技術(shù)特征：

1.一種檢查系統(tǒng)，其具有：

面方式的照明部，其通過光強度的條紋圖案的空間移動，賦予光強度的周期性的時間變化；

時間相關(guān)圖像生成部，其通過時間相關(guān)照相機或進(jìn)行與所述時間相關(guān)照相機等效的動作的攝像系統(tǒng)來生成時間相關(guān)圖像；以及

運算處理部，其根據(jù)所述時間相關(guān)圖像計算與檢查對象面的法線向量的分布對應(yīng)的特征，該特征是通過與周圍的不同和與參照表面的不同中的至少一方來檢測異常的特征。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案被設(shè)定為能夠根據(jù)下式進(jìn)行投影：

(其中，e是指數(shù)函數(shù)、j是虛數(shù)、ω是時間性的角速度、t是時間、x、y是二維坐標(biāo)、是在x、y平面內(nèi)連續(xù)地變化的相位分布)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案所包含的條紋的寬度被設(shè)定為滿足下式：

p·w/λ＞0.5···(2)

(其中，w＝1-2H(1+γ²)·f_xx，p是時間相關(guān)照相機的攝像元件的寬度、λ是條紋的寬度、H是被檢査體與面方式的照明部之間的距離、γ是tanθ₀、θ₀是攝像元件的方向相對于被檢査體的正面方向的角度、f_xx是f(x)的2階微分、f(x)是表示表面的形狀的函數(shù)、x是沿著被檢査體的代表面的一個方向)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案被設(shè)定為在與缺陷的長度方向交叉的方向上移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中的任意一項所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案所包含的條紋的寬度是根據(jù)檢査對象面的傾斜來設(shè)定的。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述照明部針對一個檢査對象面輸出寬度不同的多個條紋圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任意一項所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述照明部輸出具有寬度不同的多個條紋的條紋圖案。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案具有寬度不同的在同一方向上延伸的多個條紋。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述條紋圖案具有寬度不同的在交叉的方向上延伸的多個條紋。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任意一項所述的檢查系統(tǒng)，其中，

所述照明部對一個檢査對象面輸出在不同的方向上延伸的多個條紋圖案。

11.一種檢查方法，該檢查方法具有以下步驟：

針對被以面方式的照明照射的被檢查體，通過時間相關(guān)照相機或進(jìn)行與所述時間相關(guān)照相機等效的動作的攝像系統(tǒng)生成時間相關(guān)圖像，在所述面方式的照明中，通過光強度的條紋圖案的空間移動，賦予光強度的周期性的時間變化；以及

根據(jù)所述時間相關(guān)圖像計算與檢查對象面的法線向量的分布對應(yīng)的特征，該特征是通過與周圍的不同和與參照表面的不同中的至少一方來檢測異常的特征。