1.一種移位傳感器,包括:
光投射部,該光投射部發(fā)射處于第一偏光狀態(tài)的檢測光;
第一分光部件,該第一分光部件具有將入射光分成具有第一偏光狀態(tài)的光和具有第二偏光狀態(tài)的光并且將其發(fā)射的性質(zhì),并且該第一分光部件使從所述光投射部入射的處于第一偏光狀態(tài)的檢測光透過;
第一偏光旋轉(zhuǎn)部件,該第一偏光旋轉(zhuǎn)部件使從所述第一分光部件入射的處于所述第一偏光狀態(tài)的所述檢測光旋轉(zhuǎn)為處于第三偏光狀態(tài)的檢測光;
反射部件,該反射部件配置在從所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件到測量目標(biāo)的光路上,并且該反射部件與光軸的方向垂直地配置;
第二分光部件,該第二分光部件具有將入射光分成具有第三偏光狀態(tài)的光和具有第四偏光狀態(tài)的光并且將其發(fā)射的性質(zhì),該第二分光部件使從所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件入射的處于第三偏光狀態(tài)的檢測光透過、并且使其引導(dǎo)到所述反射部件,該第二分光部件使由所述反射部件反射的檢測光引導(dǎo)到所述測量目標(biāo),并且該第二分光部件使由所述測量目標(biāo)反射的反射檢測光在光路上在相反方向上引導(dǎo),所述檢測光沿著所述光路引導(dǎo)到所述測量目標(biāo);
光接收部,該光接收部通過所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件和所述第一分光部件接收從所述第二分光部件入射的所述反射檢測光;
第二偏光旋轉(zhuǎn)部件,該第二偏光旋轉(zhuǎn)部件配置在從所述第二分光部件到所述反射部件的光路上;
移動控制器,該移動控制器使所述檢測光的焦點位置在所述光軸的方向上移動;以及
位置判定單元,該位置判定單元根據(jù)由所述光接收部接收的光量判定所述測量目標(biāo)的在所述光軸的方向上的位置,
其中,所述第二偏光旋轉(zhuǎn)部件使從所述第二分光部件入射的處于第三偏光狀態(tài)的檢測光旋轉(zhuǎn)為處于所述第四偏光狀態(tài)的檢測光、并且使其返回到所述第二分光部件,并且從所述第二偏光旋轉(zhuǎn)部件入射的處于第四偏光狀態(tài)的檢測光通過所述第二分光部件從而引導(dǎo)到所述測量目標(biāo),并且通過所述第二分光部件作為處于第四偏光狀態(tài)的反射檢測光,從而再次發(fā)射到所述反射部件,
其中,所述第二偏光旋轉(zhuǎn)部件還使從所述第二分光部件入射的處于第四偏光狀態(tài)的檢測光旋轉(zhuǎn)為處于第三偏光狀態(tài)的檢測光并且使其返回到所述第二分光部件,并且從所述第二偏光旋轉(zhuǎn)部件入射的處于第三偏光狀態(tài)的反射檢測光通過所述第二分光部件,從而發(fā)射到所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件,
其中,所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件使從所述第二偏光旋轉(zhuǎn)部件入射的處于第三偏光狀態(tài)的檢測光旋轉(zhuǎn)為處于第二偏光狀態(tài)的檢測光,并且
其中,所述第一分光部件使從所述第一偏光旋轉(zhuǎn)部件入射的處于第二偏光狀態(tài)的檢測光透過,并且使其引導(dǎo)到所述光接收部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的移位傳感器,
其中,所述反射部件是包括以下部件的變焦鏡:薄板狀的鏡部;和基部,該基部支撐所述鏡部,從而使所述鏡部能夠在與該基部的表面垂直的方向上移動,并且
其中,所述移動控制器通過將電壓施加于所述變焦鏡而使所述鏡部的在所述光軸的方向上的位置相對于所述基部移動,來改變所述鏡部的曲率,并且所述移動控制器使所述檢測光的所述焦點位置在所述光軸的方向上移動。