專利名稱：探針卡安裝臺及探針測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種探針卡安裝臺及探針測量裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)和開發(fā)中，為了監(jiān)控半導(dǎo)體器件的穩(wěn)定性、調(diào)試新產(chǎn)品設(shè)計以及進行失效分析，經(jīng)常需要測試半導(dǎo)體器件的各種電學(xué)特性。在上述測試過程中通常使用探針測量裝置，探針測量裝置包括探針卡和探針卡安裝臺。如圖1所示，探針卡10包括一探針基臺11 ;設(shè)置于所述探針基臺11上的探針凸臺12 ;設(shè)置于所述探針凸臺12上的多個探針13 ;設(shè)置于所述探針基臺11上的兩個對位凸起14。所述探針凸臺12上具有第一通孔15，所述探針13 —端連接在所述探針凸臺12上。如圖2所示，所述探針卡安裝臺20包括一安裝基臺21 ;設(shè)置于所述安裝基臺21上的凹槽22，所述凹槽22內(nèi)具有第二通孔23 ;設(shè)置于所述凹槽22上的轉(zhuǎn)盤24，所述轉(zhuǎn)盤24上具有與所述第二通孔23對應(yīng)的第三通孔25，在所述轉(zhuǎn)盤24的外邊具有兩個通槽26，在所述通槽26內(nèi)設(shè)置有可沿通槽26自由移動并能固定的固定螺絲27 ;在所述轉(zhuǎn)盤24的靠近外邊具有兩個對位孔28。所述第二通孔23、第三通孔25與所述探針凸臺12對應(yīng)，所述對位孔28與所述對位凸起14對應(yīng)。將所述探針卡10反扣到所述探針卡安裝臺20，所述對位凸起14插入對應(yīng)所述對位孔28內(nèi)。所述探針卡10安裝到所述探針卡安裝臺20上后，所述探針13的另一端朝向所述第三通孔25和第二通孔23，使得位于所述探針凸臺12上的探針13的另一端通過第三通孔25和第二通孔23與所述待測晶圓的測試引腳相連接。利用上述探針測量裝置，對半導(dǎo)體晶圓進行測試按照如下方法進行SlOl :將所述對位凸起14與所述對位孔28對準(zhǔn)裝入，所述探針凸臺12即被裝入所述第三通孔25和第二通孔23內(nèi)，使所述探針卡10固定在所述轉(zhuǎn)盤24上；S102 :將待測晶圓放置于所述第二通孔23之下；S103 :松開所述固定螺絲27，手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤24，帶動所述探針卡10使所述探針13位于所述晶圓對應(yīng)的測試引腳上；S104 :固定所述固定螺絲27，通過顯微鏡觀察所述探針13是否準(zhǔn)確的位于所述晶圓對應(yīng)的測試引腳上，若所述探針13沒有位于所述晶圓對應(yīng)的測試引腳上時，重復(fù)步驟S103和S104，直到所述探針13準(zhǔn)確的位于所述晶圓對應(yīng)的測試引腳上為止；S105 :對所述晶圓進行測試。在上述測試過程的步驟S 103和步驟S 104中，所述探針13與所述晶圓對應(yīng)的測試引腳的對位是通過手動旋轉(zhuǎn)所述轉(zhuǎn)盤24完成的。通常，每個所述探針卡都有22個左右的探針，需要分別與晶圓上的22個測試引腳對位連接，而要通過手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤24完成上述對位連接，由于測試引腳大小都在微米量級，手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤24的調(diào)整精度有限，導(dǎo)致上述S103步驟耗時較長。另外，在步驟S104中，在固定所述固定螺絲27的過程中，因為緊固好所述螺絲27后，應(yīng)力有所釋放，可能會使轉(zhuǎn)盤24發(fā)生微小的位移，導(dǎo)致步驟S103的對位連接被破壞，從而需要重新進行步驟S103和S104，導(dǎo)致整個調(diào)整對位時間較長。因此，在采用上述探針測量裝置進行晶圓測試的過程中，存在手動調(diào)整精度不高，對位效率低下的問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種探針卡安裝臺及探針測量裝置，以解決上述手動調(diào)整精度低和對位效率低下的問題，達到提高測試效率的目的。為了解決上述問題，本實用新型提供一種探針卡安裝臺，包括一基臺和轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤位于所述基臺上，還包括一組相互嚙合的蝸輪和蝸桿；所述轉(zhuǎn)盤固定于所述蝸輪上?？蛇x的，所述蝸輪平行于所述轉(zhuǎn)盤設(shè)置，并位于所述基臺和轉(zhuǎn)盤之間，所述蝸桿位于所述基臺的一側(cè)?？蛇x的，所述轉(zhuǎn)盤邊緣上設(shè)置有對位標(biāo)記，所述基臺靠近轉(zhuǎn)盤一側(cè)的邊緣設(shè)置有刻度?？蛇x的，還包括一螺旋測微器，所述蝸桿一端連接所述螺旋測微器。可選的，還包括用于固定所述蝸桿的緊固器件，所述緊固器件位于所述基臺一側(cè)?？蛇x的，所述轉(zhuǎn)盤外邊設(shè)有至少兩個通槽，所述通槽內(nèi)設(shè)有用于固定所述轉(zhuǎn)盤的固定器件。可選的，所述轉(zhuǎn)盤靠近外邊沿的位置設(shè)有至少兩個對位孔?？蛇x的，所述對位孔的距轉(zhuǎn)盤中心的距離小于所述通槽距轉(zhuǎn)盤中心的距離?？蛇x的，所述基臺上設(shè)置有凹槽，所述轉(zhuǎn)盤位于所述凹槽內(nèi)。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種探針測量裝置，包括一探針卡和所述探針卡安裝臺。本實用新型采用的探針卡安裝臺，包括一基臺和轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤位于所述基臺上，還包括一組相互嚙合的蝸輪蝸桿；所述轉(zhuǎn)盤固定于所述蝸輪上。旋轉(zhuǎn)所述蝸桿后，所述蝸桿推動蝸輪并帶動所述轉(zhuǎn)盤一起轉(zhuǎn)動，對所述轉(zhuǎn)盤的調(diào)整可以通過旋轉(zhuǎn)蝸桿完成。相對于手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，通過蝸桿旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可以有效提高其調(diào)整精度。因為調(diào)整精度的提升，也可以提聞對位調(diào)整的效率，從而達到提聞測試效率的目的。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中探針卡的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為為現(xiàn)有技術(shù)中探針卡安裝臺的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型一實施例中探針卡安裝臺的俯視圖；圖4為本實用新型一實施例中蝸輪蝸桿的透視圖；圖5為本實用新型另一實施例中探針卡安裝臺的俯視圖；圖6為本實用新型另一實施例中蝸輪蝸桿的透視圖。
具體實施方式
本實用新型的核心思想在于，探針卡安裝臺包括一組相互嚙合的蝸輪蝸桿；探針卡安裝臺的轉(zhuǎn)盤固定于所述蝸輪上。旋轉(zhuǎn)所述蝸桿后，所述蝸桿推動蝸輪并帶動所述轉(zhuǎn)盤一起轉(zhuǎn)動，對所述轉(zhuǎn)盤的調(diào)整可以通過旋轉(zhuǎn)蝸桿完成。相對于手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，通過蝸桿旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可以有效提聞其調(diào)整精度。因為調(diào)整精度的提升，也可以提聞對位的效率，從而達到提聞測試效率的目的。為了使本實用新型的目的，技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，
以下結(jié)合附圖來進一步做詳細說明。結(jié)合圖3和圖4，本實用新型一實施例的探針卡安裝臺100包括基臺101、轉(zhuǎn)盤102、一組相互嚙合的蝸輪103和蝸桿104。所述基臺101上設(shè)置有凹槽105，所述轉(zhuǎn)盤102位于所述凹槽105內(nèi)，所述轉(zhuǎn)盤102固定于所述蝸輪103上，所述蝸輪103平行于所述轉(zhuǎn)盤102設(shè)置于所述基臺101和轉(zhuǎn)盤102之間，所述蝸桿104位于所述基臺101的一側(cè)。繼續(xù)參考圖3和圖4，當(dāng)需要調(diào)整所述轉(zhuǎn)盤102的角度的時候，可以旋轉(zhuǎn)所述蝸桿104，蝸桿104推動蝸輪103并帶動所述轉(zhuǎn)盤102旋轉(zhuǎn)。為了準(zhǔn)確定位所述轉(zhuǎn)盤102的位置，可以在所述轉(zhuǎn)盤102邊緣上設(shè)置對位標(biāo)記106，同時在所述基臺101靠近轉(zhuǎn)盤102 —側(cè)的邊緣設(shè)置有刻度107。通過對位標(biāo)記106和刻度107的相對位置，可以準(zhǔn)確的將轉(zhuǎn)盤102定位到某一位置。為了更準(zhǔn)確的定位，還可以在所述蝸桿104 —端設(shè)置一螺旋測微器108，通過所述螺旋測微器108的讀數(shù)也可以將轉(zhuǎn)盤精確的定位到某一位置。繼續(xù)參考圖3和圖4，為了將準(zhǔn)確定位后的轉(zhuǎn)盤固定于該位置，可以在所述轉(zhuǎn)盤102上(本實施例中是靠近外邊沿的位置)設(shè)有至少兩個通槽109，所述通槽109內(nèi)設(shè)有固定器件110，所述固定器件110可以在所述通槽109內(nèi)自由移動并能夠固定于某一位置，用于固定所述轉(zhuǎn)盤102。另外，所述轉(zhuǎn)盤102上(本實施例中是靠近內(nèi)邊沿的位置)還設(shè)有至少兩個對位孔111，用于與探針卡對位使用。為了保證能夠方便的調(diào)整所述固定器件110，所述對位孔111距轉(zhuǎn)盤102中心的距離LI小于所述通槽109距轉(zhuǎn)盤102中心的距離L2。如圖3所示，在所述基臺101的一側(cè)設(shè)置有三個連接孔112，所述三個連接孔112用于連接其它調(diào)整移動系統(tǒng)，用于調(diào)整所述探針卡安裝臺100在X、Y和Z方向的位置。結(jié)合圖5和圖6，為了減小固定器件110在固定過程中對轉(zhuǎn)盤102的影響，在本實用新型另一實施例中，也可以在所述基臺101的一側(cè)設(shè)置一緊固器件113，用于固定所述蝸桿104，所述緊固部件113可以為螺絲。當(dāng)所述轉(zhuǎn)盤102到達確定位置后，可以旋緊緊固部件113固定所述蝸桿104，從而使轉(zhuǎn)盤102的位置固定。本實用新型的改進之處都集中在所述探針卡安裝臺100上，而作為配套使用的探針卡并沒有變動。然而，應(yīng)當(dāng)理解的是，包含所述探針卡安裝臺100的探針測量裝置也屬于本發(fā)明保護的范圍。綜上，本實用新型所采用的探針卡安裝臺的轉(zhuǎn)盤固定于蝸輪上，所述蝸輪與一蝸桿相互嚙合，所述蝸桿位于所述安裝臺的一側(cè)。旋轉(zhuǎn)所述蝸桿后，所述蝸桿推動蝸輪并帶動所述轉(zhuǎn)盤一起轉(zhuǎn)動，對所述轉(zhuǎn)盤的調(diào)整可以通過旋轉(zhuǎn)蝸桿完成。相對于手動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤，通過蝸桿旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可以有效提聞其調(diào)整精度。因為調(diào)整精度的提升，也可以提聞對位的效率，從而達到提聞測試效率的目的。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種探針卡安裝臺，包括一基臺和轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤位于所述基臺上，其特征在于，還包括一組相互嚙合的蝸輪和蝸桿；所述轉(zhuǎn)盤固定于所述蝸輪上。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述蝸輪平行于所述轉(zhuǎn)盤設(shè)置，并位于所述基臺和轉(zhuǎn)盤之間，所述蝸桿位于所述基臺的一側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤邊緣上設(shè)置有對位標(biāo)記，所述基臺靠近轉(zhuǎn)盤一側(cè)的邊緣設(shè)置有刻度。
4.如權(quán)利要求1或3所述的探針卡安裝臺，其特征在于，還包括一螺旋測微器，所述蝸桿一端連接所述螺旋測微器。
5.如權(quán)利要求1所述的探針卡安裝臺，其特征在于，還包括用于固定所述蝸桿的緊固器件，所述緊固器件位于所述基臺一側(cè)。
6.如權(quán)利要求1所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤外邊設(shè)有至少兩個通槽，所述通槽內(nèi)設(shè)有用于固定所述轉(zhuǎn)盤的固定器件。
7.如權(quán)利要求6所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤靠近外邊沿的位置設(shè)有至少兩個對位孔。
8.如權(quán)利要求7所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述對位孔的距轉(zhuǎn)盤中心的距離小于所述通槽距轉(zhuǎn)盤中心的距離。
9.如權(quán)利要求1所述的探針卡安裝臺，其特征在于，所述基臺上設(shè)置有凹槽，所述轉(zhuǎn)盤位于所述凹槽內(nèi)。
10.一種探針測量裝置，包括一探針卡，其特征在于，還包括一如權(quán)利要求1-9中任意一項所述探針卡安裝臺。
專利摘要本實用新型公開了一種探針卡安裝臺及探針測量裝置，包括一基臺和轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤位于所述基臺上，還包括一組相互嚙合的蝸輪和蝸桿；所述轉(zhuǎn)盤固定于所述蝸輪上。通過蝸桿旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤可以有效提高其調(diào)整精度，從而提高對位的效率，達到提高測試效率的目的。
文檔編號G01R1/073GK202837352SQ20122052053
公開日2013年3月27日 申請日期2012年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月11日
發(fā)明者溫娟, 孫艷輝, 張冠 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司