1.基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，包括如下步驟：初始化數(shù)據(jù)步驟、諧振頻率自動搜索流程步驟、跟蹤測頻流程步驟、慣性導(dǎo)航流程步驟；
101）初始化數(shù)據(jù)設(shè)置和檢測步驟：對異常監(jiān)控、統(tǒng)計控制、測頻策略和研磨程序的參數(shù)進行初始化設(shè)置，并對研磨機控制模塊進行自檢，確保設(shè)備控制正常；
102）諧振頻率自動搜索流程步驟：步驟101）設(shè)置后，通過諧振頻率自動搜索、自動搜索頻率切換參數(shù)設(shè)置和自動搜索完成數(shù)據(jù)處理，來實行自動搜索；
103）跟蹤測試流程步驟：通過步驟102）自動搜索成功后，進入跟蹤測試，其包括進行參數(shù)初始化，掃頻參數(shù)設(shè)置、進行DDS掃頻，掃頻數(shù)據(jù)的處理，數(shù)據(jù)的進一步分析處理和對參數(shù)的重新設(shè)置；
104）慣性導(dǎo)航流程步驟：在步驟103）處理異常數(shù)據(jù)時啟動慣性導(dǎo)航，首先根據(jù)石英晶片當前研磨速率得到DDS掃頻的起始頻率和截止頻率，然后根據(jù)得到的DDS掃頻的起始頻率和截止頻率分別更新峰值約束、搜索寬度、掃頻幅度、掃頻步進參數(shù)，所述掃頻起始頻率為當前掃頻頻率值加上諧振頻率速率與指定圈數(shù)的乘積值，用于模擬參數(shù)彌補部分數(shù)據(jù)的缺失；參數(shù)更新完成后將DDS的掃頻參數(shù)寫入DDS，返回步驟103）中的DDS掃頻。
2.根據(jù)權(quán)利要求 1 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述步驟101）中的參數(shù)包括異常監(jiān)控參數(shù)、統(tǒng)計控制參數(shù)、測頻策略參數(shù)、研磨程序參數(shù)，用于在線測頻過程中的各種異常控制和統(tǒng)計控制。
3. 根據(jù)權(quán)利要求 1 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述步驟102）諧振頻率自動搜索流程中諧振頻率自動搜索包括數(shù)據(jù)初始化，測頻和掃頻參數(shù)設(shè)置，在自動搜索中DDS數(shù)據(jù)采集未完成，則繼續(xù)進行自動搜索諧振頻率，進行DDS數(shù)據(jù)采集，如果采集完成，則進行頻率切換時間是否到達的判斷，如果到達，且當前搜索頻段的起始頻率已經(jīng)小于石英晶片設(shè)置的研磨起始頻率，則進入自動搜索完成數(shù)據(jù)處理流程，否則進行自動搜索頻率切換參數(shù)設(shè)置流程，對參數(shù)進行重新設(shè)置，繼續(xù)數(shù)據(jù)采集，如果未到達，則繼續(xù)進行數(shù)據(jù)采集。
4. 根據(jù)權(quán)利要求 1 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述步驟103）、步驟104）中DDS掃頻方式為從起始頻率掃頻到截止頻率，再從截止頻率掃頻到起始頻率，這樣周而復(fù)始。
5. 根據(jù)權(quán)利要求 1 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述步驟103）中掃頻數(shù)據(jù)的處理包括對緊急暫停的操作，接著對DDS掃頻數(shù)據(jù)采集是否完成的判斷，并根據(jù)跟蹤測頻諧振頻率搜索方法來獲得是否搜索成功的判斷，如果以上判斷為無緊急暫停的操作、DDS掃頻數(shù)據(jù)采集完成，但搜索成功判斷為不成功，則進入數(shù)據(jù)的進一步分析處理，若無緊急暫停的操作、DDS掃頻數(shù)據(jù)采集完成，搜索成功判斷為成功，則對峰峰值是否大于約束值進行判斷，判斷為否，則進入數(shù)據(jù)的進一步分析處理，判斷為是，則由諧振頻率值判斷是不是在頻寬約束范圍內(nèi)，如果判斷為不是，則進入數(shù)據(jù)的進一步分析處理，如果判斷為是，則將諧振頻率存入數(shù)組，判斷是否收到圈數(shù)信息，如果收到圈數(shù)信息，則計算散差并判斷圈數(shù)是否大于速率統(tǒng)計約束值，如果未收到圈數(shù)信息，則直接判斷圈數(shù)是否大于速率統(tǒng)計約束值，如果是則通過最小二乘法獲取速率再計算頻率平均值，如果不大于速率統(tǒng)計約束值，則跳過獲取速率，直接計算頻率平均值，并轉(zhuǎn)向數(shù)據(jù)的進一步分析處理。
6. 根據(jù)權(quán)利要求 5 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)的進一步分析處理包括對獲取的數(shù)據(jù)與設(shè)置的監(jiān)控參數(shù)進行比對，其包括對頻率散差、研磨速率和研磨圈數(shù)的判斷，并與目標頻率進行比對，其中在指定圈數(shù)內(nèi)測到的諧振次數(shù)小于設(shè)定的次數(shù)，提示“測頻異?！?，并進入慣性導(dǎo)航流程。
7. 根據(jù)權(quán)利要求 6 所述基于慣性導(dǎo)航機制的石英晶片在線研磨的測控方法，其特征在于，所述參數(shù)的修正包括掃頻參數(shù)的修改和在線測頻實時數(shù)據(jù)發(fā)送時間，如果修改掃頻參數(shù)設(shè)置則包括掃頻起始頻率、掃頻截至頻率、掃頻幅度、掃頻步進、掃頻速度；搜索寬度、峰值約束和頻寬約束，這些參數(shù)為測頻參數(shù)，用于搜索諧振頻率，如果不修改掃頻參數(shù)設(shè)置則判斷在線測頻實時數(shù)據(jù)發(fā)送時間，如果到達指定時間則獲取諧振頻率平均值，并發(fā)送諧振頻率平均值、散差、研磨速率，如果未到達指定時間則回到跟蹤測試流程的數(shù)據(jù)采集的處理。