本技術(shù)屬于藍(lán)寶石晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種藍(lán)寶石晶棒晶軸檢測(cè)定位裝置。

背景技術(shù)：

人造藍(lán)寶石晶體在結(jié)晶加工形成晶棒后，晶棒的幾何形狀的軸向與組成晶棒的晶體的軸向會(huì)略有偏差，這個(gè)偏差會(huì)導(dǎo)致后續(xù)加工出來(lái)的晶片晶軸方向不正，當(dāng)平行光線穿過(guò)晶片時(shí)，晶軸不正會(huì)導(dǎo)致光的散射量增大，導(dǎo)致晶片的質(zhì)量下降。對(duì)于剛成形的晶棒，為配套后續(xù)加工工序，首先要進(jìn)行粗加工，將晶棒的側(cè)面打磨成圓柱面，將晶棒的兩端切出與圓柱面垂直的端面；經(jīng)過(guò)粗磨加工的晶棒，為糾正晶棒圓柱的幾何軸向與晶軸方向的偏差，確保后續(xù)的晶棒切片加工中晶棒的晶軸方向與切出的晶片表面垂直，要對(duì)晶棒圓柱面進(jìn)行精細(xì)地打磨，校正晶棒的圓柱形幾何軸向，使圓柱形晶棒的幾何軸線與晶棒的晶軸方向一致。

在進(jìn)行晶棒圓柱面的精磨校正時(shí)，要將晶棒固定在可調(diào)節(jié)其圓柱形幾何軸線位置的裝置中，用光線照射晶棒的端面，用反射光接收裝置接收端面的反射光，在接收數(shù)據(jù)的同時(shí)，調(diào)節(jié)圓柱形晶棒軸線的空間位置，通過(guò)觀測(cè)接收到的數(shù)據(jù)變化，確定晶棒的晶體軸向，使晶體軸向與固定裝置的軸線一致，之后固定晶棒在位置調(diào)節(jié)裝置上的定位不動(dòng)，將位置調(diào)整裝置拿到晶棒的粘接架上，將晶棒的一端端面粘接在固定座上，在粘接架上保持晶棒的晶軸方向與固定座的端面垂直；粘接完成后，將固定座安裝到晶棒的柱面精磨機(jī)上，沿晶棒的晶軸方向?qū)χ孢M(jìn)行精磨校正，使圓柱形晶棒的幾何軸線與晶棒的晶體軸向重合。

精磨校正后即可對(duì)晶棒進(jìn)行后續(xù)的切片加工，沿圓柱形晶棒的幾何軸線的垂直方向切出晶片，得到的晶片的表面即與其晶軸方向垂直。

現(xiàn)有技術(shù)中，本公司申請(qǐng)的專利《晶棒軸線定位裝置》，專利申請(qǐng)?zhí)?01420299150.2，公開(kāi)了一種晶棒軸線定位裝置，該裝置由底座和安裝在底座上的活動(dòng)座兩部分組成，活動(dòng)座底面中部的左右兩側(cè)用轉(zhuǎn)軸螺釘活動(dòng)固定在底座上，活動(dòng)座底面中部的前后兩端安裝有晶棒的傾斜調(diào)節(jié)螺釘，活動(dòng)座的上部設(shè)計(jì)有晶棒的弧形固定槽，弧形固定槽的內(nèi)側(cè)面的兩端軸線方向上，對(duì)稱安裝有晶棒的擺動(dòng)調(diào)節(jié)條，固定螺釘上套裝有張緊彈簧，其前端穿過(guò)活動(dòng)座的上邊固定在調(diào)節(jié)條的內(nèi)側(cè)，擺動(dòng)調(diào)節(jié)螺釘前端穿過(guò)活動(dòng)座的上邊頂在調(diào)節(jié)條的內(nèi)側(cè)前后兩端。使用時(shí)，將經(jīng)過(guò)粗加工的晶棒固定在該裝置的弧形固定槽上，將該裝置放在晶軸檢測(cè)裝置下，在晶棒端面一側(cè)照射入射光，在另一側(cè)接收反射光，通過(guò)觀察反射光的數(shù)據(jù)，調(diào)節(jié)傾斜調(diào)節(jié)螺釘和擺動(dòng)調(diào)節(jié)螺釘，使晶棒的晶軸方向與底座的軸線方向重合，之后固定晶棒位置，將底座裝到晶棒粘接架上，在晶棒的一端端面固定粘接固定座，使晶軸方向與固定座的端面垂直。

使用上述晶棒軸線定位裝置，操作人員進(jìn)行定位調(diào)節(jié)時(shí)需要單手使用內(nèi)六角工具，不斷調(diào)節(jié)多個(gè)不同的螺釘，調(diào)節(jié)點(diǎn)較多、晶棒定位固定困難；由于只能用傾斜調(diào)節(jié)螺釘和擺動(dòng)調(diào)節(jié)螺釘在兩個(gè)相互垂直的固定方向調(diào)節(jié)晶棒位置，在調(diào)節(jié)過(guò)程中晶棒不能進(jìn)行多角度的轉(zhuǎn)動(dòng)檢測(cè)，調(diào)節(jié)后晶軸方向與底座軸向很容易出現(xiàn)微小的偏差，這個(gè)偏差會(huì)影響晶棒定位的準(zhǔn)確性，影響晶片的切片質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種藍(lán)寶石晶棒晶軸檢測(cè)定位裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中，晶棒的晶軸方向在現(xiàn)有的檢測(cè)定位裝置中檢測(cè)定位時(shí)，存在調(diào)節(jié)點(diǎn)較多、定位固定困難、晶軸定位不準(zhǔn)的問(wèn)題。

實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是：一種藍(lán)寶石晶棒晶軸檢測(cè)定位裝置，該裝置由移動(dòng)基座、晶軸定位裝置和晶軸檢測(cè)裝置組成，該裝置的工作臺(tái)上方安裝有支架，晶軸檢測(cè)裝置安裝在支架上，移動(dòng)基座安裝在工作臺(tái)上，晶軸定位裝置安裝在移動(dòng)基座上，移動(dòng)基座的縱移導(dǎo)軌安裝在工作臺(tái)面上，在縱移導(dǎo)軌上安裝有縱移臺(tái)，在縱移臺(tái)側(cè)面安裝有縱向絲桿，縱向絲桿一端安裝有搖柄，縱向絲桿上安裝有移動(dòng)螺母，移動(dòng)螺母用固定連桿安裝在縱移臺(tái)上，縱移臺(tái)上方安裝有圓形的支撐臺(tái)，支撐臺(tái)頂端的圓形導(dǎo)軌上安裝旋轉(zhuǎn)臺(tái)，圓形導(dǎo)軌內(nèi)安裝有磙珠，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的側(cè)面安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)把手；晶軸定位裝置的圓形支架的底面固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，在圓形支架上口內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計(jì)在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動(dòng)套，縱向擺動(dòng)套內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計(jì)在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動(dòng)筒；晶棒安裝在兩塊弧形夾塊中，兩塊弧形夾塊的側(cè)邊用螺釘連接，弧形夾塊的上折邊用螺釘固定在橫向擺動(dòng)筒上口，圓形支架下段四個(gè)相互垂直的方向上安裝有四顆調(diào)節(jié)螺釘，調(diào)節(jié)螺釘?shù)募舛隧斣跈M向擺動(dòng)筒下部；晶軸檢測(cè)裝置的升降架安裝在支架的滑道上，支架上方安裝有電機(jī)，電機(jī)的轉(zhuǎn)軸與豎向絲桿連接，升降架上的固定螺母套裝在豎向絲桿上，晶軸檢測(cè)裝置的紅外線發(fā)射器和紅外線接收器安裝在升降架下部?jī)蓚?cè)，數(shù)據(jù)顯示器與紅外線接收器連接，升降架下方中部安裝有紅外線入射點(diǎn)指示針，紅外線發(fā)射器的光線入射點(diǎn)，射在紅外線入射點(diǎn)指示針的下方晶棒端面中心。

采用本發(fā)明的技術(shù)方案，首先將晶棒固定在兩塊弧形夾塊中，再把夾塊安裝在晶軸定位裝置的圓形支架的橫向擺動(dòng)筒中，把圓形支架安裝到位置移動(dòng)基座的旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，轉(zhuǎn)動(dòng)縱向絲桿搖柄，使晶棒的中心移動(dòng)到晶軸檢測(cè)裝置的升降架上的紅外線入射點(diǎn)指示針正下方，此時(shí)操作紅外線發(fā)射器，發(fā)射紅外線照射在晶棒端面中心，紅外光線經(jīng)過(guò)晶棒端面反射后進(jìn)入紅外線接收器，紅外線接收器得到檢測(cè)信號(hào)并通過(guò)數(shù)據(jù)顯示器顯出，操作人員通過(guò)觀察信號(hào)數(shù)值，來(lái)判斷調(diào)整晶棒的晶軸方向。

在檢測(cè)調(diào)整過(guò)程中，操作人員用雙手同時(shí)調(diào)節(jié)頂在橫向擺動(dòng)筒下部的調(diào)節(jié)螺釘，快速校正晶棒的晶軸方向。在調(diào)節(jié)過(guò)程中，操作人員用轉(zhuǎn)動(dòng)把手轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，快速實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒各個(gè)不同轉(zhuǎn)動(dòng)角度上晶軸方向的觀測(cè)和調(diào)節(jié)，使晶軸與圓形支架的軸線形成一致。

晶棒在圓形支架上完成調(diào)節(jié)和定位后，與圓形支架一起安裝到晶棒的固定座粘接架上，粘接出來(lái)的晶棒的晶軸與固定座的表面垂直，確保后續(xù)加工出來(lái)的晶片的質(zhì)量。

使用本發(fā)明時(shí)，由于在圓形支架上口，用兩顆在一條直線上的橫向螺釘安裝縱向擺動(dòng)套，在縱向擺動(dòng)套內(nèi)，用兩顆在一條直線上的縱向螺釘安裝橫向擺動(dòng)筒，在圓形支架下段四個(gè)方向用相互垂直的調(diào)節(jié)螺釘頂在橫向擺動(dòng)筒下部，調(diào)節(jié)任意一對(duì)在一條直線上的調(diào)節(jié)螺釘，縱向擺動(dòng)套或橫向擺動(dòng)筒會(huì)在各自的固定方向上輕松擺動(dòng)，調(diào)節(jié)定位工作快速、輕巧、準(zhǔn)確。由于將晶軸檢測(cè)裝置設(shè)計(jì)安裝在升降架上，本發(fā)明可適應(yīng)不同規(guī)格的晶棒的檢測(cè)定位需要，通過(guò)升降晶軸檢測(cè)裝置，可以更好的控制光線的入射角度和反射角度，使檢測(cè)效果達(dá)到最佳。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明中晶軸定位裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例，如圖1和圖2所示：一種藍(lán)寶石晶棒晶軸檢測(cè)定位裝置，該裝置由移動(dòng)基座、晶軸定位裝置和晶軸檢測(cè)裝置組成，該裝置的工作臺(tái)1上方安裝有支架6，晶軸檢測(cè)裝置安裝在支架6上，移動(dòng)基座安裝在工作臺(tái)1上，晶軸定位裝置安裝在移動(dòng)基座上，移動(dòng)基座的縱移導(dǎo)軌29安裝在工作臺(tái)1面上，在縱移導(dǎo)軌29上安裝有縱移臺(tái)28，在縱移臺(tái)28側(cè)面安裝有縱向絲桿5，縱向絲桿5一端安裝有搖柄4，縱向絲桿5上安裝有移動(dòng)螺母3，移動(dòng)螺母3用固定連桿2安裝在縱移臺(tái)28上，縱移臺(tái)28上方安裝有圓形的支撐臺(tái)27，支撐臺(tái)27頂端的圓形導(dǎo)軌上安裝旋轉(zhuǎn)臺(tái)25，圓形導(dǎo)軌內(nèi)安裝有磙珠26，旋轉(zhuǎn)臺(tái)25的側(cè)面安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)把手8；晶軸定位裝置的圓形支架24的底面固定在旋轉(zhuǎn)臺(tái)25上，在圓形支架24上口內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計(jì)在一條直線上的橫向螺釘20安裝縱向擺動(dòng)套21，縱向擺動(dòng)套21內(nèi)側(cè)，用兩顆設(shè)計(jì)在一條直線上的縱向螺釘19安裝橫向擺動(dòng)筒23；晶棒9安裝在兩塊弧形夾塊22中，兩塊弧形夾塊22的側(cè)邊用螺釘連接，弧形夾塊的上折邊用螺釘固定在橫向擺動(dòng)筒23上口，圓形支架24下段四個(gè)相互垂直的方向上安裝有四顆調(diào)節(jié)螺釘7，調(diào)節(jié)螺釘7的尖端頂在橫向擺動(dòng)筒23下部；晶軸檢測(cè)裝置的升降架11安裝在支架6的滑道13上，支架6上方安裝有電機(jī)16，電機(jī)16的轉(zhuǎn)軸與豎向絲桿15連接，升降架11上的固定螺母14套裝在豎向絲桿15上，晶軸檢測(cè)裝置的紅外線發(fā)射器18和紅外線接收器12安裝在升降架11下部?jī)蓚?cè)，數(shù)據(jù)顯示器10與紅外線接收器12連接，升降架11下方中部安裝有紅外線入射點(diǎn)指示針17，紅外線發(fā)射器18的光線入射點(diǎn)，射在紅外線入射點(diǎn)指示針17的下方晶棒端面中心。