飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置，屬于光學(xué)計量【技術(shù)領(lǐng)域】。該裝置包括會聚鏡組件、探測器、驅(qū)動電路和放大組件；會聚鏡組件將飛焦級納秒脈沖激光光源發(fā)出的平行光束會聚到探測器的光敏面上；探測器選用銀氧銫光電陰極的PMT探測器，驅(qū)動電路通過合適的高壓輸出、匹配設(shè)計的分壓網(wǎng)絡(luò)和濾波網(wǎng)絡(luò)使探測器具有高靈敏度和低暗電流的輸出；放大組件的帶寬大于200MHz，同時還可對探測器的輸出進行64倍、512倍或4096倍的放大，以滿足后續(xù)應(yīng)用裝置的采集要求。本發(fā)明解決了飛焦級納秒脈沖激光的探測問題，同時實現(xiàn)了超高速微弱脈沖信號的放大輸出。
【專利說明】飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)計量【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一套激光能量探測裝置，尤其涉及一套飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]對于波長為1.064 μ m、脈寬為5ns~I μ S、能量為IfJ~500fJ的激光微能量探測，無論是國內(nèi)還是國外，實現(xiàn)準(zhǔn)確測量都是一個難題。英國國家物理實驗室(NPL)、德國聯(lián)邦物理技術(shù)研究院(PTB)、俄羅斯全俄光學(xué)物理研究院(VNI10FI)在IfJ~5X 105fJ的微能量探測方面都進行了大量研究，但小于500fJ飛焦的激光能量的探測裝置和探測方法沒有公開。目前僅有美國國家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)公開了 500fJ以下能量段的校準(zhǔn)能力，微能量的校準(zhǔn)范圍為10_13J~10_6J，即IOOfJ~IX 106fJ，但其只能針對激光脈寬為15ns~250ns的激光光源進行校準(zhǔn)。更精密和探測精度更高的校準(zhǔn)裝置未見公開報道。
[0003]對于1.064 μ m的脈沖激光，當(dāng)前我國正在研建的微能量標(biāo)準(zhǔn)裝置或微能量計的測量范圍為1X10_6J~1X10_13J，而且只針對200ns以內(nèi)的脈沖激光。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，提供一套飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置，以解決波長為1.064 μ m、能量在為IfJ~lpj、脈寬為5ns~I μ s的飛焦級納秒脈沖激光光源的能量探測問題。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置包括會聚鏡組件、探測器、驅(qū)動電路、放大組件和殼體；所述會聚鏡組件包括窄帶濾光片和會聚透鏡，窄帶濾光片的中心波長為1.064 μ m，飛焦級納秒脈沖激光光源發(fā)出的平行光束經(jīng)窄帶濾光片濾光后，由會聚透鏡聚焦到探測器的光敏面上；所述探測器為無制冷且含有η個打拿級的光電倍增管，其光電陰極的材料為銀氧銫，光敏面直徑大于1_，響應(yīng)時間小于5ns，η的取值依據(jù)飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置的靈敏度和信噪比要求；所述驅(qū)動電路包括可調(diào)高壓電路、分壓網(wǎng)絡(luò)和濾波網(wǎng)絡(luò)，可調(diào)高壓電路的作用是為分壓網(wǎng)絡(luò)提供所需的負高壓，分壓網(wǎng)絡(luò)包括η+1個串聯(lián)電阻，第一個電阻的非串接端與探測器的光電陰極和可調(diào)高壓電路的負高壓輸出端相連，第η+1個電阻的非串接端接地，η+1個串聯(lián)電阻的η個串接處與探測器的η個打拿級--對應(yīng)相連，其中，第一個打拿級接到與光電陰極相連的電阻的串接端；濾波網(wǎng)絡(luò)包括m個串聯(lián)的電容，m ( n，m取決于對渡越噪聲的濾波效果要求，分壓網(wǎng)絡(luò)的一端接地，另一端接探測器的第n-m+1個打拿級上，m個串聯(lián)電容的m-1個串接處與探測器的第n-m+2個至第η個打拿級一一對應(yīng)連接；所述放大組件的放大倍數(shù)不小于64倍，該放大組件包括直流電源、電流電壓轉(zhuǎn)換電路、第一至第四級電壓放大電路；直流電源提供幅值相同的正電壓和負電壓；電流電壓轉(zhuǎn)換電路的功能是將脈沖電流信號轉(zhuǎn)換為脈沖電壓信號；第一至第四級電壓放大電路的放大倍數(shù)均小于9倍，第一級電壓放大電路和第二級電壓放大電路相同，第三級電壓放大電路和第四級電壓放大電路相同；第一級電壓放大電路包括第一運算放大器、兩個電源濾波電路、信號濾波電路，第一放大電阻、第一反相輸入電阻和第一接地電阻，第一運算放大器的正壓輸入端和直流電源的正電壓相連，第一運算放大器的負壓輸入端和直流電源的負電壓相連；一個電源濾波電路的正極接第一運算放大器的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路的負極接第一運算放大器的負壓輸入端，正極接地；第一放大電阻和信號濾波電路同時并聯(lián)在第一運算放大器的反相輸入端和輸出端之間；第一接地電阻一端接地，另一端接第一運算放大器的正相輸入端；第一反相輸入電阻一端接第一運算放大器的反相輸入端；第三級電壓放大電路包括第二運算放大器、兩個電源濾波電路、信號濾波電路，第二放大電阻和第三放大電阻、單刀雙擲開關(guān)、第二反相輸入電阻和第二接地電阻，第二運算放大器正壓輸入端和直流電源的正電壓相連，第二運算放大器的負壓輸入端和直流電源的負電壓相連；一個電源濾波電路正極接第二運算放大器的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路負極接第二運算放大器的負壓輸入端，正極接地；信號濾波電路跨接在第二運算放大器的反相輸入端和輸出端之間；第二、第三放大電阻的一端均與第二運算放大器的輸出端相連，另一端空置，單刀雙擲開關(guān)的固定端和第二運算放大器的反相輸入端相連，單刀雙擲開關(guān)選擇端根據(jù)所需放大倍率而與第二放大電阻或第三放大電阻的另一端導(dǎo)通；第二接地電阻一端接地，另一端接第二運算放大器的正相輸入端；第二反相輸入電阻一端接第二運算放大器的反相輸入端；所述電源濾波電路由三個并聯(lián)的電容構(gòu)成，其中一個電容為電解電容；所述第一運算放大器、第二運算放大器的帶寬均不小于IG ;電流電壓轉(zhuǎn)換器的一端接地，另一端同時與第一級電壓放大電路的第一反相輸入電阻的另一端以及探測器的陽極相連，第一級電壓放大電路的輸出端和第二級電壓放大電路的第一反相輸入電阻的另一端相連，第二級電壓放大電路的輸出端和第三級電壓放大電路的第二反相輸入電阻的另一端相連，第三級電壓放大電路的輸出端和第四級電壓放大電路的第二反相輸入電阻的另一端相連。
[0006]本發(fā)明選用了無制冷且光電陰極為銀氧銫材料的PMT探測器，并通過設(shè)置合適的輸出阻抗，使其響應(yīng)時間小于5ns，通過增加打拿級的使用數(shù)量來提高增益上限，由此為探測飛焦級納秒脈沖激光奠定了技術(shù)基礎(chǔ)；所用驅(qū)動電路依靠適宜的高壓輸出以及匹配設(shè)計的分壓網(wǎng)絡(luò)和濾波網(wǎng)絡(luò)，使探測器具有高靈敏度和低暗電流的輸出；所用放大組件以高帶寬的運算放大器為核心，并采用四級放大電路設(shè)計，即前兩級放大電路放大倍數(shù)均為8倍，后兩級放大電路的放大倍數(shù)可選擇I倍或8倍，這樣既保證了放大組件的帶寬大于200MHz，同時還可對探測器的輸出進行64倍、512倍或4096倍的放大，以滿足后續(xù)應(yīng)用裝置的采集要求。本發(fā)明解決了飛焦級納秒脈沖激光的探測問題，同時也實現(xiàn)了超高速微弱脈沖信號的放大輸出。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1是本發(fā)明飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置的組成框圖。
[0008]圖2是圖1中所示驅(qū)動電路的原理圖。
[0009]圖3是圖1中所示放大組件的電路圖。
【具體實施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖及優(yōu)選實例對本發(fā)明作進一步的詳述。[0011]如圖1、圖2所示，本發(fā)明飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置的優(yōu)選實施例包括固定在殼體5內(nèi)的會聚鏡組件、探測器、驅(qū)動電路和放大組件。會聚鏡組件包括窄帶濾光片和會聚透鏡，窄帶濾光片的中心波長為1.064 μ m，飛焦級納秒脈沖激光光源發(fā)出的平行光束經(jīng)窄帶濾光片濾光后，由會聚透鏡聚焦到探測器的光敏面上。會聚透鏡的口徑為80mm。殼體5是使用不透明材料制作的腔體，在一個端面中央開有大于被測光束直徑的通光孔，本實施例中殼體5直徑為120mm、長度為260mm，通光孔直徑為82mm，允許直徑80mm以內(nèi)的飛焦級納秒脈沖激光光源發(fā)出的光進入。
[0012]探測器需要實現(xiàn)對波長為1.064 μ m、能量在If J?lpj、脈寬為5ns?I μ s的飛焦級納秒脈沖激光光源的能量探測，要求探測器光敏面積直徑大于1mm，光譜響應(yīng)范圍涵蓋1.064 μ m，響應(yīng)時間小于5ns。通常用于波長1.064 μ m激光的探測器如銦鎵砷(InGaAs)、硼化銦(InP)、硅材料的光電二極管，或InP、InGaAs陰極材料的光電倍增管(PMT)均無法滿足上述要求。
[0013]而對陰極材料為銀氧銫(Ag-O-Cs)的PMT探測器而言，通過增加打拿級的使用數(shù)量，可使其增益達到IO6以上，響應(yīng)時間小于5ns，在1.064 μ m處的總靈敏度在500A/W以上，信噪比大于10。本實施例中，探測器采用日本濱松公司的R5108型PMT探測器，其陰極材料為銀氧銫(Ag-0-Cs)，該探測器使用中無需制冷，且含有n=9個依次為DY1、DY2、DY3、DY4、DY5、DY6、DY7、DY8、DY9的打拿級，光敏面尺寸為18mmX 16mm，該探測器在輸出阻抗為50 Ω時，對應(yīng)響應(yīng)時間為1.1ns。
[0014]驅(qū)動電路用于對探測器進行驅(qū)動，使探測器能夠正常地進行光電轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)所需要的增益和信噪比。根據(jù)圖3所示，驅(qū)動電路包括可調(diào)高壓電路、分壓網(wǎng)絡(luò)和濾波網(wǎng)絡(luò)，可調(diào)高壓電路的作用是為分壓網(wǎng)絡(luò)提供所需的負高壓。本實施例中，可調(diào)高壓電路包括+12V直流電源、高壓模塊N3、可調(diào)電阻W1、濾波器，濾波器對+12V直流電源進行濾波，高壓模塊N3將+12V電壓轉(zhuǎn)換成負高壓?？烧{(diào)電阻Wl滿量程阻值為50ΚΩ。高壓模塊N3型號為C6919-01C4，濾波器由并聯(lián)的兩個電容構(gòu)成，其中一個電容為電解電容C4，且容值為220 μ F，另一個電容C5的容值為0.1 μ F。+12V直流電源同時與濾波器正極端和高壓模塊Ν3的電壓輸入端al相連，濾波器的負極端接地；高壓模塊N3的外殼和接地端口 a2接地，可調(diào)電阻Wl的滑動端與高壓模塊N3的電壓調(diào)節(jié)端a3連接，可調(diào)電阻Wl的兩個固定端分別接高壓模塊N3的參考電壓輸入端a4和地，高壓模塊N3的高壓輸出端bl連接探測器的光電陰極K，當(dāng)高壓模塊N3的電壓調(diào)節(jié)端a3與參考電壓輸入端a4之間的電阻為50K Ω時，對應(yīng)高壓輸出端bl輸出電壓為-1500V，當(dāng)高壓模塊N3的電壓調(diào)節(jié)端a3與參考電壓輸入端a4之間的電阻為41.7K Ω時，對應(yīng)高壓輸出端bI輸出電壓為-1250V，本實施例中，通過調(diào)節(jié)可調(diào)電阻Wl使高壓模塊N3的電壓調(diào)節(jié)端a3與參考電壓輸入端a4之間的電阻固定在41.7ΚΩ。
[0015]分壓網(wǎng)絡(luò)包括十個串聯(lián)電阻，第一個電阻Rl的非串接端與探測器的光電陰極K和可調(diào)高壓電路的負高壓輸出端bl相連，第十個電阻RlO的非串接端接地，十個串聯(lián)電阻的九個串接處與探測器的九個打拿級DYl?DY9 —一對應(yīng)相連，其中，第一個打拿級DYl接到電阻Rl的串接端。電阻Rl阻值為500ΚΩ，電阻R2?RlO阻值均為300ΚΩ。在此分壓網(wǎng)絡(luò)作用下，探測器的各打拿級間壓差約為115V，探測器的光電陰極K與第一打拿級DYl之間的壓差約為200V，此種分壓模式作用于探測器后，能有效提高探測器的增益并大幅度減小陽極輸出暗電流。
[0016]濾波網(wǎng)絡(luò)包括m個串聯(lián)的電容，m ^ n, m取決于電路中對渡越噪聲的濾波效果要求，濾波網(wǎng)絡(luò)的一端接地，另一端接探測器的第n-m+1個打拿級上，m個串聯(lián)電容的m-Ι個串接處與探測器的第n-m+2個至第η個打拿級一一對應(yīng)連接。濾波網(wǎng)絡(luò)用以濾除探測器打拿級間的渡越噪聲，降低陽極輸出噪聲，探測器的打拿級在加載電壓時存在渡越噪聲，此種噪聲在有被測光束出現(xiàn)時會增大，同時隨著打拿級的級數(shù)增加，渡越噪聲逐級疊加，越到后面的打拿級渡越噪聲越大，嚴重影響輸出信號的信噪比；本實施例中，濾波網(wǎng)絡(luò)m=3，三個電容C1、C2、C3的容值均為0.01 μ F，從而濾除加到探測器的三個打拿級DY7、DY8、DY9上的級間渡越噪聲，即降低了探測器的陽極P的輸出噪聲。
[0017]在驅(qū)動電路的作用下，探測器對于波長為1.064μπκ能量為IfJ~lpj、脈寬為5ns~I μ s脈沖激光光源，可實現(xiàn)8 X IO6的增益，在1.064 μ m處的總靈敏度為750A/W左右，其最小的信噪比也在30倍以上，輸出電流Ipmt范圍為0.0015mA~1.5mA。
[0018]為了使放大后的信號易于被后續(xù)裝置采集或處理，要求放大組件的放大倍數(shù)不小于64倍，電路截止帶寬不小于200MHz。放大組件包括直流電源、電流電壓轉(zhuǎn)換電路、第一至第四級電壓放大電路。直流電源提供+5V和-5V的電壓。電流電壓轉(zhuǎn)換電路的功能是將脈沖電流信號轉(zhuǎn)換為脈沖電壓信號。為滿足電路截止帶寬的要求，第一至第四級電壓放大電路的放大倍數(shù)均小于9倍。第一級電壓放大電路和第二級電壓放大電路相同，第三級電壓放大電路和第四級電壓放大電路相同。第一級電壓放大電路包括第一運算放大器N1、兩個電源濾波電路、信號濾波電路，阻值為400 Ω的第一放大電阻R13、阻值為50 Ω的第一反相輸入電阻R12和阻值為50Ω的第一接地電阻R14。第一運算放大器NI為AD公司的高速精密運算放大器AD8009，該運算放大器帶寬為1GHz。第一運算放大器NI的正壓輸入端接+5V，第一運算放大器NI負壓輸入端接-5V 個電源濾波電路的正極接第一運算放大器NI的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路的負極接第一運算放大器NI的負壓輸入端，正極接地；第一放大電阻R13和信號濾波電路同時并聯(lián)在第一運算放大器NI的反相輸入端和輸出端之間；信號濾波電路包括一個容值為0.0001 μ F的電容C6，第一接地電阻R14一端接地，另一端接第一運算放大器NI的正相輸入端；第一反相輸入電阻R12—端接第一運算放大器NI的反相輸入端；
[0019]第三級電壓放大電路包括第二運算放大器Ν2、兩個電源濾波電路、信號濾波電路、阻值為50Ω的第二放大電阻R20、阻值為400 Ω的第三放大電阻R21、單刀雙擲開關(guān)、阻值為50Ω的第二反相輸入電阻R18和阻值為50 Ω的第二接地電阻。第二運算放大器Ν2也選用AD公司的高速精密運算放大器AD8009，第二運算放大器Ν2的正壓輸入端接+5V，負壓輸入端接-5V ;—個電源濾波電路正極接第二運算放大器Ν2的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路負極接第二運算放大器Ν2的負壓輸入端，正極接地；信號濾波電路跨接在第二運算放大器Ν2的反相輸入端和輸出端之間；兩個放大電阻一端均與第二運算放大器Ν2輸出端相連，另一端空置，單刀雙擲開關(guān)的固定端和反相輸入端相連，單刀雙擲開關(guān)選擇端根據(jù)所需放大倍率而與第二放大電阻R20或第三放大電阻R21的另一端相連；第二接地電阻R19 —端接地，另一端接第二運算放大器Ν2的正相輸入端；第二反相輸入電阻R18 —端接第二運算放大器Ν2的反相輸入端；電源濾波電路由三個并聯(lián)的電容構(gòu)成，三個電容的。容值分別為1(^?、0.14?和0.001 μ F，其中容值為IOyF的電容是電解電容。[0020]電流電壓轉(zhuǎn)換器的一端接地，另一端同時與第一級電壓放大電路的第一反相輸入電阻R12的另一端以及探測器的陽極P相連，第一級電壓放大電路的輸出端和第二級電壓放大電路的第一反相輸入電阻R12的另一端相連，第二級電壓放大電路的輸出端和第三級電壓放大電路的第二反相輸入電阻R18的另一端相連，第三級電壓放大電路的輸出端和第四級電壓放大電路的第二反相輸入電阻R18的另一端相連。
[0021]在以上電路的共同作用下，放大組件中電流電壓轉(zhuǎn)換電路的輸出電壓U1滿足U1=IpmtXRILU1的量值范圍為0.075mV?75mV，第一級電壓放大電路輸出U2滿足U2=(R13/R12) XU1，第二級電壓放大電路輸出U3滿足U3= (R13/R12) XU2，第三級電壓放大電路輸出U4滿足U4= ((R20或R21)/R18) XU3，第四級電壓放大電路輸出U5滿足U5= ((R20或R21)/R18) XU4，放大組件輸出電壓，即第四級電壓放大電路輸出U5的范圍為300mV?4800mV，輸出阻抗為50歐姆，滿足后續(xù)應(yīng)用裝置的采集要求。
【權(quán)利要求】
1.一種飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置，包括會聚鏡組件、探測器、驅(qū)動電路和放大組件；其特征在于:所述會聚鏡組件包括窄帶濾光片和會聚透鏡，窄帶濾光片的中心波長為1.064 μ m，飛焦級納秒脈沖激光光源發(fā)出的平行光束經(jīng)窄帶濾光片濾光后，由會聚透鏡聚焦到探測器的光敏面上；所述探測器為無制冷且含有η個打拿級的光電倍增管，其光電陰極(K)的材料為銀氧銫，光敏面直徑大于1_，響應(yīng)時間小于5ns，η的取值依據(jù)飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置的靈敏度和信噪比要求；所述驅(qū)動電路包括可調(diào)高壓電路、分壓網(wǎng)絡(luò)和濾波網(wǎng)絡(luò)，可調(diào)高壓電路的作用是為分壓網(wǎng)絡(luò)提供所需的負高壓，分壓網(wǎng)絡(luò)包括η+1個串聯(lián)電阻，第一個電阻的非串接端與探測器的光電陰極(K)和可調(diào)高壓電路的負高壓輸出端相連，第η+1個電阻的非串接端接地，η+1個串聯(lián)電阻的η個串接處與探測器的η個打拿級(DYl~DY9) —一對應(yīng)相連，其中，第一個打拿級(DYl)接到與光電陰極(K)相連的電阻的串接端；濾波網(wǎng)絡(luò)包括m個串聯(lián)的電容，m ^ n, m取決于對渡越噪聲的濾波效果要求，分壓網(wǎng)絡(luò)的一端接地，另一端接探測器的第n-m+1個打拿級上，m個串聯(lián)電容的m-Ι個串接處與探測器的第n-m+2個至第η個打拿級一一對應(yīng)連接；所述放大組件的放大倍數(shù)不小于64倍，該放大組件包括直流電源、電流電壓轉(zhuǎn)換電路、第一至第四級電壓放大電路；直流電源提供幅值相同的正電壓和負電壓；電流電壓轉(zhuǎn)換電路的功能是將脈沖電流信號轉(zhuǎn)換為脈沖電壓信號；第一至第四級電壓放大電路的放大倍數(shù)均小于9倍，第一級電壓放大電路和第二級電壓放大電路相同，第三級電壓放大電路和第四級電壓放大電路相同；第一級電壓放大電路包括第一運算放大器(NI)、兩個電源濾波電路、信號濾波電路，第一放大電阻(R13)、第一反相輸入電阻(R12)和第一接地電阻(R14)，第一運算放大器(NI)的正壓輸入端和直流電源的正電壓相 連，第一運算放大器(NI)的負壓輸入端和直流電源的負電壓相連；一個電源濾波電路的正極接第一運算放大器(NI)的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路的負極接第一運算放大器(NI)的負壓輸入端，正極接地；第一放大電阻(R13)和信號濾波電路同時并聯(lián)在第一運算放大器(NI)的反相輸入端和輸出端之間；第一接地電阻(R14) —端接地，另一端接第一運算放大器(NI)的正相輸入端；第一反相輸入電阻(R12) —端接第一運算放大器(NI)的反相輸入端；第三級電壓放大電路包括第二運算放大器(Ν2)、兩個電源濾波電路、信號濾波電路，第二放大電阻(R20)和第三放大電阻(R21)、單刀雙擲開關(guān)、第二反相輸入電阻(R18)和第二接地電阻(R19)，第二運算放大器(Ν2)正壓輸入端和直流電源的正電壓相連，第二運算放大器(Ν2)的負壓輸入端和直流電源的負電壓相連；一個電源濾波電路正極接第二運算放大器(Ν2)的正壓輸入端，負極接地；另一個電源濾波電路負極接第二運算放大器(Ν2)的負壓輸入端，正極接地；信號濾波電路跨接在第二運算放大器(Ν2)的反相輸入端和輸出端之間；第二、第三放大電阻的一端均與第二運算放大器(Ν2)的輸出端相連，另一端空置，單刀雙擲開關(guān)的固定端和第二運算放大器(Ν2)的反相輸入端相連，單刀雙擲開關(guān)選擇端根據(jù)所需放大倍率而與第二放大電阻(R20)或第三放大電阻(R21)的另一端導(dǎo)通；第二接地電阻(R19) —端接地，另一端接第二運算放大器(Ν2)的正相輸入端；第二反相輸入電阻(R18) —端接第二運算放大器(Ν2)的反相輸入端；所述電源濾波電路由三個并聯(lián)的電容構(gòu)成，其中一個電容為電解電容；所述第一運算放大器(NI)、第二運算放大器(Ν2)的帶寬均不小于IG ;電流電壓轉(zhuǎn)換器的一端接地，另一端同時與第一級電壓放大電路的第一反相輸入電阻(R12)的另一端以及探測器的陽極(P)相連，第一級電壓放大電路的輸出端和第二級電壓放大電路的第一反相輸入電阻(R12)的另一端相連，第二級電壓放大電路的輸出端和第三級電壓放大電路的第二反相輸入電阻(R18)的另一端相連，第三級電壓放大電路的輸出端和第四級電壓放大電路的第二反相輸入電阻(R18)的另一端相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置，其特征在于:所述第一級電壓放大電路的放大倍數(shù)為8倍，所述第三級電壓放大電路放大倍數(shù)為I倍或8倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的飛焦級納秒脈沖激光能量探測裝置，其特征在于:n=9，m=3。
【文檔編號】G01J1/42GK103471726SQ201310382954
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年8月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月28日
【發(fā)明者】俞兵, 楊鴻儒, 薛戰(zhàn)理, 韓占鎖, 秦艷, 袁良, 吳寶寧, 王學(xué)新, 李宏光, 劉瑞星, 張博妮, 曹鋒 申請人:西安應(yīng)用光學(xué)研究所