異物檢測(cè)方法及液滴噴出方法發(fā)明為下述申請(qǐng)的分案申請(qǐng)，原申請(qǐng)信息如下：申請(qǐng)?zhí)枺?01110409325.1申請(qǐng)日：2011年12月09日發(fā)明名稱：異物檢測(cè)裝置及方法、液滴噴出裝置及方法關(guān)聯(lián)申請(qǐng)的引用：本申請(qǐng)基于并要求2010年12月9日提出的在先日本專利申請(qǐng)第2010－275033號(hào)和2011年2月25日提出的在先日本專利申請(qǐng)第2011－039540號(hào)的優(yōu)先權(quán)，在此引用其全部?jī)?nèi)容。技術(shù)領(lǐng)域在此說明的實(shí)施方式整體上涉及異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。

背景技術(shù)：
已知有對(duì)液體中存在的異物進(jìn)行檢測(cè)的技術(shù)。例如已提出有一種在液滴噴出裝置中檢測(cè)噴出的液體中是否有氣泡等異物的技術(shù)。在這種技術(shù)中，例如，根據(jù)因存在氣泡而發(fā)生的振動(dòng)能級(jí)的衰減或殘余振動(dòng)波形來判別有無氣泡。但是，這種技術(shù)很難對(duì)細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物進(jìn)行檢測(cè)。因此，期望開發(fā)一種能夠高精度地檢測(cè)細(xì)管路中等這種小區(qū)域中存在的氣泡等異物的技術(shù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的實(shí)施方式提供一種能提高異物檢測(cè)精度的異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法，其特征在于，包括：向液體中導(dǎo)入具有滿足下述式子的頻率的壓力波的工序；將來自所述液體的反射波變換成電信號(hào)的工序；根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與未含有氣泡時(shí)得到的反射波的電信號(hào)之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡大小與散射截面積之間的線性關(guān)系，提取關(guān)于氣泡的信息的工序；和根據(jù)提取到的所述關(guān)于氣泡的信息，求取所述氣泡大小的工序，在此，f是頻率，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。此外，實(shí)施方式涉及的其他異物檢測(cè)裝置包括：信號(hào)發(fā)生部，產(chǎn)生具有滿足下述式子的頻率的電信號(hào)；發(fā)信部，對(duì)來自所述信號(hào)發(fā)生部的電信號(hào)進(jìn)行變換，使液體中產(chǎn)生壓力波；接收部，接收來自所述液體的反射波并變換成電信號(hào)；保存部，保存與所述液體中未含有氣泡的狀態(tài)下得到的反射波的電信號(hào)有關(guān)的信息；和檢測(cè)部，根據(jù)對(duì)所述反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的所述信息的電信號(hào)之差，求取散射截面積，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡大小與散射截面積之間的關(guān)系，檢測(cè)所述氣泡大小，在此，f是頻率，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠提高異物的檢測(cè)精度。附圖說明圖1是用于例示第一實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖2是用于例示檢測(cè)定時(shí)的示意曲線圖。圖3A和圖3B是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線圖，圖3A是用于例示有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S1和沒有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2的圖，圖3B是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)的圖。圖4是用于例示氣泡B的直徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線圖。圖5是用于例示第二實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖6是用于例示第三實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法的流程圖。圖7是用于例示第四實(shí)施方式涉及的液滴噴出方法的流程圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖，關(guān)于實(shí)施方式進(jìn)行例示。再有，各附圖中，在相同的結(jié)構(gòu)要素上標(biāo)記同一符號(hào)，并省略詳細(xì)說明。再有，以下，作為一例，例示了將異物檢測(cè)裝置設(shè)置在液滴噴出裝置中的情況以及在液滴噴出方法中適用了異物檢測(cè)方法的情況。但是，異物檢測(cè)裝置和異物檢測(cè)方法的適用對(duì)象不限定于此，可以廣泛地適用于對(duì)液體中含有的氣泡等異物的檢測(cè)。圖1是用于例示第一實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。液滴噴出裝置的驅(qū)動(dòng)方式有“熱式”和“壓電式”，所述“熱式”是由加熱產(chǎn)生氣泡，利用膜態(tài)沸騰現(xiàn)象來使液體噴出，所述“壓電式”是利用壓電元件的彎曲位移來使液體噴出，作為一例，在此以壓電式為例進(jìn)行說明。在液滴噴出裝置100中設(shè)置有壓電部101、噴嘴主體102、撓性膜103、噴嘴部104、衰減部105、蓋106和異物檢測(cè)裝置1。壓電部101例如可以是將驅(qū)動(dòng)電極101a、部件101b、驅(qū)動(dòng)電極101c、部件101d、驅(qū)動(dòng)電極101e依次層疊后整體燒結(jié)而成的。整體燒結(jié)后的壓電部101強(qiáng)度變高，而且也容易處理。部件101b和部件101d可以是由壓電材料形成的部件。作為壓電材料，可以例示壓電陶瓷(例如鋯鈦酸鉛)等。驅(qū)動(dòng)電極101a、驅(qū)動(dòng)電極101c和驅(qū)動(dòng)電極101e可以是由銅合金等形成的電極。如后所述，壓電部101成為用于使液體噴出的加壓源，但也具有異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部和接收部的功能。再有，異物檢測(cè)裝置1中設(shè)置的信號(hào)發(fā)生部2，也具有輸出用于驅(qū)動(dòng)壓電部101作為加壓源的電信號(hào)的功能。噴嘴主體102中設(shè)置有收納要噴出的液體的液室102a。將液室102a設(shè)置成貫通噴嘴主體102的兩端部間。液室102a可以是例如具有當(dāng)量直徑尺寸為d的截面的液室。在此，在液室102a的截面形狀是圓形的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是其直徑尺寸，在液室102a的截面形狀是例如多角形等的情況下，當(dāng)量直徑尺寸d是變換成具有相同截面積的圓形截面后的直徑尺寸。再有，關(guān)于當(dāng)量直徑尺寸d以后詳細(xì)敘述。此外，與液室102a連通有未圖示的流路，通過未圖示的流路向液室102a內(nèi)供給液體。噴嘴主體102可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在噴嘴主體102的一個(gè)端部設(shè)置有撓性膜103。將撓性膜103設(shè)置成覆蓋液室102a的開口部。此外，在撓性膜103的與設(shè)置在噴嘴主體102上的一側(cè)相反的一側(cè)的面上，設(shè)置有壓電部101。該情況下，可以將壓電部101設(shè)置成與液室102a的開口部對(duì)置，使得由壓電部101的彎曲位移產(chǎn)生的壓力波容易傳播到液室102a內(nèi)的液體。再有，在本實(shí)施方式中，壓電部101成為向噴嘴主體102的設(shè)置在一個(gè)端部側(cè)的液室102a內(nèi)的液體施加壓力的加壓部。撓性膜103可以由例如不銹鋼等形成。在噴嘴主體102的另一個(gè)端部上設(shè)置有噴嘴部104。噴嘴部104呈板狀，設(shè)置有貫通厚度方向的噴嘴孔104a。噴嘴孔104a的一端向液室102a開口，另一端向液滴噴出裝置100的外部開口。噴嘴部104可以由例如不銹鋼或鎳合金等形成。在撓性膜103上，包圍壓電部101的周圍設(shè)置有衰減部105。在壓電部101中產(chǎn)生所謂的主振動(dòng)，與此同時(shí)也產(chǎn)生寄生振動(dòng)等無用的振動(dòng)。因此，通過設(shè)置衰減部105，使寄生振動(dòng)等衰減，以降低寄生振動(dòng)等對(duì)主振動(dòng)的壞影響。衰減部105可以由例如硅橡膠等形成。蓋106具備一端開口的凹部。并且，將蓋106設(shè)置在撓性膜103上，使得在凹部的內(nèi)部收納壓電部101和衰減部105。此外，在蓋106上適當(dāng)?shù)卦O(shè)置有用于穿過壓電部101的配線的未圖示的孔等。蓋106可以由例如樹脂或金屬等形成。異物檢測(cè)裝置1中設(shè)置有信號(hào)發(fā)生部2、切換部3、保存部4和檢測(cè)部5。如前所述，在本實(shí)施方式中，壓電部101發(fā)揮對(duì)電信號(hào)進(jìn)行變換并使液體中產(chǎn)生壓力波的發(fā)信部和接收反射波并變換成電信號(hào)的接收部的功能。再有，反射波中含有基于后述的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)的波、“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”、和通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波，這些以后詳細(xì)敘述。信號(hào)發(fā)生部2產(chǎn)生用于檢測(cè)氣泡B等異物的電信號(hào)。即，產(chǎn)生用于使壓電部101產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓力波的電信號(hào)。該情況下，信號(hào)發(fā)生部2可以產(chǎn)生具有滿足后述(3)式或(4)式的頻率f的電信號(hào)。再有，也可以按照頻率的范圍，設(shè)置多個(gè)信號(hào)發(fā)生部和頻率范圍切換部。再有，如前所述，信號(hào)發(fā)生部2也具有輸出用于驅(qū)動(dòng)壓電部101作為加壓源的電信號(hào)的功能。切換部3進(jìn)行電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。例如，在向壓電部101發(fā)送來自信號(hào)發(fā)生部2的電信號(hào)的時(shí)候，使得向檢測(cè)部5側(cè)發(fā)送該電信號(hào)。另一方面，在向檢測(cè)部5側(cè)發(fā)送來自壓電部101的電信號(hào)的時(shí)候，使得不向信號(hào)發(fā)生部2側(cè)發(fā)送該電信號(hào)。保存部4保存成為基準(zhǔn)的信息。例如，可以保存與液體中未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息。與未含有氣泡B等異物的狀態(tài)有關(guān)的信息，可以保存預(yù)先收集到的該信息。此外，也可以逐次保存從噴出狀態(tài)等判斷并推斷為是沒有氣泡B等異物的狀態(tài)的信息。檢測(cè)部5根據(jù)由壓電部101收集到的信息、即后述的關(guān)于反射波的信息和來自保存部4的信息，檢測(cè)有無氣泡B等異物和氣泡B等異物大小的至少任一種。即，檢測(cè)部5根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于所保存的信息的電信號(hào)之差，檢測(cè)有無氣泡B等異物和氣泡B等異物大小的至少任一種。該情況下，檢測(cè)部5可以如后所述地根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于保存部4中所保存的信息的電信號(hào)之差的平方，來檢測(cè)異物大小。此外，檢測(cè)部5還可以根據(jù)對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與基于保存部4中所保存的信息的電信號(hào)之差，求取散射截面積σsc，從預(yù)先求取的氣泡B等異物大小與散射截面積σsc之間的關(guān)系，來檢測(cè)氣泡B等異物大小。此外，檢測(cè)部5可以將關(guān)于有無氣泡B等異物的檢測(cè)結(jié)果或氣泡B等異物大小的檢測(cè)結(jié)果，向外部設(shè)備等輸出。再有，關(guān)于有無氣泡B等異物的檢測(cè)和氣泡B等大小的檢測(cè)的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。下面，關(guān)于異物檢測(cè)裝置1的作用進(jìn)行例示。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。圖2是用于例示檢測(cè)定時(shí)的示意曲線圖。如圖2所示，在對(duì)圖1的壓電部101施加了規(guī)定的電信號(hào)A時(shí)，壓電部101動(dòng)作，向液室102a中補(bǔ)充液體，在電信號(hào)A下降期間，進(jìn)行所述液體從噴嘴孔104a中噴出的動(dòng)作。實(shí)際上，所述液體從噴嘴孔104a中噴出的動(dòng)作延遲了補(bǔ)充到液室102a中的所述液體被壓迫為止的那段時(shí)間。在所述液體噴出結(jié)束后，通過也作為接收部的壓電部101檢測(cè)如S所示的電信號(hào)。在對(duì)壓電部101施加了所述規(guī)定的電信號(hào)A時(shí)，在液體中產(chǎn)生壓力波。并且，在施加電信號(hào)A后，利用撓性膜103等產(chǎn)生的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)、后述的“氣泡產(chǎn)生的壓力波”、和通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波等，通過也作為接收部的壓電部101檢測(cè)如圖2中的S所示的電信號(hào)。因此就根據(jù)電信號(hào)S來進(jìn)行有無氣泡B的檢測(cè)或氣泡B大小的檢測(cè)。再有，電信號(hào)S中還含有“氣泡產(chǎn)生的壓力波”以外的信息，但可以通過在檢測(cè)部5中求取與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)之差，來去掉“氣泡產(chǎn)生的壓力波”以外的信息。首先，為了進(jìn)行關(guān)于氣泡B的檢測(cè)，在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生具有規(guī)定頻率f的電信號(hào)。該電信號(hào)是用于使壓電部101產(chǎn)生具有規(guī)定頻率的壓力波的信號(hào)。此外，在按照頻率的范圍設(shè)置了多個(gè)信號(hào)發(fā)生部和頻率范圍切換部的情況下，進(jìn)行頻率范圍的切換，使得能夠產(chǎn)生具有適當(dāng)頻率的電信號(hào)。再有，關(guān)于頻率f的詳細(xì)內(nèi)容以后敘述。從信號(hào)發(fā)生部2輸出的電信號(hào)，經(jīng)切換部3輸入到壓電部101中。也作為異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部的壓電部101，通過將輸入的電信號(hào)變換成彎曲位移來產(chǎn)生壓力波。產(chǎn)生的壓力波經(jīng)撓性膜103，傳播到液室102a內(nèi)的液體中，通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等，產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓力波。此外，在有氣泡B的情況下，通過壓力波碰到氣泡B而產(chǎn)生由散射(反射)產(chǎn)生的壓力波。另外，通過壓力波碰到氣泡B，而在氣泡B中產(chǎn)生體積變化，產(chǎn)生該體積變化所引起的壓力波。再有，在氣泡B中的由散射產(chǎn)生的壓力波和由體積變化所引起的壓力波中，由體積變化引起的壓力波的壓力大到有位數(shù)上的差別。在本說明書中，將通過碰到氣泡B而產(chǎn)生的由散射產(chǎn)生的壓力波和因氣泡B的體積變化所引起的壓力波，合并稱為“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”。此外，將“由氣泡產(chǎn)生的壓力波”、通過碰到液室102a的壁面或噴嘴部104等而產(chǎn)生的壓力波、以及與所述撓性膜103等的機(jī)械系統(tǒng)振動(dòng)有關(guān)的波，合并稱為“反射波”。因此，反射波中就會(huì)含有氣泡B的有無或大小等的關(guān)于氣泡B的信息。將產(chǎn)生的反射波入射到也作為異物檢測(cè)裝置1的接收部的壓電部101中，變換成與壓電部101的彎曲位移相應(yīng)的電信號(hào)?；诜瓷洳ǖ碾娦盘?hào)，經(jīng)切換部3輸入到檢測(cè)部5中。另一方面，從保存部4中提供與未含有氣泡B的狀態(tài)有關(guān)的信息，并被變換成電信號(hào)。并且，在檢測(cè)部5中，通過求取基于反射波的電信號(hào)與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)之差，來提取關(guān)于氣泡B的信息。檢測(cè)部5根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息，檢測(cè)有無氣泡B。例如，可以根據(jù)預(yù)先設(shè)定的閾值等進(jìn)行有無氣泡B的檢測(cè)。此外，檢測(cè)部5也可以根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息來檢測(cè)氣泡B的大小。下面，關(guān)于有無氣泡B的檢測(cè)或氣泡B大小的檢測(cè)進(jìn)一步進(jìn)行例示。圖3A和圖3B是用于例示關(guān)于氣泡B的信息的提取的示意曲線圖。圖3A是用于例示有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S1和沒有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S2的示意曲線圖。圖3B是用于例示含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)的示意曲線圖。如圖3A所示，在有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S1和未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2中，波形是不同的。因此，通過求取有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)S1與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2之差，就能夠提取出如圖3B所示的含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)。再有，由于未含有氣泡B時(shí)的基于反射波的電信號(hào)和未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)S2中，波形是同樣的，因此，若求取兩者之差，則大致等于0(零)?？梢允褂眠@樣提取出的關(guān)于氣泡B的信息和預(yù)先設(shè)定的閾值等來檢測(cè)有無氣泡B。圖4是用于例示氣泡B的半徑尺寸與散射截面積之間的關(guān)系的曲線圖。橫軸是氣泡B的半徑尺寸，縱軸是散射截面積σsc，圖中的d1～d5表示液室102a的當(dāng)量直徑尺寸。再有，d1是10mm，d2是4mm，d3是3mm，d4是2mm，d5是1mm的情況。在此，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系中，即使在散射截面積σsc一定的情況下，有時(shí)也會(huì)存在多個(gè)與散射截面積σsc對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。例如，如圖4所示，在當(dāng)量直徑尺寸是d1的情況下，假設(shè)散射截面積σsc為“α”，則存在3個(gè)與之對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。因此，在這樣的情況下，很難確定氣泡B的大小。該情況下，由于不能夠知道氣泡B的大小，因此，在氣泡B生長(zhǎng)到發(fā)生噴出異常(發(fā)生不噴出、液量的均勻性變差、著液精度變差等)的大小之前，不能施行使其進(jìn)行排出動(dòng)作等的應(yīng)對(duì)。因此，不能夠?qū)姵霎惓５陌l(fā)生防患于未然。但是，如圖4所示，在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變?yōu)榫€性的部分中，可以根據(jù)散射截面積σsc來求取氣泡B的半徑尺寸。在此，可以利用以下(1)式求取散射截面積σsc。再有，Wsc是散射功率，Iinc是入射強(qiáng)度。此外，可以利用以下(2)式求取散射功率Wsc。在此，ρ是液體的密度，c是音速，r是到氣泡B的距離，Ps(r，t)是從氣泡B放射的壓力。該情況下，Ps(r，t)中包含空間依存和時(shí)間依存。此外，〈〉t表示是時(shí)間平均。再有，可以在小區(qū)域中假設(shè)r為收納液體的要素的壓力傳播方向的尺寸。例如，可以在液室102a中假設(shè)r為液室102a的軸向尺寸(噴出方向的尺寸)。并且，由于Ps(r，t)是從氣泡B放射的壓力，因此，圖3B中例示的波形就成為Ps(r，t)。即，通過提取如圖3B例示的含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)，就能夠求取散射截面積σsc來檢測(cè)氣泡B的大小。再有，可以在檢測(cè)部5中進(jìn)行根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)運(yùn)算散射截面積σsc、以及根據(jù)運(yùn)算出的散射截面積σsc運(yùn)算氣泡B的半徑尺寸的運(yùn)算。在此例示了根據(jù)散射截面積σsc運(yùn)算氣泡B的半徑尺寸的情況，但不限定于此。如果能夠知道含有關(guān)于氣泡B的信息的Ps(r，t)，即使不進(jìn)行到散射截面積σsc的運(yùn)算，也能夠運(yùn)算出氣泡B的半徑尺寸。即，由于(2)式內(nèi)含有關(guān)于氣泡B的信息的部分是Ps(r，t)，因此，可以和氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系同樣地求取氣泡B的半徑尺寸與Ps(r，t)2之間的關(guān)系。因此就可以根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)與基于關(guān)于未含有氣泡B的狀態(tài)的信息的電信號(hào)之差的平方，來檢測(cè)氣泡B的大小。在此，如圖4所示地出現(xiàn)氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系為線性的部分和為非線性的部分。此外，已知在氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系為線性的部分中，液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d1～d5產(chǎn)生的影響較小。因此，最好將壓電部101驅(qū)動(dòng)成氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變成線性。該情況下，若使壓電部101的驅(qū)動(dòng)頻率、即在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號(hào)的頻率f如以下的(3)式那樣，就能夠使得氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系變成線性。在此，Ro是最大氣泡尺寸，Po是液室102a內(nèi)的液體的平衡壓力，ρ是液體的密度，γ是熱容比。再有，所述最大氣泡尺寸Ro是設(shè)為檢測(cè)對(duì)象的氣泡中大小最大的氣泡的半徑尺寸。例如，是與用于后述的噴出異常判定的閾值對(duì)應(yīng)的氣泡的半徑尺寸等。該情況下，可以按照設(shè)置有異物檢測(cè)裝置1的對(duì)象來適當(dāng)?shù)卦O(shè)定平衡壓力Po或最大氣泡尺寸Ro。并且，使用例如預(yù)先由實(shí)驗(yàn)或仿真等求取的平衡壓力Po或最大氣泡尺寸Ro，求取使信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號(hào)的頻率f。并且，若利用求取的頻率f來驅(qū)動(dòng)壓電部101，就能夠使氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系成為線性。因此，根據(jù)使用上述(1)式和(2)式運(yùn)算出的散射截面積σsc來求取氣泡B的半徑尺寸就變得容易。即，如果利用這樣地求取的頻率f來驅(qū)動(dòng)壓電部101，就能夠求取最大氣泡尺寸Ro以下的大小的氣泡B的半徑尺寸。此外，若考慮液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d，就能夠使得不存在多個(gè)與散射截面積σsc對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸。即，由于能夠使與散射截面積σsc對(duì)應(yīng)的氣泡B的半徑尺寸只有1個(gè)，因此能夠除掉誤檢測(cè)。該情況下，根據(jù)本發(fā)明者獲得的知識(shí)，如果使信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生具有滿足以下(4)式的頻率f的電信號(hào)，就能夠除掉誤檢測(cè)的發(fā)生。在此，d是液室102a的當(dāng)量直徑尺寸。再有，也可以設(shè)置具有滿足以下(5)式的當(dāng)量直徑尺寸d的液室102a。該情況下，液室102a相當(dāng)于設(shè)置在異常檢測(cè)裝置1中的收納液體的收納部的一例。在此，f是在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生的頻率。將(3)式或(4)式中示出的關(guān)于頻率f的信息輸入到信號(hào)發(fā)生部2中，信號(hào)發(fā)生部2根據(jù)輸入的關(guān)于頻率f的信息產(chǎn)生電信號(hào)。再有，也可以設(shè)置未圖示的運(yùn)算部，該運(yùn)算部根據(jù)輸入的最大氣泡尺寸Ro、液室102a內(nèi)的液體的平衡壓力Po、液體的密度ρ、熱容比γ和液室102a的當(dāng)量直徑尺寸d等，運(yùn)算關(guān)于頻率f的信息，使得從未圖示的運(yùn)算部向信號(hào)發(fā)生部2提供運(yùn)算出的關(guān)于頻率f的信息。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置1，不僅對(duì)于氣泡B等異物的有無，而且對(duì)于氣泡B等異物大小也能夠高精度地檢測(cè)。因此，能夠以更高準(zhǔn)確度實(shí)現(xiàn)將問題防患于未然或生產(chǎn)性能的提高。以上例示了檢測(cè)有無氣泡B的情況，但也可以檢測(cè)有無灰塵等固體異物。此外還例示了檢測(cè)氣泡B的大小的情況，但還可以檢測(cè)因壓力變化而產(chǎn)生體積變化的這種異物大小。下面，關(guān)于液滴噴出裝置100的作用進(jìn)行例示。在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生用于使壓電部101產(chǎn)生壓力波的電信號(hào)。該情況下，若控制施加到壓電部101上的電壓，就能夠控制壓電部101的彎曲位移進(jìn)而控制噴出量。因此，在信號(hào)發(fā)生部2中產(chǎn)生的電信號(hào)具有與噴出量相應(yīng)的電壓變化。從信號(hào)發(fā)生部2輸出的電信號(hào)，經(jīng)切換部3輸入到壓電部101中。壓電部101通過將輸入的電信號(hào)變換成彎曲位移來產(chǎn)生壓力波。產(chǎn)生的壓力波經(jīng)撓性膜103傳播到液室102a內(nèi)的液體中，液室102a內(nèi)的液體被朝向噴嘴孔104a的方向加壓。被朝向噴嘴孔104a的方向加壓后的液體，作為液滴從噴嘴孔104a噴出。經(jīng)未圖示的流路，將因噴出而減少的那部分液體補(bǔ)充到液室102a內(nèi)。并且，例如逐次或是定期地進(jìn)行上述的氣泡B的有無的檢測(cè)或大小的檢測(cè)。此外，根據(jù)檢測(cè)到的氣泡B的大小，來進(jìn)行關(guān)于發(fā)生噴出異常的判定。該情況下，可以在存在大于規(guī)定閾值的氣泡B時(shí)，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。此外，還可以在例如氣泡B的大小不足規(guī)定的閾值的情況下，繼續(xù)進(jìn)行噴出作業(yè)，在氣泡B的大小達(dá)到規(guī)定的閾值以上的情況下，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置100，能夠?qū)栴}的發(fā)生防患于未然，并且提高生產(chǎn)性能。圖5是用于例示第二實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置和液滴噴出裝置的示意圖。圖5中例示的液滴噴出裝置100a也是壓電式的液滴噴出裝置。在液滴噴出裝置100a中設(shè)置有壓電部101、噴嘴主體102、撓性膜103、噴嘴部104、衰減部105、蓋106和異物檢測(cè)裝置1a。在本實(shí)施方式中，壓電部101成為用于使液體噴出的加壓源，但是也具有異物檢測(cè)裝置1a的發(fā)信部的功能。但是，與上述的液滴噴出裝置100不同，不具有異物檢測(cè)裝置1a的接收部的功能。在異物檢測(cè)裝置1a中設(shè)置有信號(hào)發(fā)生部2、保存部4、檢測(cè)部5和接收部6。在上述的異物檢測(cè)裝置1中，將壓電部101作為異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部和接收部，利用切換部3進(jìn)行電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。與此相對(duì)，在異物檢測(cè)裝置1a中另外設(shè)置了接收部6，因此不需要切換部3。接收部6例如可以具有與壓電部101同樣地由壓電材料形成的部件和驅(qū)動(dòng)電極。但并不限定于此，可以適當(dāng)?shù)剡x擇能夠產(chǎn)生與機(jī)械性位移相應(yīng)的電信號(hào)的器件。在異物檢測(cè)裝置1a中，由接收部6接收產(chǎn)生的反射波，并由接收部6變換成電信號(hào)。將基于該反射波的電信號(hào)輸入到檢測(cè)部5中，與上述同樣地檢測(cè)有無氣泡B或氣泡B的大小。再有，可以與上述同樣地進(jìn)行有無氣泡B的檢測(cè)或氣泡B大小的檢測(cè)，因此省略詳細(xì)的說明。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)裝置1a，能夠享受與上述異物檢測(cè)裝置1同樣的效果。此外，關(guān)于能省略切換部3這點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)化。再有，可以使液滴噴出裝置100a的作用與上述的液滴噴出裝置100的情況同樣，因此省略詳細(xì)的說明。以上例示的是將壓電部101與異物檢測(cè)裝置1的發(fā)信部和接收部兼用的情況，以及將壓電部101與異物檢測(cè)裝置1a的發(fā)信部兼用的情況，但并不限定于此。例如，也可以將壓電部101與異物檢測(cè)裝置的接收部兼用。此外，也可以分別另行設(shè)置壓電部101與異物檢測(cè)裝置的發(fā)信部和接收部。再有，在熱式的液滴噴出裝置的情況下，也可以只設(shè)置異物檢測(cè)裝置的接收部。該情況下，作為接收部，最好設(shè)成如上述那樣的壓電部。下面，關(guān)于第三實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法進(jìn)行例示。圖6是用于例示第三實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法的流程圖。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。首先，向液體中導(dǎo)入具有規(guī)定頻率f的壓力波(步驟S1)。該情況下，可以使頻率f滿足(3)式。另外，也可以使其也滿足(4)式。此外，在按照頻率的范圍而設(shè)置有多個(gè)信號(hào)發(fā)生部和頻率范圍切換部的情況下，進(jìn)行頻率范圍的切換，使得能夠產(chǎn)生具有適合的頻率f的電信號(hào)。接著，將來自液體的反射波變換成電信號(hào)(步驟S2)。接著，通過求取對(duì)反射波進(jìn)行變換后得到的電信號(hào)與未含有氣泡B時(shí)的電信號(hào)之差，提取關(guān)于氣泡B的信息(步驟S3)。接著，根據(jù)提取到的關(guān)于氣泡B的信息，求取氣泡B的有無和氣泡B的大小的至少任一種(步驟S4)。這時(shí)，可以與上述同樣地求取氣泡B的大小。例如，可以根據(jù)含有關(guān)于氣泡B的信息的電信號(hào)與關(guān)于未含有氣泡B的狀態(tài)的信息之差的平方，來檢測(cè)異物大小。此外，還可以例如利用(1)式和(2)式求取散射截面積σsc，根據(jù)預(yù)先求取的氣泡B的半徑尺寸與散射截面積σsc之間的關(guān)系(例如參照?qǐng)D4)，求取氣泡B的半徑尺寸。再有，由于可以使各步驟中的內(nèi)容與上述的同樣，因此省略詳細(xì)的說明。此外，已經(jīng)例示了求取有無氣泡B的情況，但也能夠求取有無灰塵等固體異物。此外，已經(jīng)例示了求取氣泡B的大小的情況，但也能夠求取因壓力變化而產(chǎn)生體積變化的這種異物大小。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的異物檢測(cè)方法，即使是液室102a等這樣的小區(qū)域，也能夠高精度地檢測(cè)氣泡B等異物。此外，由于能夠以高精度求取氣泡B等異物大小，因此能夠以更高準(zhǔn)確度實(shí)現(xiàn)將問題防患于未然或生產(chǎn)性能的提高。下面，關(guān)于第四實(shí)施方式涉及的液滴噴出方法進(jìn)行例示。圖6是用于例示第四實(shí)施方式涉及的液滴噴出方法的流程圖。在此，作為一例，以異物是氣泡B的情況為例進(jìn)行說明。首先，對(duì)液體施加規(guī)定的壓力，使液體作為液滴從噴嘴孔噴出(步驟S11)。接著，使用上述的異物檢測(cè)方法，求取有無氣泡B和氣泡B大小的至少任一種(步驟S12)。該情況下，例如可以逐次或是定期地執(zhí)行異物檢測(cè)方法。在存在大于規(guī)定閾值的氣泡B的情況下，可以中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。該情況下，還可以在氣泡B的大小不足規(guī)定的閾值的情況下，繼續(xù)進(jìn)行噴出作業(yè)，在氣泡B的大小達(dá)到規(guī)定的閾值以上的情況下，中斷噴出作業(yè)，進(jìn)行使氣泡B從液室102a排出的維護(hù)作業(yè)。根據(jù)本實(shí)施方式涉及的液滴噴出裝置100，能夠?qū)栴}的發(fā)生防患于未然，并且提高生產(chǎn)性能。根據(jù)以上例示的實(shí)施方式，可以實(shí)現(xiàn)能高精度地檢測(cè)異物的異物檢測(cè)裝置、異物檢測(cè)方法、液滴噴出裝置和液滴噴出方法。以上例示了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施方式，但這些實(shí)施方式只是作為例子而提出的，并不表示限定發(fā)明范圍。這些新的實(shí)施方式可以以其他各種各樣的方式來實(shí)施，可以在不脫離發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種各樣的省略、置換、變更等。這些實(shí)施方式或其變形例都包含在發(fā)明范圍或主旨內(nèi)，并且也包含在權(quán)利要求書記載的發(fā)明和其等同的范圍內(nèi)。此外，上述各實(shí)施方式可以相互組合進(jìn)行實(shí)施。例如，異物檢測(cè)裝置1、異物檢測(cè)裝置1a、液滴噴出裝置100、液滴噴出裝置100a等所具備的各要素的形狀、尺寸、材質(zhì)、配置和數(shù)量等，并不限定于例示的內(nèi)容，可以適當(dāng)?shù)刈兏?