本發(fā)明屬于光柵測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于檢測(cè)一組光柵之間的平行性或在光柵尺或者其它涉及到一對(duì)光柵平行性檢測(cè)的光柵平行性檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)：

在精密計(jì)量與位移控制領(lǐng)域，采用光柵作為基準(zhǔn)，因其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高等優(yōu)點(diǎn)，在國(guó)際上被公認(rèn)為是獲取高精度最實(shí)用、最經(jīng)濟(jì)、最可靠的技術(shù)措施。光柵尺測(cè)量機(jī)構(gòu)是實(shí)現(xiàn)這一途徑的代表性產(chǎn)品，被廣泛應(yīng)用于各種機(jī)床、機(jī)電設(shè)備、自動(dòng)化測(cè)量設(shè)備中。

光柵尺由標(biāo)尺光柵與指示光柵組成，其中標(biāo)尺光柵粘接在尺殼上，指示光柵粘接在讀數(shù)頭的指示光柵滑架上。指示光柵與標(biāo)尺光柵產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，利用產(chǎn)生的莫爾條紋計(jì)算產(chǎn)生的相對(duì)位移。在進(jìn)行光柵尺的結(jié)構(gòu)安裝時(shí)，要求指示光柵與標(biāo)尺光柵按一定距離平行放置，如果二者的夾角超過(guò)某個(gè)設(shè)計(jì)值，對(duì)產(chǎn)生的信號(hào)會(huì)有較大影響。一般在具體生產(chǎn)裝調(diào)環(huán)節(jié)，兩塊光柵的平行性是很難檢測(cè)的，特別是其中一塊或者兩塊光柵面積較小，且對(duì)平行性要求較高時(shí)。

現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)光柵平行性檢測(cè)因光柵尺寸、距離等參數(shù)的不同并沒(méi)有現(xiàn)成的裝置可用，一般為了檢測(cè)兩塊光柵的平行性，可采用墊片法，或者采用接觸式測(cè)量二者的距離，從而檢測(cè)平行性。其中存在的問(wèn)題是無(wú)論墊片法還是其它接觸式測(cè)量方法，無(wú)可避免的會(huì)接觸到光柵玻璃，會(huì)引起不必要的摩擦，甚至劃傷，另外當(dāng)兩塊光柵面積較小或者間距較小時(shí)，就不方便檢測(cè)了。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提出一種光柵平行性檢測(cè)裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的當(dāng)光柵面積較小、間距較小時(shí)現(xiàn)有技術(shù)不便檢測(cè)以及造成摩擦劃傷的問(wèn)題。通過(guò)非接觸式的測(cè)量方法，測(cè)量面積較小或者間距較小的兩塊光柵的平行性。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置包括平行光源、反射鏡組、透鏡組、鏡座、多路鏡筒和相機(jī)；所述透鏡組固定在鏡座上，透鏡組位于反射鏡組下方，多路鏡筒位于鏡座下方，相機(jī)位于多路鏡筒下方；

待檢測(cè)的光柵B為系統(tǒng)基準(zhǔn)，待檢測(cè)的光柵A置于光柵B的上方，平行光管位于光柵A和光柵B整體的下方，平行光源發(fā)出的光經(jīng)光柵A和光柵B反射后再經(jīng)反射鏡組反射，經(jīng)反射鏡組反射的光線分別經(jīng)透鏡組透射后經(jīng)多路鏡筒成像在相機(jī)上。

所述反射鏡組包括四塊反射鏡，四塊反射鏡將光柵A和光柵B反射的光分成四個(gè)區(qū)域反射到透鏡組上。

所述透鏡組包括四塊透鏡，四塊透鏡分別在四塊反射鏡的反射光光軸上，四塊反射鏡的反射光分別經(jīng)四塊透鏡透射。

所述多路鏡筒包括鏡筒本體、設(shè)置在鏡筒本體內(nèi)部將鏡筒本體圓周分割成四個(gè)區(qū)的十字分隔板以及每個(gè)區(qū)域內(nèi)軸向的分光孔；經(jīng)四塊透鏡透射的透射光分別經(jīng)四個(gè)分光孔入射到相機(jī)上并成像。

所述平行光源出射光線和光柵B的夾角為45°。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置通過(guò)平行光源作為初始光源，經(jīng)待檢測(cè)的光柵A和光柵B反射的光線經(jīng)反射鏡組和透鏡組形成四路光線，把經(jīng)光柵A和光柵B反射下來(lái)的光分成四個(gè)區(qū)域，并在相機(jī)上成像，實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵A和光柵B平行性的檢測(cè)；本發(fā)明中的多路鏡筒采用十字分隔板進(jìn)行分割，對(duì)四路光線進(jìn)行物理隔絕，防止相互干擾，提高了成像的對(duì)比度，有效的解決了光柵尺裝調(diào)環(huán)境中一對(duì)光柵平行性檢測(cè)的問(wèn)題，尤其解決了尺寸較小的一對(duì)光柵的平行性檢測(cè)問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)主視圖；

圖3為本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置的反射鏡組和透鏡組位置圖；

圖4為本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置中的多路鏡筒結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置中的多路鏡筒內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1、平行光源，2、光柵B，3、光柵A，4、反射鏡組，401、反射鏡，5、透鏡組，501、透鏡，6、鏡座，7、多路鏡筒，701、鏡筒本體，702、十字分隔板，703、分光孔，8、相機(jī)。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式作進(jìn)一步說(shuō)明。

參見(jiàn)附圖1和附圖2，本發(fā)明的一種光柵平行性檢測(cè)裝置包括平行光源1、反射鏡組4、透鏡組5、鏡座6、多路鏡筒7和相機(jī)8；所述透鏡組5固定在鏡座6上，透鏡組5位于反射鏡組4下方，多路鏡筒7位于鏡座6下方，相機(jī)8位于多路鏡筒7下方；

待檢測(cè)的光柵B2為系統(tǒng)基準(zhǔn)，待檢測(cè)的光柵A3置于光柵B2的上方，平行光管位于光柵A3和光柵B2整體的下方，平行光源1發(fā)出的光經(jīng)光柵A3和光柵B2反射后再經(jīng)反射鏡組4反射，經(jīng)反射鏡組4反射的光線分別經(jīng)透鏡組5透射后經(jīng)多路鏡筒7成像在相機(jī)8上。

參見(jiàn)附圖3，所述反射鏡組4包括四塊反射鏡401，四塊反射鏡401將光柵A3和光柵B2反射的光分成四個(gè)區(qū)域反射到透鏡組5上。

所述透鏡組5包括四塊透鏡501，四塊透鏡501分別在四塊反射鏡401的反射光光軸上，四塊反射鏡401的反射光分別經(jīng)四塊透鏡501透射。

參見(jiàn)附圖4和附圖5，所述多路鏡筒7包括鏡筒本體701、設(shè)置在鏡筒本體701內(nèi)部將鏡筒本體701圓周分割成四個(gè)區(qū)的十字分隔板702以及每個(gè)區(qū)域內(nèi)軸向的分光孔703；經(jīng)四塊透鏡501透射的透射光分別經(jīng)四個(gè)分光孔703入射到相機(jī)8上并成像，通過(guò)十字分隔板702對(duì)四路光線進(jìn)行物理隔絕，防止相互干擾，提高了成像的對(duì)比度。

所述平行光源1出射光線和光柵B2的夾角為45°。