本發(fā)明中依照示例性實(shí)施例的裝置與方法涉及一種測(cè)試裝置用的接觸探針，尤其涉及一種即使在施加高電流測(cè)試信號(hào)時(shí)，其中的彈簧免于劣化的接觸探針。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體芯片形成有高度集成的精密電路，且經(jīng)過關(guān)于是否每一電路為正常的測(cè)試。

對(duì)于半導(dǎo)體芯片的測(cè)試，已使用到用于測(cè)試半導(dǎo)體的接觸探針。這種接觸探針電連接半導(dǎo)體芯片的端點(diǎn)和用于施加測(cè)試信號(hào)的測(cè)試電路板的接點(diǎn)(即襯墊)。一般來說，半導(dǎo)體芯片含有具有相當(dāng)精密的圖案的端點(diǎn)的陣列。因此，需要在探針載臺(tái)上結(jié)合與承載一個(gè)尺寸相當(dāng)小的接觸探針，以便接觸與測(cè)試具有極精密圖案的端點(diǎn)。

如圖1所示，接觸探針10包含了用來接觸半導(dǎo)體芯片的端點(diǎn)的上杵棒11；安置在上杵棒11的對(duì)面并用來接觸測(cè)試電路的襯墊的下杵棒12；將上杵棒11和下杵棒12兩者的一部分容納于其中的桶身13；和安置在上杵棒11與下杵棒12之間，且在測(cè)試時(shí)提供彈力來對(duì)抗上杵棒11的壓縮的彈簧14。

上杵棒11可在桶身13內(nèi)滑動(dòng)，但下杵棒12則是被固定在桶身13中。彈簧14由桶身13中設(shè)置于上杵棒11一端處的主干所支撐，且彈簧14還由設(shè)置于下杵棒12的一端處的突起所支撐著。在測(cè)試的過程中，上杵棒11移動(dòng)壓縮彈簧14。此時(shí)，彈簧14開始彎曲，亦即，在增加的壓力下，彈簧14失去平衡同時(shí)接觸到桶身13的內(nèi)壁，且側(cè)向地形變。因此，測(cè)試電流流經(jīng)金屬?gòu)椈?4，亦即，依序流過上杵棒11、彈簧14以及桶身13。因此，測(cè)試信號(hào)的高電流流經(jīng)薄彈簧14，且因此彈簧14劣化且具有短壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[技術(shù)問題]

示范性實(shí)施例的方式提供一種能最小化彎曲的用于高電流的接觸探針。

示范性實(shí)施例的另一方式提供一種能最小化彈簧的彎曲使得彈簧可具有改善的壽命的高電流用接觸探針。

[解決技術(shù)問題的技術(shù)方案]

示范性實(shí)施例的再另一方式提供一種具有簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)以降低生產(chǎn)成本的高電流用接觸探針。

根據(jù)示范性實(shí)施例，提供一種接觸探針，其電連接待測(cè)物件的接點(diǎn)與測(cè)試電路的接點(diǎn)，所述接觸探針包含：設(shè)置為與待測(cè)物件的接點(diǎn)接觸的第一杵棒；設(shè)置為與測(cè)試電路的接點(diǎn)接觸的第二杵棒；經(jīng)設(shè)置以支撐第一杵棒與第二杵棒中的至少一者在其中滑動(dòng)的桶身；經(jīng)設(shè)置以安置在桶身內(nèi)且介于第一杵棒與第二杵棒之間的彈簧，其中第一杵棒與第二杵棒中的一者含有開孔以容納彈簧的一端，第一杵棒與第二杵棒中的另一者包含被容納于開孔中的主干。

開孔可包含向內(nèi)傾斜的入口，且因此可解決當(dāng)彈簧形變時(shí)，彈簧陷入邊緣的問題。

可便利地制造開孔的入口，因?yàn)槠涫峭ㄟ^“R”機(jī)械加工使其向內(nèi)傾斜。

第一杵棒與第二杵棒中的一者可配有絕緣構(gòu)件，且可在絕緣構(gòu)件中形成開孔。

可在開孔涂上絕緣膜。

開孔可包含絕緣管。

在彈簧因完成測(cè)試而回復(fù)原狀后，主干的自由端可至少設(shè)置在開孔內(nèi)。

[發(fā)明的有益效果]

根據(jù)示范性實(shí)施例的接觸探針經(jīng)處理以使第一杵棒的主干移動(dòng)至第二杵棒的開口內(nèi)，從而避免彈簧發(fā)生彎曲的行為。

附圖說明

將從以下描述結(jié)合隨附附圖與示范性實(shí)施例使得以上和/或其他方式變得明顯且更容易理解，其中：

圖1示出現(xiàn)有的接觸探針。

圖2示出測(cè)試前的根據(jù)示范性實(shí)施例的接觸探針。

圖3示出測(cè)試期間的根據(jù)示范性實(shí)施例的接觸探針。

具體實(shí)施方式

以下，將參照附圖來詳細(xì)描述示范性實(shí)施例。為了方便描述，省略與本發(fā)明概念不直接相關(guān)的部分，且通篇說明書中類似的數(shù)字代表類似的元件。

如圖2所示，依照示范性實(shí)施例的接觸探針100包含將與待測(cè)物件的接點(diǎn)接觸的第一杵棒110；將與測(cè)試電路的接點(diǎn)接觸的第二杵棒120；以及部分地容納第一杵棒110與第二杵棒120兩者的桶身130。

桶身130的形狀像中空?qǐng)A柱，能使第一杵棒110與第二杵棒120中的一者可移動(dòng)地容納于其中。桶身130由導(dǎo)電金屬制成，測(cè)試電流可流經(jīng)其。當(dāng)然，只有第一杵棒110與第二杵棒120中的一者可被容納在桶身130中移動(dòng)，而另外一者可固定地容納于桶身130中。

桶身130可容納彈簧140，故部份被容納的第一杵棒110和第二杵棒120可通過測(cè)試中施加的壓力朝向彼此彈性地壓縮。桶身130中所容納的彈簧140可以用導(dǎo)電材料制成。

如圖2所示，第一杵棒110的一端部分地容納于桶身130中，且另一端則突出桶身130之外，故其可在壓縮彈簧140的方向上滑動(dòng)。第一杵棒110包含形成在桶身130中所容納的一端處且支撐彈簧140的一側(cè)的主干112。主干112可足夠長(zhǎng)并在桶身130內(nèi)朝著相對(duì)的第二杵棒120延伸。稍后將描述的第二杵棒120的開孔152中容納主干112的自由端。

第二杵棒120的一端部分地容納于桶身130中，且另一端則向桶身130外突出。第二杵棒120的容納于桶身130中的一端包含開孔152以容納第一杵棒110的主干112，且其在桶身130中是固定的。或者，第二杵棒120可以是不固定的且在桶身130中為可移動(dòng)的。第二杵棒120的被容納于桶身130中的一端可配有絕緣構(gòu)件150。此時(shí)，可在絕緣構(gòu)件150中形成開孔152。開孔152的內(nèi)部可涂有絕緣膜?；蛘撸_孔152的內(nèi)部可形成有絕緣管。

開孔152容納彈簧140的另一側(cè)。開孔152可具有向內(nèi)傾斜的入口邊緣154。舉例來說，若開孔152的入口邊緣是有角度的(angled)，則其可能會(huì)陷入彈簧140的線路之間而因此干擾滑動(dòng)行為。因此，優(yōu)選對(duì)開孔的入口邊緣進(jìn)行去角。為此，可使用“R”機(jī)械加工使開孔152的入口邊緣154傾斜。

圖3示出了測(cè)試期間根據(jù)示范性實(shí)施例的接觸探針，其中第一杵棒110根據(jù)測(cè)試時(shí)施加的壓力而滑行以壓縮彈簧140。此時(shí)，從壓縮前的圖2的狀態(tài)到圖3的經(jīng)壓縮狀態(tài)中，彈簧140因第一杵棒110的主干112和絕緣構(gòu)件150的開孔152而避免彎曲。因此，在壓縮期間的彈簧140并不會(huì)接觸桶身130的內(nèi)壁，且因此測(cè)試信號(hào)的高電流不能流經(jīng)彈簧140。

在圖2中，接觸探針100的主干112在測(cè)試前不一定要插入絕緣構(gòu)件150的開孔152中。亦即，只要在壓縮開始時(shí)彈簧不存在彎曲的行為，主干112的一端和開孔152的入口就可以彼此間隔開一些。然而，如圖3所示，在壓縮結(jié)束時(shí)的主干112的所述一端至少必須插入開孔152之中。

在根據(jù)示范性實(shí)施例的以上接觸探針中，在主干和絕緣構(gòu)件的開孔之間的彈簧在其經(jīng)壓縮的過程中避免了形變的發(fā)生。因此，可以避免彈簧發(fā)生彎曲的行為。

雖然已經(jīng)示出且描述幾個(gè)示范性實(shí)施例，但所屬技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員將理解到，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可作這些示范性實(shí)施例中的改變。因此，必須將以上視為僅為示意性的。本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視所附的權(quán)利要求及其等同物所界定者為準(zhǔn)。因此，所有合適的修改與等同物可落入本發(fā)明的范疇中。

[工業(yè)應(yīng)用]

接觸探針可被用于測(cè)試半導(dǎo)體的電氣特性。