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激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置的制作方法

文檔序號:11782222閱讀:來源:國知局
激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置的制作方法

技術特征:
1.激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,包括單模光纖激光器、準直鏡、可變光闌、分束鏡、縮束/擴束系統(tǒng)、反射鏡、CCD探測器和控制計算機;其特征在于:還包括取樣鏡、參考積分球功率計、測量積分球功率計、多通道二元光學元件;所述準直鏡、可變光闌、分束鏡、取樣鏡、縮束/擴束系統(tǒng)、反射鏡、多通道二元光學元件以及CCD探測器依次設置在單模光纖激光器的輸出光路上;所述參考積分球功率計設置在所述分束鏡的反射光路上;所述測量積分球功率計設置在所述反射鏡的反射光路上;所述控制計算機同時與參考積分球功率計、測量積分球功率計以及CCD探測器相聯(lián);所述單模光纖激光器的光纖端面置于準直鏡的焦點處,光纖芯徑小于2.44λf/d,其中λ為單模光纖激光器輸出激光的波長,f為所述準直鏡的焦距,d為所述準直鏡的出瞳尺寸;所述多通道二元光學元件位于所述縮束/擴束系統(tǒng)的出瞳位置,用于將縮束/擴束系統(tǒng)入瞳處的激光光束近場分割成一系列子孔徑區(qū)域。2.根據權利要求1所述的激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,其特征在于:所述縮束/擴束系統(tǒng)的波像差小于被測激光光束波前相位分布峰谷值的1/3。3.根據權利要求2所述的激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,其特征在于:所述多通道二元光學元件包括多個口徑為矩形的微結構元件,所述多個微結構元件在同一平面內任意組合排布,相鄰兩個微結構元件的焦距不同。4.根據權利要求3所述的激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,其特征在于:所述多通道二元光學元件由兩種焦距不同的微結構元件交替排布組成。5.根據權利要求3或4所述的激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,其特征在于:所述多通道二元光學元件為多通道計算全息片或者微透鏡陣列;多通道計算全息片的微結構元件為菲涅爾透鏡,微透鏡陣列的微結構元件為微透鏡。6.根據權利要求5所述的激光遠場焦斑高精度動態(tài)診斷裝置,其特征在于:所述縮束/擴束系統(tǒng)為開普勒結構,由物鏡和目鏡組成,并采用雙遠心光路。
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