1.一種基于聲學(xué)掃描的閃存塑封器件缺陷判定方法，其特征在于：該方法具體步驟如下：
步驟一：逐層C掃描；逐層C掃描是為了檢查塑封體部分是否存在裂紋及空洞缺陷，因?yàn)榻缑娣謱又怀霈F(xiàn)在器件內(nèi)部不同部分的交界處，所以塑封體內(nèi)部不可能出現(xiàn)界面分層；
步驟二：判斷每一層的C掃描圖像是否存在明亮區(qū)域；這一步驟主要是為了檢測閃存器件的塑封體內(nèi)的空洞缺陷；由于空氣的聲阻為零，所以當(dāng)聲波遇到空氣界面會(huì)全反射，反映在聲學(xué)圖像上即為明亮區(qū)域；若在某一層的C掃描圖像上出現(xiàn)明亮區(qū)域，應(yīng)用A掃描模式對(duì)明亮區(qū)域進(jìn)行掃描，若明亮區(qū)域比黑暗區(qū)域多一個(gè)波形，則該明亮區(qū)域?yàn)榭斩慈毕?；且一般空洞缺陷?huì)損失掉大部分的聲波能量，A掃描波形對(duì)空洞深度位置后的回波能量較??；
步驟三：判斷每一層的C掃描圖像是否存在黑色線段；這一步驟主要是為了檢測閃存器件的塑封體內(nèi)的裂紋缺陷；由于聲波會(huì)在裂紋內(nèi)多次反射，所以裂紋部分的反射波的能量較弱，在C掃描圖像上就反應(yīng)為黑色的線段；裂紋缺陷是指器件內(nèi)部出現(xiàn)細(xì)小的裂縫，而這些細(xì)小的裂縫并不能改變裂縫兩側(cè)的結(jié)構(gòu)，所以在發(fā)現(xiàn)黑色線段之后應(yīng)進(jìn)行A掃描，觀察黑線兩側(cè)的波形，若兩側(cè)波形一致，則為裂紋缺陷；
步驟四：換能器聚焦在引線框架上進(jìn)行C掃描；當(dāng)換能器聚焦在引線框架上時(shí)，由于換能器存在景深，器件本身的厚度小，就能清晰的觀察到GJB4027A中規(guī)定的三個(gè)頂視圖界面的情況；
步驟五：判斷C掃描圖像中是否存在明亮區(qū)域；這一步驟是為了檢測閃存塑封器件內(nèi)部結(jié)構(gòu)的界面分層；由于空氣的聲阻為0，所以聲波在傳播到空氣界面時(shí)幾乎為全反射，不存在折射；所以在C掃描檢查空洞及界面分層時(shí)，存在空氣的區(qū)域較為明亮；用A掃描模式掃描明亮區(qū)域和對(duì)應(yīng)的正常位置，若波形出現(xiàn)反向，則該明亮區(qū)域?yàn)榻缑娣謱尤毕荩蝗裘髁羺^(qū)域?yàn)槌霈F(xiàn)反向未出現(xiàn)波形反相，則該位置并未出現(xiàn)界面分層缺陷，如果明亮區(qū)域的A掃描圖像比正常位置的圖像多一個(gè)波形，則該明亮區(qū)域位置為空洞缺陷；
步驟六：判斷C掃描圖像中是否存在黑色海岸線；這一步驟主要是判斷界面分層缺陷和裂紋缺陷；裂紋缺陷是指器件內(nèi)部出現(xiàn)細(xì)小的裂縫，而這些細(xì)小的裂縫并不能改變裂縫兩側(cè)的結(jié)構(gòu)，所以用A掃描觀察裂紋兩側(cè)的波形一致；界面分層與裂紋不同，C掃描圖像中的黑線為界面分層的邊界線，由于界面產(chǎn)生分層，分層的中間有可能是空氣也有可能是其他雜質(zhì)，所以邊界線兩側(cè)的結(jié)構(gòu)不同，用A掃描黑線兩側(cè)波形，兩側(cè)的波形一般會(huì)出現(xiàn)反相；
步驟七：翻轉(zhuǎn)器件，使器件底部朝上，重復(fù)步驟四至步驟六；由于換能器存在景深，器件本身的厚度小，對(duì)焦在引線框架上就能觀察到GJB4027A中規(guī)定的兩個(gè)底視圖的界面；之后重復(fù)步驟五和步驟六判定器件的引線引出端焊板與模塑化合物的界面和引線架與模塑化合物的界面是否存在缺陷；
通過以上步驟，就能利用聲學(xué)掃描顯微鏡檢測出閃存塑封器件塑封體中的空洞和裂紋缺陷以及重要界面處的裂紋和界面分層缺陷；為進(jìn)行聲掃檢測的工作人員提供聲掃檢測的操作流程規(guī)范，對(duì)GJB4027A中規(guī)定的檢測重要界面的方法進(jìn)行優(yōu)化，簡化聲學(xué)掃描檢測的工作量，提高聲學(xué)掃描檢測的效率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于聲學(xué)掃描的閃存塑封器件缺陷判定方法，其特征在于:
在步驟一中所述的“C掃描”，是指換能器對(duì)樣品表面及內(nèi)部橫截面進(jìn)行掃描；想要對(duì)樣品內(nèi)部的橫截面的情況進(jìn)行觀察時(shí)，需要先將換能器聚焦在這一平面上，來精確地觀察選定區(qū)域；之后進(jìn)行C掃描，此時(shí)換能器會(huì)在掃描軸上做往復(fù)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)掃描軸在Y軸方向上移動(dòng)，顯微鏡記錄下樣品某一橫截面內(nèi)感興趣區(qū)域內(nèi)全部位置的反射波的強(qiáng)度信息，并生成C掃描圖像；所述的“逐層C掃描”，是指對(duì)樣品深度方向做多層的C-掃描，層數(shù)和每一層的寬度均根據(jù)情況來設(shè)置，搜奧妙的起始位置和總的掃描范圍由綠線來決定，每一層掃描的寬度由紅線來決定，逐層C掃描模式會(huì)自動(dòng)將綠線的起始位置作為第一層C-掃描的位置，并以紅線作為每一層C-掃描的寬度，沿著綠線的方向，逐一做多層C-掃描，逐層C-掃描所得到的層數(shù)及圖片數(shù)量等于率線的寬度廚藝紅線的寬度，超過部分不做掃描。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于聲學(xué)掃描的閃存塑封器件缺陷判定方法，其特征在于:
在步驟二中所述的“A掃描”，是指用換能器對(duì)樣品內(nèi)部的某一點(diǎn)，做點(diǎn)對(duì)點(diǎn)掃描；A掃描模式形成的波形代表了超聲波穿過被測器件某一點(diǎn)后得到的反射波的波形；其中X軸表示聲波在被測器件內(nèi)傳播的時(shí)間，Y軸表示反射波的幅值；X軸上的波形就代表了從樣品表面到樣品底部不同界面的反射波；因此A掃描模式生成的聲學(xué)圖像顯示了樣品上某一點(diǎn)深度方向上的全部反射波信號(hào)，就是從樣品頂部到底部的反射波的波形圖。