用于x射線檢測(cè)器的電子可變?cè)鲆娴闹谱鞣椒?br> 【專利摘要】一種電子電路（150），用于處理由X射線檢測(cè)器陣列（110）測(cè)量的電子測(cè)量數(shù)據(jù)，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列（110）上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)的多個(gè)檢測(cè)器像素（102），所述電子電路（150）包括：測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口（152），所述測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口配置成用于接收來(lái)自所述檢測(cè)器像素（102）的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)；模擬增益調(diào)節(jié)單元（154），所述模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)；以及處理器（156、166），用于在所述操縱之后處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
【專利說(shuō)明】用于X射線檢測(cè)器的電子可變?cè)鲆?br> 【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及用于處理測(cè)量數(shù)據(jù)的電子電路、用于檢測(cè)X射線的X射線檢測(cè)器、用于通過(guò)X射線輻射分析樣本的X射線分析裝置、用于處理測(cè)量數(shù)據(jù)的方法和軟件程序或產(chǎn)品。
【背景技術(shù)】
[0002]X射線管是產(chǎn)生X射線的真空管。X射線是具有比紫外光短的波長(zhǎng)的電磁波譜。X射線管在許多領(lǐng)域中使用，例如X射線結(jié)晶照相術(shù)、醫(yī)療設(shè)備、機(jī)場(chǎng)行李掃描儀和用于工業(yè)檢查。
[0003]X射線管包括將電子發(fā)射到真空中的陰極和收集電子的陽(yáng)極，因此建立電子束。高壓電源連接陰極和陽(yáng)極以加速電子。來(lái)自陰極的電子與陽(yáng)極材料碰撞使得生成的能量的一部分作為X射線發(fā)射。X射線束然后可以通過(guò)經(jīng)過(guò)X射線光學(xué)器件并且隨后經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直器成形。
[0004]X射線束然后可以被引導(dǎo)到例如呈晶體的形式的樣本以用于執(zhí)行X射線結(jié)晶照相分析。X射線結(jié)晶照相術(shù)是用于確定晶體內(nèi)的原子的布置的方法，其中X射線束撞擊晶體并且導(dǎo)致X射線束分散到許多特定方向。從這些衍射束的角和強(qiáng)度能夠計(jì)算晶體內(nèi)的電子的強(qiáng)度的三維圖片。從該電子強(qiáng)度可以確定晶體中的原子的平均位置。
[0005]散射X射線從樣本傳播到X射線檢測(cè)器。在這里，X射線可以由閃爍體轉(zhuǎn)化成光量子。光量子然后可以由像素化陣列檢測(cè)器(例如CCD或CMOS檢測(cè)器)以空間分辨率檢測(cè)并且由此可以轉(zhuǎn)化成電子測(cè)量信號(hào)。檢測(cè)器然后將把電子測(cè)量信號(hào)傳到電路進(jìn)行信號(hào)處理。
[0006]X射線實(shí)驗(yàn)的電子測(cè)量信號(hào)的評(píng)估是復(fù)雜的。在許多情況下，例如在蛋白結(jié)晶照相術(shù)的情況下，信號(hào)幅度很小。而且，諸如背景噪聲或電子偽影的干擾影響可能進(jìn)一步減小評(píng)估的精確性。
[0007]因此，當(dāng)評(píng)估X射線測(cè)量數(shù)據(jù)時(shí)，在可獲得精確性方面有限制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的是以高精度處理X射線實(shí)驗(yàn)的電子測(cè)量信號(hào)。該目的由獨(dú)立權(quán)利要求實(shí)現(xiàn)。另外的實(shí)施例由從屬權(quán)利要求體現(xiàn)。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種電子電路(例如集成電路)，所述電子電路用于處理由X射線檢測(cè)器陣列測(cè)量的電子測(cè)量數(shù)據(jù)，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線，并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)的多個(gè)檢測(cè)器像素，所述電子電路包括:測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口，所述測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口配置成用于接收來(lái)自所述檢測(cè)器像素的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)；模擬增益調(diào)節(jié)單元，所述模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)(特別地配置成用于用被稱為模擬增益值的因數(shù)乘以模擬信號(hào)，其中該因數(shù)不是不可變地固定，而是可以自由地變化或設(shè)置成期望值)；以及處理器，用于在所述操縱之后處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0010]根據(jù)另一示例性實(shí)施例，提供一種X射線檢測(cè)器，其中所述X射線檢測(cè)器包括:x射線檢測(cè)器陣列，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)的多個(gè)檢測(cè)器像素；以及具有上述特征的用于處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)的電子電路。
[0011]根據(jù)另一示例性實(shí)施例，提供一種用于通過(guò)X射線輻射分析樣本的X射線分析裝置，其中所述X射線分析裝置包括用于生成將朝著所述樣本引導(dǎo)的X射線束的X射線源，以及具有上述特征的用于檢測(cè)在與所述樣本相互作用后的X射線的X射線檢測(cè)器。
[0012]根據(jù)又一示例性實(shí)施例，提供一種處理由X射線檢測(cè)器陣列測(cè)量的電子測(cè)量數(shù)據(jù)的方法，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)的多個(gè)檢測(cè)器像素，其中所述方法包括接收來(lái)自所述檢測(cè)器像素的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)，根據(jù)可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)，以及在所述操縱之后處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的再一示例性實(shí)施例，提供一種優(yōu)選地存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)載體上的軟件程序或產(chǎn)品，當(dāng)在諸如計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)上運(yùn)行時(shí)用于控制或執(zhí)行具有上述特征的方法。
[0014]本發(fā)明的實(shí)施例可以部分地或完全地由一個(gè)或多個(gè)合適的軟件程序體現(xiàn)或支持，所述軟件程序可以存儲(chǔ)在任何類型的數(shù)據(jù)載體上或由任何類型的數(shù)據(jù)載體以另外方式提供，并且可以在任何合適的數(shù)據(jù)處理單元中或由任何合適的數(shù)據(jù)處理單元執(zhí)行。軟件程序或例程可以優(yōu)選地在X射線數(shù)據(jù)分析的背景下應(yīng)用。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的X射線數(shù)據(jù)分析方案可以由計(jì)算機(jī)程序(即，由軟件)或通過(guò)使用一個(gè)或多個(gè)特定電子優(yōu)化電路(即，在硬件中)或以混合形式(即，借助于軟件部件和硬件部件)執(zhí)行或幫助。
[0015]在本申請(qǐng)的背景下，術(shù)語(yǔ)“模擬信號(hào)”可以特別地表示任何連續(xù)電信號(hào)，即，可以呈任何逐漸變化值的任何電信號(hào)。它與數(shù)字信號(hào)的區(qū)別在于有意義的信號(hào)中的小波動(dòng)。
[0016]在本申請(qǐng)的背景下，術(shù)語(yǔ)“數(shù)字信號(hào)”可以特別地表示代表離散值的序列的電信號(hào)，例如數(shù)字化(進(jìn)行采樣和模數(shù)轉(zhuǎn)換的)模擬信號(hào)。
[0017]在本申請(qǐng)的背景下，術(shù)語(yǔ)“可調(diào)節(jié)增益值”可以特別地表示因數(shù)，將電子測(cè)量信號(hào)在模擬域中乘以所述因數(shù)以由此改變或操縱它。增益值未被設(shè)置成固定值，而是與此相反可以由用戶或處理器根據(jù)某個(gè)應(yīng)用或?qū)嶒?yàn)的要求設(shè)置成任何期望的或適當(dāng)?shù)闹怠?br> [0018]根據(jù)示例性實(shí)施例，來(lái)自用于分析樣本的X射線衍射或散射實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)可以在生成電模擬信號(hào)之后直接進(jìn)行處理，使得由測(cè)量數(shù)據(jù)構(gòu)成的圖像具有更好的對(duì)比度或產(chǎn)生更有意義的結(jié)果，所述數(shù)據(jù)例如由檢測(cè)器像素的二維矩陣狀陣列檢測(cè)。通過(guò)允許已經(jīng)在模擬信號(hào)域中(即在將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換到數(shù)字域以便進(jìn)一步處理之前)的測(cè)量信號(hào)的靈活調(diào)節(jié)，獲得圖像質(zhì)量(其中可以由嵌入暗背景中的局部強(qiáng)度最大值構(gòu)成二維圖像)的該改善。換句話說(shuō)，通過(guò)允許在數(shù)字轉(zhuǎn)換之前模擬信號(hào)所乘的增益因數(shù)的自由選擇，在信號(hào)處理架構(gòu)中實(shí)現(xiàn)額外自由度。模擬增益因數(shù)的可選擇性具有的優(yōu)點(diǎn)是可以逐漸地或連續(xù)地(即不僅僅以逐步或離散方式)調(diào)節(jié)正或負(fù)信號(hào)放大?？紤]到數(shù)字信號(hào)的離散特性，模擬域中的該無(wú)級(jí)增益選擇在數(shù)字域中是不可能的。所以，模擬增益因數(shù)的自由可調(diào)節(jié)性顯著地細(xì)化信號(hào)處理，導(dǎo)致顯著改善的圖像質(zhì)量。特別地，可以通過(guò)增加自由度以調(diào)節(jié)已經(jīng)在模擬域中的信號(hào)(即，在信號(hào)處理路徑的早期階段，在該階段信號(hào)還沒有在電子處理期間加入模擬以及數(shù)字域中的偽影)，顯著地改善信噪比。允許選擇增益值，特別地與噪聲濾波算法組合，允許以改善的信噪比測(cè)量強(qiáng)信號(hào)而不測(cè)量飽和和較弱信號(hào)。這對(duì)于產(chǎn)生弱數(shù)據(jù)的X射線衍射應(yīng)用是特別有用的。此外，通過(guò)使用信噪比作為決定X射線實(shí)驗(yàn)的持續(xù)時(shí)間的參數(shù)或標(biāo)準(zhǔn)，從弱衍射樣本更快速收集數(shù)據(jù)成為可能。
[0019]接著,將解釋電子電路的另外示例性實(shí)施例。然而,這些實(shí)施例也適用于X射線檢測(cè)器、X射線分析裝置、方法和軟件程序或產(chǎn)品。
[0020]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元具有配置成用于接收來(lái)自通信耦合實(shí)體(例如另一個(gè)設(shè)備的處理器或操作通信耦合通信設(shè)備或處理器的用戶)的可調(diào)節(jié)模擬增益值(或更確切地，指示選定模擬增益值的控制信號(hào))的模擬增益值輸入接口。所以，系統(tǒng)可以具有獨(dú)立外部接口，經(jīng)由所述獨(dú)立外部接口可以從外部實(shí)體輸入期望的模擬增益值。
[0021]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元具有配置成用于接收由用戶輸入的可調(diào)節(jié)模擬增益值的用戶接口。這樣的用戶接口允許個(gè)人用戶輸入(例如鍵入)期望的選定模擬增益值。所以用戶有機(jī)會(huì)主動(dòng)地介入信號(hào)處理而不是僅僅面對(duì)不可影響的結(jié)果。通過(guò)使用戶能夠在合適模擬增益值的選擇中發(fā)揮作用，可以改善測(cè)量結(jié)果的值并且可以抑制信號(hào)偽影。
[0022]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)衰減模擬信號(hào)(即減小模擬信號(hào)的幅度)的可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱模擬信號(hào)。衰減模擬信號(hào)的模擬增益值(其特別地是乘法因數(shù))小于一。因此，在模擬信號(hào)似乎太大以致于不能獲得有意義的結(jié)果的情況下，可以通過(guò)衰減信號(hào)改善圖像的質(zhì)量。
[0023]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)增強(qiáng)模擬信號(hào)(即增加模擬信號(hào)的幅度)的可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱模擬信號(hào)。增強(qiáng)模擬信號(hào)的模擬增益值大于一。這在信號(hào)盡管具有較小噪聲但是很弱的情況下可以是特別合適的，原因是模擬域中的信號(hào)的簡(jiǎn)單放大于是可以擴(kuò)大可從結(jié)果圖像察覺或?qū)С龅男畔ⅰ?br> [0024]在又一實(shí)施例中，模擬增益值的值也可以設(shè)置成一，S卩，對(duì)于某個(gè)實(shí)驗(yàn)或測(cè)量數(shù)據(jù)集，可以由用戶停用信號(hào)操縱。
[0025]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)通過(guò)僅僅從有限數(shù)量的預(yù)定可選擇模擬增益值選擇而可調(diào)節(jié)的模擬增益值操縱模擬信號(hào)。在該情況下，不僅可以選擇模擬增益值，而且也能夠從限定完整電子增益設(shè)置的信號(hào)處理參數(shù)的完整集合選擇(例如，這樣的電子增益設(shè)置也可以包括指示可以匹配相應(yīng)模擬增益值的一個(gè)或多個(gè)數(shù)字增益參數(shù)的數(shù)據(jù))。為了使系統(tǒng)也適用于技能不足或經(jīng)驗(yàn)不足的用戶，系統(tǒng)可以提供多個(gè)合適的增益設(shè)置，用戶然后可以從其中自由地選擇期望的增益設(shè)置。因此，可以防止用戶進(jìn)行不適當(dāng)?shù)倪x擇，使得可以通過(guò)調(diào)節(jié)增益參數(shù)的復(fù)雜系統(tǒng)引導(dǎo)用戶。所以，系統(tǒng)不太傾向于出故障，原因是僅僅允許用戶從多個(gè)合理的增益設(shè)置選擇。在一個(gè)實(shí)施例中，僅僅能夠在0.5、1、2和4的增益值當(dāng)中選擇。
[0026]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)僅僅在預(yù)定、指定范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)的模擬增益值操縱模擬信號(hào)。例如，該范圍可以從0.5到4。而且通過(guò)限制模擬增益值的容許范圍，系統(tǒng)可以不太傾向于出故障，原因是防止用戶輸入將不產(chǎn)生有意義的結(jié)果的不合理的模擬增益值。
[0027]在實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元允許為某個(gè)X射線光子能量調(diào)節(jié)模擬增益值。對(duì)于不同X射線光子能量，可以調(diào)節(jié)不同模擬增益值。
[0028]在實(shí)施例中，電子電路包括配置成用于將被操縱模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器。所以，模擬信號(hào)在乘以可調(diào)節(jié)增益值之后可以轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。模數(shù)轉(zhuǎn)換器是例如使用采樣將模擬形式的連續(xù)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字形式的離散表示的設(shè)備。
[0029]在實(shí)施例中，電子電路包括配置成用于根據(jù)數(shù)字增益值操縱數(shù)字信號(hào)(特別地配置成用于使數(shù)字信號(hào)乘以被稱為數(shù)字增益值的因數(shù))的數(shù)字增益單元。因此，額外信號(hào)幅度操縱在數(shù)字域中是可能的。例如，通過(guò)使用某個(gè)模擬增益值改善信噪比，可以有利于歸一化或再次調(diào)節(jié)數(shù)字域中的信號(hào)幅度。例如，數(shù)字增益值可以通過(guò)使它乘以可調(diào)節(jié)數(shù)字增益值至少部分地補(bǔ)償模擬域中的信號(hào)的操縱。通過(guò)數(shù)字增益單元，可以使信號(hào)與其它要求兼容，例如可以由連接的其它設(shè)備進(jìn)一步處理的數(shù)字信號(hào)值的某個(gè)范圍。可以基于先前應(yīng)用的和選擇的模擬增益值確定數(shù)字增益值。
[0030]在實(shí)施例中，電子電路包括配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)數(shù)字增益值操縱數(shù)字信號(hào)的數(shù)字增益調(diào)節(jié)單元。在本申請(qǐng)的背景下，術(shù)語(yǔ)“可調(diào)節(jié)數(shù)字增益值”可以特別地表示因數(shù)，數(shù)字化電子測(cè)量信號(hào)在數(shù)字域中乘以所述因數(shù)以由此改變或操縱它。數(shù)字增益值未被設(shè)置成固定值，而是與此相反可以由用戶或處理器根據(jù)某個(gè)應(yīng)用或?qū)嶒?yàn)的要求設(shè)置成任何期望的或適當(dāng)?shù)闹?。通過(guò)允許用戶或另一個(gè)設(shè)備也在數(shù)字域中調(diào)節(jié)數(shù)字增益值，進(jìn)一步增加系統(tǒng)的靈活性。模擬和數(shù)字域中的獨(dú)立可調(diào)節(jié)性給予用戶或設(shè)備操縱測(cè)量數(shù)據(jù)的高自由度以獲得很好的信噪比或?qū)Ρ榷取?br> [0031 ] 在實(shí)施例中，處理器配置成用于處理數(shù)字信號(hào)。換句話說(shuō)，可以在模數(shù)轉(zhuǎn)換之后執(zhí)行進(jìn)一步的信號(hào)處理。
[0032]在實(shí)施例中，處理器配置成用于特別地基于圖像識(shí)別程序抑制數(shù)字信號(hào)中的噪聲。噪聲抑制算法也可以應(yīng)用于數(shù)字域中的操縱信號(hào)。也能夠執(zhí)行基線校正使得具有比預(yù)定閾值小的值的信號(hào)可以設(shè)置成零，零被認(rèn)為僅僅表示噪聲。
[0033]在實(shí)施例中，檢測(cè)器陣列包括成行和列布置的檢測(cè)器像素的矩陣狀二維陣列。檢測(cè)器陣列可以是電荷耦合器件(CCD)檢測(cè)器陣列或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)檢測(cè)器陣列。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的可變?cè)鲆嬲{(diào)節(jié)架構(gòu)與CCD和CMOS技術(shù)都兼容。
[0034]在CXD圖像傳感器中，像素可以由摻雜MOS (金屬氧化物半導(dǎo)體)電容器表示，當(dāng)圖像采集開始時(shí)所述摻雜MOS電容器可以偏壓到閾值之上以用于逆變(inversion)，允許在半導(dǎo)體氧化物接口處將入射光子轉(zhuǎn)換成電子電荷。CCD能夠讀出這些電荷以由此導(dǎo)出模擬形式的電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0035]CMOS檢測(cè)器是包括集成電路的圖像傳感器，所述集成電路包含像素傳感器的陣列，每個(gè)像素包含光電檢測(cè)器和有源放大器。這樣的圖像傳感器可以由CMOS工藝產(chǎn)生。
[0036]在實(shí)施例中，X射線檢測(cè)器包括覆蓋檢測(cè)器陣列的檢測(cè)器像素的閃爍體。作為閃爍體的替代選擇，任何其它X射線-光轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)可以位于檢測(cè)器像素的上游以用于將待檢測(cè)的X射線轉(zhuǎn)化成較低能量的光子，例如在紫外波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光量子或光子。閃爍體可以被認(rèn)為是可以將X射線轉(zhuǎn)化成多個(gè)較低能量的光子的固體，其中該數(shù)量指示光子的能量。所以，閃爍體可以被認(rèn)為是布置在模擬信號(hào)處理器的上游的光域中的放大器。
[0037]在實(shí)施例中，X射線檢測(cè)器包括在閃爍體和檢測(cè)器陣列之間的光纖光錐(taper)。這樣的光纖光錐可以被認(rèn)為是布置在閃爍體和檢測(cè)器陣列之間并且允許朝著相應(yīng)的檢測(cè)器像素引導(dǎo)在閃爍體中生成的光子的多個(gè)波導(dǎo)。通過(guò)該光纖的錐形布置，能夠提供物理較大閃爍體和物理較小X射線檢測(cè)器像素陣列之間的接口，由此將光子聚焦到檢測(cè)器像素上。[0038]在實(shí)施例中，X射線源包括生成X射線的X射線管，用于收集和聚焦在X射線管中生成的X射線的X射線光學(xué)器件，和用于在由X射線光學(xué)器件收集和聚焦X射線之后調(diào)節(jié)X射線的X射線束調(diào)節(jié)器。X射線源可以包括用于發(fā)射電子束的電子束發(fā)射器，所述電子束然后由施加的高電壓朝著陽(yáng)極加速。當(dāng)撞擊陽(yáng)極時(shí)，電子束生成X射線，然后X射線可以由X射線光學(xué)器件(例如反射鏡)聚焦。這樣收集和聚焦的X射線然后可以輸入諸如準(zhǔn)直器的X射線束調(diào)節(jié)器以用于進(jìn)一步束成形。離開準(zhǔn)直器的X射線束然后可以傳播到樣本，在所述樣本處散射X射線。檢測(cè)器可以布置在樣本的下游并且可以檢測(cè)信號(hào)和暗區(qū)域的二維圖像。
[0039]在實(shí)施例中，X射線分析裝置配置成X射線衍射儀。X射線散射輸送關(guān)于晶體、粉末和薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組成和物理性質(zhì)的信息并且基于根據(jù)入射和散射角、極化和波長(zhǎng)或能量觀察撞擊樣本的X射線束的散射強(qiáng)度。特別在X射線衍射儀中，適當(dāng)?shù)男旁氡仁侵匾?，原因是在許多情況下相應(yīng)的應(yīng)用遭受小信號(hào)(例如參見蛋白結(jié)晶照相術(shù))。因此，適當(dāng)?shù)男盘?hào)評(píng)估和噪聲抑制以及可調(diào)節(jié)增益管理在這樣的技術(shù)中最有利。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0040]通過(guò)參考結(jié)合附圖進(jìn)行的實(shí)施例的以下更詳細(xì)描述，本發(fā)明的實(shí)施例的其它目的和許多附帶優(yōu)點(diǎn)將容易領(lǐng)會(huì)并且變得更好理解。大致上或功能上相同或相似的特征將由相同的附圖標(biāo)記表示。
[0041]圖1示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的X射線檢測(cè)器陣列和用于處理電子測(cè)量數(shù)據(jù)的耦合電子電路。
[0042]圖2示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的X射線衍射儀。
[0043]圖3示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的X射線檢測(cè)器和連接電子電路。
[0044]圖4是圖3的布置的分解圖。
[0045]圖5是根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的電子電路以及X射線檢測(cè)器陣列的方塊圖。
[0046]圖6是示出圖5的電子電路的模擬通道的方塊圖。
【具體實(shí)施方式】
[0047]在下面，將解釋本發(fā)明人關(guān)于X射線檢測(cè)器的測(cè)量信號(hào)的評(píng)估的一些考慮，基于所述考慮開發(fā)了本發(fā)明的示例性實(shí)施例。
[0048]X射線檢測(cè)器的常規(guī)信號(hào)處理電子設(shè)備具有固定模擬增益(對(duì)于某個(gè)X射線光子能量)。對(duì)于強(qiáng)X射線信號(hào)結(jié)果可以是檢測(cè)器的飽和(電子設(shè)備具有導(dǎo)致每個(gè)像素的ADU的最大可能值；ADU表示模數(shù)單位，即，表示像素檢測(cè)器的(例如CCD的)輸出的數(shù)。生成的ADU和在像素檢測(cè)器上采集的電子的數(shù)量之間的關(guān)系由電子增益限定。在ADU中給出的強(qiáng)度提供用于比較圖像的方法)。對(duì)于弱X射線信號(hào)，結(jié)果可能是低信噪比，其中信號(hào)難以與檢測(cè)器的噪聲源(其是電子讀出噪聲和來(lái)自成像器、即由自生成電子產(chǎn)生的暗電流)區(qū)分。
[0049]與此相反，本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及具有可變電子增益的X射線檢測(cè)器的構(gòu)造，所述可變電子增益將改善其測(cè)量弱信號(hào)以及強(qiáng)信號(hào)的能力。相應(yīng)地，能夠執(zhí)行多個(gè)可調(diào)(或可切換)電子增益設(shè)置(其中值可以由實(shí)際電子電路設(shè)計(jì)產(chǎn)生)。低于當(dāng)前值的值將抑制ADU值并且因此顯著地減小圖像噪聲，同時(shí)將強(qiáng)信號(hào)保持在檢測(cè)器的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)(S卩，強(qiáng)信號(hào)不超范圍并且不飽和讀出電子設(shè)備)。高于當(dāng)前值的值將增強(qiáng)ADU值并且因此增加弱信號(hào)，放大圖像噪聲和數(shù)據(jù)信號(hào)以便于通過(guò)軟件或固件算法進(jìn)行圖像濾波，導(dǎo)致改善的信噪比。
[0050]因此，通過(guò)選擇增益設(shè)置中的一個(gè)并且使用噪聲濾波算法，根據(jù)本發(fā)明的示例性
實(shí)施例的X射線檢測(cè)器可以允許測(cè)量更強(qiáng)的信號(hào)而不飽和并且也允許以改善的信噪比測(cè)
量更弱的信號(hào)?？梢酝ㄟ^(guò)軟件和固件進(jìn)行該選擇，并且因此可以控制該選擇以用當(dāng)前樣本
進(jìn)行最佳實(shí)驗(yàn)。弱信號(hào)的改善信噪比將特別有用于產(chǎn)生弱數(shù)據(jù)的X射線衍射應(yīng)用，例如衛(wèi)
星散射、諧波和漫射衍射(例如來(lái)自無(wú)序樣本)。當(dāng)信噪比用作參數(shù)以決定實(shí)驗(yàn)持續(xù)時(shí)間時(shí)，
這將允許從弱衍射樣本更快地收集數(shù)據(jù)。可變電子增益有利地等于用于檢測(cè)器的可變總增.、
Mo
[0051]在下面，參考圖1，將解釋根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的用于檢測(cè)X射線的X射線檢測(cè)器100。
[0052]X射線檢測(cè)器100包括CXD檢測(cè)器陣列110，該CXD檢測(cè)器陣列具有布置成具有行和列的二維矩陣的多個(gè)檢測(cè)器像素102。轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)133 (例如閃爍體)位于待檢測(cè)的撞擊X射線(未顯示，但是從根據(jù)圖1的左手側(cè)傳播到轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)133)和檢測(cè)器像素102之間。轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)133將入射X射線轉(zhuǎn)化成然后由檢測(cè)器像素102檢測(cè)的光量子。通過(guò)生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為電子信號(hào)，例如一定數(shù)量的電荷載子(例如電子)，檢測(cè)器像素102的每一個(gè)配置成用于直接檢測(cè)光量子并且因此間接檢測(cè)X射線。更確切地，傳播到X射線檢測(cè)器陣列110的X射線可以首先由轉(zhuǎn)化結(jié)構(gòu)133轉(zhuǎn)化成光量子，然后光量子由檢測(cè)器像素102的半導(dǎo)體部件轉(zhuǎn)化成模擬電子信號(hào)，即，電流或電壓。
[0053]電子電路150在檢測(cè)器陣列110的下游，可以配置成集成電路或常規(guī)地布線，并且適合于處理由檢測(cè)器陣列110的檢測(cè)器像素102輸送的電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
[0054]電子電路150配置成用于處理由檢測(cè)器像素102供應(yīng)的電子測(cè)量數(shù)據(jù)，并且在測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口 152處接收模擬格式的該電子數(shù)據(jù)。換句話說(shuō)，測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口 152電耦合到檢測(cè)器像素102的輸出，并且接收來(lái)自檢測(cè)器像素102的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)。
[0055]這些模擬信號(hào)然后可以在可選的多路復(fù)用器(MUX) 164中預(yù)處理。多路復(fù)用器164選擇來(lái)自檢測(cè)器像素102的若干模擬輸入信號(hào)中的一個(gè)，并且將選定輸入信號(hào)傳到單線中，使得它們作為多路復(fù)用信號(hào)177順序地供應(yīng)到模擬增益調(diào)節(jié)單元154的輸入。作為圖1的順序信號(hào)處理架構(gòu)的替代選擇，部分或完全并行處理也是可能的。
[0056]模擬增益調(diào)節(jié)單元154配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)、可變、可選擇模擬增益值操縱供應(yīng)的模擬信號(hào)。在所示實(shí)施例中，用戶接口 158設(shè)在模擬增益調(diào)節(jié)單元154處，可以接收用戶可以經(jīng)由輸入/輸出單元160輸入的用戶限定或用戶選定模擬增益調(diào)節(jié)值。輸入/輸出單元160可以包括輸入元件，例如按鈕、小鍵盤、鼠標(biāo)或操縱桿，期望的模擬增益調(diào)節(jié)值可以作為控制命令經(jīng)由所述輸入元件發(fā)送到模擬增益調(diào)節(jié)單元154。相應(yīng)的模擬信號(hào)然后將乘以模擬增益調(diào)節(jié)單元154中的選定模擬增益調(diào)節(jié)值。此外，一個(gè)或多個(gè)額外數(shù)據(jù)通信接口 167、168可以設(shè)在模擬增益調(diào)節(jié)單元154處，諸如數(shù)據(jù)處理器156或預(yù)處理器166的電子單元可以經(jīng)由所述數(shù)據(jù)通信接口將模擬增益值發(fā)送到模擬增益調(diào)節(jié)單元154。
[0057]在一個(gè)實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元154允許耦合實(shí)體160、166、156選擇小于I(其導(dǎo)致模擬信號(hào)的衰減或幅度減小)和/或大于I (其導(dǎo)致模擬信號(hào)的增強(qiáng)或幅度增加)和/或I (其根本不導(dǎo)致模擬信號(hào)的操縱)的任何增益值。在另一實(shí)施例中，由模擬增益調(diào)節(jié)單元提供僅僅限定或有限數(shù)量的允許增益設(shè)置，例如可以選擇0.5、1、2或4的增益值。在又一實(shí)施例中，模擬增益調(diào)節(jié)單元154允許僅僅在指定范圍內(nèi)(例如在0.1到5)之間自由地調(diào)節(jié)增益值。
[0058]模擬增益調(diào)節(jié)單元154然后使作為多路復(fù)用信號(hào)177接收的模擬信號(hào)幅度乘以被調(diào)節(jié)模擬增益值并且將輸出提供給預(yù)處理單元166。預(yù)處理單元166配置成用于在將測(cè)量信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字域之前預(yù)處理乘以被調(diào)節(jié)模擬增益值的測(cè)量信號(hào)。預(yù)處理單元166也經(jīng)由輸入/輸出單元160接收來(lái)自用戶的控制命令。
[0059]在經(jīng)過(guò)可選的預(yù)處理單元166之后，經(jīng)預(yù)處理的模擬信號(hào)可以供應(yīng)到將比例擴(kuò)大或比例縮小的和經(jīng)處理的模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字域的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC) 162。最后產(chǎn)生的數(shù)字信號(hào)用附圖標(biāo)記165表示。
[0060]后者可以供應(yīng)到可選的數(shù)字增益調(diào)節(jié)單元168，所述數(shù)字增益調(diào)節(jié)單元配置成用于執(zhí)行數(shù)字信號(hào)165乘以大于I或小于I或等于I的任何數(shù)字增益值。數(shù)字增益值可以可由或不可由耦合實(shí)體(例如輸入/輸出單元160)調(diào)節(jié)。
[0061]數(shù)據(jù)處理器156位于數(shù)字增益調(diào)節(jié)單元168的下游以用于處理數(shù)字域中的數(shù)據(jù)。特別地，數(shù)據(jù)處理器156可以配置成用于將噪聲抑制算法應(yīng)用于被操縱數(shù)字信號(hào)188。在該背景下，可以應(yīng)用導(dǎo)致增強(qiáng)被操縱數(shù)字信號(hào)188中的信噪比的圖像識(shí)別程序。例如也可能由數(shù)據(jù)處理器156執(zhí)行基線校正(備選地這可以在預(yù)處理器166中進(jìn)行)，通過(guò)該基線校正例如在預(yù)定閾值之下的信號(hào)可以設(shè)置成零，由此抑制噪聲。
[0062]數(shù)據(jù)處理器156的輸出可以供應(yīng)到數(shù)據(jù)輸出單元170，經(jīng)由該數(shù)據(jù)輸出單元數(shù)據(jù)可以在輸入/輸出單元160 (其可以包括顯示設(shè)備，例如監(jiān)視器)上向用戶顯示或者可以供應(yīng)到另一個(gè)實(shí)體(未顯示，參見箭頭)以進(jìn)行進(jìn)一步處理或使用。
[0063]圖2顯示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的X射線衍射儀200的三維圖。
[0064]X射線衍射儀200包括X射線源，該X射線源包括例如旋轉(zhuǎn)陽(yáng)極型的X射線管202，在該X射線管內(nèi)通過(guò)將電子束引導(dǎo)到陽(yáng)極上生成X射線束。此外，顯示了 X射線光學(xué)器件204，該X射線光學(xué)器件用于收集和聚焦在X射線管202中生成的X射線束并且附連到X射線管202。除此以外，提供X射線調(diào)節(jié)器206或準(zhǔn)直器，用于在由X射線光學(xué)器件204收集和聚焦X射線束之后調(diào)節(jié)X射線束。
[0065]也顯示了安全遮光器241和快速遮光器243。此外，顯示了調(diào)節(jié)螺桿245，通過(guò)該調(diào)節(jié)螺桿可以相對(duì)于X射線管202調(diào)節(jié)X射線光學(xué)器件204，并且可以相對(duì)于X射線光學(xué)器件204調(diào)節(jié)X射線束調(diào)節(jié)器206。特別地，可以通過(guò)致動(dòng)調(diào)節(jié)螺桿245對(duì)準(zhǔn)X射線光學(xué)器件204的可調(diào)節(jié)反射鏡(未顯示)。
[0066]離開X射線束調(diào)節(jié)器206的X射線束299然后可以朝著發(fā)生X射線散射的蛋白晶體208或任何其它晶狀或粉狀樣本引導(dǎo)。散射X射線然后朝著具有檢測(cè)器陣列110和電子電路150的X射線檢測(cè)器100引導(dǎo)。
[0067]圖3顯示X射線檢測(cè)器100的三維圖。X射線299在由閃爍體300轉(zhuǎn)化成光量子之前傳播通過(guò)X射線檢測(cè)器100的鈹窗口 366。在閃爍體300的下游設(shè)有作為波導(dǎo)的光纖光錐302，即，多個(gè)光纖的錐形布置，所述光纖光錐將光量子聚焦到CCD檢測(cè)器像素102上。檢測(cè)器像素102生成指示光信號(hào)的模擬電子信號(hào)，所述光信號(hào)又指示X射線299。這些模擬信號(hào)將供應(yīng)到電子電路150并且由該電子電路處理，如上面參考圖1所述。用于冷卻CCD檢測(cè)器像素102的珀?duì)柼?Peltier)冷卻器367也在圖3中顯示并且布置在檢測(cè)器陣列和電子電路150之間。
[0068]圖4顯示圖3中所示的部件的分解圖。
[0069]圖3和圖4中所示的檢測(cè)器100可以在X射線衍射儀上使用。檢測(cè)器100具有在前面的真空室和在后面的電子封裝。當(dāng)冷卻成像器(在所示實(shí)施例中，CCD檢測(cè)器像素102)時(shí)真空是有利的，以便避免水冷凝。真空室在前面用鈹窗口 366密封，原因是這具有對(duì)于X射線299的良好透明度。在室的內(nèi)部，X射線光子在閃爍體300上生成綠光光子(用附圖標(biāo)記369示意性地顯示)，綠光光子通過(guò)光纖塊(即光纖光錐302)聚焦到成像器設(shè)備(S卩CXD檢測(cè)器像素102)上。光纖光錐302可以構(gòu)造成具有或不具有變焦比。在沒有變焦的情況下，它實(shí)現(xiàn)從前端到成像器端的1:1圖像轉(zhuǎn)移。在有變焦的情況下，它實(shí)現(xiàn)例如1:1.3、1:2或1:2.5比率的圖像縮小(當(dāng)前端大于成像器時(shí))。綠光子369在成像器的檢測(cè)器像素102中生成電子，并且這些電子在檢測(cè)器像素102中積累持續(xù)X射線曝光的時(shí)間。在曝光結(jié)束時(shí)，電子設(shè)備150從檢測(cè)器像素102讀出電子，將其轉(zhuǎn)化成電壓信號(hào)，然后將它數(shù)字化為由軟件存儲(chǔ)作為2D圖像文件的值。檢測(cè)器100的放大或增益分成兩個(gè)部分:光學(xué)和電子。光學(xué)增益表示對(duì)于進(jìn)入檢測(cè)器100的一個(gè)X射線光子在成像器中產(chǎn)生的電子的數(shù)量。這取決于閃爍體300處的放大(每一個(gè)X射線光子的綠光子369的數(shù)量)、閃爍體300和成像器之間的傳輸損失和成像器的靈敏度。檢測(cè)器100可以與各種特征能量的X射線光子(例如鑰K- a或銅K-a )—起使用，鑰K-a或銅K-a每個(gè)以不同方式與閃爍體300相互作用，并且因此產(chǎn)生不同的光學(xué)增益值。電子增益描述圖像數(shù)據(jù)中的模數(shù)單位(ADU)和從成像器讀出的電子的數(shù)量之間的比率。這取決于電子設(shè)備150的構(gòu)造并且與X射線光子能量無(wú)關(guān)。
[0070]X射線檢測(cè)器100具有從X射線299到綠光光子369的前端轉(zhuǎn)化(其對(duì)應(yīng)于某個(gè)光學(xué)增益)。到電子信號(hào)的后端轉(zhuǎn)化具有各種設(shè)置。在實(shí)施例中，可變電子增益設(shè)置為x0.5、xl、x2和x4。在ADU/電子方面這將表示:0.24、0.48、0.96和1.92?？勺冸娮釉鲆嬖O(shè)置可以通過(guò)電子設(shè)備、固件和/或軟件的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)。
[0071]圖5顯示根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的X射線檢測(cè)器的方塊圖500。
[0072]電子信號(hào)從X射線檢測(cè)器陣列110輸送到模擬通道177 (在所示實(shí)施例中為四個(gè))中。提供滿足圖1的實(shí)體154、166的功能的第一電子芯片。經(jīng)由接口，第一電子芯片154、166與第二電子芯片通信，第二電子芯片與圖1的實(shí)體168、156相關(guān)。第三電子芯片170也有助于數(shù)據(jù)處理。第二電子芯片168、156經(jīng)由CAN(控制器局域網(wǎng)絡(luò))總線512通信。第三電子芯片170具有以太網(wǎng)連接514。能夠用第一電子芯片154、166進(jìn)行雙向觸發(fā)通信。此夕卜，提供配電單元510，該配電單元可以被供應(yīng)電力(例如12V DC，2A)，參見附圖標(biāo)記518。珀?duì)柼鋮s器367可以由珀?duì)柼鋮s器電源520供應(yīng)電力。
[0073]溫度傳感器504在四個(gè)點(diǎn)執(zhí)行溫度測(cè)量，可以在方塊506中評(píng)估溫度測(cè)量。此外，提供時(shí)鐘單元502。
[0074]圖6顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的電子電路的模擬通道的方塊圖600。
[0075]檢測(cè)器陣列110經(jīng)由接口 152耦合到交流耦合前置放大器604。在使信號(hào)通過(guò)偏移去除器602和信號(hào)組合器606之后，它應(yīng)用于可變?cè)鲆娣糯笃?54。處理器166在這里由參考信號(hào)測(cè)量單元608和視頻信號(hào)測(cè)量單元610構(gòu)成。相應(yīng)處理的信號(hào)然后供應(yīng)到數(shù)字接口，參見附圖標(biāo)記162。
[0076]應(yīng)當(dāng)注意術(shù)語(yǔ)“包括”不排除其它元件或特征并且“一”不排除多個(gè)。與不同實(shí)施例關(guān)聯(lián)描述的元件也可以組合。也應(yīng)當(dāng)注意的是權(quán)利要求中的附圖標(biāo)記不應(yīng)當(dāng)被理解為限制權(quán)利要求的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種電子電路(150)，所述電子電路用于處理由X射線檢測(cè)器陣列(110)測(cè)量的電子測(cè)量數(shù)據(jù)，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線，并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列(110)上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)的多個(gè)檢測(cè)器像素(102)，所述電子電路(150)包括: 測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口( 152)，所述測(cè)量數(shù)據(jù)接收接口配置成用于接收來(lái)自所述檢測(cè)器像素(102)的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)； 模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)，所述模擬增益調(diào)節(jié)單元配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)； 處理器(156、166 )，用于在所述操縱之后處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子電路(150)，其中所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)具有模擬增益值輸入接口(158、167、178)，配置成用于接收來(lái)自通信耦合實(shí)體(160、156、166)的可調(diào)節(jié)模擬增益值。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電子電路(150)，其中所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)具有用戶接口(158)，配置成用于接收由用戶、特別地經(jīng)由輸入單元(160)輸入的可調(diào)節(jié)模擬增益值。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的電子電路(150)，其包括以下特征中的至少一個(gè): 所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154 )配置成用于根據(jù)衰減所述模擬信號(hào)的可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)； 所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)配置成用于根據(jù)增強(qiáng)所述模擬信號(hào)的可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的電子電路(150)，其中所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)配置成用于根據(jù)通過(guò)從多個(gè)預(yù)定可選擇模擬增益值選擇而可調(diào)節(jié)的模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的電子電路(150)，其中所述模擬增益調(diào)節(jié)單元(154)配置成用于根據(jù)在指定范圍內(nèi)、特別是在從0.5到4的范圍內(nèi)可調(diào)節(jié)的模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的電子電路(150)，其包括配置成用于將被操縱模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(162)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子電路(150)，其包括配置成用于根據(jù)數(shù)字增益值操縱所述數(shù)字信號(hào)的數(shù)字增益單元(168 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子電路(150)，其包括配置成用于根據(jù)可調(diào)節(jié)數(shù)字增益值操縱所述數(shù)字信號(hào)的數(shù)字增益調(diào)節(jié)單元(168)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任一項(xiàng)所述的電子電路(150)，其中所述處理器(156)配置成用于處理所述數(shù)字信號(hào)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的電子電路(150)，其中所述處理器(156)配置成用于特別地基于圖像識(shí)別程序抑制所述數(shù)字信號(hào)中的噪聲，導(dǎo)致所述數(shù)字信號(hào)中的增強(qiáng)信噪比。
12.—種X射線檢測(cè)器(100)，其包括: X射線檢測(cè)器陣列(110)， 所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線，并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列(110)上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)的多個(gè)檢測(cè)器像素(102)； 根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的用于處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)的電子電路(150)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的X射線檢測(cè)器(100)，其中所述檢測(cè)器陣列(110)包括由電荷耦合器件檢測(cè)器陣列和互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體檢測(cè)器陣列組成的群組中的一種。
14.一種處理由X射線檢測(cè)器陣列(110)測(cè)量的電子測(cè)量數(shù)據(jù)的方法，所述X射線檢測(cè)器陣列配置成用于檢測(cè)X射線，并且具有響應(yīng)傳播到所述檢測(cè)器陣列(110)上的X射線生成電子測(cè)量數(shù)據(jù)的多個(gè)檢測(cè)器像素(102)，所述方法包括: 接收來(lái)自所述檢測(cè)器像素(102)的電子測(cè)量數(shù)據(jù)作為模擬信號(hào)； 根據(jù)可調(diào)節(jié)模擬增益值操縱所述模擬信號(hào)； 在所述操縱之后處理所述電子測(cè)量數(shù)據(jù)。
15.一種優(yōu)選地存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)載體上的軟件程序或產(chǎn)品，當(dāng)在諸如計(jì)算機(jī)的數(shù)據(jù)處理單兀(154、156、166)上運(yùn)行 時(shí)用于執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法。
【文檔編號(hào)】G01N23/207GK103575753SQ201310270813
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月1日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月1日
【發(fā)明者】K.達(dá)米安 申請(qǐng)人:安捷倫科技有限公司