專利名稱：一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電子元器件無損檢測技術領域，尤其涉及一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置。
背景技術：
電子元器件的氦質(zhì)譜背壓檢漏首先要對元器件加壓充氦，然后在用氦質(zhì)譜檢漏儀檢測漏率值。在加壓充氦步驟，要將被檢元器件放置在氦氣加壓室內(nèi)，預先對氦氣加壓室抽真空至壓力小于lkPa，再將高純度的氦氣充入氦氣加壓室內(nèi)，按規(guī)定的時間持續(xù)保壓，在實際工作中，往往會遇到元器件數(shù)量很少，無法裝滿整個氦氣加壓室的情況，如果直接進行充氦加壓，則需要用較長的時間才能把氦氣加壓室預抽空至壓力小于lkPa，然后用氦氣時由于加壓室內(nèi)空間過大就要耗費大量的氦氣來填充空間。這樣就浪費了電能、氦氣，生產(chǎn)效率 也不高。發(fā)明內(nèi)容本實用新型要解決的技術問題提供一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，以解決對較少數(shù)量元器件進行加壓充氦對氦氣、電能的浪費和生產(chǎn)效率不高等問題。本實用新型技術方案一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，它包括圓柱形鋁合金塊，在圓柱形鋁合金塊上有一個與圓柱形鋁合金塊同軸的圓槽，圓槽上有一個手柄。手柄距離圓槽底部距離為20-30毫米。圓槽直徑為100毫米-150毫米。本實用新型的有益效果把本實用新型放入氦氣加壓室內(nèi)，把被檢元器件放在本實用新型上表面，蓋上氦氣加壓室蓋板并緊固密封，然后開啟真空泵對加壓時內(nèi)預抽真空至內(nèi)部壓力小于IOkPa,之后關閉真空泵，開始加壓時內(nèi)充入規(guī)定壓力的高濃度氦氣并保持一定時間，由于本實用新型直徑略小于氦氣加壓室直徑，在最大量占據(jù)加壓室內(nèi)多余空間的同時，與加壓室內(nèi)壁的間隙也可以保證氦氣在加壓室內(nèi)均勻擴散，能充滿被檢電子元器件周圍的空間。本實用新型占據(jù)氦氣加壓室內(nèi)的多余空間，使預抽真空的空氣量減少，降低了充氦氣前預抽空的時間，同樣也減少了氦氣的使用量。達到了節(jié)約電能、氦氣和提高生產(chǎn)效率的目的，解決了對較少數(shù)量元器件進行加壓充氦對氦氣、電能的浪費和生產(chǎn)效率不高等問題。


圖I為本實用新型結構示意圖；圖2為本實用新型A-A面剖視圖。
具體實施方式
一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，它包括圓柱形鋁合金塊1，在圓柱形鋁合金塊I上有一個與圓柱形鋁合金塊I同軸的圓槽2，圓槽2上有一個手柄3，手柄3距離圓槽2底部距離為20-30毫米，圓槽2直徑為100毫米-150毫米。本實用新型圓柱形鋁合金塊I的直徑要小于氦氣加壓室的直徑，高度要低于加壓室的高度，以方便本實用新型能夠進 出加壓室。
權利要求1.一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，它包括圓柱形鋁合金塊(I)，其特征在于在圓柱形鋁合金塊(I)上有一個與圓柱形鋁合金塊(I)同軸的圓槽(2)，圓槽(2)上有一個手柄(3)。
2.根據(jù)權利要求I所述的一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，其特征在于手柄(3)距離圓槽(2)底部距離為20-30毫米。
3.根據(jù)權利要求I所述的一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，其特征在于圓槽(2)直徑為100毫米-150毫米。
專利摘要本實用新型公開了一種氦質(zhì)譜背壓檢漏充氦加壓節(jié)氣節(jié)能裝置，它包括圓柱形鋁合金塊(1)，在圓柱形鋁合金塊(1)上有一個與圓柱形鋁合金塊(1)同軸的圓槽(2)，圓槽(2)上有一個手柄(3)；解決了對較少數(shù)量元器件進行加壓充氦對氦氣、電能的浪費和生產(chǎn)效率不高等問題。
文檔編號G01M3/20GK202793706SQ20122050169
公開日2013年3月13日 申請日期2012年9月27日 優(yōu)先權日2012年9月27日
發(fā)明者來啟發(fā), 趙玲 申請人:貴州航天計量測試技術研究所