技術總結
為了提高光軸方向的分辨率,本發(fā)明的非線性顯微鏡的一個形態(tài)具備:照明單元(20,19),將從光源(11)供給的照明光(L1、L2)會聚在被觀察物(10)上,在該會聚點(S1)發(fā)生相干的非線性光學過程;檢測單元(27),接受在上述非線性光學過程中發(fā)生的相干的物體光(Lr),生成表示該受光部處的光強度的信號;以及,控制單元(15,28),在上述會聚點掃描上述被觀察物中的被觀察面(10A),計測上述被觀察面上的上述信號的分布;從上述光源朝向上述被觀察物的上述照明光的光程和從上述被觀察物朝向上述受光部的上述物體光的光程的至少一方被雙重化為一對光程,這一對光程的關系設定成相對于上述被觀察面對稱關系。
技術研發(fā)人員:福武直樹
受保護的技術使用者:株式會社尼康
文檔號碼:201280012144
技術研發(fā)日:2012.03.07
技術公布日:2017.03.22