專利名稱：光學(xué)影像檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型有關(guān)于一種檢測裝置，特別是一種可進(jìn)行多層多面的光學(xué)影像檢測裝置。
背景技術(shù)：
機(jī)器視覺(Machine Vision)是結(jié)合機(jī)械的物理運(yùn)動控制與計算機(jī)影像辨識的綜合技術(shù)，應(yīng)用層面廣泛。一般比較常見的是在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用，例如對各類芯片、集成電路等電子組件、印刷電路板，或是LCD屏幕等，進(jìn)行表面刮傷、瑕疵、異物等各種缺陷檢測。當(dāng)料件(或稱待測物)經(jīng)由傳輸帶進(jìn)入檢測設(shè)備后，藉由攝影機(jī)取得料件影像，再透過計算機(jī)設(shè)備的圖學(xué)運(yùn)算，進(jìn)行比對量測，找出具有缺陷的料件而警示，以上就是機(jī)器視覺檢測設(shè)備的基本流程。然而料件的缺陷種類有很多種，除了前面提到的種類之外，還有凹凸、壓痕、波紋等等，雖然藉由光源的照射能夠取得影像，但一般檢測設(shè)備所取得的影像大多從料件的正上方拍攝，聚焦于待測物的頂側(cè)或稱第一側(cè)而進(jìn)行檢測。但是LCD等類的待測體，實(shí)際上是由多層透明的板狀物所構(gòu)成，每一層都要進(jìn)行檢測，傳統(tǒng)的作法是裝配多套檢測儀器針對不同層面的材質(zhì)進(jìn)行檢測，但是如此一來必須挪出空間加以安置，而造成設(shè)計上的困難與整體體積上的增加，以及成本上的負(fù)擔(dān)與維護(hù)作業(yè)的不便。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型目的在于提供一種光學(xué)影像檢測裝置，能對多層合并的復(fù)合待測物進(jìn)行檢測，也就是對復(fù)合待測物中的各個層面，同時進(jìn)行檢測，檢測作業(yè)更加全面而并有效降低成本并大幅減小所需的安裝空間。因此，本實(shí)用新型第一方面提供一種光學(xué)影像檢測裝置，用于擷取并檢測一復(fù)合待測體的影像，該復(fù)合待測體由至少一可透光的第一待測物與一可透光的第二待測物疊合而成，該第一待測物具有一第一待測面，該第二待測物具有一第二待測面，以及相對于該第二待測面的第三待測面，該光學(xué)影像檢測裝置包含有:一光源單體，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)，產(chǎn)生一照明光束發(fā)射至該待測物；一第一取像單元，一第二取像單元及一第三取像單元，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)，該光源單體位于該復(fù)合待測體與該第一取像單元之間；一第一光學(xué)鏡片，設(shè)置于該光源單體與該第一取像單元之間，并位于該第一取像單元的前側(cè)；以及一第二光學(xué)鏡片，設(shè)置于該光源單體與該第二取像單元之間，并位于該第二取像單元與該第三取像單元的前側(cè)；其中該照明光束照射于該復(fù)合待測體，并反射至該第一光學(xué)鏡片后，部分穿透該第一光學(xué)鏡片而產(chǎn)生一第一照明反射光束，該第一取像單兀利用該第一照明反射光束而取得該第一待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束而入射到該第二光學(xué)鏡片，該第二光學(xué)鏡片部分反射入射的照明光束而產(chǎn)生一第二照明反射光束，該第二取像單元利用該第二照明反射光束而取得該第二待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束并穿透該第二光學(xué)鏡片，而產(chǎn)生一第三照明光束，該第三取像單元利用該第三照明反射光束而取得該第三待測面的影像。本實(shí)用新型第二方面提供一種光學(xué)影像檢測裝置，用于擷取并檢測一復(fù)合待測體的影像，該復(fù)合待測體由至少一可透光的第一待測物與一可透光的第二待測物疊合而成，該第一待測物具有一第一待測面，該第二待測物具有一第二待測面，以及相對于該第二待測面的第三待測面，該光學(xué)影像檢測裝置包含有:一第一取像單元，一第二取像單元，一第三取像單元，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)；一光源單體，設(shè)置于該復(fù)合待測體的另一側(cè)，產(chǎn)生一照明光束發(fā)射至該待測物；一第一光學(xué)鏡片，設(shè)置于該復(fù)合待測體與該第一取像單元之間，并位于該第一取像單元的前側(cè)；以及一第二光學(xué)鏡片，設(shè)置于該復(fù)合待測體與該第二取像單元之間，并位于該第二取像單元與該第三取像單元的前側(cè)；其中該照明光束照射穿透該復(fù)合待測體，而入射至該第一光學(xué)鏡片后，部分穿透該第一光學(xué)鏡片而產(chǎn)生一第一照明反射光束，該第一取像單元利用該第一照明反射光束而取得該第一待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束而入射到該第二光學(xué)鏡片，該第二光學(xué)鏡片將部分反射入射的照明光束而產(chǎn)生一第二照明反射光束，該第二取像單元利用該第二照明反射光束而取得該第二待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束并穿透該第二光學(xué)鏡片，而產(chǎn)生一第三照明光束，該第三取像單元利用該第三照明反射光束而取得該第三待測面的影像。根據(jù)本實(shí)用新型第二方面的光學(xué)影像檢測裝置，其中該光源單體設(shè)置于該復(fù)合待測體的下側(cè)，該復(fù)合待測體位于該光源單體與該第一待測物之間。本實(shí)用新型光學(xué)影像檢測裝置，其中該第一光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡；該第二光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡。又根據(jù)本實(shí)用新型光學(xué)影像檢測裝置，其中該照明光束的前進(jìn)方向，概略與該第一待測面垂直。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所具有的有益效果為:本實(shí)用新型藉由第一、二光學(xué)分光鏡、第一、二、三取像單元及第一、二光源的設(shè)置，因而能對多層合并的復(fù)合待測物進(jìn)行檢測，也就是對復(fù)合待測物中的各個層面，同時進(jìn)行檢測，檢測作業(yè)更加全面而并有效降低成本并大幅減小所需的安裝空間。為了讓本實(shí)用新型 上述和其它目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉一較佳實(shí)施例，并配合所附圖示，作詳細(xì)說明如下。

圖1為本實(shí)用新型第一照明反射光束的光路前進(jìn)示意圖。圖2為本實(shí)用新型第一照明反射光束的另一光路前進(jìn)示意圖。圖3為本實(shí)用新型第一照明反射光束的再一光路前進(jìn)示意圖。圖4為本實(shí)用新型第二照明反射光束的光路前進(jìn)示意圖。圖5為本實(shí)用新型第二照明反射光束的另一光路前進(jìn)示意圖。圖6為本實(shí)用新型第二照明反射光束的再一光路前進(jìn)示意圖。主要組件符號說明:10第一待測物；11 第一待測面；20第二待測物；[0022]21第二待測面；22第三待測面；30第一光源；40第一光學(xué)鏡片；50第二光學(xué)鏡片；60第一取像器；61第一鏡頭；70第二取像器；71第二鏡頭；80第三取像器；81第三鏡頭；90第二光源；100第一照明光束；110第一照明反射光束；
120第二照明反射光束；130第三照明反射光束；200第二照明光束；210第四照明反射光束；220第五照明反射光束；230第六照明反射光束。
具體實(shí)施方式
有關(guān)本實(shí)用新型前述內(nèi)容以及其它技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效，在以下配合參考圖示并特舉一較佳實(shí)施例并詳細(xì)說明。請參考圖1、圖2與圖3，本實(shí)用新型所揭露的光學(xué)影像檢測裝置，包含有第一光源30、第一光學(xué)鏡片40、第二光學(xué)鏡片50、第一取像器60、第二取像器70以及第三取像器80，上述組件皆位于復(fù)合待測體的一側(cè)，或稱前側(cè)，而復(fù)合待測體的下側(cè)還配置有第二光源90。第一光源30位于復(fù)合待測體與第一取像器60之間，第一光學(xué)鏡片40設(shè)置于第一光源30與第一取像器60之間,第二光學(xué)鏡片50設(shè)置于第一光源30與第二取像器70之間，并位于第二取像器70與第三取像器80的前側(cè)。第一光學(xué)鏡片40與第二光學(xué)鏡片50可以選用光學(xué)分光鏡。第一鏡頭61、第二鏡頭71、第三鏡頭81分別設(shè)置于上述各個取像器的前方,藉以調(diào)整各取像器的取像焦距。復(fù)合待測體由第一待測物10與第二待測物20所構(gòu)成，其中第一待測物具有第一待測面11，第二待測物具有對應(yīng)于第一待測面11的第二待測面21，以及相對于第二待測面21的第三待測面22。補(bǔ)充說明，本實(shí)用新型所使用的復(fù)合待測體為由兩層組成，實(shí)際上本實(shí)用新型揭露的技術(shù)可以適用于多層面的復(fù)合待測體，并未限制僅能使用于兩層組合的復(fù)合待測體。接下來說明光路的行進(jìn)與取像。第一光源30朝下發(fā)出第一照明光束100而照射于第一待測物10與第二待測物20，并反射朝上前進(jìn)至第一光學(xué)鏡片40，其中第一照明光束100的前進(jìn)方向，概略與第一待測面11垂直。第一照明光束100將部分穿透第一光學(xué)鏡片40而產(chǎn)生第一照明反射光束110，第一取像器60就可以利用這個第一照明反射光束110，取得第一待測物10的第一待測面11影像，而進(jìn)行后續(xù)的檢測作業(yè)。同時，如圖2所示，第一光學(xué)鏡片40也會部分反射第一照明光束100而前進(jìn)至第二光學(xué)鏡片50。第二光學(xué)鏡片50會部分反射光束而產(chǎn)生第二照明反射光束120，第二取像器70可以接收到第二照明反射光束120而取得第二待測面21的影像，而進(jìn)行后續(xù)的檢測作業(yè)。另如圖3所示，也有部分光束穿透第二光學(xué)鏡片50，而入射到第三取像器80，第三取像器80就可以接收取得第二待測物20的第三待測面的影像，讓連接于各個取像器的檢測儀器(圖中未示)進(jìn)行后續(xù)的影像檢測判定作業(yè)。請參考圖4、圖5與圖6，說明本實(shí)用新型第二照明光束200的前進(jìn)方向與取像作業(yè)。第二光源90位于復(fù)合待測體的下方并照射之，第二光源90產(chǎn)生第二照明光束200穿透復(fù)合待測體而向外射出，第二照明光束200概略與第一待測面11垂直。第二照明光束200入射到第一光學(xué)鏡片40后，將部分穿透而產(chǎn)生第四照明反射光束210，第一取像器60就可以利用此第四照明反射光束210而取得第一待測物10的第一待測面11的影像而進(jìn)行后續(xù)的檢測。如圖5所示，第一光學(xué)鏡片40會部分反射第二照明光束200，到達(dá)第二光學(xué)鏡片50。第二光學(xué)鏡片50又部分反射而產(chǎn)生第五照明反射光束220，第二取像器70就可以利用此第五照明反射光束220而取得第二待測面21的影像。如圖6所示，第二照明光束200也會部分穿透第二光學(xué)鏡片50，而產(chǎn)生第六照明反射光束230。第三取像器80可以利用第六照明反射光束230而取得第三待測面22的影像，藉以進(jìn)行后續(xù)的檢測作業(yè)。雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，本實(shí)用新型保護(hù)范圍當(dāng)以權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種光學(xué)影像檢測裝置，用于擷取并檢測一復(fù)合待測體的影像，該復(fù)合待測體由至少一可透光的第一待測物與一可透光的第二待測物疊合而成，該第一待測物具有一第一待測面，該第二待測物具有一第二待測面，以及相對于該第二待測面的第三待測面，其特征在于，該光學(xué)影像檢測裝置包含有: 一光源單體，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)，產(chǎn)生一照明光束發(fā)射至該待測物； 一第一取像單元，一第二取像單元及一第三取像單元，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)，該光源單體位于該復(fù)合待測體與該第一取像單元之間； 一第一光學(xué)鏡片，設(shè)置于該光源單體與該第一取像單元之間，并位于該第一取像單元的前側(cè)；以及 一第二光學(xué)鏡片，設(shè)置于該光源單體與該第二取像單元之間，并位于該第二取像單元與該第三取像單元的前側(cè)； 其中該照明光束照射于該復(fù)合待測體，并反射至該第一光學(xué)鏡片后，部分穿透該第一光學(xué)鏡片而產(chǎn)生一第一照明反射光束，該第一取像單元利用該第一照明反射光束而取得該第一待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束而入射到該第二光學(xué)鏡片，該第二光學(xué)鏡片部分反射入射的照明光束而產(chǎn)生一第二照明反射光束，該第二取像單元利用該第二照明反射光束而取得該第二待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束并穿透該第二光學(xué)鏡片，而產(chǎn)生一第三照明光束，該第三取像單元利用該第三照明反射光束而取得該第三待測面的影像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該第一光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所 述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該第二光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該照明光束的前進(jìn)方向，概略與該第一待測面垂直。
5.一種光學(xué)影像檢測裝置，用于擷取并檢測一復(fù)合待測體的影像，該復(fù)合待測體由至少一可透光的第一待測物與一可透光的第二待測物疊合而成，該第一待測物具有一第一待測面，該第二待測物具有一第二待測面，以及相對于該第二待測面的第三待測面，其特征在于，該光學(xué)影像檢測裝置包含有: 一第一取像單元，一第二取像單元，一第三取像單元，設(shè)置于該復(fù)合待測體的一側(cè)； 一光源單體，設(shè)置于該復(fù)合待測體的另一側(cè)，產(chǎn)生一照明光束發(fā)射至該待測物； 一第一光學(xué)鏡片，設(shè)置于該復(fù)合待測體與該第一取像單元之間，并位于該第一取像單元的前側(cè)；以及 一第二光學(xué)鏡片，設(shè)置于該復(fù)合待測體與該第二取像單元之間，并位于該第二取像單元與該第三取像單元的前側(cè)； 其中該照明光束照射穿透該復(fù)合待測體，而入射至該第一光學(xué)鏡片后，部分穿透該第一光學(xué)鏡片而產(chǎn)生一第一照明反射光束，該第一取像單元利用該第一照明反射光束而取得該第一待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束而入射到該第二光學(xué)鏡片，該第二光學(xué)鏡片將部分反射入射的照明光束而產(chǎn)生一第二照明反射光束，該第二取像單元利用該第二照明反射光束而取得該第二待測面的影像；該第一光學(xué)鏡片部分反射該照明光束并穿透該第二光學(xué)鏡片，而產(chǎn)生一第三照明光束，該第三取像單元利用該第三照明反射光束而取得該第三待測面的影像。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該光源單體設(shè)置于該復(fù)合待測體的下側(cè)，該復(fù)合待測體位于該光源單體與該第一待測物之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該第一光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該第二光學(xué)鏡片為一光學(xué)分光鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)影像檢測裝置，其特征在于，該照明光束的前進(jìn)方向，概略與該第一待測面垂 直。
專利摘要一種光學(xué)影像檢測裝置，包含第一光源與第二光源，第一光學(xué)鏡片與第二光學(xué)鏡片，以及第一、第二與第三取像器，第一光源與第二光源分別設(shè)置于復(fù)合待測體的兩側(cè)，藉由第一光學(xué)鏡片與第二光學(xué)鏡片反射照明光束，就可以對復(fù)合待測體進(jìn)行多層次的檢測作業(yè)。
文檔編號G01N21/88GK203069521SQ20132002525
公開日2013年7月17日 申請日期2013年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月2日
發(fā)明者高志豪, 方志恒 申請人:由田新技股份有限公司