技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種接觸式臺(tái)階儀探針檢測(cè)圖形樣塊，涉及臺(tái)階儀測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，包括探針性能檢查圖形和掃描位置檢查圖形，探針性能檢查圖形設(shè)計(jì)成W型和M型分布在樣塊左右兩個(gè)掃描區(qū)域，M型和W型臺(tái)階結(jié)構(gòu)線(xiàn)條分別與水平方向呈30°、60°、90°、120°、150°五個(gè)角度，能對(duì)探針針尖十個(gè)位置進(jìn)行性能檢查，判斷探針針尖是否有磨損或沾污；掃描位置檢查圖形設(shè)計(jì)為兩個(gè)等腰直角三角形，斜邊平行對(duì)向設(shè)置，并且每個(gè)等腰直角三角形的一個(gè)直角邊與水平方向平行，在掃描位置檢查圖形兩側(cè)分別有T字線(xiàn)，用來(lái)指示探針針尖掃描位置和方向，可以判斷樣塊放置是否水平以及探針掃描位置是否準(zhǔn)確；可以及時(shí)校準(zhǔn)探針，從而提高臺(tái)階儀的測(cè)量精度。

技術(shù)研發(fā)人員：李鎖印;馮亞南;韓志國(guó);趙琳;許曉青;吳愛(ài)華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
文檔號(hào)碼：201620620984
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.22
技術(shù)公布日：2017.01.11