機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，技術(shù)目的是提供一種測試數(shù)據(jù)可靠的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，包括有氣浮平臺(tái)、氣足、托輪、氣泵、機(jī)械手支撐架、配平重物、6D激光跟蹤儀、臂桿、第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)、第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)；系統(tǒng)及測試步驟簡單、測試數(shù)據(jù)可靠、易于實(shí)現(xiàn)，適用于空間機(jī)械手的測試應(yīng)用領(lǐng)域。
【專利說明】機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于空間機(jī)械手應(yīng)用【技術(shù)領(lǐng)域】，可為所研制的空間機(jī)械手實(shí)施地面位姿精度測試。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著技術(shù)的進(jìn)步，人類的活動(dòng)在不斷地向太空擴(kuò)展。據(jù)統(tǒng)計(jì)，全球平均每年發(fā)射80?130顆衛(wèi)星，然而有2?3顆衛(wèi)星未能正確入軌，而正確入軌的衛(wèi)星中，又有5?10顆在壽命初期(入軌后前30天)即失效，這導(dǎo)致了巨大的經(jīng)濟(jì)損失。為了盡可能挽回?fù)p失，各國正在研究以衛(wèi)星維修和生命延長為目的以空間機(jī)械手為操作手段的在軌服務(wù)技術(shù)。目前的在軌服務(wù)主要包括ORU(Orbital replacing unit)更換、燃料的補(bǔ)給、廢棄衛(wèi)星的清理等等。實(shí)現(xiàn)這些任務(wù)的一個(gè)重要步驟是實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)衛(wèi)星的抓捕和重新定位。一般而言，空間機(jī)械手的抓捕工具位姿容差有限，更多的是依靠空間機(jī)械手本身的定位精度來確保抓捕的成功。因此，空間機(jī)械手位姿精度的地面測試是非常重要的環(huán)節(jié)，它較大程度反映了空間機(jī)械手的抓捕能力。由于空間機(jī)械手是針對(duì)空間在軌微重力環(huán)境而設(shè)計(jì)的，關(guān)節(jié)驅(qū)動(dòng)力拒有限，因此，在地面進(jìn)行空間機(jī)械手位姿精度測試必須首先研制測試系統(tǒng)，進(jìn)行重力補(bǔ)償，抵消地面重力的影響。為此，如何獲得微重力環(huán)境是空間機(jī)械手位姿精度地面測試的一個(gè)關(guān)鍵問題。目前在地面模擬在軌微重力環(huán)境的測試系統(tǒng)主要有5類，他們是“懸吊系統(tǒng)”、“自由落體”、“水浮系統(tǒng)”、“氣浮系統(tǒng)”和“輔助平行四邊形定質(zhì)心、彈簧連接混合系統(tǒng)”。懸吊方式成本低，維護(hù)方便，技術(shù)成熟，但機(jī)構(gòu)較為復(fù)雜，重力補(bǔ)償不完全；水浮裝置和微重力塔的成本高、維護(hù)費(fèi)用高，前者在實(shí)驗(yàn)時(shí)還要求保證系統(tǒng)的密封性，后者雖然補(bǔ)償重力效果好，但作用時(shí)間太短，不適于空間機(jī)械手的實(shí)驗(yàn)操作；氣浮方式只能保證空間機(jī)械手在氣浮平面內(nèi)運(yùn)動(dòng)，但重力補(bǔ)償效果較好；輔助平行四邊形定質(zhì)心、彈簧連接的混合方法技術(shù)還不成熟。綜合考慮，氣浮平臺(tái)并輔助合理的位姿精度測試方式更適合空間機(jī)械手位姿精度測試。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的第一個(gè)目的在于提供一種精度測試數(shù)據(jù)可靠的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)。
[0004]本發(fā)明的第二個(gè)目的在于提供機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)下的測試步驟。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，
[0006]包括有氣浮平臺(tái)、氣足、托輪、氣泵、機(jī)械手支撐架、配平重物、6D激光跟蹤儀、臂桿、第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)、第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)；
[0007]氣浮平臺(tái)用于對(duì)來自氣足的高壓氣體施加反作用力，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣足的支撐；在氣足的上部裝有托輪，可使第一關(guān)節(jié)相對(duì)氣足旋轉(zhuǎn)；
[0008]氣足的動(dòng)力載荷能隨著承載機(jī)械臂的幾何狀態(tài)以及機(jī)械臂的不同伸展?fàn)顟B(tài)發(fā)生變化；[0009]機(jī)械手支撐架用于固定被測試機(jī)械手，提供與機(jī)械手的連接接口，以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手相應(yīng)部位的支撐，保證機(jī)械臂在平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)；
[0010]第四關(guān)節(jié)與第五關(guān)節(jié)之間安裝有臂桿，配平重物用于平衡臂桿的偏置所產(chǎn)生的對(duì)第三關(guān)節(jié)的附加重力矩，使第三關(guān)節(jié)能夠順利實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)；
[0011]6D激光跟蹤儀用于實(shí)施位置檢測；氣泵用于提供空氣動(dòng)力；
[0012]測試時(shí)，空間機(jī)械手的第一關(guān)節(jié)松開，解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，讓第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣；讓第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣。
[0013]本發(fā)明在上述系統(tǒng)下的測試過程為:
[0014]將第四關(guān)節(jié)和第五關(guān)節(jié)之間的臂桿固定，實(shí)現(xiàn)對(duì)空間機(jī)械手的吊裝；
[0015]解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，并利用托輪實(shí)現(xiàn)第一關(guān)節(jié)相對(duì)于氣足的旋轉(zhuǎn)；
[0016]第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置；
[0017]測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣；
[0018]讓第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置；
[0019]測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣；
[0020]將兩個(gè)位姿矩陣合成，測得空間機(jī)械手的末端位姿；
[0021]與理論位姿相比較，即可得到空間機(jī)械手的末端位姿精度。
[0022]根據(jù)本發(fā)明的空間機(jī)械手六維位姿精度測試系統(tǒng)，氣浮平臺(tái)用于對(duì)來自氣足的高壓氣體施加反作用力，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣足的支撐。它由多塊黑色花崗巖拼接組成，外形尺寸是3600mmX 4200mmX 400mm,平臺(tái)的粗糖度優(yōu)于0.4um,平面度優(yōu)于0.0lmm/lOOmm。氣足是實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的關(guān)鍵設(shè)備，關(guān)系到能否給機(jī)械臂提供微重力環(huán)境下的自由運(yùn)動(dòng)。由于在機(jī)械臂關(guān)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)氣足要支撐機(jī)械臂在平臺(tái)平面上運(yùn)動(dòng)，此時(shí)對(duì)氣足的載荷有影響，因此氣足的動(dòng)力載荷能隨著承載機(jī)械臂的幾何狀態(tài)以及機(jī)械臂的不同伸展?fàn)顟B(tài)發(fā)生變化。氣足是地面實(shí)驗(yàn)的附加裝置，機(jī)械臂在空間運(yùn)動(dòng)時(shí)是沒有氣足這個(gè)部件的，因此為了不影響機(jī)械臂的性能要求盡力減小氣足的質(zhì)量，以減少氣足對(duì)關(guān)節(jié)的附加的力矩需求。在測試中，空間機(jī)械手的第一關(guān)節(jié)松開，其由氣足來支撐，在氣足的上部裝有托輪，可使第一關(guān)節(jié)相對(duì)氣足旋轉(zhuǎn)。機(jī)械手支撐架是固定被測試機(jī)械手的物理部件，可提供與機(jī)械手的連接接口，以實(shí)現(xiàn)對(duì)空間機(jī)械手相應(yīng)部位的支撐，保證機(jī)械臂在平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)。本系統(tǒng)對(duì)機(jī)械手測試時(shí)將固定第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)之間的臂桿(采用吊裝的方式)，在支撐架的設(shè)計(jì)中提供了一定的調(diào)節(jié)余量，保證機(jī)械臂的正常安裝。配平重物用來平衡臂桿的偏置所產(chǎn)生的對(duì)第三關(guān)節(jié)的附加重力矩，使第三關(guān)節(jié)能夠順利實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)。測試系統(tǒng)所使用的測量儀器是美國API公司提供的6D激光跟蹤儀，由一個(gè)跟蹤頭、2個(gè)6D傳感器、控制器和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成的。六維激光跟蹤儀能同時(shí)測量物體的X，Y，Z坐標(biāo)值和三個(gè)姿態(tài)的轉(zhuǎn)角。其靜態(tài)單點(diǎn)坐標(biāo)測量精度達(dá)到5ppm，動(dòng)態(tài)達(dá)到lOppm。測量系統(tǒng)通過測量儀器能夠直接測得安裝在機(jī)械臂上靶標(biāo)的6維姿態(tài)，從而得到機(jī)械臂的位姿參數(shù)。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的機(jī)械手的位姿精度測試系統(tǒng)，在解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束后，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，并利用托輪實(shí)現(xiàn)第一關(guān)節(jié)相對(duì)于氣足的旋轉(zhuǎn)；讓第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置；測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣；讓第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置；測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣；將兩個(gè)位姿矩陣合成，測得空間機(jī)械手的末端位姿；與理論位姿相比較，即可得到空間機(jī)械手的末端位姿精度。本測試方法基于空間機(jī)械手末端位姿是各個(gè)關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)學(xué)合成的原理。
[0024]本發(fā)明的有益技術(shù)效果是:該系統(tǒng)及測試步驟簡單、測試數(shù)據(jù)可靠、易于實(shí)現(xiàn)，已在空間機(jī)械手的驗(yàn)收測試中得到應(yīng)用，取的了良好的效果。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0025]圖1是根據(jù)本發(fā)明的空間機(jī)械手安裝及測試結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2是根據(jù)本發(fā)明的機(jī)械手的位姿精度測試系統(tǒng)流程框圖；
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0028]在圖1中，機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，包括有氣浮平臺(tái)200、氣足201、托輪202、氣泵、機(jī)械手支撐架204、配平重物203、6D激光跟蹤儀、臂桿、第一關(guān)節(jié)205、第二關(guān)節(jié)206、第三關(guān)節(jié)207、第四關(guān)節(jié)208、第五關(guān)節(jié)209、第六關(guān)節(jié)210 ;氣足201是一個(gè)噴氣口，氣泵用于提供空氣動(dòng)力；
[0029]氣浮平臺(tái)用于對(duì)來自氣足的高壓氣體施加反作用力，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣足的支撐；在氣足的上部裝有托輪，可使第一關(guān)節(jié)相對(duì)氣足旋轉(zhuǎn)；
[0030]氣足的動(dòng)力載荷能隨著承載機(jī)械臂的幾何狀態(tài)以及機(jī)械臂的不同伸展?fàn)顟B(tài)發(fā)生變化；
[0031]機(jī)械手支撐架用于固定被測試機(jī)械手，提供與機(jī)械手的連接接口，以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手相應(yīng)部位的支撐，保證機(jī)械臂在平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)；
[0032]第四關(guān)節(jié)與第五關(guān)節(jié)之間安裝有臂桿，配平重物用于平衡臂桿的偏置所產(chǎn)生的對(duì)第三關(guān)節(jié)的附加重力矩，使第三關(guān)節(jié)能夠順利實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)；
[0033]6D激光跟蹤儀用于實(shí)施位置檢測；氣泵用于提供空氣動(dòng)力；
[0034]測試時(shí)，空間機(jī)械手的第一關(guān)節(jié)松開，解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，讓第一關(guān)節(jié)205、第二關(guān)節(jié)206、第三關(guān)節(jié)207運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得第三關(guān)節(jié)207相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣；讓、第四關(guān)節(jié)208、第五關(guān)節(jié)209、第六關(guān)節(jié)210運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)207的變換矩陣。
[0035]圖1是系統(tǒng)的空間機(jī)械手安裝及測試示意圖，圖中空間機(jī)械手在花崗巖氣浮平臺(tái)上被展開，第四關(guān)節(jié)208和第五關(guān)節(jié)209之間的臂桿被吊裝，空間機(jī)械手安裝法蘭被解除約束，第一關(guān)節(jié)由安裝有托輪的氣足支撐，通過配平重物，平衡該臂桿對(duì)第三關(guān)節(jié)207的附加力矩，在第一關(guān)節(jié)205的法蘭部位、第三關(guān)節(jié)207和第四關(guān)節(jié)208的連接部位以及機(jī)械手末端分別布置靶標(biāo)1、靶標(biāo)2和靶標(biāo)3。
[0036]本發(fā)明第二個(gè)目的為提出一種機(jī)械手的位姿精度測試系統(tǒng)，結(jié)合圖2具體描述本發(fā)明的基機(jī)械手的位姿精度測試系統(tǒng)流程如下:
[0037]步驟S101，將第四關(guān)節(jié)208和第五關(guān)節(jié)209之間的臂桿固定，實(shí)現(xiàn)對(duì)空間機(jī)械手的吊裝。
[0038]步驟S102，解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)205進(jìn)行支撐，并利用托輪實(shí)現(xiàn)第一關(guān)節(jié)相對(duì)于氣足的旋轉(zhuǎn)。
[0039]步驟S103，讓第一關(guān)節(jié)205、第二關(guān)節(jié)206、第三關(guān)節(jié)207運(yùn)動(dòng)到指定的位置。
[0040]步驟S104，測得第三關(guān)節(jié)207相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣。
[0041]步驟S105，讓第四關(guān)節(jié)208、第五關(guān)節(jié)209、第六關(guān)節(jié)210運(yùn)動(dòng)到指定的位置。
[0042]步驟S106，測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)207的變換矩陣。
[0043]步驟S107，將兩個(gè)位姿矩陣合成，測得空間機(jī)械手的末端位姿。具體的說，假設(shè)平臺(tái)坐標(biāo)系在測量儀器坐標(biāo)系中的位置和姿態(tài)值是(x，y，z，α, β, y)q，本專利中所使用的位姿角度如沒有特殊說明均為RPY角，則Q坐標(biāo)系到P坐標(biāo)系之間的轉(zhuǎn)換矩陣;; 由以下公式給出。
【權(quán)利要求】
1.機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，其特征在于， 包括有氣浮平臺(tái)、氣足、托輪、氣泵、機(jī)械手支撐架、配平重物、6D激光跟蹤儀、臂桿、第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)、第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)； 氣浮平臺(tái)用于對(duì)來自氣足的高壓氣體施加反作用力，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣足的支撐；在氣足的上部裝有托輪，可使第一關(guān)節(jié)相對(duì)氣足旋轉(zhuǎn)； 氣足的動(dòng)力載荷能隨著承載機(jī)械臂的幾何狀態(tài)以及機(jī)械臂的不同伸展?fàn)顟B(tài)發(fā)生變化； 機(jī)械手支撐架用于固定被測試機(jī)械手，提供與機(jī)械手的連接接口，以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)械手相應(yīng)部位的支撐，保證機(jī)械臂在平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)； 第四關(guān)節(jié)與第五關(guān)節(jié)之間安裝有臂桿，配平重物用于平衡臂桿的偏置所產(chǎn)生的對(duì)第三關(guān)節(jié)的附加重力矩，使第三關(guān)節(jié)能夠順利實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)； 6D激光跟蹤儀用于實(shí)施位置檢測；氣泵用于提供空氣動(dòng)力； 測試時(shí)，空間機(jī)械手的第一關(guān)節(jié)松開，解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，讓第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣；讓第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置，測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣。
2.根據(jù)權(quán)利要 求1所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，其特征在于:固定于第四關(guān)節(jié)和第五關(guān)節(jié)之間的臂桿采用吊裝的方式安裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，其特征在于:所述6D激光跟蹤儀由一個(gè)跟蹤頭、2個(gè)6D傳感器、控制器和連接整個(gè)系統(tǒng)的電纜組成的，能同時(shí)測量物體的X，Y，Z坐標(biāo)值和三個(gè)姿態(tài)的轉(zhuǎn)角，其靜態(tài)與動(dòng)態(tài)單點(diǎn)坐標(biāo)測量精度分別達(dá)到5ppm和lOppm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，其特征在于:所述氣浮平臺(tái)由多塊黑色花崗巖拼接組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)，其特征在于:在第一關(guān)節(jié)的法蘭部位、第三關(guān)節(jié)和第四關(guān)節(jié)的連接部位以及機(jī)械手末端分別布置靶標(biāo)1、靶標(biāo)2和靶標(biāo)3。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的測量方法，其特征在于:分別測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣和機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣，將兩個(gè)位姿矩陣合成，測得空間機(jī)械手的末端位姿，與理論位姿相比較，即可得到空間機(jī)械手的末端位姿精度。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的測量方法，其特征在于具體包括如下步驟: (1)將第四關(guān)節(jié)和第五關(guān)節(jié)之間的臂桿固定，實(shí)現(xiàn)對(duì)空間機(jī)械手的吊裝； (2)解除空間機(jī)械手法蘭基座的約束，用氣足對(duì)第一關(guān)節(jié)進(jìn)行支撐，并利用托輪實(shí)現(xiàn)第一關(guān)節(jié)相對(duì)于氣足的旋轉(zhuǎn)； (3)讓第一關(guān)節(jié)、第二關(guān)節(jié)、第三關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置； (4)測得第三關(guān)節(jié)相對(duì)于機(jī)械手安裝法蘭的變換矩陣； (5)讓第四關(guān)節(jié)、第五關(guān)節(jié)、第六關(guān)節(jié)運(yùn)動(dòng)到指定的位置； (6)測得機(jī)械手末端相對(duì)于第三關(guān)節(jié)的變換矩陣； (7)將兩個(gè)位姿矩陣合成，測得空間機(jī)械手的末端位姿；(8)與理論位姿相比較，即可得到空間機(jī)械手的末端位姿精度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的測量方法，其特征在于:步驟7通過測量同一個(gè)點(diǎn)在不同坐標(biāo)系下的坐標(biāo)值計(jì)算出不同坐標(biāo)系之間的坐標(biāo)轉(zhuǎn)換矩陣。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的測量方法，其特征在于:步驟7中對(duì)每一個(gè)測量點(diǎn)在步驟SlOl和步驟SlOl均進(jìn)行多次測量。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的機(jī)械手位姿精度測試系統(tǒng)的測量方法，其特征在于:步驟8中包括絕對(duì)位姿精度 的計(jì)算和重復(fù)定位位姿精度的計(jì)算。
【文檔編號(hào)】G01B11/26GK104019743SQ201410250645
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年6月6日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月6日
【發(fā)明者】梁斌, 王學(xué)謙, 劉厚德, 劉宇, 張博 申請人:清華大學(xué)深圳研究生院