專利名稱：一種物體探測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及物件檢測領(lǐng)域，尤其涉及一種物體探測系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的物體缺陷探測系統(tǒng)一般包括載物臺、驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器以及控制模塊。所述光學編碼器對所述載物臺進行定位并輸出一定分辨率的刻度數(shù)據(jù)，分辨率越高，定位的精度就越高，分辨率越低，定位的精度就越低。所述控制模塊根據(jù)來自光學編碼器的刻度數(shù)據(jù)信息去控制所述驅(qū)動裝置以預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)，所述探測器對目標物體的對應(yīng)位置進行探測得到探測數(shù)據(jù)信息，所述控制模塊根據(jù)所述刻度數(shù)據(jù)信息和所述探測數(shù)據(jù)信息確定所述目標物體上的缺陷位置。所述控制模塊在得知所述目標物體上的缺陷位置后，根據(jù)所述刻度數(shù)據(jù)信息定位到所述目標物體上的缺陷位置，利用所述探測器對準所述目標物體上的缺陷位置進行探測得到缺陷數(shù)據(jù)信息。通常，為了對目標物體實現(xiàn)缺陷檢測，需要先進行缺陷掃描。在進行缺陷掃描時，所述載物臺的轉(zhuǎn)速一般比較高，比如250轉(zhuǎn)/秒。而為了可以定位到更為精細的位置處的缺陷，所述光學編碼器輸出的刻度數(shù)據(jù)的分辨率越高越好。然而，刻度越精細，轉(zhuǎn)速越高，那么所述光學編碼器得到的數(shù)據(jù)量就越大，所述控制模塊處理起來就越困難。而受限于所述控制模塊的處理能力，所述刻度的精細程度和轉(zhuǎn)速都受到一定程度的限制。因此，有必要提出改進的方案來克服上述問題。

發(fā)明內(nèi)容
針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提出一種物體探測系統(tǒng)，其既可以快速的進行物體的掃描，還可以對缺陷進行精確的定位檢測。根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提出一種物體探測系統(tǒng)，其包括載物臺、驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器以及控制模塊。所述控制模塊具有掃描模式和檢測模式，在掃描模式時，所述光學編碼器輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)來自所述光學編碼器的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第一預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以對目標物體進行掃描，在檢測模式時，所述光學編碼器輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)來自所述光學編碼器的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以對目標物體的目標位置進行檢測，其中第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的分辨率較第二分辨率刻度數(shù)據(jù)的分表率低，第二預(yù)定轉(zhuǎn)速小于第一預(yù)定轉(zhuǎn)速。在一個進一步的實施例中，在掃描模式時，所述探測器對目標物體的對應(yīng)位置進行探測得到探測數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)和所述探測數(shù)據(jù)確定所述目標物體上的目標位置，所述控制模塊在得知所述目標物體上的目標位置后切換至檢測模式，在檢測模式時，所述控制模塊控制所述驅(qū)動裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)并最后停止于所述目標物體上的目標位置，此時所述探測器對準所述目標物體上的目標位置進行探測得到缺陷數(shù)據(jù)信息。在一個更進一步的實施例中，所述光學編碼器包括有第一光學編碼單元和第二光學編碼單元，第一光學編碼單元支持第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出，第二光學編碼單元支持第二分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出，在掃描模式時，第一光學編碼單元工作，并輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊，在檢測模式時，第二光學編碼單元工作，并輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊。在一個更進一步的實施例中，所述光學編碼器包括光發(fā)射器、碼盤、光探測器和輸出電路，所述碼盤包括多個間隔透明區(qū)域，所述光發(fā)射器向所述碼盤發(fā)射光，所述光探測器探測透過所述碼盤的光得到光電感應(yīng)信號，所述輸出電路基于所述光探測器探測得到的光電感應(yīng)信號處理得到第一分辨率刻度數(shù)據(jù)或第二分辨率刻度數(shù)據(jù)，在掃描模式時，所述輸出電路輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊，在檢測模式時，所述輸出電路輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊。優(yōu)選的，所述輸出電路包括信號產(chǎn)生電路、第一輸出單元、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路和第二輸出單元，所述信號產(chǎn)生電路根據(jù)所述光探測器得到的光電感應(yīng)信號得到與所述碼盤的位置相關(guān)的模擬的余弦通道探測信號X (t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)，在掃描模式時，第一輸出單元基于模擬的余弦通道探測信號X(t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)，在檢測模式時，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換電路將所述模擬的余弦通道探測信號x(t)和正弦通道探測信號y(t)轉(zhuǎn)換為數(shù)字的余弦通道探測信號和正弦通道探測信號，第二輸出單元根據(jù)得到的數(shù)字的余弦通道探測數(shù)據(jù)和正弦通道探測數(shù)據(jù)進行運算得到第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。優(yōu)選的，在掃描模式下，根據(jù)探測數(shù)據(jù)中的目標脈沖與第一分辨率刻度數(shù)據(jù)中的相鄰刻度相差的時間及驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速來確定所述目標物體上的目標位置。在一個更進一步的實施例中，所述碼盤與所述載物臺相對固定，并跟隨所述載物臺一同旋轉(zhuǎn)。在一個更進一步的實施例中，所述目標物體上的目標位置為所述目標物體的缺陷位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的光學編碼器可以支持兩種分辨率的刻度數(shù)據(jù)，在一個方面，利用低分辨率刻度數(shù)據(jù)進行高速缺陷掃描，同時結(jié)合時間偏差及轉(zhuǎn)速來精確定位缺陷位置，在另一個方面，利用高分辨率刻度進行低速精確缺陷定位。這樣，既可以快速的進行物體的掃描，還可以對缺陷進行精確的定位檢測。


圖1為本發(fā)明中的物體探測系統(tǒng)在一個實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明中的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)、第二分辨率刻度數(shù)據(jù)和探測數(shù)據(jù)信息在一個實施例中的示意圖；圖3a為本發(fā)明中的光學編碼器的第一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3b為本發(fā)明中的光學編碼器的第二個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；和圖3c示出了圖3b中的輸出電路在一個實施例中的示例框圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做詳細說明。圖1為本發(fā)明中的物體探測系統(tǒng)100在一個實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述物體探測系統(tǒng)100包括載物臺110、驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置120、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器130、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器150以及控制t旲塊140。所述控制模塊140具有掃描模式和檢測模式。在掃描模式時,所述光學編碼器130輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)SI，所述控制模塊140根據(jù)來自所述光學編碼器130的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)SI去控制所述驅(qū)動裝置120以第一預(yù)定轉(zhuǎn)速Vl驅(qū)動所述載物臺110旋轉(zhuǎn)以對目標物體進行高速缺陷掃描。在掃描模式后得知有缺陷，那么進入檢測模式。在檢測模式時，所述光學編碼器130輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2，所述控制模塊140根據(jù)來自所述光學編碼器130的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2去控制所述驅(qū)動裝置120以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速V2驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以對目標物體的缺陷位置進行低速檢測。在一個實施例中，在掃描模式時，所述探測器150對目標物體200的對應(yīng)位置進行探測得到探測數(shù)據(jù)，所述控制模塊140根據(jù)所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)和所述探測數(shù)據(jù)確定所述目標物體上的缺陷位置(比如P1)。如圖2所示,如果目標物體200的相應(yīng)位置上有缺陷，則所述探測數(shù)據(jù)中在該相應(yīng)位置上會形成缺陷脈沖。在所述目標物體200旋轉(zhuǎn)的同時，所述探測器150可以沿所述目標物體200徑向運動，這樣可以對所述目標物體200上的各個軌道位置都進行探測。所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)可以反映所述載物臺110的轉(zhuǎn)速，因為轉(zhuǎn)速越快，各個刻度之間的時間間隔越小。由于第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的分辨率較低，因此所述第一預(yù)定轉(zhuǎn)速可以較高，比如250轉(zhuǎn)/秒。在一個實施例中，所述控制模塊140在得知所述目標物體200上的缺陷位置(比如Pl)后切換至檢測模式，在檢測模式時，所述控制模塊140根據(jù)來自所述光學編碼器130的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2去控制所述驅(qū)動裝置120以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速V2驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)，并可以最后停止于所述目標物體上的缺陷位置，此時所述探測器150對準所述目標物體上的缺陷位置進行探測得到缺陷數(shù)據(jù)信息。第一分辨率刻度數(shù)據(jù)SI的分辨率較第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2的分表率低，第二預(yù)定轉(zhuǎn)速V2小于第一預(yù)定轉(zhuǎn)速VI，比如第一預(yù)定轉(zhuǎn)速Vl為250轉(zhuǎn)/秒，第二與預(yù)定轉(zhuǎn)速V2為I轉(zhuǎn)/秒。由于在檢測模式時描述采用了低轉(zhuǎn)速，因為可以采用高分辨率的刻度數(shù)據(jù)，以定位到更精細的位置。圖2為本發(fā)明中的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)S1、第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2和探測數(shù)據(jù)信息在一個實施例中的示意圖，第一分辨刻度數(shù)據(jù)和第二分辨率刻度數(shù)據(jù)中的每個脈沖表示一個刻度，探測數(shù)據(jù)中的每個脈沖表示一個缺陷位置，Pi為探測數(shù)據(jù)中的一個缺陷脈沖(其對應(yīng)目標物體上的一個缺陷位置)，從圖中可以看出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)Si的分辨率(即刻度精細程度)較第二分辨率刻度數(shù)據(jù)S2的分辨率低，比如SI可以是每圈1800條刻度線，而S2可以是每圈72，000條刻度線，即S2在SI的每兩個刻度線之間設(shè)置有400個刻度，這樣利用S2可以更準確的定位到某一個具體位置。所述控制模塊140將所述探測數(shù)據(jù)和所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)進行對比就可以確定所述缺陷位置，所述缺陷位置可以較所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的精度更為精確，比如所述缺陷位置中包括該位置的前一個刻度值以及該位置距離該刻度值的距離Λ D。在一個實施例中，對一個目標進行高速掃描后，可能得到在所述目標物體上找到多個缺陷位置，t匕如P1，P2，P3。在得到了所述目標物體的一個缺陷位置的缺陷數(shù)據(jù)信息后，可以采用同樣的方式得到其他缺陷位置的缺陷數(shù)據(jù)。在掃描模式下，雖然第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的分辨率較低，但是由于所述驅(qū)動裝置120的轉(zhuǎn)速較高，轉(zhuǎn)速偏差較小，因此還是可以精確定位各個位置。具體的，可以采用一個位置與第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的相鄰刻度相差的時間及驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速來精確定位該位置。換句話說，在一個實施例中，根據(jù)所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)和所述探測數(shù)據(jù)確定所述目標物體上的目標位置為:根據(jù)探測數(shù)據(jù)中的缺陷脈沖(或稱為目標脈沖)與第一分辨率刻度數(shù)據(jù)中的相鄰刻度相差的時間及驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速來精確確定所述目標物體上的缺陷位置。如圖2所示，缺陷脈沖Pl所在位置所對應(yīng)的Λ D可以根據(jù)缺陷脈沖Pl與相鄰刻度Kl相差的時間Λ t、驅(qū)動裝置120的轉(zhuǎn)速、檢測軌道的直徑來計算得到。在檢測模式下，驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速較低，轉(zhuǎn)速偏差較大，用時間偏差的方式來對最小刻度進行進一步的細分將引入較大誤差，因此，在本發(fā)明中采用對所述模擬的余弦通道探測信號x(t)和正弦通道探測信號y(t)進行模數(shù)轉(zhuǎn)換的方式對刻度進行進一步的細分，以進行更為精確的定位，下文將在合適的位置進行詳細介紹。下面列舉所述光學編碼器的三個實施例。在第一個實施例中，如圖3a所示，所述光學編碼器包括有第一光學編碼單元和第二光學編碼單元，第一光學編碼單元支持第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出，第二光學編碼單元支持第二分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出。在掃描模式時，第一光學編碼單元工作，并輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊140，所述控制模塊140基于第一分辨率刻度數(shù)據(jù)控制所述驅(qū)動裝置120的轉(zhuǎn)動。在檢測模式時，第二光學編碼單元工作，并輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊140，所述控制模塊140基于第二分辨率刻度數(shù)據(jù)控制所述驅(qū)動裝置120的轉(zhuǎn)動。其中，每個光學編碼單元包括光發(fā)射器、碼盤、光探測器和輸出電路。所述碼盤包括多個間隔透明區(qū)域，所述光發(fā)射器向所述碼盤發(fā)射光，所述光探測器探測透過所述碼盤的光得到光電感應(yīng)信號，所述輸出電路基于所述光探測器探測得到的光電感應(yīng)信號處理得到刻度數(shù)據(jù)。在第二實施例中，如圖3b所示，所述光學編碼器包括光發(fā)射器310、碼盤320、光探測器330和輸出電路340。所述碼盤包括多個間隔透明區(qū)域，所述光發(fā)射器向所述碼盤發(fā)射光，所述光探測器探測透過所述碼盤的光得到光電感應(yīng)信號，所述輸出電路340基于所述光探測器探測得到的光電感應(yīng)信號處理得到第一分辨率刻度數(shù)據(jù)或第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。在掃描模式時，所述輸出電路輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊，在檢測模式時，所述輸出電路輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊。圖3c示出了圖3b中的輸出電路在一個實施例中的示例框圖。如圖3c所示，所述輸出電路340包括有信號產(chǎn)生電路341、第一輸出單元342、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路343、第二輸出單元344。所述信號產(chǎn)生電路341根據(jù)所述光探測器得到的光電感應(yīng)信號得到與所述碼盤320的位置相關(guān)的模擬的余弦通道探測信號x(t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)。
在掃描模式時，第一輸出單元342基于模擬的余弦通道探測信號X (t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)。在一個實施例中，根據(jù)余弦通道探測信號x(t)的過零點位置和正弦通道探測信號y(t)的過零點位置來確定第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的刻度。在檢測模式時，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換電路343將所述模擬的余弦通道探測信號X (t)和正弦通道探測信號y(t)轉(zhuǎn)換為數(shù)字的余弦通道探測數(shù)據(jù)和正弦通道探測數(shù)據(jù)，比如所述模數(shù)轉(zhuǎn)換電路343為8-12位的模數(shù)轉(zhuǎn)換器，第二輸出單元342根據(jù)得到的數(shù)字的余弦通道探測數(shù)據(jù)和正弦通道探測數(shù)據(jù)進行運算得到第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。由于模數(shù)裝換電路對模擬的通道探測信號進行了模數(shù)轉(zhuǎn)換，并對模擬信號進行了細分，因此可以基于細分的余弦通道探測數(shù)據(jù)和正弦通道探測數(shù)據(jù)得到分辨率更高的刻度數(shù)據(jù)，分辨率提高的程度與所述模數(shù)轉(zhuǎn)換器對模擬信號細分的程度有關(guān)。在一個具體的示例中，假設(shè)碼盤上一共有1800個透明區(qū)域(相當于有1800*4=6400個刻度線，每個周期的余弦通道探測數(shù)據(jù)有兩個過零點、每個周期的正選通道探測數(shù)據(jù)有兩個過零點，因此一個周期的模擬信號會被分為4等份)，直徑為30mm，在掃描模式下，所述載物臺以250轉(zhuǎn)/秒的速度旋轉(zhuǎn)，那么得到的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的頻率為250*1800=450Khz，第一分辨率(即識別精度)為30mm*3.14/1800*4=13.lum。在檢測模式下，載物臺以I轉(zhuǎn)/秒，假設(shè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器進行10位的模數(shù)轉(zhuǎn)換，那么相當于在碼盤上設(shè)置了21CI*1800=1024*1800=1843200 個刻度線，第二分辨率為 30mm*3.14/1843200=0.05um,那么得到的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的頻率為1*1843200=184.32Khz。在第三實施例(未圖示)中，所述光學編碼器包括第一分辨率的碼盤和第二分辨率的碼盤，在掃描模式時，所述光學編碼器采用第一分辨率的碼盤，此時所述光學編碼器輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)，在檢測模式時，所述光學編碼器采用第二分辨率的碼盤，此時所述光學編碼器輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。所述碼盤與所述載物臺相對固定，并跟隨所述載物臺一同旋轉(zhuǎn)。對于碼盤、光探測器、輸出電路的基本工作原理，可以參考現(xiàn)有的各種光學編碼器，比如專利申請?zhí)枮?01010549703.1的題目為《高分辨率光學編碼器系統(tǒng)、裝置和方法》的中國專利申請。本發(fā)明中一個優(yōu)點、好處或目的在于:本發(fā)明的光學編碼器可以支持兩種分辨率的刻度數(shù)據(jù)，在一個方面，利用低分辨率刻度數(shù)據(jù)進行高速缺陷掃描，同時結(jié)合時間偏差及轉(zhuǎn)速來精確定位缺陷位置，在另一個方面，利用高分辨率刻度進行低速精確缺陷定位。這樣，既可以快速的進行物體的掃描，還可以對缺陷進行精確的定位檢測。雖然通過實施例描述了本發(fā)明，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員知道，本發(fā)明有許多變形和變化而不脫離本發(fā)明的精神，希望所附的權(quán)利要求包括這些變形和變化而不脫離本發(fā)明的精神。
權(quán)利要求
1.一種物體探測系統(tǒng)，其包括載物臺、驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器以及控制模塊， 其特征在于，所述控制模塊具有掃描模式和檢測模式， 在掃描模式時，所述光學編碼器輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)來自所述光學編碼器的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第一預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以對目標物體進行掃描， 在檢測模式時，所述光學編碼器輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)來自所述光學編碼器的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以對目標物體的目標位置進行檢測， 其中第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的分辨率較第二分辨率刻度數(shù)據(jù)的分表率低，第二預(yù)定轉(zhuǎn)速小于第一預(yù)定轉(zhuǎn)速。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，在掃描模式時，所述探測器對目標物體的對應(yīng)位置進行探測得到探測數(shù)據(jù)，所述控制模塊根據(jù)所述第一分辨率刻度數(shù)據(jù)和所述探測數(shù)據(jù)確定所述目標物體上的目標位置， 所述控制模塊在得知所述目標物體上的目標位置后切換至檢測模式， 在檢測模式時，所述控制模塊控制所述驅(qū)動裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)并最后停止于所述目標物體上的目標位置，此時所述探測器對準所述目標物體上的目標位置進行探測得到缺陷數(shù)據(jù)信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，所述光學編碼器包括有第一光學編碼單元和第二光 學編碼單元，第一光學編碼單元支持第一分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出，第二光學編碼單元支持第二分辨率刻度數(shù)據(jù)的輸出， 在掃描模式時，第一光學編碼單元工作，并輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊，在檢測模式時，第二光學編碼單元工作，并輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，每個光學編碼單元包括光發(fā)射器、碼盤、光探測器和輸出電路， 所述碼盤包括多個間隔透明區(qū)域， 所述光發(fā)射器向所述碼盤發(fā)射光， 所述光探測器探測透過所述碼盤的光得到光電感應(yīng)信號， 所述輸出電路基于所述光探測器探測得到的光電感應(yīng)信號處理得到刻度數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，所述光學編碼器包括光發(fā)射器、碼盤、光探測器和輸出電路， 所述碼盤包括多個間隔透明區(qū)域， 所述光發(fā)射器向所述碼盤發(fā)射光， 所述光探測器探測透過所述碼盤的光得到光電感應(yīng)信號， 所述輸出電路基于所述光探測器探測得到的光電感應(yīng)信號處理得到第一分辨率刻度數(shù)據(jù)或第二分辨率刻度數(shù)據(jù)， 在掃描模式時，所述輸出電路輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊，在檢測模式時，所述輸出電路輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)給所述控制模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，所述輸出電路包括信號產(chǎn)生電路、第一輸出單元、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路和第二輸出單元， 所述信號產(chǎn)生電路根據(jù)所述光探測器得到的光電感應(yīng)信號得到與所述碼盤的位置相關(guān)的模擬的余弦通道探測信號x(t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)， 在掃描模式時，第一輸出單元基于模擬的余弦通道探測信號x(t)和模擬的正弦通道探測信號y(t)輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)， 在檢測模式時，所述模數(shù)轉(zhuǎn)換電路將所述模擬的余弦通道探測信號x(t)和正弦通道探測信號y(t)轉(zhuǎn)換為數(shù)字的余弦通道探測信號和正弦通道探測信號，第二輸出單元根據(jù)得到的數(shù)字的余弦通道探測數(shù)據(jù)和正弦通道探測數(shù)據(jù)進行運算得到第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，在掃描模式下，根據(jù)探測數(shù)據(jù)中的目標脈沖與第一分辨率刻度數(shù)據(jù)中的相鄰刻度相差的時間及驅(qū)動裝置的轉(zhuǎn)速來確定所述目標物體上的目標位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，所述光學編碼器包括第一分辨率的碼盤和第二分辨率的碼盤， 在掃描模式時，所述光學編碼器采用第一分辨率的碼盤，此時所述光學編碼器輸出第一分辨率刻度數(shù)據(jù)， 在檢測模式時，所述光學編碼器采用第二分辨率的碼盤，此時所述光學編碼器輸出第二分辨率刻度數(shù)據(jù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于， 所述碼盤與所述載物臺相對固定，并跟隨所述載物臺一同旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物體探測系統(tǒng)，其特征在于，所述目標物體上的目標位置為所述目標物體的缺陷位置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種物體探測系統(tǒng)，其包括載物臺、驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動裝置、用于定位所述載物臺的位置的光學編碼器、用于對于載物臺上的目標物體進行探測的探測器以及控制模塊。在掃描模式時，所述控制模塊根據(jù)來自光學編碼器的第一分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第一預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以進行缺陷掃描。在檢測模式時，所述控制模塊根據(jù)來自光學編碼器的第二分辨率刻度數(shù)據(jù)去控制所述驅(qū)動裝置以第二預(yù)定轉(zhuǎn)速驅(qū)動所述載物臺旋轉(zhuǎn)以進行缺陷檢測。一方面，利用低分辨率刻度數(shù)據(jù)進行高速缺陷掃描，同時結(jié)合時間偏差及轉(zhuǎn)速來精確定位缺陷位置，另一方面，利用高分辨率刻度數(shù)據(jù)進行低速缺陷定位，從而兼顧了快速掃描和精確的缺陷檢測。
文檔編號G01N21/88GK103196915SQ20131006078
公開日2013年7月10日 申請日期2013年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月26日
發(fā)明者何繼中 申請人:無錫微焦科技有限公司