技術總結(jié)
一種微小孔洞檢測裝置及方法，所述檢測裝置(1)包括檢測機臺(10)、信號處理及控制單元(20)以及顯示單元(30)。檢測機臺(10)用以檢測具有多個孔洞(HO)的待測物(P)。檢測機臺包括發(fā)光單元(12)、光通量檢測單元(14)以及工作平臺。發(fā)光單元(12)包括光源以及發(fā)散角局限器(126)。此光源產(chǎn)生檢測所需的光線。發(fā)散角局限器(126)用以縮小進入各個孔洞的光線的發(fā)散角。工作平臺用以承載待測物(P)，并通過驅(qū)動工作平臺以改變待測物(P)與光通量檢測單元(14)間的相對位置，使這些孔洞依序通過光通量檢測單元(14)。信號處理及控制單元(20)用以控制檢測機臺(10)并接收檢測機臺(10)所回傳的信號。顯示單元(30)用以顯示測量結(jié)果。

技術研發(fā)人員：陳菁菘;陳俊融;周辰儒
受保護的技術使用者：財團法人工業(yè)技術研究院
文檔號碼：201280072387
技術研發(fā)日：2012.09.28
技術公布日：2016.11.30