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檢查系統(tǒng)和檢查方法與流程

文檔序號(hào):11850888閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
實(shí)施方式的檢查系統(tǒng)具有:面方式的照明部,其通過(guò)光的強(qiáng)度的條紋圖案的空間移動(dòng),賦予光強(qiáng)度的周期性的時(shí)間變化;時(shí)間相關(guān)圖像生成部,其通過(guò)時(shí)間相關(guān)照相機(jī)或進(jìn)行與其等效的動(dòng)作的攝像系統(tǒng)生成時(shí)間相關(guān)圖像;以及運(yùn)算處理部,其根據(jù)時(shí)間相關(guān)圖像計(jì)算與檢查對(duì)象面的法線向量的分布對(duì)應(yīng)的特征,該特征是通過(guò)與周圍的不同和與參照表面的不同中的至少一方來(lái)檢測(cè)異常的特征。

技術(shù)研發(fā)人員:栗原徹;安藤繁;吉村禮彥
受保護(hù)的技術(shù)使用者:國(guó)立大學(xué)法人東京大學(xué);理光越嶺美有限公司
文檔號(hào)碼:201580017619
技術(shù)研發(fā)日:2015.03.31
技術(shù)公布日:2016.11.23

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