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霍爾傳感器的制作方法

文檔序號:12071002閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種霍爾傳感器,其特征在于,具有:

霍爾元件,其設(shè)置在半導(dǎo)體襯底上;

作為發(fā)熱源的元件,其設(shè)置在所述霍爾元件的周圍;以及

兩對端子,它們配置于所述霍爾元件,兼用作控制電流輸入端子和霍爾電壓輸出端子,

在所述兩對端子中,流過一對端子間的第一霍爾元件控制電流和流過另一對端子間的第二霍爾元件控制電流作為矢量相交,

所述霍爾元件具有關(guān)于沿著所述第一霍爾元件控制電流和所述第二霍爾元件控制電流的矢量和的直線為線對稱的形狀,

在所述作為發(fā)熱源的元件中,發(fā)熱源的中心位于沿著所述第一霍爾元件控制電流和所述第二霍爾元件控制電流2的矢量和的直線上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的霍爾傳感器,其特征在于,

所述霍爾元件具有:正方形或十字形的具有對稱性的磁感應(yīng)部;以及位于該磁感應(yīng)部的各頂點(diǎn)和端部的同一形狀的N型高濃度雜質(zhì)區(qū)域的控制電流輸入端子和霍爾電壓輸出端子。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的霍爾傳感器,其特征在于,

能夠通過旋轉(zhuǎn)電流去除偏移電壓。

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