硅片偏心測試儀的制作方法
【專利摘要】硅片偏心測試儀，包括千分表、承載件、支撐座、測頭和測試儀儀身，承載件安裝在支撐座上，測試儀儀身位于承載件的一側(cè)，千分表固定在測試儀儀身上，側(cè)頭安裝在千分表的底端并垂直指向承載件的中心，承載件為三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，固定板為鏤空式固定板，支架A、支架B和支架C均安裝在鏤空處。采用本實用新型對硅片的偏心量進行測量，無須采用國外進口昂貴的設(shè)備便能輕易得出硅片的偏心量，設(shè)備簡單，價格低廉，測量方法也很方便，易于維修，適合于大量普通的生產(chǎn)光學(xué)器件公司的使用。
【專利說明】硅片偏心測試儀

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光學(xué)元件加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種用于對硅片的偏心量進行測量的硅片偏心測試儀。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，隨著科技的進步和發(fā)展，在用于數(shù)字照相機、攝影機等的各種光學(xué)系統(tǒng)中，經(jīng)常采用硅片用于改善光學(xué)性能和使光學(xué)系統(tǒng)小型化。與之相伴地，需要一種測量硅片的偏心量的方法。
[0003]傳統(tǒng)的偏心測量儀采用光源發(fā)射光束經(jīng)由透明的光學(xué)元件折射所產(chǎn)生折射光從而對此類光學(xué)元件的偏心量進行測量，但是硅片作為一種不透明固體，不能采用這種方法進行測量。并且，這種傳統(tǒng)的測量光學(xué)元件的偏心量所采用的機械設(shè)備多為國外進口，價格非常昂貴，普通的光學(xué)器件公司難以承擔(dān)和使用。因此，需采用一種新裝置來實現(xiàn)對硅片能進行很好的偏心量的測試。
[0004]因此，上述問題是在對硅片偏心測試儀的設(shè)計和使用過程中應(yīng)當(dāng)予以考慮并解決的問題。
實用新型內(nèi)容
[0005]針對上述存在的問題，本實用新型提供硅片偏心測試儀。
[0006]本實用新型的技術(shù)解決方案是:硅片偏心測試儀，包括千分表、承載件、支撐座、測頭和測試儀儀身，所述承載件安裝在所述支撐座上，所述測試儀儀身位于所述承載件的一偵U，所述千分表固定在所述測試儀儀身上，所述側(cè)頭安裝在所述千分表的的底端并垂直指向所述承載件的中心，所述承載件為三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，所述固定板為鏤空式固定板，所述支架A、支架B和支架C均安裝在鏤空處。
[0007]本實用新型的進一步改進在于:所述支架A、支架B和支架C的結(jié)構(gòu)相同，均包括固定旋鈕、滑塊和支撐軸，所述固定旋鈕安裝在所述滑塊上，所述支撐軸位于所述滑塊的頂端，所述支架A、支架B和支架C的支撐軸的頂端均指向所述承載件的中心。
[0008]本實用新型的進一步改進在于:所述固定板在所述支架A、所述支架B和所述支架C安裝的位置均開設(shè)有可供滑塊滑動的滑槽。
[0009]本實用新型的進一步改進在于:所述承載件上還設(shè)置有能在所述支撐座上上下移動的緊固鈕A，所述千分表也能通過所述測試儀儀身上的緊固鈕B進行上下移動。
[0010]本實用新型硅片偏心測試儀，通過緊固鈕A和緊固鈕B將承載件和千分表移動好位置固定住，在固定板上開設(shè)的滑槽中移動滑塊使得支架A、支架B和支架C的支撐軸的末端聚集在一起，聚集處為承載件的中心，通過滑塊上的固定旋鈕固定住滑塊在滑槽中的位置。然后通過把測頭往上拔，將待測硅片放在支架A、支架B和支架C的支撐軸末端的聚集處，測頭的末端抵住硅片的上表面，通過千分表進行測量，再將硅片旋轉(zhuǎn)180°后，重復(fù)測量，能準(zhǔn)確測出硅片的偏心量。
[0011]本實用新型的有益效果是:硅片置于支架A、支架B和支架C支撐軸組成的中心點，硅片擺放位置平穩(wěn)。本實用新型設(shè)計了一種硅片偏心測試儀，無須采用國外進口昂貴的設(shè)備便能輕易得出硅片的偏心量，設(shè)備簡單，價格低廉，測量方法也很方便，讀數(shù)直觀，普通工人便能操作，并且易于維修，適合于大量普通的生產(chǎn)光學(xué)器件公司的使用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型硅片偏心測試儀的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中，1-千分表，2-承載件，3-支撐座，4-測頭，5-測試儀儀身，6_固定板，7_支架A、8-支架B, 9-支架C，10-固定旋鈕，11-滑塊，12-支撐軸，13-滑槽，14-緊固鈕A，15-緊固鈕B。

【具體實施方式】
[0014]為了加深對本實用新型的理解，下面將結(jié)合附圖和實施例對本實用新型做進一步詳細描述，該實施例僅用于解釋本實用新型，并不對本實用新型的保護范圍構(gòu)成限定。
[0015]本實施例提供硅片偏心測試儀，包括千分表1、承載件2、支撐座3、測頭4和測試儀儀身5，所述承載件2安裝在所述支撐座3上，所述測試儀儀身5位于所述承載件2的一側(cè)，所述千分表I固定在所述測試儀儀身5上，所述側(cè)頭安裝在所述千分表I的的底端并垂直指向所述承載件2的中心，所述承載件2為三足式形式，包括固定板6、支架A7、支架B8和支架C9，所述固定板6為鏤空式固定板6，所述支架A7、支架B8和支架C9均安裝在鏤空處。所述支架A7、支架B8和支架C9的結(jié)構(gòu)相同，均包括固定旋鈕10、滑塊11和支撐軸12，所述固定旋鈕10安裝在所述滑塊11上，所述支撐軸12位于所述滑塊11的頂端，所述支架A7、支架B8和支架C9的支撐軸12的頂端均指向所述承載件2的中心。所述固定板6在所述支架A7、所述支架B8和所述支架C9安裝的位置均開設(shè)有可供滑塊11滑動的滑槽13。所述承載件2上還設(shè)置有能在所述支撐座3上上下移動的緊固鈕A14，所述千分表I也能通過所述測試儀儀身5上的緊固鈕B15進行上下移動。
[0016]本實施例硅片偏心測試儀，通過緊固鈕A14和緊固鈕B15將承載件2和千分表I移動好位置固定住，在固定板6上開設(shè)的滑槽13中移動滑塊11使得支架A7、支架B8和支架C9的支撐軸12的末端聚集在一起，聚集處為承載件2的中心，通過滑塊11上的固定旋鈕10固定住滑塊11在滑槽13中的位置。然后通過把測頭4往上拔，將待測硅片放在支架A7、支架B8和支架C9的支撐軸12末端的聚集處，測頭4的末端抵住硅片的上表面，通過千分表I進行測量，再將硅片旋轉(zhuǎn)180°后，重復(fù)測量，能準(zhǔn)確測出硅片的偏心量。
[0017]本實施例的有益效果是:硅片置于支架A、支架B和支架C支撐軸組成的中心點，硅片擺放位置平穩(wěn)。本實用新型設(shè)計了一種硅片偏心測試儀，無須采用國外進口昂貴的設(shè)備便能輕易得出硅片的偏心量，設(shè)備簡單，價格低廉，測量方法也很方便，讀數(shù)直觀，普通工人便能操作，并且易于維修，適合于大量普通的生產(chǎn)光學(xué)器件公司的使用。
【權(quán)利要求】
1.硅片偏心測試儀，其特征在于:包括千分表(I)、承載件(2)、支撐座(3)、測頭(4)和測試儀儀身(5)，所述承載件(2)安裝在所述支撐座(3)上，所述測試儀儀身(5)位于所述承載件(2)的一側(cè)，所述千分表(I)固定在所述測試儀儀身(5)上，所述側(cè)頭安裝在所述千分表(I)的的底端并垂直指向所述承載件(2)的中心，所述承載件(2)為三足式形式，包括固定板(6)、支架A (7)、支架B (8)和支架C (9),所述固定板(6)為鏤空式固定板(6),所述支架A (7)、支架B (8)和支架C (9)均安裝在鏤空處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片偏心測試儀，其特征在于:所述支架A(7)、支架B (8)和支架C (9 )的結(jié)構(gòu)相同，均包括固定旋鈕(10 )、滑塊(11)和支撐軸(12)，所述固定旋鈕(10 )安裝在所述滑塊(11)上，所述支撐軸(12)位于所述滑塊(11)的頂端，所述支架A (7)、支架B (8)和支架C (9)的支撐軸(12)的頂端均指向所述承載件(2)的中心。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片偏心測試儀，其特征在于:所述固定板(6)在所述支架A (7)、所述支架B (8)和所述支架C (9)安裝的位置均開設(shè)有可供滑塊(11)滑動的滑槽(13)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片偏心測試儀，其特征在于:所述承載件(2)上還設(shè)置有能在所述支撐座(3)上上下移動的緊固鈕A (14)，所述千分表(I)也能通過所述測試儀儀身(5)上的緊固鈕B (15)進行上下移動。
【文檔編號】G01B5/252GK203981101SQ201420328729
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月19日
【發(fā)明者】張華民, 言利宏, 言紅平, 馬黎均, 蘇寶紅 申請人:丹陽市鑫燁光學(xué)儀器有限公司