本發(fā)明涉及一種用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量體。

背景技術(shù)：
氣動(dòng)測(cè)量裝置通常是已知的，并且例如在尺寸測(cè)量技術(shù)中用來以非常高的分辨率(例如達(dá)0.1μm)實(shí)施非接觸的測(cè)量。尤其借助氣動(dòng)測(cè)量裝置可靜止和/或動(dòng)態(tài)地測(cè)量幾何特性，例如直線度、平面度、圓度、圓柱度、輪廓、角度、直角度、平行度、位置、同心度、對(duì)稱度和圓周運(yùn)動(dòng)。US2846871公開了一種用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的相關(guān)類型的測(cè)量體，它具有基體，在該基體中第一流動(dòng)通道用來連接壓縮空氣源與測(cè)量噴嘴，其中第一流動(dòng)通道具有收窄區(qū)域，它具有至少一個(gè)橫截面收窄部位。該測(cè)量體具有第二流動(dòng)通道，用來連接收窄區(qū)域和壓力轉(zhuǎn)換器。US2513374公開了一種類似的測(cè)量體。US1940921公開了一種根據(jù)文氏原理工作的測(cè)量裝置。DE10223592A1(相應(yīng)地US6647808B2和JP002002357410A)公開了一種用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量體，它具有基體，在該基體中第一流動(dòng)通道用來連接壓縮空氣源與測(cè)量噴嘴，其中第一流動(dòng)通道在收窄區(qū)域具有至少一個(gè)橫截面收窄部位。該測(cè)量體還具有第二流動(dòng)通道，用來連接收窄區(qū)域和壓力轉(zhuǎn)換器。DE102007028141A1公開了一種形式為閥嘴的空氣噴嘴，它構(gòu)成為基本上呈管狀的構(gòu)件，它就氣流的方向而言劃分為前方第一部段和后方第二部段，其中該第二部段通過收窄部位10(最窄的橫截面)與部段8相連，其中該收窄部位還可通過流動(dòng)通道與測(cè)量設(shè)備相連，并因此可減少在收窄部位中存在的壓力。DE202006010164U1公開了一種氣動(dòng)測(cè)量裝置，它用來在尤其旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的構(gòu)件上探測(cè)表面地勢(shì)的不均勻性，它具有設(shè)置在殼體中的噴嘴，該噴嘴用來產(chǎn)生從噴嘴在構(gòu)件的待檢測(cè)表面上定向的旋渦狀的氣流，并具有至少一個(gè)聲音探測(cè)器或麥克風(fēng)來探測(cè)由氣流產(chǎn)生的聲音。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是提供一種用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量體，它可簡單地制成并且可實(shí)現(xiàn)很高的測(cè)量精度。此目的可通過具有以下特征的技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)：一種用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量體，該測(cè)量體包括：基體，該基體具有軸向，在該基體中的第一流動(dòng)通道，用來連接壓縮空氣源與測(cè)量噴嘴，其中該第一流動(dòng)通道在收窄區(qū)域具有至少一個(gè)橫截面收窄部位，在該基體中的第二流動(dòng)通道，用來連接該收窄區(qū)域與測(cè)量轉(zhuǎn)換器，所述基體在該軸向方向上至少在收窄區(qū)域上被分開，環(huán)形腔，第二流動(dòng)通道通過該環(huán)形腔與第一流動(dòng)通道相通，以及所述基體具有第一部件和第二部件，并且該環(huán)形腔在該軸向方向上設(shè)置在所述第一部件和第二部件之間。本發(fā)明的基本理念在于，在軸向方向上的收窄部位上劃分測(cè)量體，并因此構(gòu)成為雙體或多體式。根據(jù)本發(fā)明，該收窄部位可例如特別地根據(jù)文氏噴嘴的形式構(gòu)成，它具有在流動(dòng)方向上收窄的、導(dǎo)向橫截面收窄部位的第一橫截面區(qū)域，該橫截面收窄部位具有在流動(dòng)方向上基本恒定不變的橫截面，在流動(dòng)方向上擴(kuò)展的第二橫截面區(qū)域在流動(dòng)方向上連接到該橫截面收窄部位上。根據(jù)本發(fā)明通過在收窄部位的軸向上劃分基體，可在制造基體時(shí)尤其精確且小心地在連接部位中實(shí)施加工。由于基體的軸向上的劃分，一方面簡化了在收窄部位中的材料加工。另一方面可例如以尤其簡單的方式去除毛刺，在設(shè)置洞口時(shí)在基體中形成該毛刺。因此能可靠地避免在氣流中的不期望的湍流。因此，根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體不僅能簡單且成本低廉地制成，而且還可實(shí)現(xiàn)很高的測(cè)量精度。根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體的收窄部位根據(jù)文氏噴嘴的形式構(gòu)成。但是，收窄部位還能以其它方式構(gòu)成，例如以鑲邊的形式。本發(fā)明的尤其有利的改進(jìn)方案規(guī)定，第二流動(dòng)通道經(jīng)由環(huán)形腔與第一流動(dòng)通道相通，該改進(jìn)方案對(duì)本發(fā)明的獨(dú)立的限定是適宜的。令人驚訝的是，這種方式降低了配備有根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體的氣動(dòng)測(cè)量裝置的測(cè)量噪音。與下述情況相比，即第二流動(dòng)通道或多個(gè)第二流動(dòng)通道徑向地直接通到第一流動(dòng)通道，應(yīng)當(dāng)理解，環(huán)形腔就測(cè)量特性而言具有平均的效果。結(jié)合根據(jù)本發(fā)明設(shè)置的軸向雙體或多體的測(cè)量體，產(chǎn)生了尤其有利的特性。由于基體的雙體或多體結(jié)構(gòu)，本發(fā)明可尤其精細(xì)地加工基體，以便形成至少一個(gè)第二流動(dòng)通道和/或環(huán)形腔。以這種方式可將這個(gè)或每個(gè)第二流動(dòng)通道或環(huán)形腔的橫截面保持較小，這對(duì)測(cè)量體的測(cè)量性能(尤其是測(cè)量噪音和實(shí)施測(cè)量時(shí)的反應(yīng)時(shí)間)產(chǎn)生積極影響。在此上下文中本發(fā)明的尤其有利的改進(jìn)方案規(guī)定，在軸向方向上在測(cè)量體的部件之間構(gòu)成環(huán)形腔。在此實(shí)施例中，各軸向的部件定義了該環(huán)形腔。以這種方式一方面可尤其小心地加工基體的界定環(huán)形腔的部件，因此可在很大程度上避免材料或加工的不精確性，該不精確性可能會(huì)影響基體的測(cè)量性能。由于就基體的測(cè)量性能而言環(huán)形腔具有上述的平均效果，所以可進(jìn)一步減少可能存在的材料或加工不精確性對(duì)基體的測(cè)量性能的影響。在尤其更簡單且因此成本更低廉的可制造性方面，以這種方式實(shí)現(xiàn)了根據(jù)本發(fā)明的尤其有益的測(cè)量性能。根據(jù)本發(fā)明，該基體按照各自的要求構(gòu)成為雙體的或多體的。該基體的這些部件能以任意的方式彼此連接，以實(shí)現(xiàn)它們的安裝。本發(fā)明的尤其有利的改進(jìn)方案規(guī)定，這些部件在其安裝狀態(tài)下彼此面對(duì)面的端部上基本上彼此互補(bǔ)地這樣構(gòu)成，即它們可插在一起。以這種方式尤其簡單地實(shí)現(xiàn)基體的安裝。本發(fā)明的另一有利的改進(jìn)方案規(guī)定，這些部件中的一個(gè)形成為具有徑向平臺(tái)的肩狀物，其中該肩狀物和另一部件的在安裝狀態(tài)下的面向肩狀物的端部定義了軸向的擋塊面。在該實(shí)施例中，這些擋塊面在基體的安裝狀態(tài)下彼此貼靠，其中例如尤其環(huán)形腔在軸向方向上構(gòu)造得遠(yuǎn)離這些擋塊面，第二流動(dòng)通道通過該環(huán)形腔與第一流動(dòng)通道相連。根據(jù)本發(fā)明，測(cè)量噴嘴可直接設(shè)置在測(cè)量體上。但根據(jù)本發(fā)明還可能的是，該測(cè)量噴嘴設(shè)置得遠(yuǎn)離測(cè)量體，并通過導(dǎo)管與該測(cè)量體相連。根據(jù)本發(fā)明，可按照各自的測(cè)量目的設(shè)置單個(gè)的測(cè)量噴嘴。但還可設(shè)置兩個(gè)或多個(gè)測(cè)量噴嘴。根據(jù)本發(fā)明，該收窄區(qū)域可具有單個(gè)的、尤其根據(jù)文氏噴嘴的形式工作的橫截面收窄部位。但根據(jù)本發(fā)明還可有的是，在第一流動(dòng)通道中設(shè)置兩個(gè)或多個(gè)橫截面收窄部位，它們也可根據(jù)文氏噴嘴的原理進(jìn)行工作。根據(jù)本發(fā)明，如果只設(shè)置第二流動(dòng)通道，原則上是足夠的。但也可設(shè)置兩個(gè)或多個(gè)流動(dòng)通道。根據(jù)本發(fā)明的用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置具有至少一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體。附圖說明下面借助附圖詳細(xì)地闡述本發(fā)明，在這些附圖中示出了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體的實(shí)施例。在此，所有描述的、在附圖中示出的并在專利權(quán)利要求中要求的特征自身以及以任意技術(shù)方面有意義的相互組合都是本發(fā)明的內(nèi)容，而與專利權(quán)利要求中的上下文以及追溯內(nèi)容無關(guān)，并與其在附圖中的描述和視圖無關(guān)。其中：圖1在徑向剖面圖中示出了根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體在安裝狀態(tài)下的實(shí)施例；以及圖2在透視的拆分視圖中示出了根據(jù)圖1的測(cè)量體。具體實(shí)施方式圖1是用來測(cè)定工件的氣動(dòng)測(cè)量裝置的根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體2的實(shí)施例，它具有基體4，在該基體中第一流動(dòng)通道6用來連接測(cè)量噴嘴與壓縮空氣源，該測(cè)量噴嘴可設(shè)置在測(cè)量體2上或者設(shè)置得遠(yuǎn)離該測(cè)量體。第一流動(dòng)通道6在該實(shí)施例中具有收窄區(qū)域，它具有至少一個(gè)橫截面收窄部位8。在所示的實(shí)施例中，該橫截面收窄部位8根據(jù)文氏噴嘴的形式構(gòu)成。為此，第一流動(dòng)通道在流動(dòng)方向10上(其在圖1中通過箭頭象征性地示出)前后相繼地具有在流動(dòng)方向10上基本上呈圓錐形收窄的第一橫截面區(qū)域12、橫截面收窄部位8以及第二橫截面區(qū)域14，該橫截面收窄部位8具有在流動(dòng)方向上基本上恒定不變的橫截面，該第二橫截面區(qū)域14在流動(dòng)方向10上基本上呈圓錐形擴(kuò)展。在所示的實(shí)施例中，該基體4基本上構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱，其中第一流動(dòng)通道6在基體4的軸向方向上延伸，并且流動(dòng)軸與基體4的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱軸16重合。在基體4中還設(shè)置有第二流動(dòng)通道18，用來連接橫截面收窄部位8與壓力轉(zhuǎn)換器。如圖1所示，除了第二流動(dòng)通道18以外還設(shè)置另一第二流動(dòng)通道18’。由于在附圖中看不到，因此在此進(jìn)行文字闡述，設(shè)置總共四個(gè)第二流動(dòng)通道18、18’，它們?cè)诨w4的圓周方向上呈約90°彼此偏置，并且分別在基體4的徑向方向上延伸。根據(jù)本發(fā)明，基體4在軸向方向上在橫截面收窄部位8的區(qū)域上被分開，并在此實(shí)施例中具有第一部件20和第二部件22。如圖1所示，這些部件20、22在該實(shí)施例中基本上彼此互補(bǔ)地這樣設(shè)置在其在安裝狀態(tài)下彼此面對(duì)面的端部上，即這些部件20、22可插在一起。為此，第一部件20形成具有徑向平臺(tái)的肩狀物24，其中該肩狀物24和另一部件22的在安裝狀態(tài)下的面向肩狀物24的端部定義了軸向的擋塊面。在所示的實(shí)施例中，第二流動(dòng)通道18、18’通過環(huán)形腔26與第一流動(dòng)通道6相通，其中該環(huán)形腔26在軸向方向上形成于第一部件20和第二部件22之間，并且軸向地通過這些部件20、22界定。從該附圖中可看到，環(huán)形腔26在其徑向的外部端部上具有橫截面擴(kuò)展部位27，環(huán)形腔26與第二流動(dòng)通道18、18’在該端部上相連。該橫截面擴(kuò)展部位27這樣構(gòu)成，即在第一部件20的面向第二部件22上的端部上在其軸向端部上徑向朝外地構(gòu)成環(huán)繞的倒角，并在朝該倒角的徑向方向上相對(duì)而置地在第二部件22上構(gòu)成環(huán)形凹槽。該環(huán)形腔26在徑向方面上從第一流動(dòng)通道6開始具有第一部段，該第一部段具有恒定的或基本上恒定的橫截面，其中在徑向方上在第一部段和第二流動(dòng)通道18、18’之間的第二部段連接在第一部段上，該第二部段具有相對(duì)于第一部段徑向朝外朝第二流動(dòng)通道18、18’擴(kuò)展的橫截面。圖2示出了測(cè)量體2的透視的拆分視圖，其中借助附圖標(biāo)記28、30標(biāo)出了密封件，它們?cè)诘谝徊考?0連接到壓縮空氣源或第二部件22連接到測(cè)量頭上時(shí)用來實(shí)現(xiàn)密封。根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體2的工作原理如下：在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，壓縮空氣在流動(dòng)方向10上通過第一流動(dòng)通道6流向測(cè)量噴嘴。在此，橫截面收窄部位8根據(jù)文氏管的形式構(gòu)成。例如可測(cè)量第一流動(dòng)通道6和第二流動(dòng)通道18、18’之間的壓差。如果該測(cè)量噴嘴與待測(cè)定的工件處于相互作用之中，則第二流動(dòng)通道18、18’中的壓力會(huì)發(fā)生變化，因此壓差也會(huì)發(fā)生變化。借助合適的測(cè)量轉(zhuǎn)換器，這些壓力信號(hào)或壓差信號(hào)可轉(zhuǎn)換成測(cè)量信號(hào)，在測(cè)定工件時(shí)從該測(cè)量信號(hào)中產(chǎn)生測(cè)量值。在應(yīng)用文氏原理的情況下如何借助氣動(dòng)的測(cè)量方法在尺寸測(cè)量技術(shù)方面進(jìn)行測(cè)量對(duì)專業(yè)人員來說是已知的，因此在此沒有詳細(xì)闡述。由于基體4根據(jù)本發(fā)明軸向地構(gòu)成為雙體或多體的，所以可尤其簡單且以更高的精度實(shí)現(xiàn)測(cè)量體的加工，例如用來構(gòu)成第一流動(dòng)通道6、第二流動(dòng)通道18、18’和環(huán)形腔26。尤其通過基體的根據(jù)本發(fā)明規(guī)定的軸向多體性，可簡單地將第二流動(dòng)通道18、18’和環(huán)形腔26的橫截面保持較小。根據(jù)本發(fā)明的測(cè)量體因此不僅可尤其簡單并且因此成本低廉地制成，而且還具有更有益的測(cè)量性能，尤其具有較低的測(cè)量噪音和較短的反應(yīng)時(shí)間。