技術(shù)特征：
1.一種微小孔洞檢測裝置，其特征在于，包括：檢測機臺，用以檢測具有多個孔洞的待測物，該檢測機臺包括：發(fā)光單元，包括光源以及發(fā)散角局限器，該光源產(chǎn)生檢測所需的光線，該發(fā)散角局限器用以縮小進入各該孔洞的光線的發(fā)散角；其中，該發(fā)散角局限器具有深寬比大于0.8的至少一開口；通過該發(fā)散角局限器的光線的發(fā)散角在正負(fù)30度以內(nèi)；光通量檢測單元，用以測量通過各該孔洞的光通量；以及工作平臺，用以承載該待測物，并通過驅(qū)動該工作平臺以改變該待測物與該光通量檢測單元間的相對位置，使所述孔洞依序通過該光通量檢測單元；信號處理及控制單元，用以控制該檢測機臺并接收該檢測機臺所回傳的信號；以及顯示單元，用以顯示測量結(jié)果。2.如權(quán)利要求1所述的微小孔洞檢測裝置，其中該光源包括發(fā)光二極管或鹵素?zé)簟?.如權(quán)利要求1所述的微小孔洞檢測裝置，其中該開口內(nèi)壁上具有至少一刻紋或螺紋。4.如權(quán)利要求1所述的微小孔洞檢測裝置，還包括影像獲取單元，用以獲取所述孔洞中經(jīng)光通量檢測判斷有堵塞的至少一孔洞的影像。5.一種微小孔洞檢測裝置，其特征在于，包括：檢測機臺，用以檢測具有多個孔洞的待測物，該檢測機臺包括：發(fā)光單元，包括光源，該光源產(chǎn)生檢測所需的光線；光通量檢測單元，用以測量通過各該孔洞的光通量，該光通量檢測單元包括光感測器以及光過濾器，該光過濾器用以濾掉相對于平行通過各該孔洞的光線具有一較大角度的光線，以使該光感測器接收接近平行通過該光過濾器的光線；其中，該光過濾器具有深寬比大于0.8的至少一開口；通過該光過濾器的光線其角度在正負(fù)30度以內(nèi)；以及工作平臺，用以承載該待測物，并通過驅(qū)動該工作平臺以改變該待測物與該光通量檢測單元間的相對位置，使所述孔洞依序通過該光通量檢測單元；信號處理及控制單元，用以控制該檢測機臺并接收該檢測機臺所回傳的信號；以及顯示單元，用以顯示測量結(jié)果。6.如權(quán)利要求5所述的微小孔洞檢測裝置，其中該光源包括發(fā)光二極管或鹵素?zé)簟?.如權(quán)利要求5所述的微小孔洞檢測裝置，其中該開口內(nèi)壁上具有至少一刻紋或螺紋。8.如權(quán)利要求5所述的微小孔洞檢測裝置，還包括影像獲取單元，用以獲取所述孔洞中經(jīng)光通量檢測判斷有堵塞的至少一孔洞的影像。9.如權(quán)利要求5所述的微小孔洞檢測裝置，還包括導(dǎo)光器，位于該光過濾器前端或位于該光過濾器與該光感測器之間，用以引導(dǎo)通過各該孔洞的光線進入到該光感測器中。10.一種微小孔洞檢測方法，其特征在于，包括：提供光源，該光源產(chǎn)生檢測孔洞所需的光線；提供光通量檢測單元，用以接收接近平行通過各該孔洞的光線的光通量；根據(jù)該光通量判斷各該孔洞的堵塞程度；提供影像獲取單元來輔助判斷各該孔洞的堵塞程度；以及提供發(fā)散角局限器，其具有深寬比大于0.8的至少一開口，使通過該發(fā)散角局限器的該至少一開口的光線的發(fā)散角在正負(fù)30度以內(nèi)。11.如權(quán)利要求10所述的微小孔洞檢測方法，還包括濾掉相對于平行通過各該孔洞的光線具有一較大角度的入射光線，以使該光通量檢測單元接收接近平行通過的光線。12.如權(quán)利要求11所述的微小孔洞檢測方法，其中入射角度大于正負(fù)30度的光線被濾掉。