基板厚度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1 底座 2 臺(tái)架

3 玻璃基板 4 第一夾持部

5 傳送機(jī)構(gòu) 6 測(cè)厚傳感器

7 減速箱 8 調(diào)節(jié)輪盤(pán)

9 軸承座 10 鎖緊輪盤(pán)

11 絲杠 12 測(cè)量尺

13 指針 14 導(dǎo)柱

15 滑套 16 限位凸臺(tái)

21 第二夾持部 22 螺母

71 轉(zhuǎn)軸

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本公開(kāi)的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式僅用于說(shuō)明和解釋本公開(kāi)，并不用于限制本公開(kāi)。

在本公開(kāi)中，在未作相反說(shuō)明的情況下，使用的方位詞如“上、下”通常是指正常使用狀態(tài)的上和下。

如圖1所示，本公開(kāi)提供一種玻璃基板厚度測(cè)量裝置，該測(cè)量裝置包括：第一夾持部4，用于將玻璃基板3的上邊緣夾持在傳送機(jī)構(gòu)5上，測(cè)量平臺(tái)，該測(cè)量平臺(tái)上設(shè)置有用于夾持玻璃基板3的下邊緣的第二夾持部21，通過(guò)第一夾持部4和第二夾持部21能夠使玻璃基板3保持垂直吊裝以保證玻璃基板厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性，并且，測(cè)量平臺(tái)上設(shè)置有用于檢測(cè)玻璃基板厚度的測(cè)厚傳感器6，本實(shí)用新型中測(cè)量平臺(tái)包括底座1和臺(tái)架2，測(cè)厚傳感器6可以設(shè)置在臺(tái)架2上并且可以為本領(lǐng)域內(nèi)任意公知的測(cè)厚傳感器。另外，臺(tái)架2和底座1之間設(shè)置有高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，這里，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)主要用于驅(qū)動(dòng)臺(tái)架2沿縱向接近或遠(yuǎn)離第一夾持部4。通過(guò)上述技術(shù)方案，在高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下，使得測(cè)量平臺(tái)中的臺(tái)架2沿縱向上下移動(dòng)，而由于第一夾持部4夾持玻璃基板3位置不動(dòng)，所以能夠滿足玻璃基板在制程中不同品種的不同高度帶來(lái)的無(wú)法匹配的技術(shù)問(wèn)題。

具體地，如圖1所示，高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)為絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，該絲杠螺母調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在臺(tái)架2上的螺母22、設(shè)置在底座1上的絲杠11，以及驅(qū)動(dòng)絲杠11轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，絲杠11沿縱向延伸。這樣，通過(guò)絲杠11相對(duì)于螺母22的轉(zhuǎn)動(dòng)，由于為螺紋配合因此能夠?qū)崿F(xiàn)臺(tái)架2相對(duì)于底座1的上下運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型中，為了節(jié)省材料，臺(tái)架2可以形成上表面封閉的方形框架，螺母22可以形成在方形框架的底架上，并且絲杠11的高度可以小于方形框架的高度，以保證臺(tái)架2沿著絲杠11上下運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中不會(huì)抵頂至方形框架的上表面。采用這種絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)設(shè)計(jì)的調(diào)節(jié)方式，具有磨損小、傳動(dòng)效率高、傳動(dòng)平穩(wěn)、壽命長(zhǎng)以及精度高等優(yōu)點(diǎn)。

進(jìn)一步地，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括水平延伸的轉(zhuǎn)軸71和連接在該轉(zhuǎn)軸71與絲杠11之間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)軸71的外端設(shè)置有調(diào)節(jié)輪盤(pán)8。通過(guò)設(shè)置傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使得轉(zhuǎn)軸相對(duì)于絲杠任意方向布置，而水平和延伸的轉(zhuǎn)軸71可以方便調(diào)節(jié)輪盤(pán)8的安裝和操作。其中，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的具體形式可以是為減速箱7，減速箱7包括輸入軸和輸出軸，轉(zhuǎn)軸71為減速箱的輸入軸，減速箱的輸出軸連接絲杠11。這樣，可以在減速箱7的作用下使調(diào)節(jié)輪盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線與絲杠11的轉(zhuǎn)動(dòng)軸線相互垂直，使得調(diào)節(jié)輪盤(pán)8在水平方向的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為絲杠11沿著豎直方向的運(yùn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)臺(tái)架2在豎直方向上的運(yùn)動(dòng)，這里，減速箱7可以選用變比為10:1、15:1、20:1等的減速箱，減速箱具有結(jié)構(gòu)緊湊，傳動(dòng)平穩(wěn)等優(yōu)點(diǎn)，可以保證本實(shí)用新型提供的玻璃基板厚度測(cè)量裝置測(cè)量過(guò)程的穩(wěn)定性。其他的變形方式中，也可以采用萬(wàn)向節(jié)、蝸輪蝸桿等傳動(dòng)方式，其原理與目的類(lèi)似以上描述，此處不再一一贅述。

如圖1所示，本實(shí)用提供的玻璃基板厚度測(cè)量裝置的底座1上還設(shè)置有多個(gè)軸承座9，輸入軸上可轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在多個(gè)軸承座9上，多個(gè)軸承座9上安裝有鎖緊輪盤(pán)10。具體地，軸承座9可以為間隔設(shè)置的兩個(gè)，這里，軸承座9一方面是為了支撐減速箱7的輸入軸，另一方面，由于絲杠螺母?jìng)鲃?dòng)不具備鎖緊功能，故可以在其中一個(gè)軸承座9安裝鎖緊輪盤(pán)10，鎖緊輪盤(pán)10和軸承座9之間可以是螺紋連接，這樣，當(dāng)臺(tái)架2達(dá)到預(yù)設(shè)高度值以后，通過(guò)旋轉(zhuǎn)鎖緊輪盤(pán)10頂緊減速箱的輸入軸使其固定，能夠保證測(cè)量裝置中臺(tái)架2不會(huì)出現(xiàn)滑動(dòng)等問(wèn)題。

另外，測(cè)量裝置的底座1上設(shè)置有用于測(cè)量臺(tái)架2當(dāng)前高度的測(cè)量尺12，具體可以是游標(biāo)尺，游標(biāo)尺豎直布置，臺(tái)架2上還設(shè)置有與游標(biāo)尺配合使用的指針13，可以根據(jù)指針13在游標(biāo)尺上的指示，來(lái)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤(pán)8以完成臺(tái)架豎直方向的運(yùn)動(dòng)，準(zhǔn)確地達(dá)到預(yù)設(shè)高度值。

如圖1所示，本實(shí)用提供的玻璃基板厚度測(cè)量裝置的底座1上豎直地設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)柱14，臺(tái)架2上對(duì)應(yīng)地設(shè)置有多個(gè)可滑動(dòng)地套設(shè)在該導(dǎo)柱14上的滑套15，導(dǎo)柱14的上端形成有用于限制滑套15滑脫的限位凸臺(tái)16，限位凸臺(tái)16可以為螺母，該螺母可以采用焊接的方式固定在導(dǎo)柱14的頂端，也可以采用螺紋連接的方式安裝于導(dǎo)柱14的頂端。另外，本實(shí)用新型中導(dǎo)柱14可以為四個(gè)并呈矩形布置，臺(tái)架2形成為矩形框架，滑套15為設(shè)置在矩形框架四角上的滑動(dòng)軸承，這里，滑動(dòng)軸承可以選用直線軸承，并且為了保證結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，直線軸承的設(shè)置為四個(gè)，且該四個(gè)直線軸承水平安裝以與導(dǎo)柱14相配合。絲杠11安裝于變速箱7的高度可以等于導(dǎo)柱14的高度，這里，根據(jù)玻璃基板尺寸的不同，導(dǎo)柱14的直徑范圍可以是30mm-100mm，長(zhǎng)度可以是800mm-1000mm，絲杠11直徑可以是40mm-100mm，長(zhǎng)度可以是800mm-1000mm。

具體測(cè)量過(guò)程可以參考如下步驟，玻璃基板3通過(guò)第一夾持部夾持，由傳送機(jī)構(gòu)將玻璃基板由上一工序直線傳動(dòng)到玻璃基板厚度測(cè)量裝置上方停止，通過(guò)測(cè)量平臺(tái)上的第二夾持部保證玻璃基板穩(wěn)定地垂直吊裝，測(cè)厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成厚度測(cè)量，第二夾持部松開(kāi)玻璃基板，玻璃基板在在傳送機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下直線運(yùn)動(dòng)到下一工序，這里，需要說(shuō)明的是，第二夾持部和導(dǎo)軌相互平行地設(shè)置在測(cè)量平臺(tái)上，以保證玻璃基板厚度測(cè)量的準(zhǔn)確性。玻璃基板厚度測(cè)量的過(guò)程中需要將A品種玻璃基板更換為B品種玻璃基板，假設(shè)A品種玻璃基板板長(zhǎng)為L(zhǎng)a，B品種玻璃基板板長(zhǎng)為L(zhǎng)b，這里，“板長(zhǎng)”指的是玻璃基板在豎直方向的玻璃基板的長(zhǎng)度，A品種玻璃基板與B品種玻璃基板之間的板長(zhǎng)差則為L(zhǎng)＝Lb-La，如果L>0，這時(shí)，可以依據(jù)指針在標(biāo)尺上的指示正向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤(pán)使臺(tái)架向下運(yùn)動(dòng)高度L，旋緊鎖緊輪盤(pán)，完成調(diào)整，測(cè)厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成A品種玻璃基板的厚度測(cè)量。如果L<0，這時(shí)，可以依據(jù)指針在標(biāo)尺上的指示反向旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)輪盤(pán)使臺(tái)架向上運(yùn)動(dòng)高度L，旋緊鎖緊輪盤(pán)，完成調(diào)整，測(cè)厚傳感器沿著導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)完成B品種玻璃基板的厚度測(cè)量。

以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本公開(kāi)的優(yōu)選實(shí)施方式，但是，本公開(kāi)并不限于上述實(shí)施方式中的具體細(xì)節(jié)，在本公開(kāi)的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對(duì)本公開(kāi)的技術(shù)方案進(jìn)行多種簡(jiǎn)單變型，這些簡(jiǎn)單變型均屬于本公開(kāi)的保護(hù)范圍。

另外需要說(shuō)明的是，在上述具體實(shí)施方式中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合。為了避免不必要的重復(fù)，本公開(kāi)對(duì)各種可能的組合方式不再另行說(shuō)明。

此外，本公開(kāi)的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合，只要其不違背本公開(kāi)的思想，其同樣應(yīng)當(dāng)視為本公開(kāi)所公開(kāi)的內(nèi)容。