一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置制造方法
【專利摘要】一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，包括初激發(fā)脈沖激光器、再激發(fā)脈沖激光器、信號接收單元、數(shù)據(jù)分析單元以及控制單元，其特征在于：還包括一空心球形約束裝置，該球形約束裝置的內(nèi)部豎直設(shè)置有一支撐桿，且該支撐桿的高度可調(diào)；所述初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束可垂直入射至待測樣品上表面中心位置；所述再激發(fā)脈沖激光器包括若干臺，各臺再激發(fā)脈沖激光器分別周向均勻間隔分布設(shè)置，且各臺再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束與待測樣品上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品上表面中心位置，以從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)。本實(shí)用新型具有更強(qiáng)的等離子體光譜信號強(qiáng)度、更低的元素檢出限和更高的檢測靈敏度。
【專利說明】一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
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[0001]本實(shí)用新型涉及一種元素分析裝置，尤其是一種對固態(tài)待測樣品的激光誘導(dǎo)元素分析裝置。

【背景技術(shù)】
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[0002]激光誘導(dǎo)光譜擊穿技術(shù)(laser-1nducedbreakdown spectroscopy,簡稱 LIBS)是一種新興的原子發(fā)射光譜分析技術(shù)，它將脈沖激光束聚焦到樣品表面，使樣品表面微量物質(zhì)氣化、電離、激發(fā)，形成高溫等離子體；通過光學(xué)系統(tǒng)收集等離子體發(fā)射的元素譜線，經(jīng)光纖耦合到光譜儀；光譜儀再將光譜數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)中進(jìn)行處理。LIBS技術(shù)具有快速、實(shí)時(shí)、無需樣品準(zhǔn)備、微損耗、多元素同時(shí)分析等特點(diǎn)。目前，LIBS技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括傳統(tǒng)的化學(xué)分析還有環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)在線測量、生物技術(shù)、文物保護(hù)、核工業(yè)、海洋科學(xué)、表面分析等。
[0003]但在實(shí)際應(yīng)用中，LIBS檢測存在靈敏度低、檢出限過高的不足，限制了該技術(shù)更深入的發(fā)展和更廣泛的應(yīng)用。為了充分發(fā)揮LIBS的技術(shù)優(yōu)勢，增強(qiáng)信號強(qiáng)度和降低LIBS檢出限是LIBS技術(shù)的重要發(fā)展方向。從提高LIBS光譜信號強(qiáng)度出發(fā)，國內(nèi)外報(bào)道的主要有電-磁場信號增強(qiáng)裝置、雙脈沖激光激發(fā)裝置。
[0004]電-磁場信號增強(qiáng)裝置對于提高純金屬樣品的LIBS光譜信號強(qiáng)度效果明顯，但對于原子晶體材料不起作用。因?yàn)樵泳w通過共價(jià)鍵形成空間網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，具有很高的熔沸點(diǎn)和不導(dǎo)電的晶體特性，即原子晶體材料等離子體電離度很低，一般小于0.1%，因此，外力口均勻電-磁場裝置對其光譜信號增強(qiáng)不起作用。
[0005]雙脈沖激光激發(fā)是指相隔數(shù)納秒至數(shù)十微秒的相繼兩個(gè)激光脈沖作用到被測樣品的同一位置上，第一束激光脈沖形成稀薄的泡沫狀等離子體，第二束激光脈沖將等離子體進(jìn)行加熱，不斷膨脹，譜線強(qiáng)度增強(qiáng)，從而降低光譜分析的檢出限。但是，雙脈沖技術(shù)存在空間上尚不能充分均勻激發(fā)等離子體的不足，不能讓等離子體內(nèi)的粒子得到充分的撞擊和壓縮。另外，單純的雙脈沖技術(shù)，缺少機(jī)械約束裝置，等離子體很容易向外逃逸，無法形成諧振加強(qiáng)效果，其等離子體輻射光譜信號的增強(qiáng)效果也是不夠理想的。


【發(fā)明內(nèi)容】

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[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其可從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)，可形成諧振加強(qiáng)效果，具有更強(qiáng)的等離子體光譜信號強(qiáng)度、更低的元素檢出限和更高的檢測靈敏度。
[0007]—種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，包括
[0008]初激發(fā)脈沖激光器，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束來激發(fā)出待測樣品的等離子體；
[0009]再激發(fā)脈沖激光器，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束對由初激發(fā)脈沖激光器激發(fā)出的等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)；
[0010]信號接收單元，用于接收采集所述經(jīng)過諧振再激發(fā)后的等離子體的光譜信號；
[0011]數(shù)據(jù)分析單元，與信號接收單元的輸出端連接，用于對信號接收單元采集到的光譜信號進(jìn)行分析比對，以確定待測樣品中所含元素的成分和/或含量；以及
[0012]控制單元，與所述初激發(fā)脈沖激光器、再激發(fā)脈沖激光器、以及信號接收單元電連接，用于控制所述初激發(fā)脈沖激光器和再激發(fā)脈沖激光器的開啟順序、以及控制信號接收單元對等離子體信號的采集時(shí)間；
[0013]其特征在于:還包括一用于諧振增強(qiáng)等離子體信號的空心球形約束裝置，該球形約束裝置的內(nèi)部豎直設(shè)置有一與其球心相對的頂部用于水平放置待測樣品的支撐桿，且該支撐桿的高度可調(diào)，以使待測樣品的上表面剛好位于過球形約束裝置球心處的水平面上；
[0014]所述初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置后垂直入射至待測樣品上表面中心位置，以激發(fā)出待測樣品的等離子體；
[0015]所述再激發(fā)脈沖激光器包括若干臺，各臺再激發(fā)脈沖激光器分別周向均勻間隔分布設(shè)置于過球形約束裝置球心處的水平面上，且各臺再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置后與待測樣品上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品上表面中心位置，以從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)。
[0016]本實(shí)用新型之激光誘導(dǎo)元素分析裝置，具有如下有益效果:在檢測分析過程中，待測樣品表面先由初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射高能量的脈沖激光束激發(fā)出等離子體，然后由多臺再激發(fā)脈沖激光器同時(shí)發(fā)射激光束從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)，從而產(chǎn)生等離子體波，等離子體波呈球形急速向外膨脹；等粒子體波與球形約束裝置的內(nèi)壁發(fā)生激烈碰撞后會反射回來壓縮等離子體，導(dǎo)致壓縮后的等離子體中的粒子碰撞幾率大大增力口，從而將低能級軌道上的粒子激發(fā)至高能級，使得高能級軌道上的受激原子數(shù)增加，輻射強(qiáng)度隨之增加；球形約束裝置與等離子體向外膨脹的波形基本匹配，因而可大大提高等離子體的壓縮效率，進(jìn)而提高等離子體光譜增強(qiáng)效應(yīng)，具有更強(qiáng)的等離子體光譜信號強(qiáng)度、更低的元素檢出限和更高的檢測靈敏度。
[0017]本實(shí)用新型可通過如下方案進(jìn)行改進(jìn):
[0018]所述再激發(fā)脈沖激光器包括三臺，各再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的激光束間的夾角為120度。即三束激光束的發(fā)射方向是以待測樣品為中心呈中心對稱結(jié)構(gòu)的，因此可以從空間上均勻地再次激發(fā)等離子體，使等離子體內(nèi)的粒子得到充分的撞擊和壓縮，等離子體內(nèi)所包含的各元素原子福射光譜的增強(qiáng)效果也會大大提高。
[0019]所述球形約束裝置的頂部開設(shè)有與其球心豎直正對的小孔，所述初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過該小孔后垂直入射至待測樣品上表面中心位置；而球形約束裝置上與過其球心的水平面相交位置處則繞周向均勻間隔開設(shè)有另外三個(gè)小孔，所述三臺再激發(fā)脈沖激光器與該三個(gè)小孔一一對應(yīng)，且三臺再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束分別穿過對應(yīng)小孔后與待測樣品上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品上表面中心位置。結(jié)構(gòu)簡單，各脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束可方便入射至球形約束裝置內(nèi)部形成等離子體波。
[0020]所述信號接收單元包括探頭、光譜儀、以及增強(qiáng)型CCD ;所述探頭和光譜儀通過光纖相互連接，且探頭位于所述開設(shè)于球形約束裝置頂部的小孔的上方，用于通過該小孔采集等離子體光譜信號并將采集到的光譜信號通過光纖傳輸?shù)焦庾V儀；所述光譜儀用于采集等離子體光譜信號中的光譜線信號；而所述增強(qiáng)型CCD，連接于光譜儀與數(shù)據(jù)分析單元之間，用于對光譜線信號進(jìn)行放大處理并轉(zhuǎn)化為電信號傳輸?shù)剿鰯?shù)據(jù)分析單元，且該增強(qiáng)型CCD還與所述控制單元連接，用于控制對等離子體信號的采集時(shí)間。結(jié)構(gòu)簡單，等離子體光譜信號采集精度高且分析處理快捷。
[0021 ] 所述球形約束裝置由兩個(gè)大小相同的可拆卸的半球形鋁殼組裝而成。結(jié)構(gòu)簡單，可方便放置待測樣品。
[0022]所述球形約束裝置的下方還設(shè)有一固定基座，所述支撐桿的底部穿過所述球形約束裝置的下方并與固定基座連接。結(jié)構(gòu)簡單，可使球形約束裝置在對待測樣品的元素測試分析過程中保持穩(wěn)定狀態(tài)。
[0023]所述球形約束裝置的直徑為1mm?20mm,厚度小于1mm。
[0024]所述小孔的直徑各為2mm。
[0025]所述光譜儀為光柵光譜儀，其光譜范圍為200nm?lOOOnm，分辨率為0.lnm。
[0026]所述初激發(fā)脈沖激光器和再激發(fā)脈沖激光器均采用Nd: YAG調(diào)Q激光器，其發(fā)射激光的波長為1064nm，脈寬為6ns，脈沖能量為10?300mJ范圍內(nèi)可調(diào)。

【專利附圖】

【附圖說明】
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[0027]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖2為圖1的A— A剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
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[0029]如圖1、圖2所示，一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，包括初激發(fā)脈沖激光器1、再激發(fā)脈沖激光器2、信號接收單元、數(shù)據(jù)分析單元4、控制單元5、以及空心球形約束裝置6。
[0030]所述初激發(fā)脈沖激光器1，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束來激發(fā)出待測樣品7的等離子體。
[0031]所述再激發(fā)脈沖激光器2，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束對由初激發(fā)脈沖激光器激發(fā)出的等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)。
[0032]所述信號接收單元，用于接收采集所述經(jīng)過諧振再激發(fā)后的等離子體的光譜信號。
[0033]所述數(shù)據(jù)分析單元4，與信號接收單元的輸出端連接，用于對信號接收單元采集到的光譜信號進(jìn)行分析比對，以確定待測樣品中所含元素的成分和/或含量。
[0034]所述控制單元5，與所述初激發(fā)脈沖激光器1、再激發(fā)脈沖激光器2、以及信號接收單元電連接，用于控制所述初激發(fā)脈沖激光器I和再激發(fā)脈沖激光器2的開啟順序、以及控制信號接收單元對等離子體信號的采集時(shí)間。
[0035]所述空心球形約束裝置6，用于諧振增強(qiáng)等離子體信號，該球形約束裝置的內(nèi)部豎直設(shè)置有一與其球心相對的頂部用于水平放置待測樣品7的支撐桿8，且該支撐桿8的高度可調(diào)，以使待測樣品7的上表面剛好位于過球形約束裝置6球心處的水平面上。
[0036]所述初激發(fā)脈沖激光器I所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置6后垂直入射至待測樣品7上表面中心位置，以激發(fā)出待測樣品7的等離子體。
[0037]所述再激發(fā)脈沖激光器2包括若干臺，各臺再激發(fā)脈沖激光器2分別周向均勻間隔分布設(shè)置于過球形約束裝置6球心處的水平面上，且各臺再激發(fā)脈沖激光器2所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置6后與待測樣品7上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品7上表面中心位置，以從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)，使等離子體內(nèi)的粒子得到充分的撞擊和壓縮，可大大增強(qiáng)等離子體內(nèi)所包含的各元素原子輻射光譜信號強(qiáng)度。
[0038]進(jìn)一步地，所述再激發(fā)脈沖激光器2包括三臺，各再激發(fā)脈沖激光器2所發(fā)射的激光束間的夾角為120度。
[0039]再進(jìn)一步地，所述球形約束裝置6的頂部開設(shè)有與其球心豎直正對的小孔61，所述初激發(fā)脈沖激光器I所發(fā)射的脈沖激光束經(jīng)一反射鏡及一透鏡后穿過該小孔61并垂直入射至待測樣品7上表面中心位置；而球形約束裝置6上與過其球心的水平面相交位置處則繞周向均勻間隔開設(shè)有另外三個(gè)小孔62、63、64，所述三臺再激發(fā)脈沖激光器2與該三個(gè)小孔一一對應(yīng)，且三臺再激發(fā)脈沖激光器2所發(fā)射的脈沖激光束經(jīng)對應(yīng)的透鏡聚集后分別穿過對應(yīng)小孔并與待測樣品7上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品7上表面中心位置。
[0040]更進(jìn)一步地，所述信號接收單元包括探頭31、光譜儀32、以及增強(qiáng)型(XD33 ;所述探頭31和光譜儀32通過光纖34相互連接，且探頭31位于所述開設(shè)于球形約束裝置6頂部的小孔61的上方，用于通過該小孔61采集等離子體光譜信號并將采集到的光譜信號通過光纖34傳輸?shù)焦庾V儀32 ;所述光譜儀32用于采集等離子體光譜信號中的光譜線信號；而所述增強(qiáng)型CCD33，連接于光譜儀32與數(shù)據(jù)分析單元4之間，用于對光譜線信號進(jìn)行放大處理并轉(zhuǎn)化為電信號傳輸?shù)剿鰯?shù)據(jù)分析單元4，且該增強(qiáng)型CCD33還與所述控制單元5連接，用于控制對等離子體信號的采集時(shí)間。
[0041]具體地，所述球形約束裝置6由兩個(gè)大小相同的可拆卸的半球形鋁殼組裝而成。
[0042]再進(jìn)一步地，所述球形約束裝置6的下方還設(shè)有一固定基座9，所述支撐桿8的底部穿過所述球形約束裝置6的下方并與固定基座9連接。
[0043]又進(jìn)一步地,所述球形約束裝置6的直徑為1mm?20mm,厚度小于1mm。
[0044]再進(jìn)一步地，所述小孔61、62、63、64的直徑各為2_。
[0045]再進(jìn)一步地，所述光譜儀32為光柵光譜儀，其光譜范圍為200nm?lOOOnm，分辨率為 0.lnm。
[0046]再進(jìn)一步地，所述控制單元5為數(shù)字延時(shí)發(fā)生器，所述數(shù)據(jù)分析單元4為計(jì)算機(jī)。
[0047]再進(jìn)一步地，所述初激發(fā)脈沖激光器I和再激發(fā)脈沖激光器2均采用Nd:YAG調(diào)Q激光器，其發(fā)射激光的波長為1064nm，脈寬為6ns，脈沖能量為10?300mJ范圍內(nèi)可調(diào)。
[0048]再進(jìn)一步地，所述支撐桿8為鋁質(zhì)圓柱形支撐桿，其直徑為2mm。
[0049]為了便于利用本實(shí)用新型的裝置來檢測樣品元素，在檢測前可對待測樣品進(jìn)行預(yù)處理，用切割機(jī)、打磨機(jī)將待測樣品處理成直徑為2?5mm的薄圓片。
[0050]運(yùn)用本實(shí)用新型裝置對待測樣品7進(jìn)行樣品元素檢測分析的過程如下:
[0051 ] 首先:在控制單元5的控制下，初激發(fā)脈沖激光器I所發(fā)射的激光束通過球形約束裝置6頂部小孔61后垂直入射至待測樣品7上表面，激發(fā)出等離子體。
[0052]其次，在控制單元5的控制下，三臺再激發(fā)脈沖激光器2同時(shí)發(fā)射激光束從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)，三臺再激發(fā)脈沖激光器2的激光束間的夾角各為120度，三束激光束的發(fā)射方向是以待測樣品7為中心呈中心對稱結(jié)構(gòu)的，因此可以從空間上均勻地再次激發(fā)等離子體，使等離子體內(nèi)的粒子得到充分的撞擊和壓縮，等離子體內(nèi)所包含的各元素原子福射光譜的增強(qiáng)效果也會大大提高。
[0053]再次，在控制單元5的控制下，所述信號接收單元中的探頭31通過位于球形約束裝置6頂部的小孔61采集等離子體光譜信號，并通過光纖34傳輸?shù)焦庾V儀32后至增強(qiáng)型CCD33，增強(qiáng)型CCD33對光譜線信號進(jìn)行放大處理并轉(zhuǎn)化為電信號傳輸?shù)剿鰯?shù)據(jù)分析單元4，數(shù)據(jù)分析單元4將接收的信號與光譜數(shù)據(jù)庫中各元素的光譜波長進(jìn)行對比分析，可確定樣品中所含元素的成分和含量。
[0054]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，凡依本實(shí)用新型專利范圍所做的同等變化與修飾，皆落入本實(shí)用新型專利涵蓋的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，包括 初激發(fā)脈沖激光器，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束來激發(fā)出待測樣品的等離子體；再激發(fā)脈沖激光器，用于發(fā)射高能量的脈沖激光束對由初激發(fā)脈沖激光器激發(fā)出的等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)； 信號接收單元，用于接收采集所述經(jīng)過諧振再激發(fā)后的等離子體的光譜信號； 數(shù)據(jù)分析單元，與信號接收單元的輸出端連接，用于對信號接收單元采集到的光譜信號進(jìn)行分析比對，以確定待測樣品中所含元素的成分和/或含量；以及 控制單元，與所述初激發(fā)脈沖激光器、再激發(fā)脈沖激光器、以及信號接收單元電連接，用于控制所述初激發(fā)脈沖激光器和再激發(fā)脈沖激光器的開啟順序、以及控制信號接收單元對等離子體信號的采集時(shí)間； 其特征在于:還包括一用于諧振增強(qiáng)等離子體信號的空心球形約束裝置，該球形約束裝置的內(nèi)部豎直設(shè)置有一與其球心相對的頂部用于水平放置待測樣品的支撐桿，且該支撐桿的高度可調(diào)，以使待測樣品的上表面剛好位于過球形約束裝置球心處的水平面上； 所述初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置后垂直入射至待測樣品上表面中心位置，以激發(fā)出待測樣品的等離子體； 所述再激發(fā)脈沖激光器包括若干臺，各臺再激發(fā)脈沖激光器分別周向均勻間隔分布設(shè)置于過球形約束裝置球心處的水平面上，且各臺再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過球形約束裝置后與待測樣品上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品上表面中心位置，以從空間上均勻地對等離子體進(jìn)行諧振再激發(fā)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述再激發(fā)脈沖激光器包括三臺，各再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的激光束間的夾角為120度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述球形約束裝置的頂部開設(shè)有與其球心豎直正對的小孔，所述初激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束穿過該小孔后垂直入射至待測樣品上表面中心位置；而球形約束裝置上與過其球心的水平面相交位置處則繞周向均勻間隔開設(shè)有另外三個(gè)小孔，所述三臺再激發(fā)脈沖激光器與該三個(gè)小孔一一對應(yīng)，且三臺再激發(fā)脈沖激光器所發(fā)射的脈沖激光束分別穿過對應(yīng)小孔后與待測樣品上表面處于同一水平面上水平入射至待測樣品上表面中心位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述信號接收單元包括探頭、光譜儀、以及增強(qiáng)型CCD ;所述探頭和光譜儀通過光纖相互連接，且探頭位于所述開設(shè)于球形約束裝置頂部的小孔的上方，用于通過該小孔采集等離子體光譜信號并將采集到的光譜信號通過光纖傳輸?shù)焦庾V儀；所述光譜儀用于采集等離子體光譜信號中的光譜線信號；而所述增強(qiáng)型CCD，連接于光譜儀與數(shù)據(jù)分析單元之間，用于對光譜線信號進(jìn)行放大處理并轉(zhuǎn)化為電信號傳輸?shù)剿鰯?shù)據(jù)分析單元，且該增強(qiáng)型CCD還與所述控制單元連接，用于控制對等離子體信號的采集時(shí)間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述球形約束裝置由兩個(gè)大小相同的可拆卸的半球形鋁殼組裝而成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述球形約束裝置的下方還設(shè)有一固定基座，所述支撐桿的底部穿過所述球形約束裝置的下方并與固定基座連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述球形約束裝置的直徑為1mm?20mm,厚度小于1mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述小孔的直徑各為2mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述光譜儀為光柵光譜儀，其光譜范圍為200nm?lOOOnm，分辨率為0.lnm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的一種激光誘導(dǎo)元素分析裝置，其特征在于:所述初激發(fā)脈沖激光器和再激發(fā)脈沖激光器均采用Nd: YAG調(diào)Q激光器，其發(fā)射激光的波長為1064nm，脈寬為6ns，脈沖能量為10?300mJ范圍內(nèi)可調(diào)。
【文檔編號】G01N21/63GK203965323SQ201420380514
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月10日
【發(fā)明者】陳慧挺, 鄒小勇, 彭振堅(jiān), 蔣泳濤, 鄭曉亮, 鄧之鶴 申請人:廣東省中山市質(zhì)量計(jì)量監(jiān)督檢測所