一種標(biāo)度因子可調(diào)節(jié)的電容撓性加速度計(jì)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種標(biāo)度因子可調(diào)節(jié)的電容撓性加速度計(jì)。包括檢驗(yàn)質(zhì)量，一對(duì)差分電容器，傳感器，計(jì)算模塊，以及靜電執(zhí)行機(jī)；檢驗(yàn)質(zhì)量通過(guò)撓性結(jié)構(gòu)連接固定的框架，一對(duì)差分電容器包括兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板和兩個(gè)固定極板，兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板由檢驗(yàn)質(zhì)量?jī)蓚?cè)面上的金屬鍍層構(gòu)成，兩個(gè)固定極板對(duì)稱設(shè)置在檢驗(yàn)質(zhì)量的兩側(cè)，且分別與兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板正對(duì)；兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板連接傳感器的輸入端，傳感器的輸出端連接計(jì)算模塊的輸入端，計(jì)算模塊的輸出端連接靜電執(zhí)行機(jī)的輸入端，靜電執(zhí)行機(jī)的輸出端連接兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)度因子的大范圍調(diào)節(jié)，能廣泛用于旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中，有效抑制沿轉(zhuǎn)臺(tái)平面的平動(dòng)加速度噪聲，以及沿轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)軸的角加速度噪聲。
【專利說(shuō)明】—種標(biāo)度因子可調(diào)節(jié)的電容撓性加速度計(jì)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于地球重力場(chǎng)測(cè)量【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地，涉及一種標(biāo)度因子可調(diào)節(jié)的電容撓性加速度計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002]地球重力場(chǎng)是近地空間最基本的物理場(chǎng)之一，反映了地球內(nèi)部物質(zhì)組成和分布信息，通過(guò)精確測(cè)量地球重力場(chǎng)可以反演估計(jì)出地球表層的物質(zhì)分布和變化。地球重力場(chǎng)的測(cè)量包括對(duì)重力加速度和重力梯度張量的測(cè)量，由于重力梯度張量是重力位的二階導(dǎo)數(shù)，因此重力梯度測(cè)量較重力加速度測(cè)量對(duì)重力場(chǎng)的短波分量更加敏感，測(cè)量重力梯度張量比測(cè)量重力加速度更能夠反映場(chǎng)源體的細(xì)節(jié)，具有更高的空間分辨率；另一方面重力梯度通常采用差分測(cè)量，能夠有效地抑制源于搭載平臺(tái)自身運(yùn)動(dòng)的影響，因此在精化地球重力場(chǎng)、重力資源勘探、重力輔助慣性導(dǎo)航等方面具有更加廣泛的應(yīng)用前景。
[0003]在過(guò)去的數(shù)十年中，澳大利亞BHP公司和美國(guó)LockheedMarin公司研制的基于旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)的航空和艇載重力梯度測(cè)量系統(tǒng)(FALCON和Air-FTG)分別在重力資源勘探和重力輔助導(dǎo)航等領(lǐng)域取得極好的效果。旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀的基本結(jié)構(gòu)是由四個(gè)加速度計(jì)對(duì)稱反向平行安放在旋轉(zhuǎn)圓盤上，其敏感軸沿圓盤的切線方向。理想情況下，四個(gè)加速度計(jì)標(biāo)度因子完全一致，當(dāng)回轉(zhuǎn)臺(tái)以一定的速度轉(zhuǎn)動(dòng)起來(lái)后，將四個(gè)加速度計(jì)的輸出信號(hào)進(jìn)行組合，能夠抑制掉圓盤上的平動(dòng)加速度及轉(zhuǎn)動(dòng)加速度，并且放大重力梯度信號(hào)。而實(shí)際上，四個(gè)加速度計(jì)不可能完全一致，這就需要通過(guò)引入標(biāo)度因子調(diào)節(jié)機(jī)械結(jié)構(gòu)和外置電路系統(tǒng)，實(shí)時(shí)更改加速度計(jì)的標(biāo)度因子，實(shí)現(xiàn)四個(gè)加速度計(jì)的匹配，從而實(shí)現(xiàn)重力梯度信號(hào)的測(cè)量。
[0004]目前的旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中采用撓性力平衡加速度計(jì)，該加速度計(jì)采用電容傳感和電磁反饋的工作方式，由差分電容傳感檢測(cè)檢驗(yàn)質(zhì)量對(duì)框架的相對(duì)位移，然后在與檢驗(yàn)質(zhì)量固連在一起的反饋線圈中施加電流，通過(guò)安培力來(lái)平衡外界加速度。在多個(gè)加速度計(jì)構(gòu)成梯度儀時(shí)，在加速度計(jì)表頭的磁極附近額外加入標(biāo)度因子調(diào)節(jié)線圈，通過(guò)在該線圈中施加與標(biāo)度因子不匹配對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)電流來(lái)實(shí)現(xiàn)成對(duì)加速度計(jì)的標(biāo)度因子一致性匹配，這對(duì)構(gòu)成加速度計(jì)表頭的永久磁極的均勻性和穩(wěn)定性提出了極高的要求，此外，對(duì)永久磁極產(chǎn)生的磁場(chǎng)進(jìn)行調(diào)節(jié)還會(huì)引入非線性、溫度擾動(dòng)等問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷或改進(jìn)需求，本發(fā)明提供了一種標(biāo)度因子可調(diào)節(jié)的電容撓性加速度計(jì)，有效避免了標(biāo)度因子一致性調(diào)節(jié)中對(duì)磁極均勻性和穩(wěn)定性的苛刻要求，以及調(diào)節(jié)磁場(chǎng)引入的非線性、溫度擾動(dòng)等問(wèn)題，可實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)度因子的大范圍調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方法簡(jiǎn)單易行，能廣泛用于旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中，有效抑制沿轉(zhuǎn)臺(tái)平面的平動(dòng)加速度噪聲，以及沿轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)軸的角加速度噪聲。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的，按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，包括檢驗(yàn)質(zhì)量，一對(duì)差分電容器，傳感器，計(jì)算模塊，以及靜電執(zhí)行機(jī)；所述檢驗(yàn)質(zhì)量通過(guò)撓性結(jié)構(gòu)連接固定的框架，所述一對(duì)差分電容器包括兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板和兩個(gè)固定極板，其中，兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板由所述檢驗(yàn)質(zhì)量?jī)蓚?cè)面上的金屬鍍層構(gòu)成，兩個(gè)固定極板對(duì)稱設(shè)置在所述檢驗(yàn)質(zhì)量的兩側(cè)，且分別與兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板正對(duì)；兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板連接所述傳感器的輸入端，所述傳感器的輸出端連接所述計(jì)算模塊的輸入端，所述計(jì)算模塊的輸出端連接所述靜電執(zhí)行機(jī)的輸入端，所述靜電執(zhí)行機(jī)的輸出端連接兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板；所述傳感器用于將所述檢驗(yàn)質(zhì)量的位移量轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，所述計(jì)算模塊用于根據(jù)所述傳感器輸出的電壓信號(hào)計(jì)算需要施加到兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板上的電壓，所述靜電執(zhí)行機(jī)用于產(chǎn)生作用于兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓，使所述檢驗(yàn)質(zhì)量回復(fù)到平衡位置。
[0007]優(yōu)選地，工作時(shí)，兩個(gè)固定極板的電壓由高頻電壓信號(hào)和直流電壓信號(hào)Vb疊加而成，Vb = VM+Vtb，其中，初始偏置電壓Vm為恒定值，Vtb為調(diào)整電壓。

[0008]優(yōu)選地，標(biāo)度因子K1=2C0/md0Vb，其中，C0為所述檢驗(yàn)質(zhì)量在平衡位置時(shí)所述一


對(duì)差分電容器的容值，m為所述檢驗(yàn)質(zhì)量的質(zhì)量，Cltl為所述檢驗(yàn)質(zhì)量在平衡位置時(shí)兩個(gè)固定極板和與其對(duì)應(yīng)的運(yùn)動(dòng)極板的間距。
[0009]優(yōu)選地，|vtb|≤|Vbo|。
[0010]按照本發(fā)明的另一方面，提供了一種含有上述電容撓性加速度計(jì)的旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀。
[0011]按照本發(fā)明的又一方面，提供了一種旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中加速度計(jì)標(biāo)度因子的一致性調(diào)節(jié)方法，所述旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀含有一對(duì)上述電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，根據(jù)所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的靜電執(zhí)行機(jī)產(chǎn)生的作用于各電容撓性加速度計(jì)同側(cè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓Vfl和vf2，得到所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的標(biāo)度因子的殘差信號(hào)E12 = Vfl+Vf2 ;通過(guò)參考信號(hào)對(duì)殘差信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，得到殘差信號(hào)幅值；根據(jù)殘差信號(hào)幅值產(chǎn)生匹配調(diào)整電壓Va 作為其中一個(gè)電容撓性加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，或者將
0.5Va和-0.5Va分別所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，使所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致。
[0012]按照本發(fā)明的又一方面，提供了一種旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中加速度計(jì)標(biāo)度因子的一致性調(diào)節(jié)方法，所述旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀含有兩對(duì)上述電容撓性加速度計(jì)，分別為第一、第二、第三和第四加速度計(jì)，其特征在于，使所述第一和第二加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致；使所述第三和第四加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致；根據(jù)所述第一、第二、第三和第四加速度計(jì)的靜電執(zhí)行機(jī)產(chǎn)生的作用于各加速度計(jì)同側(cè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓Vfl、vf2、Vf3和vf4，得到四個(gè)加速度計(jì)的標(biāo)度因子的殘差信號(hào)E1234 = Vfl+Vf2+Vf3+Vf4 ;通過(guò)參考信號(hào)對(duì)殘差信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，得到殘差信號(hào)幅值；根據(jù)殘差信號(hào)幅值產(chǎn)生匹配調(diào)整電壓Val234 ;將匹配調(diào)整電壓作為其中一個(gè)加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，或者將0.25Val234作為所述第一和第二加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，同時(shí)將-0.25Val234作為所述第三和第四加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，使兩對(duì)加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致。
[0013]總體而言，通過(guò)本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比，無(wú)需使用磁反饋線圈，采用電容傳感和靜電反饋的工作方式，將靜電執(zhí)行機(jī)的輸出電壓進(jìn)行組合得到施加在差分電容固定極板上的調(diào)整電壓，即可實(shí)現(xiàn)標(biāo)度因子的實(shí)時(shí)在線匹配調(diào)節(jié)，完全避免了標(biāo)度因子一致性調(diào)節(jié)中由磁反饋線圈帶來(lái)的對(duì)磁極均勻性和穩(wěn)定性的苛刻要求，以及調(diào)節(jié)磁場(chǎng)引入的非線性、溫度擾動(dòng)等問(wèn)題。可實(shí)現(xiàn)對(duì)標(biāo)度因子的大范圍調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方法簡(jiǎn)單方便。因此，將本發(fā)明的加速度計(jì)用于旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中，通過(guò)對(duì)加速度計(jì)標(biāo)度因子的一致性匹配，能有效抑制沿轉(zhuǎn)臺(tái)平面的平動(dòng)加速度噪聲，以及沿轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)軸的角加速度噪聲。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本發(fā)明實(shí)施例的電容撓性加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是兩個(gè)加速度計(jì)標(biāo)度因子一致性調(diào)節(jié)的原理示意圖；
[0016]圖3是四個(gè)加速度計(jì)標(biāo)度因子一致性調(diào)節(jié)的原理示意圖。
[0017]在所有附圖中，相同的附圖標(biāo)記用來(lái)表示相同的元件或結(jié)構(gòu)，其中:1-檢驗(yàn)質(zhì)量，
2-撓性結(jié)構(gòu)，3-框架，4-金屬鍍層，5-固定極板，7-傳感器，8-計(jì)算模塊，9-靜電執(zhí)行機(jī)，
11-加法器，14-解調(diào)器，15-計(jì)算控制模塊。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。此外，下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。
[0019]如圖1所示，本發(fā)明實(shí)施例的電容撓性加速度計(jì)包括檢驗(yàn)質(zhì)量1，一對(duì)差分電容器，傳感器7，計(jì)算模塊8，以及靜電執(zhí)行機(jī)9。檢驗(yàn)質(zhì)量I通過(guò)撓性結(jié)構(gòu)2連接固定的框架3，一對(duì)差分電容器包括兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板和兩個(gè)固定極板，其中，兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板由檢驗(yàn)質(zhì)量I兩側(cè)面上的金屬鍍層4構(gòu)成，兩個(gè)固定極板5對(duì)稱設(shè)置在檢驗(yàn)質(zhì)量I的兩側(cè)，且分別與兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板正對(duì)。兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板連接傳感器7的輸入端，傳感器7的輸出端連接計(jì)算模塊8的輸入端，計(jì)算模塊8的輸出端連接靜電執(zhí)行機(jī)9的輸入端，靜電執(zhí)行機(jī)9的輸出端連接兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板。
[0020]兩個(gè)固定極板5的電壓由高頻電壓信號(hào)和直流電壓信號(hào)Vb疊加而成，其中，高頻電壓信號(hào)(頻率為50kHz?IOOkHz)通過(guò)與兩個(gè)固定極板5連接的電容器加載在兩個(gè)固定極板5上，用作差分電容傳感工作的激勵(lì)電壓，直流電壓信號(hào)Vb由恒定電壓Vbtl(初始偏置電壓)和調(diào)整電壓Vtb疊加而成，通過(guò)加法器11加載在兩個(gè)固定運(yùn)動(dòng)極板5上，用作靜電反饋工作的偏置電壓。
[0021]傳感器7用于將檢驗(yàn)質(zhì)量I的位移量轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，計(jì)算模塊8用于根據(jù)傳感器7輸出的電壓信號(hào)計(jì)算需要施加到兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板上的電壓，靜電執(zhí)行機(jī)9用于產(chǎn)生作用于兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓，使檢驗(yàn)質(zhì)量I回復(fù)到平衡位置。
[0022]上述電容撓性加速度計(jì)的工作原理如下:檢驗(yàn)質(zhì)量I感受到外界加速度變化后發(fā)生位移，引起一對(duì)差分電容器的容值發(fā)生改變，傳感器7將檢驗(yàn)質(zhì)量I的位移量轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，計(jì)算模塊8根據(jù)該電壓信號(hào)計(jì)算需要施加到兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板上的電壓，靜電執(zhí)行機(jī)9根據(jù)計(jì)算模塊8的計(jì)算結(jié)果，產(chǎn)生方向相反的兩個(gè)電壓分別作用于兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板，將其中任意一個(gè)電壓Vf作為加速度計(jì)的輸出，這兩個(gè)電壓與施加在兩個(gè)固定極板5上的偏置電壓Vb形成的電勢(shì)差將產(chǎn)生作用于檢驗(yàn)質(zhì)量I的靜電力，正好平衡檢驗(yàn)質(zhì)量I感受到的外界加速度，使檢驗(yàn)質(zhì)量I回復(fù)到平衡位置，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)反饋系統(tǒng)。因此，在該加速度計(jì)中，靜電執(zhí)行機(jī)9輸出的電壓大小與檢驗(yàn)質(zhì)量I感受到的外界加速度始終成正比，靜電執(zhí)行機(jī)9輸出的電壓大小實(shí)際反映了待測(cè)加速度的大小。
[0023]在該撓性加速度計(jì)中，標(biāo)度因子
【權(quán)利要求】
1.一種電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，包括檢驗(yàn)質(zhì)量(I)，一對(duì)差分電容器，傳感器(7)，計(jì)算模塊(8)，以及靜電執(zhí)行機(jī)(9)； 所述檢驗(yàn)質(zhì)量(I)通過(guò)撓性結(jié)構(gòu)(2)連接固定的框架(3)，所述一對(duì)差分電容器包括兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板和兩個(gè)固定極板，其中，兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板由所述檢驗(yàn)質(zhì)量(I)兩側(cè)面上的金屬鍍層(4)構(gòu)成，兩個(gè)固定極板(5)對(duì)稱設(shè)置在所述檢驗(yàn)質(zhì)量(I)的兩側(cè)，且分別與兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板正對(duì)； 兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板連接所述傳感器(7)的輸入端，所述傳感器(7)的輸出端連接所述計(jì)算模塊(8)的輸入端，所述計(jì)算模塊(8)的輸出端連接所述靜電執(zhí)行機(jī)(9)的輸入端，所述靜電執(zhí)行機(jī)(9)的輸出端連接兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板； 所述傳感器(7)用于將所述檢驗(yàn)質(zhì)量(I)的位移量轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)，所述計(jì)算模塊(8)用于根據(jù)所述傳感器(7)輸出的電壓信號(hào)計(jì)算需要施加到兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板上的電壓，所述靜電執(zhí)行機(jī)(9)用于產(chǎn)生作用于兩個(gè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓，使所述檢驗(yàn)質(zhì)量(I)回復(fù)到平衡位置。
2.如權(quán)利要求1所述的電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，工作時(shí)，兩個(gè)固定極板(5)的電壓由高頻電壓信號(hào)和直流電壓信號(hào)Vb疊加而成，Vb = Vb(l+Vtb，其中，初始偏置電壓Vm為恒定值，Vtb為調(diào)整電壓。
3.如權(quán)利要求2所述的電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，標(biāo)度因子
4.如權(quán)利要求2或3所述的電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，|Vtb|( IVbtlU
5.含有如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電容撓性加速度計(jì)的旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀。
6.一種旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中加速度計(jì)標(biāo)度因子的一致性調(diào)節(jié)方法，所述旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀含有一對(duì)如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電容撓性加速度計(jì)，其特征在于，根據(jù)所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的靜電執(zhí)行機(jī)產(chǎn)生的作用于各電容撓性加速度計(jì)同側(cè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓Vfl和Vf2，得到所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的標(biāo)度因子的殘差信號(hào)E12 = Vfl+Vf2 ;通過(guò)參考信號(hào)對(duì)殘差信號(hào)進(jìn)行解調(diào)，得到殘差信號(hào)幅值；根據(jù)殘差信號(hào)幅值產(chǎn)生匹配調(diào)整電壓Va 作為其中一個(gè)電容撓性加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，或者將0.5Va和-0.5Va分別所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，使所述一對(duì)電容撓性加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致。
7.一種旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀中加速度計(jì)標(biāo)度因子的一致性調(diào)節(jié)方法，所述旋轉(zhuǎn)加速度計(jì)重力梯度儀含有兩對(duì)如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電容撓性加速度計(jì)，分別為第一、第二、第三和第四加速度計(jì)，其特征在于，使所述第一和第二加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致；使所述第三和第四加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致；根據(jù)所述第一、第二、第三和第四加速度計(jì)的靜電執(zhí)行機(jī)產(chǎn)生的作用于各加速度計(jì)同側(cè)運(yùn)動(dòng)極板的反饋電壓Vfl、Vf2、Vf3和Vf4，得到四個(gè)加速度計(jì)的標(biāo)度因子的殘差信號(hào)E1234 = Vfl+Vf2+Vf3+Vf4 ;通過(guò)參考信號(hào)對(duì)殘差信號(hào)進(jìn)行解調(diào)， 得到殘差信號(hào)幅值；根據(jù)殘差信號(hào)幅值產(chǎn)生匹配調(diào)整電壓Val234 ;將匹配調(diào)整電壓作為其中一個(gè)加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，或者將0.25Val234作為所述第一和第二加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，同時(shí)將-0.25Val234作為所述第三和第四加速度計(jì)的調(diào)整電壓輸入，使兩對(duì)加速度計(jì)的標(biāo)度因子保持一致。
【文檔編號(hào)】G01P15/125GK103995150SQ201410213114
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年5月20日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月20日
【發(fā)明者】涂良成, 王志偉 申請(qǐng)人:華中科技大學(xué)