技術(shù)特征：
1.一種用于檢測(cè)第一對(duì)象（1）相對(duì)于第二對(duì)象（5）的位置的位置測(cè)量設(shè)備，其中第一和第二對(duì)象被布置為沿著至少兩個(gè)測(cè)量方向（x,y,z）能相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所述位置測(cè)量設(shè)備具有：－光學(xué)單元（2），其與兩個(gè)對(duì)象之一連接并且以所定義的布置包括至少一個(gè)光源、探測(cè)器裝置以及另外的光學(xué)元件，和－計(jì)量用具-反射器單元（3,30’），其布置在兩個(gè)對(duì)象中的另一對(duì)象處并且具有軌跡（3.1,3.4,3.4’）中的至少兩個(gè)被不同地構(gòu)造的區(qū)域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’），這些區(qū)域?yàn)榱宋恢脵z測(cè)而能用光學(xué)單元（2）光學(xué)掃描，其中通過(guò)區(qū)域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’）的不同構(gòu)造能夠在位置檢測(cè)時(shí)在不同的測(cè)量方向（x,y,z）之間轉(zhuǎn)換并且能夠利用光學(xué)單元（2）為每個(gè)測(cè)量方向（x,y,z）分別生成關(guān)于兩個(gè)對(duì)象的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的位置信號(hào)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中在計(jì)量用具-反射器單元（3,30’）的軌跡（3.1,3.4,3.4’）的不同區(qū)域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’）中布置測(cè)量反射器和計(jì)量用具。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中所述測(cè)量反射器被構(gòu)造成平面反射鏡并且所述計(jì)量用具被構(gòu)造成入射光衍射光柵。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中落到被不同地構(gòu)造的區(qū)域（3.1a,3.1b,3.4a,3.4b,3.4a’,3.4b’）上的射束經(jīng)歷不同的偏轉(zhuǎn)作用。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中計(jì)量用具-反射器單元（3,30’）具有多個(gè)平行布置的軌跡（3.1-3.4,3.1’-3.4’），在所述軌跡中布置計(jì)量用具和/或測(cè)量反射器。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中－在一個(gè)軌跡（3.2,3.3,3.2’）中布置計(jì)量用具，以及－在另外的軌跡（3.1,3.4,3.4’）中，在第一區(qū)域（3.1a,3.4a,3.4a’）中布置測(cè)量反射器，并且在第二區(qū)域（3.1b,3.4b,3.4b’）中布置計(jì)量用具，該計(jì)量用具被構(gòu)造為與另一軌跡（3.2,3.3,3.2’）中的計(jì)量用具相同。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中沿著軌跡（3.1,3.4,3.4’）的延伸方向布置軌跡（3.1,3.4,3.4’）中的中心的第一區(qū)域（3.1a,3.4a,3.4a’），并且至少在第一區(qū)域的末端處布置軌跡（3.1,3.4,3.4’）中的被不同地構(gòu)造的第二區(qū)域（3.1b,3.4b,3.4b’）。8.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的位置測(cè)量設(shè)備，其中在軌跡（3.1,3.4,3.4’）中布置第一區(qū)域（3.1a,3.4a,3.4a’），所述第一區(qū)域（3.1a,3.4a,3.4a’）在軌跡（3.1,3.4,3.4’）的大部分上延伸，并且在軌跡（3.1,3.4,3.4’）中布置被不同地構(gòu)造的第二區(qū)域（3.1b,3.4b,3.4b’），所述第二區(qū)域（3.1b,3.4b,3.4b’）僅僅在該軌跡（3.1,3.4,3.4’）的明顯更小的區(qū)域上延伸。9.一種用于對(duì)可運(yùn)動(dòng)對(duì)象進(jìn)行高精度位置檢測(cè)的裝置，其具有第一位置測(cè)量設(shè)備，所述第一位置測(cè)量設(shè)備是根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的位置測(cè)量設(shè)備，并且所述裝置具有：－第一對(duì)象（1），其被布置為能沿著兩個(gè)正交的第一和第二主運(yùn)動(dòng)軸（x,y）以及沿著此外的第三軸（z）運(yùn)動(dòng)，其中－第一主運(yùn)動(dòng)軸（y）充當(dāng)?shù)谝粶y(cè)量方向，－第三軸（z）充當(dāng)?shù)诙y(cè)量方向，并且－第二主運(yùn)動(dòng)軸（x）充當(dāng)?shù)谌郎y(cè)量方向，以及－第二對(duì)象（5），其被布置為相對(duì)于第一對(duì)象靜止，其中光學(xué)單元（2）布置在第二對(duì)象（5）處并且其中－在第一對(duì)象（1）處布置沿著第二主運(yùn)動(dòng)軸（x）延伸的計(jì)量用具-反射器單元（3），所述計(jì)量用具-反射器單元（3）包括軌跡（3.1,3.4），所述軌跡（3.1,3.4）具有擁有測(cè)量反射器的第一區(qū)域（3.1a,3.4a）和擁有計(jì)量用具的第二區(qū)域（3.1b,3.4b），使得在對(duì)第一區(qū)域（3.1a,3.4a）進(jìn)行光學(xué)掃描時(shí)能夠生成關(guān)于第一對(duì)象（1）沿著第一測(cè)量方向（y）的運(yùn)動(dòng)的位置信號(hào)，并且在對(duì)第二區(qū)域（3.1b,3.4b）進(jìn)行光學(xué)掃描時(shí)能夠生成關(guān)于第一對(duì)象（1）沿著第二測(cè)量方向（x）或者沿著第三測(cè)量方向（z）的運(yùn)動(dòng)的另外的位置信號(hào)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，所述裝置包括第二位置測(cè)量設(shè)備，通過(guò)所述第二位置測(cè)量設(shè)備能夠生成關(guān)于第一對(duì)象（1）沿著第二測(cè)量方向（z）的運(yùn)動(dòng)的位置信號(hào)。11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，所述裝置包括第三位置測(cè)量設(shè)備，通過(guò)所述第三位置測(cè)量設(shè)備能夠生成關(guān)于第一對(duì)象（1）沿著第三測(cè)量方向（x）的運(yùn)動(dòng)的位置信號(hào)。12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的裝置，其中在第二區(qū)域中對(duì)所述計(jì)量用具進(jìn)行光學(xué)掃描并同時(shí)生成位置信號(hào)的情況下，借助于第二或第三位置測(cè)量設(shè)備在沿著第一測(cè)量方向（y）的移動(dòng)運(yùn)動(dòng)期間分別沿著第一測(cè)量方向（y）對(duì)第二或第三位置測(cè)量設(shè)備的反射器（4.1,4.2）進(jìn)行雙重掃描。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的裝置，其中－能夠?qū)⒌谝缓偷诙恢脺y(cè)量設(shè)備的位置信號(hào)輸送給校準(zhǔn)單元，和/或－能夠?qū)⒌谝缓偷谌恢脺y(cè)量設(shè)備的位置信號(hào)輸送給校準(zhǔn)單元。14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其中第一位置測(cè)量設(shè)備被構(gòu)造成具有4個(gè)測(cè)量射束（My1,My2,My3,My4）的多軸干涉儀。