本發(fā)明涉及熒光X射線分析裝置及其分析方法，特別涉及被測定物的測定部位的位置校正。

背景技術(shù)：
近年來，各國正在完善法律，來規(guī)定存在于電氣/電子設(shè)備的部件內(nèi)的環(huán)境負荷物質(zhì)的濃度，部件制造商更加需要在產(chǎn)品檢查、產(chǎn)品的開發(fā)過程中也能以非破壞的方式進行元素分析的手段（例如參照專利文獻1）。特別地，伴隨歐州的RoHS（管制有害物質(zhì)的限制指令）限制而導致鎘、鉛、貢、六價鉻、溴的元素分析的需求增大，為了迅速地進行環(huán)境負荷物質(zhì)的檢測，廣泛使用熒光X射線分析。熒光X射線分析具有ppm級的高靈敏度，并且能夠在較短時間內(nèi)進行測定，作為所述非破壞的元素分析手段，在環(huán)境負荷物質(zhì)的檢測以外的檢測中也被普遍使用。熒光X射線分析是指，對被測定物照射X射線，測定從被測定物產(chǎn)生的熒光X射線，從而對被測定物的元素含量進行分析。在熒光X射線分析的測定中，具有如下設(shè)定參數(shù)：X射線產(chǎn)生部所使用的X射線管的管電壓和管電流、測定時間、用于根據(jù)用途而改變一次X射線的性質(zhì)的一次濾波器的類別、一次X射線準直器的形狀和大小、檢測部的檢測電路的參數(shù)、針對所得到的熒光X射線頻譜的處理方法等。熒光X射線具有隨著測定時間的延長而測定精度提高的性質(zhì)。這是因為，檢測器中的X射線的電離作用是概率現(xiàn)象，定量濃度的方差與測定時間的平方根成反比。因此，為了得到期望的測定精度，需要設(shè)定與其相應的測定時間。一般的熒光X射線分析機按照以下順序進行操作。首先，測定者選擇設(shè)定了被測定物的類別和按照每個分析對象元素而準備的測定條件等的處方。在所述處方中，除了所述設(shè)定參數(shù)以外，還包含將分析結(jié)果視為NG（未通過）的濃度閾值等。測定者通過設(shè)定被測定物的類別，能夠選擇出適于該分析對象元素的最佳處方。有時裝置在經(jīng)過了所設(shè)定的測定時間后進行元素的濃度計算并顯示結(jié)果。除此之外，有時也會根據(jù)熒光X射線的強度而在理論上計算出誤差，并基于該誤差，在該誤差成為一定閾值以下的時刻結(jié)束。該情況下，在所述處方中包含所述誤差的閾值。（參照專利文獻2）【專利文獻1】日本特開2010-78592號公報【專利文獻2】國際公開第2005/106440號公報在以檢查電氣/電子設(shè)備的部件的用途而使用熒光X射線分析裝置的情況下，有時被測定物是組裝后的產(chǎn)品，有時被測定物的形狀不適于設(shè)置在測定部中。圖1示出這樣的被測定物的示例。例如，根據(jù)作為被測定物的產(chǎn)品，存在圓形狀的產(chǎn)品11，有時在測定機中滾動等而造成位置移動。并且，在粉末狀的產(chǎn)品12的情況下，由于設(shè)置的方法而造成移動。當被測定物在測定中移動時，會出現(xiàn)連續(xù)測定成分不同的部分的情況，這樣，不僅無法得到具有可靠性的數(shù)據(jù)，而且要記錄的試樣的圖像也可能無法示出作為測定點的正確位置。為了防止這種情況，作業(yè)者有時利用膠帶等固定試樣，但是，由于電氣/電子設(shè)備的檢查對象數(shù)量龐大，所以，作業(yè)者的負擔很大。并且，也不可能良好地固定全部試樣。以往，作為其對策，通過保存測定開始時刻的試樣圖像，并與測定結(jié)束時的試樣圖像進行比較，作業(yè)者目視判斷是否連續(xù)測定了相同部分。但是，在該目視判定中包含作業(yè)者之間的判斷偏差，并且，需要確認檢測強度的差異以便進行判定，所以，要等待一連串的測定結(jié)束后再次進行測定，存在時間效率非常差的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明是鑒于上述問題而完成的，其目的在于，提供如下的熒光X射線分析裝置：對測定開始時刻的圖像和測定中的圖像進行實時比較，在試樣移動的情況下，通過自動檢測該情況，排除作業(yè)者之間的判斷偏差，并且提高時間效率，縮短再次測定的開銷時間，能夠進行高精度和高效率的測定。為了解決上述問題，本發(fā)明的熒光X射線分析裝置的特征在于，該熒光X射線分析裝置具有：輸入部，其輸入必要的信息；攝像部，其取得被測定物的測定部位圖像；以及運算部，其對來自輸入部的輸入信息和由攝像部取得的圖像進行處理/保存，該運算部具有移動判定機構(gòu)，該移動判定機構(gòu)將所述運算部根據(jù)所述攝像部取得的第一圖像和第二圖像中的最新圖像求出的、基于這2個圖像中的被測定物的位置狀態(tài)的各自特性值的差值與預先確定的基準值進行比較，判定所述被測定物有無移動，其中，所述第一圖像包含所述被測定物的測定區(qū)域，是即將開始測定前的圖像，所述第二圖像是在與該第一圖像對應的位置的測定時每隔規(guī)定時間取得的。并且，本發(fā)明的熒光X射線分析裝置的特征在于，該熒光X射線分析裝置具有接受判定結(jié)果并發(fā)出警告音的警告音產(chǎn)生器或接受判定結(jié)果并發(fā)光的發(fā)光裝置。并且，本發(fā)明的熒光X射線分析方法的特征在于，該熒光X射線分析方法具有以下步驟：第一攝像步驟，拍攝即將測定前的被測定物的圖像；測定步驟，通過規(guī)定時間的X射線照射進行熒光X射線分析；第二攝像步驟，在該測定步驟中每隔規(guī)定時間拍攝被測定物的圖像；以及移動判定步驟，將通過第一攝像步驟取得的圖像和通過第二攝像步驟取得的圖像中的1個或多個圖像進行比較，判定試樣有無移動。根據(jù)本發(fā)明的熒光X射線分析裝置，在多個被測定物的情況下，即使在各個被測定物的固定不穩(wěn)定的狀態(tài)下進行測定的情況下，也能夠與測定者無關(guān)地，在固定的判定標準下通過測定位置的檢測和比對，判定試樣有無移動。能夠提高作為結(jié)果而取得的測定數(shù)據(jù)的可靠度。另外，此時，以往在一連串測定結(jié)束之前的期間內(nèi)受到時間束縛的測定者能夠通過顯示或警告音得知測定的中斷事由，能夠從監(jiān)視中解放出來。并且，在本發(fā)明的熒光X射線分析裝置中，本發(fā)明的判定試樣有無移動的功能能夠應用于現(xiàn)有的多種熒光X射線分析裝置，能夠以低成本實現(xiàn)功能的提升。附圖說明圖1是示出本發(fā)明的被測定物的示例的圖，其中，（1）是圓形狀的被測定物，（2）是粉末狀的被測定物。圖2是示出顯示部上的軟件畫面結(jié)構(gòu)的圖。圖3是本發(fā)明的實施方式1的熒光X射線分析裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖4是用于說明本發(fā)明的實施方式1的熒光X射線分析裝置的動作的流程圖。圖5是本發(fā)明的實施方式2的熒光X射線分析裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖6是用于說明本發(fā)明的實施方式2的熒光X射線分析裝置的動作的流程圖。圖7是本發(fā)明的實施方式3的熒光X射線分析裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖8是示出用于說明本發(fā)明的實施方式3的熒光X射線分析裝置的動作的流程圖的圖。圖9是本發(fā)明的實施方式4的熒光X射線分析裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。圖10是用于說明本發(fā)明的實施方式4的熒光X射線分析裝置的動作的流程圖。圖11是用于說明本發(fā)明的實施方式5的熒光X射線分析裝置的動作的流程圖。圖12是用于示出本發(fā)明的實施方式1、2、3、4、5的熒光X射線分析裝置的試樣像示出了檢測的差異的圖。標號說明101：實時圖像；102：靜止圖像；103：分析結(jié)果顯示；104：識別信息輸入欄；105：測定開始按鈕；106：消息區(qū)；200、300、400、500：熒光X射線分析裝置；312、512：數(shù)據(jù)庫；313、513：遠程的管理終端；314、514：遠程的管理終端上的顯示部；315、515：遠程的管理終端上的輸入部；412：試樣臺；519：樣本交換器。具體實施方式下面，使用附圖對本發(fā)明的具體實施方式進行說明。另外，有時省略附圖中標注相同標號的部分的說明。并且，為了易于理解，附圖示意地示出各個結(jié)構(gòu)要素。由此，有時形狀等并未進行準確的顯示。（實施方式1）首先，對熒光X射線分析裝置200的結(jié)構(gòu)進行說明。圖3是本發(fā)明的實施方式1的熒光X射線分析裝置200的概略結(jié)構(gòu)圖。在圖3中，熒光X射線分析裝置200具有：輸入部201，其輸入數(shù)據(jù)；作為運算部的運算器202，其進行各種運算；X射線產(chǎn)生部203，其向被測定物205照射一次X射線204；檢測部207，其檢測來自被測定物205的二次X射線（熒光X射線）206；顯示部208，其顯示各種數(shù)據(jù)；攝像部209，其拍攝被測定物205的測定部位；以及照明210，其進行照明，以使得能夠通過攝像部209觀察被測定物205。輸入部201是供測定者輸入被測定物205的測定條件等的部分，由鍵盤等構(gòu)成。運算器202由包含后述判定部211的各種信號處理電路構(gòu)成，具有根據(jù)由輸入部201輸入的測定條件等針對X射線產(chǎn)生部203設(shè)定X射線管電壓、管電流和照射時間等的設(shè)定功能、或根據(jù)由檢測部207檢測到的二次X射線206的頻譜進行各元素的定量分析的運算功能。對于運算器202，可以利用個人計算機等。判定部211針對被測定物205的分析結(jié)果，判定各成分中的特定元素的含量是否超過規(guī)定閾值。通過選擇作為數(shù)據(jù)而預先準備的處方，決定特定元素的指定。處方存儲有被測定物的類別、作為各個分析對象元素的測定條件的設(shè)定參數(shù)（X射線產(chǎn)生部所使用的X射線管的管電壓和管電流、測定時間、一次濾波器的類別、一次X射線準直器的形狀和大小、檢測部的檢測電路的參數(shù)、針對所得到的熒光X射線頻譜的處理方法等）和分析結(jié)果的判定信息等。在本實施方式中，將由RoHS指令限制的環(huán)境負荷物質(zhì)作為對象進行說明。顯示部208是液晶顯示器等的顯示設(shè)備。在設(shè)定測定條件時，顯示部208顯示例如測定條件的輸入畫面、被測定物205的試樣像等。并且，在測定后顯示運算器202的分析結(jié)果等。攝像部209由攝像用鏡頭和攝像元件等構(gòu)成。攝像部209拍攝在試樣臺（未圖示）上配置的測定前的被測定物205的測定部位的圖像（靜止圖像），將其顯示在顯示部208上。并且，攝像部209能夠?qū)崟r地將測定中的被測定物205的測定部位圖像（實時圖像）顯示在顯示部208上。并且，為了對拍攝所述測定部位圖像的部分進行照明，設(shè)置有照明210。其照明強度能夠通過設(shè)定來改變。圖2示出顯示部208上顯示的軟件畫面的結(jié)構(gòu)。實時圖像101示出測定中實時更新的試樣圖像。靜止圖像102利用靜止畫面顯示在測定開始時刻臨時保存的試樣圖像。分析結(jié)果103以表的形式顯示測定中和測定結(jié)束后的各種元素的濃度計算結(jié)果。將用于區(qū)分作為被測定物的部件的信息（產(chǎn)品名、產(chǎn)品編號、測定部位等）設(shè)為識別信息。識別信息輸入欄104是能夠輸入與測定結(jié)果相關(guān)聯(lián)的所述識別信息的欄。能夠通過按下測定開始按鈕105來開始測定。消息區(qū)106是顯示裝置狀態(tài)或者用于說明測定者應該進行的步驟的消息的區(qū)域。以上是與熒光X射線分析裝置200的結(jié)構(gòu)有關(guān)的說明。接著，對測定部200的動作進行說明。圖4利用流程圖表示測定作業(yè)的流程。區(qū)域S114是分析裝置自動進行動作的范圍。在步驟S101中，測定者將測定試樣設(shè)置在測定位置。根據(jù)試樣的不同，有些試樣的形狀容易滾動，以往，測定者利用粘接帶等進行簡單的固定。在本發(fā)明中，用于抑制某種程度的試樣移動的固定也是有效的。在步驟S102中，測定者對照明210的強度進行調(diào)整，以使得鮮明地觀察到攝像部209的圖像。由于以確認一次X射線204的照射區(qū)域為目的而使用攝像部209的圖像，所以，需要的照明強度是盡可能容易識別被測定物205的哪個部分是測定對象的照明強度。容易識別的照明強度根據(jù)被測定物的材質(zhì)或表面處理、表面狀態(tài)而有很大的不同，但是，如果是同類試樣，則能夠以大致相同的照明強度進行識別。在步驟S103中，在即將測定前，攝像部210拍攝試樣的圖像A。該圖像A作為數(shù)據(jù)，在測定結(jié)束之前的期間內(nèi)臨時存儲在運算器202的存儲器中。然后，裝置自動地轉(zhuǎn)移到步驟S104，對于測定者而言，通過一次操作而轉(zhuǎn)移到S104。在步驟S104中，開始對被測定物205進行熒光X射線分析。具體而言，X射線產(chǎn)生部203開始對被測定物205照射X射線，檢測部207開始檢測從被測定物205發(fā)出的熒光X射線。在運算器202中，根據(jù)檢測到的熒光X射線的頻譜等，對被測定物205的含有元素的濃度進行定量分析。在測定結(jié)束之前都可實時地進行該處理，根據(jù)處理的負荷，以1秒間隔或10秒間隔進行運算，顯示在顯示部208上。在步驟S105中，在測定中，攝像部210每隔規(guī)定時間拍攝被測定物205的圖像B。該一連串的圖像B作為數(shù)據(jù)而臨時存儲在運算器202的存儲器中。在步驟S106中，成為如下機構(gòu)的動作：進行圖像A與B的數(shù)據(jù)比較，判定是否存在被測定物的移動。關(guān)于比較的算法，按照RGB的各通道取得A與B的各像素的亮度值之差，針對全部像素累計其絕對值的合計值，在該合計值超過預先確定的值的情況下，判定為圖像A與B存在差異。但是，由于照明強度的變動和源自裝置的微小振動的影響，影像看起來發(fā)生變化，為了防止盡管X射線的照射區(qū)域沒有變化但還是立即產(chǎn)生警告的情況，有時追加如下處理：對于試樣像B，針對過去數(shù)幀的影像計算差分并取平均，或者計算與規(guī)定數(shù)的過去幀的影像的亮度值的平均值之差，從而減少外部干擾的影響。與合計值進行比較的值被設(shè)定為根據(jù)攝像部210的像素數(shù)、照明強度而不同的值。在圖12中，作為示例，并列示出將圓珠筆作為被測定物時的圖像數(shù)據(jù)701、和分析裝置晃動而使被測定物移動時的、將圖像比較中的亮度值之差的絕對值作為圖像而得到的圖像數(shù)據(jù)702。在步驟S107中，處理根據(jù)圖像A與B的數(shù)據(jù)比較結(jié)果而分支。在判斷為存在差異的情況下，轉(zhuǎn)移到S111。在步驟S108中，根據(jù)是否是測定結(jié)束條件而分支。如果不是測定結(jié)束條件，則返回S104，繼續(xù)進行測定。所述測定結(jié)束條件通常是從測定開始起的時間為規(guī)定時間以上時，但是，根據(jù)被測定物的性質(zhì)，也可以進行如下的高速測定：根據(jù)熒光X射線的強度而在理論上計算出誤差，并基于該誤差，在該誤差為一定閾值以下的時刻結(jié)束。在步驟S109中，將測定結(jié)果記錄在運算器202中。在步驟S110中，根據(jù)測定者是否具有下一個試樣而分支。如果存在下一個試樣，則進入S101，從再次進行試樣的設(shè)置起開始。如果不存在下一個試樣，則結(jié)束測定作業(yè)。在步驟S111中，分析裝置向測定者警告被測定物發(fā)生了移動。此時的自動動作模式為下述2個模式，測定者或運用負責人能夠在測定之前事先設(shè)定選擇哪個模式。第一個自動動作模式是指：僅在顯示部203中發(fā)出警告，并繼續(xù)進行測定而不中斷。根據(jù)軟件的設(shè)定，警告也可以變更為蜂鳴音或基于信號塔等的外部燈等的通知。第二個自動動作模式是指：在檢測到試樣移動的瞬間停止測定，并產(chǎn)生警告。顯示部203顯示警告，并且，測定機成為等待測定者應答的狀態(tài)。與第一個模式相同，警告也可以變更為其他通知手段。測定者返回步驟S703，重新進行測定。在步驟S112中，根據(jù)所設(shè)定的所述自動動作模式而分支。在所述第一個動作模式的情況下進入S108，在所述第二個自動動作模式的情況下進入S113，丟棄此前的測定結(jié)果，返回S101，重新進行試樣的設(shè)置。（實施方式2）接著，對實施方式2進行說明。圖5是本發(fā)明的實施方式2的熒光X射線分析裝置200的概略結(jié)構(gòu)圖。關(guān)于結(jié)構(gòu)，除了追加數(shù)據(jù)庫312、遠程的操作終端313中的顯示部314和輸入部315以外，其他結(jié)構(gòu)與實施方式1相同。將與測定結(jié)果有關(guān)的測定日期時間、分析結(jié)果、測定者、附加文件等的信息設(shè)為測定信息。為了將所述識別信息和所述測定信息關(guān)聯(lián)起來以供管理者閱覽/編輯，在實施方式1中追加數(shù)據(jù)庫312。將所述產(chǎn)品編號或名稱或字符串作為識別信息從輸入部301輸入，在測定結(jié)束時存儲到數(shù)據(jù)庫312中。管理者能夠從遠程的操作終端313閱覽數(shù)據(jù)庫312的內(nèi)容，參照所述測定信息。遠程的操作終端313用于在與裝置分離的位置進行測定信息的閱覽、編輯。遠程的操作終端313進行數(shù)據(jù)庫312的內(nèi)容的閱覽/操作。接著，對測定部300的動作進行說明。圖6利用流程圖示出測定作業(yè)的流程。除了以下方面以外，測定部300的動作與實施方式1相同。在步驟S202中，測定者輸入識別信息。根據(jù)識別信息，以數(shù)據(jù)庫中記錄的最后測定的相同識別信息所使用的照明強度，從照明210發(fā)出照明光，使被測定物205上被X射線照射的附近變得明亮。該照明強度是自動設(shè)定的，但是，測定者可以任意變更。并且，在步驟S211中，在顯示部308中顯示警告，但是，通過數(shù)據(jù)庫從遠程進行監(jiān)視的人也可以通過遠程的顯示部314接收警告。另外，在判斷為不需要進行再次測定的情況下，測定者也可以繼續(xù)進行測定，不過，測定者需要具有能夠再次開始測定的權(quán)限，而對于不具有進行風險判斷的權(quán)限的測定者，必須再次進行測定。所述測定者的權(quán)限通過軟件的用戶管理功能而實現(xiàn)，通過所述數(shù)據(jù)庫進行集中管理，通過運用負責人進行設(shè)定。測定者在開始使用裝置時進行登錄，能夠在自己帳戶的權(quán)限范圍內(nèi)進行操作。（實施方式3）接著，對熒光X射線分析裝置400的實施方式3進行說明。圖7是熒光X射線分析裝置400的概略結(jié)構(gòu)圖。關(guān)于結(jié)構(gòu)，除了追加試樣臺412以外，與實施方式1相同。能夠通過基于電動馬達的致動器在XYZ的3軸方向上驅(qū)動試樣臺412，該試樣臺412是用于載置被測定物405并使測定部位移動的結(jié)構(gòu)部分。試樣臺412能夠排列多個被測定物，通過分別自動進行測定，能夠進行多個試樣的自動測定。接著，對測定部400的動作進行說明。圖8利用流程圖示出測定作業(yè)的流程。除了以下方面以外，測定部400的動作與實施方式1相同。范圍S316表示分析裝置自動進行動作的范圍。在步驟S302中，測定者輸入要一次性進行自動測定的多個被測定物的分析條件和識別信息。所述分析條件包含載物臺的坐標，與被測定物的數(shù)量相應地準備不同的分析條件。在S303中，設(shè)定照明210的照明強度。由于一連串的自動測定中使用的照明強度恒定，所以，測定者要觀察全體被測定物的狀態(tài)，判斷適當?shù)恼彰鲝姸?。在S304中，根據(jù)S302中輸入的載物臺坐標，移動載物臺412。在S315中，丟棄測定結(jié)果，但是，與實施方式1不同，由于測定者無法重新進行試樣的設(shè)置，所以，放棄該試樣的測定，在S304中轉(zhuǎn)移到下一個試樣。該情況下，將該試樣的結(jié)果作為錯誤進行保存，以使得以后可知試樣狀態(tài)存在變化。在本實施方式中，與實施方式1相比，要注意到裝置自動進行動作的范圍S316較大，測定者的負擔較少。并且，實施方式2中針對實施方式1追加的功能也能夠應用于本實施方式。（實施方式4）接著，對熒光X射線分析裝置500的實施方式4進行說明。圖9是熒光X射線分析裝置500的概略結(jié)構(gòu)圖。關(guān)于結(jié)構(gòu)，除了追加樣本保持架516、樣本測定位置517、樣本托盤518、樣本交換器519以外，與實施方式2相同。樣本保持架516是具有一定容積的容器，用于在收納了粒狀、粉狀的被測定物505的狀態(tài)下進行熒光X射線分析。樣本保持架516被設(shè)計成不會阻礙針對被測定物照射一次X射線或二次X射線。樣本測定位置517是尺寸被設(shè)計成能夠設(shè)置樣本保持架516的裝置的部位。樣本測定位置517被確定為在設(shè)置了樣本保持架516時能夠適當進行分析的位置。樣本托盤518是能夠排列多個樣本保持架516的專用放置場所。對放置場所事先分配樣本編號，作為分析條件，測定者能夠指定將哪個樣本編號的樣本保持架搬運到樣本測定位置進行測定。作為試樣交換機構(gòu)的樣本交換器519是在樣本放置場所518與樣本測定位置517之間進行試樣交換的機器人，使用能夠握持或放開樣本保持架516的臂進行試樣交換。通過使用樣本交換器519而自動進行試樣交換，由此，能夠進行多個試樣的自動測定。接著，對測定部500的動作進行說明。圖10利用流程圖示出測定作業(yè)的流程。除了以下方面以外，測定部500的動作與實施方式1相同。范圍S416表示分析裝置自動進行動作的范圍。在步驟S402中，測定者輸入要一次性進行自動測定的多個被測定物的分析條件和識別信息。所述分析條件包含樣本托盤的樣本編號，與被測定物的數(shù)量相應地準備不同的分析條件。在S403中，根據(jù)S402中輸入的樣本托盤的樣本編號，交換樣本保持架516。根據(jù)識別信息，以數(shù)據(jù)庫中記錄的最后測定的相同識別信息所使用的照明強度，從照明510發(fā)出照明光，使被測定物505上被X射線照射的附近變得明亮。在S415中，丟棄測定結(jié)果，但是，與實施方式2不同，由于測定者無法重新進行試樣的設(shè)置，所以，放棄該試樣的測定，在S403中轉(zhuǎn)移到下一個試樣。該情況下，將該試樣的結(jié)果作為錯誤進行保存，以使得以后可知試樣狀態(tài)存在變化。在本實施方式中，與方式3同樣，相比于實施方式2，裝置自動進行動作的范圍S416較大，測定者的負擔較少。（實施方式5）接著，使用圖11對實施方式5進行說明。圖11是示出如下情況的圖，進行示出實施方式4的測定部500中的測定作業(yè)的流程圖（圖10）的S407～S409和S413～S415中的試樣是否發(fā)生了移動的判斷，并在測定后進行試樣像的拍攝S407。因此，標號等與圖10相同。這樣，除了取得測定中的試樣像的情況以外，還能夠根據(jù)測定后的試樣像判斷試樣是否發(fā)生了移動。此外，這點同樣能夠應用于上述實施方式1～3。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，在熒光X射線分析機具有取得被測定物的測定部位圖像的攝像部的情況下，通過將本發(fā)明應用到熒光X射線分析機的控制部中（例如在控制用計算機中作為圖像處理的軟件），能夠追加該功能，而不會大幅增加成本或大幅變更設(shè)計。并且，作為一例，本發(fā)明的應用領(lǐng)域的熒光X射線分析裝置適用于混入到由各種原材料構(gòu)成的電氣/電子設(shè)備中使用的部件中的環(huán)境負荷物質(zhì)的分析。另外，本發(fā)明不限于以上所記載的內(nèi)容，當然也涵蓋基于與本發(fā)明的技術(shù)思想相同的思想的技術(shù)。