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螺旋測微器的制作方法與工藝

文檔序號:11971489閱讀:來源:國知局
螺旋測微器的制作方法與工藝

技術(shù)特征:
1.一種螺旋測微器,具備:U字形狀的基架;砧座,其固定于所述基架的一端;主軸,其螺合于所述基架的另一端且相對于所述砧座進(jìn)退;編碼器,其檢測所述主軸的位移;顯示部,其顯示對由所述編碼器檢測的檢測值進(jìn)行了處理后的測量值,其特征在于,還具備:變形量檢測部,其檢測所述基架的變形量;存儲部,其將由所述變形量檢測部檢測的每單位變形量的所述檢測值的變化量作為修正系數(shù)而存儲;修正系數(shù)設(shè)定部,所述修正系數(shù)設(shè)定部在所述主軸以不同的第一測量力和第二測量力抵接于所述砧座或者被測量物的狀態(tài)下,取入由所述編碼器檢測的第一檢測值及第二檢測值和由所述變形量檢測部檢測的第一變形量及第二變形量,計(jì)算出所述第一檢測值與所述第二檢測值之差除以所述第一變形量與所述第二變形量之差的值,并作為所述修正系數(shù)而存儲于所述存儲部;修正部,其根據(jù)調(diào)零指令時由所述變形量檢測部檢測出的調(diào)零時變形量與測量時由所述變形量檢測部檢測出的測量時變形量之差、及由所述存儲部存儲的修正系數(shù)對所述檢測值進(jìn)行修正。2.如權(quán)利要求1所述的螺旋測微器,其特征在于,具有調(diào)零時變形量更新部,在每次施加調(diào)零指令時,所述調(diào)零時變形量更新部使所述存儲部更新存儲由所述變形量檢測部檢測的調(diào)零時變形量。3.如權(quán)利要求2所述的螺旋測微器,其特征在于,當(dāng)將由所述編碼器檢測的檢測值設(shè)為e,修正系數(shù)設(shè)為m,存儲于所述存儲部的調(diào)零時變形量設(shè)為f0,測量時由所述變形量檢測部檢測出的測量時變形量設(shè)為fn時,所述修正部通過e′=e-m(fn-f0)計(jì)算出修正后的檢測值e′。4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的螺旋測微器,其特征在于,所述基架形成為U字形狀,并具有:由支承所述砧座的砧座支承部、與所述砧座支承部平行地突出并支承所述主軸的主軸支承部、連結(jié)這些支承部的基端的連結(jié)部,所述變形量檢測部由配置于所述砧座支承部與所述連結(jié)部的結(jié)合部分的應(yīng)變計(jì)構(gòu)成。5.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的螺旋測微器,其特征在于,在所述基架的另一端設(shè)置可旋轉(zhuǎn)地螺合所述主軸的內(nèi)筒,所述變形量檢測部由配置于所述內(nèi)筒內(nèi)的應(yīng)變計(jì)構(gòu)成。
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