專利名稱：傳感器元件及其制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種傳感器元件、傳感器元件的制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為傳感器元件，已知一種角速度傳感器(振動(dòng)陀螺傳感器)，其被用于例如車輛中的車身控制、車輛導(dǎo)航系統(tǒng)的本車位置檢測(cè)、數(shù)碼照相機(jī)或攝像機(jī)等的振動(dòng)控制補(bǔ)正(所謂的手抖補(bǔ)正)等，并對(duì)角速度、加速度等的物理量進(jìn)行檢測(cè)(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。例如，專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器具有音叉，所述音叉通過兩個(gè)臂、和對(duì)該兩個(gè)臂的一端之間進(jìn)行連接的連接部而構(gòu)成。此外，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，音叉由非壓電體材料構(gòu)成，并且在各個(gè)臂上分別設(shè)置有通過壓電薄膜插入在一對(duì)電極之間而構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)部以及檢測(cè)部。在這種專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，通過向驅(qū)動(dòng)部的一對(duì)電極之間施加電壓，從而使臂進(jìn)行彎曲振動(dòng)(驅(qū)動(dòng))。而且，在該驅(qū)動(dòng)狀態(tài)下，當(dāng)臂受到繞沿著其延伸方向的軸線的角速度時(shí)，將由于科里奧利力，而使臂向與前文所述的驅(qū)動(dòng)方向正交的方向撓曲，從而由檢測(cè)部的一對(duì)電極檢測(cè)出對(duì)應(yīng)于該撓曲量的電荷。根據(jù)該被檢測(cè)出的電荷，而能夠?qū)撬俣冗M(jìn)行檢測(cè)。然而，如前文所述的具有兩個(gè)臂的音叉一般通過對(duì)基板進(jìn)行蝕刻加工而形成。此時(shí)，由于該基板的蝕刻各向異性或加工工藝的誤差等，而難以使音叉的尺寸與設(shè)計(jì)一致。因此，存在如下的情況，即，音叉成為非預(yù)期的形狀，從而即使在臂未受到角速度的狀態(tài)下，臂也向與驅(qū)動(dòng)方向不同的方向進(jìn)行撓曲。當(dāng)對(duì)伴隨著這種臂的撓曲而由檢測(cè)部的一對(duì)電極產(chǎn)生的電荷進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，將導(dǎo)致檢測(cè)靈敏度的降低。因此，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，通對(duì)對(duì)檢測(cè)部的一對(duì)電極中的一個(gè)電極進(jìn)行部分去除，從而對(duì)在臂未受到角速度的狀態(tài)下由檢測(cè)部的一對(duì)電極輸出的電荷
量進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是，在專利文獻(xiàn)I所記載的角速度傳感器中，由檢測(cè)部的一對(duì)電極輸出的電荷量的調(diào)節(jié)幅度較小，其結(jié)果為，存在如下問題，即，有時(shí)無法實(shí)施所需的調(diào)節(jié)。專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-14887號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度的傳感器元件、傳感器元件的制造方法以及傳感器裝置，并且提供一種具備所涉及的傳感器裝置的、可靠性較高的電子設(shè)備。本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的發(fā)明，其能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例I本發(fā)明的傳感器元件的特征在于，具備基部；驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)；振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而進(jìn)行振動(dòng)；檢測(cè)部，其包括檢測(cè)用電極，所述檢測(cè)用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而輸出信號(hào)；第一電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生電荷；第二電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷。根據(jù)以這種方式構(gòu)成的傳感器元件，能夠?qū)⑷缦轮底鳛閭鞲衅鬏敵龆敵?，所述值為，將產(chǎn)生于檢測(cè)用電極上的電荷量，與產(chǎn)生于第一電極上的電荷量和產(chǎn)生于第二電極上的電荷量之間的差分相加而得到的值。而且，通過對(duì)第一電極或第二電極的一部分或全部進(jìn)行去除，從而能夠減小產(chǎn)生于第一電極或第二電極上的電荷量，進(jìn)而對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。具體而言，將傳感器輸出調(diào)節(jié)(補(bǔ)正)為，使在傳感器元件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出成為所需的基準(zhǔn)值(例如零)。尤其是，由于使第一電極以及第二電極產(chǎn)生相互成為相反極性的電荷，因此無論在傳感器元件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出與所需的基準(zhǔn)值相比較大的情況下，還是較小的情況下，均能夠通過選擇第一電極以及第二電極中的任意一個(gè)電極并對(duì)一部分或全部進(jìn)行去除，從而將傳感器元件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出調(diào)節(jié)為所需的基準(zhǔn)值。此外，由于一對(duì)第一電極以及一對(duì)第二電極分別被設(shè)置于，獨(dú)立于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的振動(dòng)臂上，因此與將一對(duì)第一電極以及一對(duì)第二電極設(shè)置在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂上的結(jié)構(gòu)相t匕，能夠增大第一電極以及第二電極的電極面積。因此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。而且，由于一對(duì)第一電極和一對(duì)第二電極一起被設(shè)置于一個(gè)振動(dòng)臂上，因此與將一對(duì)第一電極和一對(duì)第二電極設(shè)置在分別不同的振動(dòng)臂上的結(jié)構(gòu)相比，能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。應(yīng)用例2在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，將來自所述第一電極的電荷與來自所述第二電極的電荷相加而得到的電荷，與在所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂上未施加有物理量時(shí)由所述檢測(cè)用電極產(chǎn)生的電荷為相反極性。由此，能夠?qū)鞲衅鬏敵稣{(diào)節(jié)(補(bǔ)正)為，使在傳感器元件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出成為所需的基準(zhǔn)值(例如零)。應(yīng)用例3在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述振動(dòng)臂具有第一面、該第一面的相反側(cè)的第二面、以及對(duì)所述第一面和所述第二面進(jìn)行連結(jié)的一對(duì)側(cè)面，所述第一電極包括第一主面電極和第一側(cè)面電極，所述第一主面電極沿著所述振動(dòng)臂的延伸方向而被設(shè)置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一側(cè)面電極被設(shè)置于一個(gè)所述側(cè)面上，所述第二電極包括第二主面電極和第二側(cè)面電極，所述第二主面電極沿著所述振動(dòng)臂的延伸方向，而以與所述第一電極并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二側(cè)面電極被設(shè)置于另一個(gè)所述側(cè)面上。由此，能夠?qū)鞲衅鬏敵稣{(diào)節(jié)(補(bǔ)正)為，使在傳感器元件上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出成為所需的基準(zhǔn)值(例如零)。
應(yīng)用例4在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，在所述振動(dòng)臂的頂端部上設(shè)置有質(zhì)量調(diào)節(jié)部。由此，能夠?qū)φ駝?dòng)臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此，能夠使振動(dòng)臂的共振頻率接近于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的頻率，從而增大隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的、振動(dòng)臂的振動(dòng)的振幅，隨之，增大一對(duì)第一電極間以及一對(duì)第二電極間的電位差。其結(jié)果為，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。應(yīng)用例5在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述第一電極以及所述第二電極中的至少一方具備共用部，其沿著振動(dòng)臂的延伸方向而設(shè)置；多個(gè)分支部，其從所述共用部分支。由此，能夠通過對(duì)第一電極或第二電極的多個(gè)分支部中的至少一個(gè)分支部的中途、或共用部的中途進(jìn)行切斷，從而減小一對(duì)第一電極間或一對(duì)第二電極間的電位差，進(jìn)而對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。尤其是，由于多個(gè)分支部從共用部分支，因此即使對(duì)任意的分支部進(jìn)行切斷，也能夠維持其他的分支部與檢測(cè)用電極電連接的狀態(tài)。應(yīng)用例6在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，多個(gè)所述分支部的電極寬度在頂端側(cè)比在所述共用部側(cè)大。由此，能夠確保調(diào)節(jié)之前(對(duì)共用部或分支部的中途進(jìn)行切斷之前)的第一電極以及第二電極的電極面積分別較大，從而增大通過對(duì)共用部或分支部的中途的切斷而實(shí)施的對(duì)傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度，且比較簡(jiǎn)單地對(duì)分支部的中途進(jìn)行切斷。應(yīng)用例7在本發(fā)明的傳感器中，優(yōu)選為，所述分支部相對(duì)于所述共用部的所述延伸方向而傾斜。由此，能夠較為簡(jiǎn)單地對(duì)分支部的中途進(jìn)行切斷。應(yīng)用例8在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，所述振動(dòng)臂具有沿著所述延伸方向而設(shè)置的槽部，所述分支部的至少一部分被設(shè)置于所述槽部的壁面上。由此，當(dāng)振動(dòng)臂由壓電體材料構(gòu)成時(shí)，能夠增大一對(duì)第一電極間以及一對(duì)第二電極間的電位差。因此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。應(yīng)用例9在本發(fā)明的傳感器元件中，優(yōu)選為，具有檢測(cè)用振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，且根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而進(jìn)行振動(dòng)，所述檢測(cè)用電極被設(shè)置于所述檢測(cè)用振動(dòng)臂上。由此，能夠增大檢測(cè)用電極的電極面積。因此，能夠提高傳感器元件的檢測(cè)靈敏度。應(yīng)用例10本發(fā)明的傳感器元件的制造方法的特征在于，所述傳感器元件具備基部；驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)；振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而進(jìn)行振動(dòng)；檢測(cè)部，其包括檢測(cè)用電極，所述檢測(cè)用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而輸出信號(hào)；第一電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生電荷；第二電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷，所述傳感器元件的制造方法包括電荷調(diào)節(jié)工序，在所述電荷調(diào)節(jié)工序中，通過對(duì)所述第一電極或所述第二電極的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)產(chǎn)生于所述第一電極或所述第二電極上的電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)。根據(jù)這種傳感器元件的制造方法，能夠得到可簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度的傳感器元件。應(yīng)用例11在本發(fā)明的傳感器元件的制造方法中，優(yōu)選為，在所述電荷調(diào)節(jié)工序之前，包括對(duì)在通過通電而使所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，產(chǎn)生于所述檢測(cè)用電極上的電荷進(jìn)行測(cè)量的工序；根據(jù)該測(cè)量結(jié)果而對(duì)所述振動(dòng)臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。由此，能夠獲得可簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度的傳感器元件。應(yīng)用例12在本發(fā)明的傳感器裝置中，優(yōu)選為，具有本發(fā)明的傳感器元件；使所述傳感器元件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電路；對(duì)來自所述檢測(cè)部的輸出進(jìn)行檢測(cè)的電路。由此，能夠提供一種價(jià)格低廉且具有優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度的傳感器裝置。應(yīng)用例13本發(fā)明的電子設(shè)備的特征在于，具有本發(fā)明的傳感器元件。由此，能夠提供一種具有優(yōu)異的可靠性的電子設(shè)備。


圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的傳感器裝置(電子裝置)的概要結(jié)構(gòu)的模式剖視圖。圖2為圖1所示的傳感器裝置的俯視圖。圖3為表示在圖1所示的傳感器裝置中所具備的傳感器元件的俯視圖。圖4 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖4 (b)為圖4 (a)所示的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的剖視圖。圖5 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的檢測(cè)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖5 (b)為圖5 (a)所示的檢測(cè)用振動(dòng)臂的剖視圖。圖6 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖6 (b)為圖6 (a)所示的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的剖視圖。圖7為表示圖3所示的傳感器元件中的檢測(cè)用電極、第一調(diào)節(jié)用電極以及第二調(diào)節(jié)用電極的連接狀態(tài)的圖。圖8為用于對(duì)圖3所示的傳感器元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。圖9 (a)為表不圖5所不的檢測(cè)用電極的泄漏輸出的圖，圖9 (b)為表不圖6以及圖7所示的調(diào)節(jié)用電極的輸出的圖。圖10為表示圖3所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例的流程圖。圖11為用于對(duì)圖3所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例進(jìn)行說明的圖。
圖12為表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的放大俯視圖。圖13為用于對(duì)圖12所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例進(jìn)行說明的圖。圖14為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜式(或筆記本式)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖15為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)電話(也包括PHS (PersonalHandy-phone System :個(gè)人移動(dòng)電話系統(tǒng)))的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖16為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
具體實(shí)施例方式以下，根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式，而對(duì)本發(fā)明的傳感器元件、傳感器元件的制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。第一實(shí)施方式首先，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式所涉及的傳感器裝置(電子裝置)的概要結(jié)構(gòu)的模式剖視圖，圖2為圖1所示的傳感器裝置的俯視圖，圖3為表示在圖1所示的傳感器裝置中所具備的傳感器元件的俯視圖，圖4 Ca)為表示圖3所示的傳感器元件的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖4 (b)為圖4 (a)所示的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的剖視圖，圖5 (a)為表示圖3所示的傳感器元件的檢測(cè)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖5 (b)為圖5 (a)所示的檢測(cè)用振動(dòng)臂的剖視圖，圖6 (a)為表示圖3所示的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的放大俯視圖，圖6 (b)為圖6 Ca)所示的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的剖視圖，圖7為表示圖3所示的傳感器元件中的檢測(cè)用電極、第一調(diào)節(jié)用電極以及第二調(diào)節(jié)用電極的連接狀態(tài)的圖，圖8為用于對(duì)圖3所示的傳感器元件的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖，圖9 Ca)為表示圖5所示的檢測(cè)用電極的泄漏輸出的圖，圖9(b)為表示圖6以及圖7所示的調(diào)節(jié)用電極的輸出的圖。另外，在下文中，為了便于說明，在圖1 7中，作為相互正交的三個(gè)軸，圖示了 X軸、y軸以及z軸，并將與X軸平行的方向稱為“x軸方向”，將與y軸平行的方向稱為“y軸方向”，將與z軸平行的方向稱為“z軸方向”。此外，也將+ z軸側(cè)稱為“上”，將-Z軸側(cè)稱為“下”。傳感器裝置圖1以及圖2所示的傳感器裝置I為，對(duì)作為物理量的角速度進(jìn)行檢測(cè)的陀螺傳感器。這種傳感器裝置I能夠用于，例如攝像設(shè)備的手抖補(bǔ)正、使用了 GPS (GlobalPositioning System :全球定位系統(tǒng))衛(wèi)星信號(hào)的移動(dòng)體導(dǎo)航系統(tǒng)中的車輛等的姿態(tài)檢測(cè)、姿態(tài)控制等。如圖1以及圖2所示，該傳感器裝置I具有傳感器元件2 ；IC (IntegratedCircuit :集成電路)芯片3 ;封裝件4，其對(duì)傳感器元件2和IC芯片3進(jìn)行收納。以下，對(duì)構(gòu)成傳感器裝置I的各個(gè)部分依次進(jìn)行說明。傳感器元件2
傳感器元件2為，對(duì)繞一個(gè)軸的角速度進(jìn)行檢測(cè)的陀螺傳感器元件。如圖3所示，該傳感器元件2具有基部21 ;—對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222 對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232 ;—對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(振動(dòng)臂)241、242 ;支承部25 ;四個(gè)連結(jié)部261、262、263,264 ;驅(qū)動(dòng)用電極組51、52 ;檢測(cè)用電極組53、54 ;調(diào)節(jié)用電極組55、56。在本實(shí)施方式中，基部21、一對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222、一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232、一對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242、支承部25以及四個(gè)連結(jié)部261、262、263、264由壓電體材料一體地形成。作為這種壓電體材料，雖然并不被特別限定，但優(yōu)選使用水晶。由此，能夠使傳感器元件2的特性較為優(yōu)異。水晶具有相互正交的X軸(電軸)、Y軸(機(jī)械軸)以及Z軸(光學(xué)軸)?；?1、一對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222、一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232、一對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242、支承部25以及四個(gè)連結(jié)部261、262、263、264例如能夠通過對(duì)如下基板進(jìn)行蝕刻加工而形成，所述基板由Z軸存在于厚度方向上且具有與X軸以及Y軸平行的板面的水晶構(gòu)成。所涉及的基板的厚度根據(jù)傳感器元件2的振蕩頻率(共振頻率)、外形尺寸以及加工性等而被適當(dāng)設(shè)定。另外，在下文中，以基部21、一對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222、一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232、一對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242、支承部25以及四個(gè)連結(jié)部261、262、263、264由水晶一體地構(gòu)成的情況為示例而進(jìn)行說明?；?1經(jīng)由四個(gè)連結(jié)部261、262、263、264而被支承在支承部25上。四個(gè)連結(jié)部261、262、263、264分別呈長(zhǎng)條狀，且一端與基部21連結(jié)，另一端與支承部25連結(jié)。驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222分別從基部向y軸方向(+ y軸方向)延伸。此外，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222分別沿著水晶的Y軸延伸。而且，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的橫截面分別呈由與X軸平行的一對(duì)邊和與z軸平行的一對(duì)邊構(gòu)成的矩形。而且，在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)用電極組51，同樣地，在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂222上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)用電極組52。以下，代表性地對(duì)驅(qū)動(dòng)用電極組51進(jìn)行說明。另外，關(guān)于驅(qū)動(dòng)用電極組52，由于與驅(qū)動(dòng)用電極組51相同，因此省略其說明。如圖4 (a)、(b)所示，驅(qū)動(dòng)用電極組51通過被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221的上表面上的驅(qū)動(dòng)用電極511、被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221的下表面上的驅(qū)動(dòng)用電極512、被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221的一個(gè)(圖4中的左側(cè))側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)用電極513、以及被設(shè)置于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221的另一個(gè)(圖4中的右側(cè))側(cè)面上的驅(qū)動(dòng)用電極514而構(gòu)成。驅(qū)動(dòng)用電極511以及驅(qū)動(dòng)用電極512以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，驅(qū)動(dòng)用電極513以及驅(qū)動(dòng)用電極514以相互成為相同的電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。這種驅(qū)動(dòng)用電極511、512經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57a電連接。此外，驅(qū)動(dòng)用電極513、514經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57b電連接。檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232分別從基部21向y軸方向(_y軸方向)延伸。此外，檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232分別沿著水晶的Y軸而延伸。而且，檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232的橫截面分別呈由與X軸平行的一對(duì)邊和與z軸平行的一對(duì)邊構(gòu)成的矩形。這種檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232為，分別根據(jù)被施加于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的物理量而進(jìn)行振動(dòng)的構(gòu)件。
而且，在檢測(cè)用振動(dòng)臂231上設(shè)置有檢測(cè)用電極組53，同樣地，在檢測(cè)用振動(dòng)臂232上設(shè)置有檢測(cè)用電極組54。如此，通過在作為獨(dú)立于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222而設(shè)置的檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232上設(shè)置檢測(cè)用電極組53、54，從而能夠增大檢測(cè)用電極組53、54的檢測(cè)用電極的電極面積(作為電極而發(fā)揮功能的部分的面積)。因此，能夠提高傳感器元件2的檢測(cè)靈敏度。以下，代表性地對(duì)檢測(cè)用電極組53進(jìn)行說明。另外，關(guān)于檢測(cè)用電極組54，由于與檢測(cè)用電極組53相同，因此省略其說明。如圖5 (a)、(b)所示，檢測(cè)用電極組53通過被設(shè)置于檢測(cè)用振動(dòng)臂231的上表面上的檢測(cè)用電極531、532、和被設(shè)置于檢測(cè)用振動(dòng)臂231的下表面上的檢測(cè)用電極533、534而構(gòu)成。此處，檢測(cè)用電極531、533分別被設(shè)置于檢測(cè)用振動(dòng)臂231的寬度方向上的一側(cè)(圖5中的左側(cè))，此外，檢測(cè)用電極532、534分別被設(shè)置于檢測(cè)用振動(dòng)臂231的寬度方向上的另一側(cè)(圖5中的右側(cè))。檢測(cè)用電極531以及檢測(cè)用電極534以相互成為相同電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，檢測(cè)用電極532以及檢測(cè)用電極533以相互成為相同電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。這種檢測(cè)用電極531、534經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57c電連接。此外，檢測(cè)用電極532、533經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57e電連接。另外，檢測(cè)用電極組54經(jīng)由未圖示的配線，而與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57d、57f電連接。調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242分別從基部21向y軸方向(+ y軸方向)延伸。在本實(shí)施方式中，在基部21的X軸方向上的兩端部上，沿著X軸方向而延伸出一對(duì)臂部，調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241從一個(gè)臂部的頂端部起延伸，而調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂242從另一個(gè)臂部的頂端起延伸。由此，能夠使調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而高效地進(jìn)行振動(dòng)。此外，調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242分別沿著水晶的Y軸而延伸。而且，調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241,242的橫截面分別呈由與X軸平行的一對(duì)邊和與z軸平行的一對(duì)邊構(gòu)成的矩形。即，該調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242分別具備第一面(上表面)、該第一面的相反側(cè)的第二面(下表面)、以及對(duì)所述第一面和所述第二面進(jìn)行連結(jié)的一對(duì)側(cè)面。這種調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242被設(shè)置為，與前文所述的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222平行。即，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242在相互平行的方向上延伸。由此，當(dāng)由水晶構(gòu)成驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242等時(shí)，能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242構(gòu)成為分別沿著水晶的Y軸而延伸，從而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222高效地進(jìn)行振動(dòng)，并且通過簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)而使調(diào)節(jié)用電極組55、56的一對(duì)調(diào)節(jié)用電極之間產(chǎn)生電位差。此外，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的頂端部上，設(shè)置有以寬度大于基端部的方式而形成的質(zhì)量部2411 (錘部)(參照?qǐng)D6 (a))。同樣地，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂242的頂端部上，設(shè)置有以寬度大于基端部的方式而形成的質(zhì)量部(錘部)。由此，能夠增大調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的頂端部的質(zhì)量，從而減小調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的固有振動(dòng)頻率(共振頻率)、或者能夠抑制調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的長(zhǎng)度。此外，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的頂端部(質(zhì)量部2411)上設(shè)置有能夠根據(jù)需要而使一部分或者全部被去除的質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412 (質(zhì)量調(diào)節(jié)部)(參照?qǐng)D6 (a))。同樣地，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂242的頂端部(質(zhì)量部)上設(shè)置有能夠根據(jù)需要而使一部分或者全部被去除的質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜(質(zhì)量調(diào)節(jié)部)。由此，能夠分別對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。因此，能夠分別使調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的共振頻率接近于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的頻率，從而增大隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的、調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的振動(dòng)的振幅，隨之，增大調(diào)節(jié)用電極組55、56的一對(duì)調(diào)節(jié)用電極間的電位差。其結(jié)果為，能夠增大后文敘述的傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。作為這種質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412的構(gòu)成材料，雖然并不被特別限定，但是從能夠增大·調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的質(zhì)量的調(diào)節(jié)幅度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為，使用與調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的構(gòu)成材料相比比重較大的材料，此外，從能夠與調(diào)節(jié)用電極組55 —并形成從而簡(jiǎn)化制造工序的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為，使用與調(diào)節(jié)用電極組55等相同的構(gòu)成材料(金屬材料)。而且，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55，同樣地，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂242上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組56。以下，代表性地對(duì)調(diào)節(jié)用電極組55進(jìn)行說明。另外，關(guān)于調(diào)節(jié)用電極組56，由于與調(diào)節(jié)用電極組55相同，因此省略其說明。如圖6 (a)、(b)所示，調(diào)節(jié)用電極組55通過作為第一調(diào)節(jié)用電極(第一電極)的調(diào)節(jié)用電極551、552、553、和作為第二調(diào)節(jié)用電極(第二電極)的調(diào)節(jié)用電極554、555、556而構(gòu)成。具體地進(jìn)行說明，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的上表面的寬度方向上的一側(cè)(圖6中的左偵D設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第一主面電極)551，而在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的上表面的寬度方向上的另一側(cè)(圖6中的左側(cè))設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第二主面電極)554。在本實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)用電極551、554被設(shè)置為，分別沿著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的延伸方向而延伸，且相互平行。由此，在后文所述的傳感器輸出的調(diào)節(jié)中，無論在傳感器元件2上未施加有物理量的狀態(tài)下的、傳感器輸出與所需的基準(zhǔn)值相比較大的情況以及較小的情況中的哪種情況下，均能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。此外，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的下表面的寬度方向上的一側(cè)(圖6中的左側(cè))設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第一主面電極)552，而在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的下表面的寬度方向上的另一側(cè)(圖6中的右側(cè))設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第二主面電極)555。在本實(shí)施方式中，調(diào)節(jié)用電極552、555被設(shè)置為，分別沿著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的延伸方向而延伸，且相互平行。此外，調(diào)節(jié)用電極552被形成為，在俯視觀察時(shí)與調(diào)節(jié)用電極551重疊。S卩，調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552被形成為，在俯視觀察時(shí)彼此的外形相一致。根據(jù)以這種方式形成的調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552，在如后文所述那樣將調(diào)節(jié)用電極551的一部分去除時(shí)，也能夠同時(shí)去除與該被去除的部分相對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)用電極552的部分。另外，同樣地，調(diào)節(jié)用電極554以及調(diào)節(jié)用電極555被形成為，在俯視觀察時(shí)彼此的外形相一致。此外，調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的一個(gè)(圖6中的左側(cè))側(cè)面上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第一側(cè)面電極)553，而在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的另一個(gè)(圖6中的右側(cè))側(cè)面上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極(第二側(cè)面電極)556。
此處，調(diào)節(jié)用電極553 (第一調(diào)節(jié)用電極)作為與調(diào)節(jié)用電極551 (第一調(diào)節(jié)用電極)成對(duì)，且與調(diào)節(jié)用電極552 (第一調(diào)節(jié)用電極)成對(duì)的共用電極而發(fā)揮作用。同樣地，調(diào)節(jié)用電極556 (第二調(diào)節(jié)用電極)作為與調(diào)節(jié)用電極554 (第二調(diào)節(jié)用電極)成對(duì)，且與調(diào)節(jié)用電極555 (第二調(diào)節(jié)用電極)成對(duì)的共用電極而發(fā)揮作用。另外，調(diào)節(jié)用電極553也可以通過以調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)冗M(jìn)行分割，并且分別與調(diào)節(jié)用電極551、552成對(duì)的兩個(gè)電極而構(gòu)成。同樣地，調(diào)節(jié)用電極556也可以通過以調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)冗M(jìn)行分割，并且分別與調(diào)節(jié)用電極554、555成對(duì)的兩個(gè)電極而構(gòu)成。調(diào)節(jié)用電極551以及調(diào)節(jié)用電極552以相互成為相同電位的方式，經(jīng)由未圖示的配線而相互電連接。此外，調(diào)節(jié)用電極554以及調(diào)節(jié)用電極555以相互成為相同電位的方式而電連接。而且，調(diào)節(jié)用電極551、552、556經(jīng)由未圖示的配線，而與前文所述的檢測(cè)用電極531、534 —起，與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57c電連接。此外，調(diào)節(jié)用電極553、554、555經(jīng)由未圖示的配線，而與前文所述的檢測(cè)用電極532、533 —起，與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57e電連接。另外，調(diào)節(jié)用電極組56經(jīng)由未圖示的配線，而與檢測(cè)用電極組54 —起，與圖3所示的、被設(shè)置于支承部25上的端子57d、57f電連接。以此種方式，調(diào)節(jié)用電極551 553以及調(diào)節(jié)用電極554 556以相互成為相反極性的方式，而與檢測(cè)用電極531 534電連接。如圖7所示，在具有這種調(diào)節(jié)用電極551 556的傳感器元件2中，能夠?qū)a(chǎn)生于檢測(cè)用電極531、534上的電荷、與產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極556上的電荷相加而得到的值，作為傳感器輸出而從端子57c輸出，并將產(chǎn)生于檢測(cè)用電極532、533上的電荷、與產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極553和調(diào)節(jié)用電極554、555上電荷相加的而得到值，作為傳感器輸出而從端子57e輸出。調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極556以相反極性進(jìn)行連接，從而將所產(chǎn)生的電荷相互抵消。此外，調(diào)節(jié)用電極553和調(diào)節(jié)用電極554、555以相反極性進(jìn)行連接，從而將所產(chǎn)生的電荷相互抵消。而且，通過對(duì)調(diào)節(jié)用電極551、552的一部分或全部進(jìn)行去除，從而能夠減小產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553上的電荷量。由此，產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553上的電荷量、與產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極556和調(diào)節(jié)用電極554、555上的電荷量之間將產(chǎn)生差異。該差分的電荷量成為對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)的信號(hào)(調(diào)節(jié)信號(hào))。另外，此處所輸出的調(diào)節(jié)信號(hào)的極性成為調(diào)節(jié)用電極556和調(diào)節(jié)用電極554、555的極性。此外，通過對(duì)調(diào)節(jié)用電極554、555的一部分或全部進(jìn)行去除，從而能夠減小產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極554、555和調(diào)節(jié)用電極556上電荷量。由此，產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極554、555和調(diào)節(jié)用電極556上的電荷量、與產(chǎn)生于調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553上的電荷量之間將產(chǎn)生差異。該差分的電荷量成為對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)的信號(hào)(調(diào)節(jié)信號(hào))。另外，此處所輸出的調(diào)節(jié)信號(hào)的極性成為調(diào)節(jié)用電極551、552和調(diào)節(jié)用電極553的極性。具體而言，例如能夠?qū)鞲衅鬏敵稣{(diào)節(jié)(補(bǔ)正)為，在傳感器元件2上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出(以下，也稱為“零點(diǎn)輸出”)成為零。尤其是，由于調(diào)節(jié)用電極551 553以及調(diào)節(jié)用電極554 556以相互為相反極性的方式，而與檢測(cè)用電極531 534電連接，因此無論在傳感器元件2上未施加有物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出與所需的基準(zhǔn)值相比較大的情況下，還是較小的情況下，均能夠通過選擇調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極554、555中的任一個(gè)調(diào)節(jié)用電極并對(duì)一部分或全部進(jìn)行去除，從而將傳感器元件2上未被施加物理量的狀態(tài)下的傳感器輸出調(diào)節(jié)為所需的基準(zhǔn)值。在以這種方式構(gòu)成的傳感器元件2中，通過向端子57a和端子57b之間施加驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而如圖8所示，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221和驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂222以相互接近、遠(yuǎn)離的方式而進(jìn)行彎曲振動(dòng)(驅(qū)動(dòng)振動(dòng))。即，交替反復(fù)如下兩個(gè)狀態(tài)，所述兩個(gè)狀態(tài)為，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221向圖8所示的箭頭標(biāo)記Al的方向彎曲，且驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂222向圖8所示的箭頭標(biāo)記A2的方向彎曲的狀態(tài)、和驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221向圖8所示的箭頭標(biāo)記BI的方向彎曲，且驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂222向圖8所示的箭頭標(biāo)記B2的方向彎曲的狀態(tài)。當(dāng)以這種方式而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的狀態(tài)下，向傳感器元件2施加繞y軸的角速度《時(shí)，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222將通過科里奧利力，而在z軸方向上相互向相反側(cè)進(jìn)行彎曲振動(dòng)。隨之，檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232在z軸方向上相互向相反側(cè)進(jìn)行彎曲振動(dòng)(檢測(cè)振動(dòng))。即，交替反復(fù)如下兩個(gè)狀態(tài)，所述兩個(gè)狀態(tài)為，檢測(cè)用振動(dòng)臂231向圖8所示的箭頭標(biāo)記Cl的方向彎曲，且檢測(cè)用振動(dòng)臂232向圖8所示的箭頭標(biāo)記C2的方向彎曲的狀態(tài)、和檢測(cè)用振動(dòng)臂231向圖8所示的箭頭標(biāo)記Dl的方向彎曲，且檢測(cè)用振動(dòng)臂232向圖8所示的箭頭標(biāo)記D2的方向彎曲的狀態(tài)。通過對(duì)由于這種檢測(cè)用振動(dòng)臂231、232的檢測(cè)振動(dòng)而產(chǎn)生于檢測(cè)用電極組53、54上的電荷進(jìn)行檢測(cè)，從而能夠求出施加于傳感器元件2的角速度《。此時(shí)，調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242也隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，而在相互接近、遠(yuǎn)離的方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。在所涉及的傳感器元件2中，例如當(dāng)由于制造時(shí)的誤差而導(dǎo)致驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222的橫截面形狀與設(shè)計(jì)不一致時(shí)，在未向傳感器元件2施加物理量并通過通電而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，如圖9 (a)所示，將在檢測(cè)用電極531、534以及檢測(cè)用電極532、533上產(chǎn)生成為泄漏輸出S的電荷。此外，在傳感器元件2中，無論在傳感器元件2上是否施加有物理量，均隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、224的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)，如圖9 (b)所示，而在調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極553上產(chǎn)生成為調(diào)節(jié)用輸出Tl的電荷，并在調(diào)節(jié)用電極554、555以及調(diào)節(jié)用電極556上產(chǎn)生成為調(diào)節(jié)用輸出T2的電荷。調(diào)節(jié)用輸出Tl和調(diào)節(jié)用輸出T2相互為相反極性(反相)。此外，通過使調(diào)節(jié)用輸出Tl和調(diào)節(jié)用輸出T2的合計(jì)Tl + T2與泄漏輸出S相抵消，從而能夠使傳感器元件2的零點(diǎn)輸出成為零。因此，通過對(duì)調(diào)節(jié)用電極551、552或調(diào)節(jié)用電極554、555的一部分或全部進(jìn)行去除，以使調(diào)節(jié)用輸出Tl和調(diào)節(jié)用輸出T2的總和T1+T2與泄漏輸出S相抵消，從而對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。即，傳感器元件2的制造方法具有電荷調(diào)節(jié)工序，在所述電荷調(diào)節(jié)工序中，通過對(duì)調(diào)節(jié)用電極551、552或調(diào)節(jié)用電極554、555的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)產(chǎn)生于所述調(diào)節(jié)用電極551、552或調(diào)節(jié)用電極554、555上的電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)。此處，列舉具體示例而對(duì)電荷調(diào)節(jié)工序(傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法)進(jìn)行說明。另外，雖然在下文中，代表性地對(duì)與檢測(cè)用振動(dòng)臂231以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、243相關(guān)的特性調(diào)節(jié)進(jìn)行說明，但對(duì)與檢測(cè)用振動(dòng)臂232以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂242、244的特性調(diào)節(jié)而言也是相同的。圖10為表示圖3所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例的流程圖，圖11為用于對(duì)圖3所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例進(jìn)行說明的圖。在傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法中，準(zhǔn)備前文所述的傳感器元件2，通過對(duì)傳感器元件2的調(diào)節(jié)用電極551、552或調(diào)節(jié)用電極554、555的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)傳感器元件2的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)。如前文所述，當(dāng)以如圖9 (a)所示的方式產(chǎn)生泄漏輸出S，且以如圖9 (b)所示的方式產(chǎn)生調(diào)節(jié)用輸出Tl、T2時(shí)，通過選擇調(diào)節(jié)用電極551、552以及調(diào)節(jié)用電極554、555中的調(diào)節(jié)用電極551、552，并對(duì)一部分進(jìn)行去除，從而對(duì)傳感器元件2的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，當(dāng)泄漏輸出S與圖9 (a)所示的輸出成為相反極性(反相)時(shí)，只需通過選擇調(diào)節(jié)用電極554、555并對(duì)一部分進(jìn)行去除，從而對(duì)傳感器元件2的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)即可。此夕卜，作為需要去除一部分的調(diào)節(jié)用電極，只需根據(jù)后文敘述的步驟SI的測(cè)量結(jié)果，來判斷是選擇調(diào)節(jié)用電極551、552，還是選擇調(diào)節(jié)用電極554、555即可。以下，如前文所述，以如圖9 (a)所示的方式產(chǎn)生泄漏輸出S且以如圖9 (b)所示的方式產(chǎn)生調(diào)節(jié)用輸出T1、T2的情況為代表而進(jìn)行具體說明。在所涉及的情況下，具體而言，通過對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)傳感器元件2的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，雖然關(guān)于調(diào)節(jié)用電極552，也與調(diào)節(jié)用電極551相同地被去除一部分，但在以下，代表性地對(duì)調(diào)節(jié)用電極551進(jìn)行說明。在進(jìn)行所涉及的特性調(diào)節(jié)時(shí)，于通過通電而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，對(duì)在端子57c上產(chǎn)生的電荷量進(jìn)行測(cè)量，并根據(jù)該測(cè)量結(jié)果來實(shí)施所述切斷。更具體地進(jìn)行說明，如圖10所示，首先對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行測(cè)量(步驟SI)。然后，根據(jù)該測(cè)量結(jié)果，而對(duì)是否需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷(步驟S2)。具體而言，當(dāng)零點(diǎn)輸出在第一設(shè)定值(例如IOOpA左右)以上時(shí)，判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)，而當(dāng)零點(diǎn)輸出小于第一設(shè)定值時(shí)，判斷為不需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)。當(dāng)判斷為需要粗調(diào)節(jié)時(shí)，實(shí)施粗調(diào)節(jié)(步驟S3)。具體而言，例如，如圖11 (a)所示，對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的基端側(cè)的預(yù)定的位置以及面積的部分進(jìn)行去除。此處，通過針對(duì)于被去除的調(diào)節(jié)用電極551的每個(gè)位置以及面積，利用實(shí)驗(yàn)或計(jì)算等而預(yù)先求出由于所述去除而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)在步驟SI中所測(cè)量出的零點(diǎn)輸出，而適當(dāng)?shù)貨Q定調(diào)節(jié)用電極551的去除位置以及面積。此外，調(diào)節(jié)用電極551的去除并不被特別限定，例如可以使用激光來實(shí)施。此外，當(dāng)判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時(shí)，根據(jù)需要，通過對(duì)質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)。即，根據(jù)需要，在電荷調(diào)節(jié)工序之前，包括對(duì)在通過通電而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂221、222進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，產(chǎn)生于檢測(cè)用電極531 534上的電荷進(jìn)行測(cè)量的工序；根據(jù)該測(cè)量結(jié)果而對(duì)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241、242的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。由此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。另外，在圖11
(a)中，圖示了通過對(duì)質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412的一部分進(jìn)行去除而形成的質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412A。
質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜2412的一部分或全部的去除并不被特別限定，例如可以使用激光來實(shí)施。在所涉及的粗調(diào)節(jié)之后，再次返回至步驟SI，而對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行測(cè)量。而且，在零點(diǎn)輸出成為小于第一設(shè)定值之前，交替反復(fù)對(duì)零點(diǎn)輸出的測(cè)量和粗調(diào)節(jié)。另一方面，當(dāng)判斷為不需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時(shí)，根據(jù)在步驟SI中的測(cè)量結(jié)果，而對(duì)是否需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷(步驟S4)。具體而言，當(dāng)零點(diǎn)輸出在小于第一設(shè)定值的第二設(shè)定值(例如IOpA左右)以上時(shí)，判斷為需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)，而當(dāng)零點(diǎn)輸出小于第二設(shè)定值時(shí)，判斷為不需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)。當(dāng)判斷為需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)時(shí)，實(shí)施微調(diào)節(jié)(步驟S5)。具體而言，例如，如圖11 (b)或圖11(c)所示，對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的頂端部的預(yù)定的位置以及面積進(jìn)行去除。另外，圖11
(b)圖示了在未實(shí)施粗調(diào)節(jié)的條件下實(shí)施了微調(diào)節(jié)的情況，圖11 (c)圖示了在實(shí)施了粗調(diào)節(jié)之后實(shí)施了微調(diào)節(jié)的情況。此外，雖然在圖11 (b)、(c)中，圖示了對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的一部分進(jìn)行去除，以使調(diào)節(jié)用電極551的寬度方向上的一部分殘留的情況，但也可以根據(jù)需要而對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的寬度方向上的整個(gè)區(qū)域進(jìn)行去除，即，也可以對(duì)調(diào)節(jié)用電極551的延長(zhǎng)方向上的中途進(jìn)行切斷。由此，能夠通過一次切斷而使調(diào)節(jié)用電極551中的與切斷位置相比靠頂端側(cè)的部分喪失作為電極的功能。此處，與粗調(diào)節(jié)相同，通過針對(duì)于被去除的調(diào)節(jié)用電極551的每個(gè)位置以及面積，利用實(shí)驗(yàn)或計(jì)算等而預(yù)先求出由于所述去除而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)在步驟SI中所測(cè)量出的零點(diǎn)輸出，而適當(dāng)?shù)貨Q定調(diào)節(jié)用電極551的去除位置以及面積。在所涉及的微調(diào)節(jié)之后，再次返回至步驟SI，而對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行檢測(cè)。而且，在零點(diǎn)輸出成為小于第二設(shè)定值之前，交替反復(fù)對(duì)零點(diǎn)輸出的測(cè)量和微調(diào)節(jié)。另一方面，當(dāng)判斷為不需要微調(diào)節(jié)時(shí)，結(jié)束傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)。根據(jù)如以上所說明的傳感器元件2的特性調(diào)節(jié)方法，由于能夠根據(jù)需要而任意選擇如前文所述的粗調(diào)節(jié)以及微調(diào)節(jié)，從而能夠簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度。IC 芯片 3圖1以及圖2所示的IC芯片3為一種電子部件，其具有對(duì)前文所述的傳感器元件2進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的功能、和對(duì)來自傳感器元件2的輸出(傳感器輸出)進(jìn)行檢測(cè)的功能。雖然未圖示，但這種IC芯片3具備驅(qū)動(dòng)電路，其對(duì)傳感器元件2進(jìn)行驅(qū)動(dòng)；檢測(cè)電路，其對(duì)來自傳感器元件2的輸出進(jìn)行檢測(cè)。此外，在IC芯片3中設(shè)置有多個(gè)連接端子31。封裝件4如圖1以及圖2所不，封裝件4具備基座部件41(基座),其具有向上方開放的凹部；蓋部件42 (蓋體)，其以覆蓋該基座部件41的凹部的方式而設(shè)置。由此，在基座部件41和蓋部件42之間，形成有用于收納傳感器元件2以及IC芯片3的內(nèi)部空間?；考?1通過平板狀的板體411 (板部)、和與板體411的上表面的外周部接合的框體412 (框部)而構(gòu)成。這種基座部件41例如由氧化鋁質(zhì)燒結(jié)體、水晶、玻璃等構(gòu)成。如圖1所不,在基座部件41的上表面(被蓋部件42所覆蓋的一側(cè)的表面)上,通過如包括例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸類樹脂等而構(gòu)成的粘合劑這樣的接合部件81，而接合有前文所述的傳感器元件2的支承部25。由此，傳感器元件2相對(duì)于基座部件41而被支承并固定。此外，在基座部件41的上表面上，通過如包括例如環(huán)氧樹脂、丙烯酸類樹脂等而構(gòu)成的粘合劑這樣的接合部件82，而接合有前文所述的IC芯片3。由此，IC芯片3相對(duì)于基座部件41而被支承并固定。而且，如圖1以及圖2所示，在基座部件41的上表面上，設(shè)置有多個(gè)內(nèi)部端子71以及多個(gè)內(nèi)部端子72。在多個(gè)內(nèi)部端子71上，通過由例如接合線構(gòu)成的配線，而電連接有前文所述的傳感器元件2的端子57a 57f。該多個(gè)內(nèi)部端子71經(jīng)由未圖示的配線，而與多個(gè)內(nèi)部端子72電連接。此外，在多個(gè)內(nèi)部端子72上，通過由例如接合線構(gòu)成的配線，而電連接有前文所述的IC芯片3的多個(gè)連接端子31。另一方面,如圖1所示,在基座部件41的下表面(封裝件4的底面)上，設(shè)置有在被安裝于組裝有傳感器裝置I的設(shè)備(外部設(shè)備)中時(shí)使用的多個(gè)外部端子73。該多個(gè)外部端子73經(jīng)由未圖示的內(nèi)部配線，而與前文所述的內(nèi)部端子72電連接。由此，IC芯片3和多個(gè)外部端子73被電連接。這種各個(gè)內(nèi)部端子71、72以及各個(gè)外部端子73分別由金屬被膜構(gòu)成，所述金屬被膜例如通過電鍍而在鎢(W)等的金屬層上層疊鎳(Ni)、金(Au)等的被膜而構(gòu)成。在這種基座部件41上氣密性地接合有蓋部件42。由此，封裝件4內(nèi)被氣密密封。該蓋部件42例如由與基座部件42相同的材料、或者鐵鎳鈷合金、42合金、不銹鋼等的金屬構(gòu)成。作為基座部件41與蓋部件41的接合方法，并不被特別限定，例如可以使用通過由焊料、固化性樹脂等構(gòu)成的粘合劑而實(shí)施的接合方法，縫焊、激光焊接等的焊接方法等。由于所涉及的接合在減壓環(huán)境下或惰性氣體環(huán)境下實(shí)施，因此能夠?qū)⒎庋b件4內(nèi)保持為減壓狀態(tài)或封入有惰性氣體的狀態(tài)。根據(jù)如以上所進(jìn)行說明的第一實(shí)施方式所涉及的傳感器裝置I所具備的傳感器元件2，能夠簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度。此外，根據(jù)具備如前文所述的傳感器元件2的傳感器裝置1，能夠?qū)崿F(xiàn)價(jià)格低廉且具有優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度的傳感器裝置。第二實(shí)施方式接下來，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖12為表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式所涉及的傳感器元件的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的放大俯視圖。圖13為用于對(duì)圖12所示的傳感器元件的特性調(diào)節(jié)方法的一個(gè)示例進(jìn)行說明的圖。本實(shí)施方式所涉及的傳感器元件除如下方面以外，與前文所述的第一實(shí)施方式所涉及的傳感器元件相同，即，省略了調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的頂端部的寬度寬大部以及質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜，且調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的橫截面形狀、第一調(diào)節(jié)用電極以及第二調(diào)節(jié)用電極的形狀有所不同。另外，在以下的說明中，對(duì)于第二實(shí)施方式的傳感器元件，以與前文所述的實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明，而對(duì)于相同的事項(xiàng)則省略其說明。此外，在圖13中，對(duì)于與前文所述的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)記了相同的符號(hào)。本實(shí)施方式的傳感器元件具有圖12所示的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A。另外，雖然未圖示，但所涉及的傳感器元件與前文所述的第一實(shí)施方式相同，具有基部、一對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂以及一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂，此外，從所涉及的基部起，也延伸出與調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A成對(duì)的調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂。調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的橫截面呈H字狀。在這種調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的上表面的寬度方向上的中央部處，形成有沿著y軸方向而形成的槽部2413，同樣地，在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的下表面的寬度方向上的中央部處，形成有沿著y軸方向形成的槽部2414。槽部2413、2414的橫截面分別呈矩形，且具有與調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的側(cè)面平行的壁面。在這種調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A上設(shè)置有調(diào)節(jié)用電極組55A。該調(diào)節(jié)用電極組55A通過被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的上表面上的調(diào)節(jié)用電極551A、554A、被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的下表面上的調(diào)節(jié)用電極552A、555A、被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的一個(gè)(圖12中的左側(cè))側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極553、和被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的另一個(gè)(圖12中的右側(cè))側(cè)面上的調(diào)節(jié)用電極554而構(gòu)成。此處，調(diào)節(jié)用電極551A被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的上表面的一側(cè)(圖12中的左側(cè))，而調(diào)節(jié)用電極554A被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的上表面的另一側(cè)(圖12中的右側(cè))。此外，調(diào)節(jié)用電極552A被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的下表面的一側(cè)(圖12中的左側(cè))，而調(diào)節(jié)用電極555A被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的下表面的另一側(cè)(圖12中的右側(cè))。而且，調(diào)節(jié)用電極551A、552A以及調(diào)節(jié)用電極554A、555A被形成為，在俯視觀察時(shí)，相對(duì)于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的中心軸(穿過中心且在I軸方向上延伸的線段)而對(duì)稱。另外，雖然未圖示，但是調(diào)節(jié)用電極552A、555A在俯視觀察時(shí)，既可以呈與調(diào)節(jié)用電極551A、554A相一致的形狀，也可以呈與調(diào)節(jié)用電極551A、554A不同的形狀。以下，對(duì)調(diào)節(jié)用電極551A進(jìn)行詳細(xì)敘述。另外，由于調(diào)節(jié)用電極552A、554A、555A與調(diào)節(jié)用電極55IA相同，因此省略其說明。如圖12 (a)所示，調(diào)節(jié)用電極551A具備共用部60和多個(gè)分支部61。共用部60與未圖示的檢測(cè)用電極電連接。此外，多個(gè)分支部61從共用部60分支，且沿著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的延伸方向而并排設(shè)置。這種調(diào)節(jié)用電極551A通過對(duì)多個(gè)分支部61中的至少一個(gè)分支部61的中途、或者共用部60的中途進(jìn)行切斷，從而能夠減少調(diào)節(jié)用電極551A和調(diào)節(jié)用電極553之間的電位差，進(jìn)而對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。尤其是，由于多個(gè)分支部61從共用部60分支，因此即使對(duì)任意的分支部61進(jìn)行切斷，也能夠維持其他的分支部61與共用部60電連接的狀態(tài)。即，能夠?qū)⒄{(diào)節(jié)用電極551A的電極面積減少多個(gè)分支部61中的任意分支部61的量。而且，由于多個(gè)分支部61沿著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的延伸方向而并排設(shè)置，因此根據(jù)被切斷的分支部61的位置以及數(shù)量，能夠簡(jiǎn)單且高精度地對(duì)傳感器輸出進(jìn)行調(diào)節(jié)。在本實(shí)施方式中，共用部60沿著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的延伸方向而延伸，多個(gè)分支部61從共用部60的長(zhǎng)度方向上的互不相同的多個(gè)部位起分支。由此，能夠簡(jiǎn)化調(diào)節(jié)用電極55IA的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，如圖12 (a)所示，在俯視觀察時(shí)(從z軸方向觀察時(shí))，共用部60被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的寬度方向上的中央部、即槽部2413的底面上。此外，共用部60以狹窄的寬度被形成。由此，能夠比較簡(jiǎn)單地將共用部60的中途切斷。此外，各個(gè)分支部61具有寬度狹窄部62，其以狹窄的寬度被形成在共用部60側(cè)；寬度寬大部63，其以寬大的寬度被形成在與共用部60相反的一側(cè)。如此，由于各個(gè)分支部61具有寬度寬大部63，從而能夠確保調(diào)節(jié)之前(將共用部60或分支部61的中途切斷之前)的調(diào)節(jié)用電極551A的電極面積較大，進(jìn)而增大通過共用部60或分支部61的中途的切斷而實(shí)施的對(duì)傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。此外，由于各個(gè)分支部61具有寬度狹窄部62，從而能夠比較簡(jiǎn)單地將分支部61的中途切斷。此外，多個(gè)寬度狹窄部62以相互平行的方式設(shè)置。此外，多個(gè)分支部61以成為相互相等的尺寸的方式而形成。此外，多個(gè)分支部61在調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241的延伸方向、即y軸方向上，以等間距并排設(shè)置。此外，各個(gè)寬度狹窄部62被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的槽部2413的底面上。由此，能夠使用激光而容易地切斷各個(gè)寬度狹窄部62。尤其是，各個(gè)寬度狹窄部62在相對(duì)于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的延伸方向而傾斜的方向上延伸。由此，在使用激光而對(duì)寬度狹窄部62進(jìn)行切斷時(shí)，無論使激光在X軸方向以及y軸方向中的哪個(gè)方向上進(jìn)行掃描，均能夠?qū)挾泉M窄部62切斷。因此，能夠容易地將分支部61的中途切斷。尤其是，各個(gè)分支部61的一部分被設(shè)置于槽部2413的壁面(與調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的側(cè)面平行的壁面)上。由此，能夠增大從調(diào)節(jié)用電極551A以及調(diào)節(jié)用電極553輸出的電荷。因此，能夠增大傳感器輸出的調(diào)節(jié)幅度。以下，根據(jù)圖13，代表性地對(duì)通過去除調(diào)節(jié)用電極551A的一部分或全部而對(duì)傳感器元件的特性進(jìn)行調(diào)節(jié)的情況進(jìn)行說明。首先，對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行測(cè)量。并且，根據(jù)其測(cè)量結(jié)果而對(duì)是否需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷。當(dāng)判斷為需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時(shí)，例如，如圖13 (a)所示，將調(diào)節(jié)用電極551A的多個(gè)分支部61中位于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的基端側(cè)的分支部61切斷所需數(shù)量。此處，通過針對(duì)于各個(gè)分支部61，利用實(shí)驗(yàn)或計(jì)算等而預(yù)先求出由切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)所測(cè)量出的零點(diǎn)輸出，而適當(dāng)?shù)貙?duì)需要切斷的分支部61的數(shù)量以及位置進(jìn)行選擇。此外，分支部61的切斷沒有被特別限定，但能夠使用例如激光而實(shí)施。在所涉及的粗調(diào)節(jié)之后，再次對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行測(cè)量。而且，在零點(diǎn)輸出成為小于第一設(shè)定值之前，交替反復(fù)對(duì)零點(diǎn)輸出的測(cè)量和微調(diào)節(jié)。另一方面，當(dāng)判斷為不需要進(jìn)行粗調(diào)節(jié)時(shí)，根據(jù)所測(cè)量出的零點(diǎn)輸出而對(duì)是否需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)進(jìn)行判斷。當(dāng)判斷為需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)時(shí)，例如，如圖13 (b)或圖13 (C)所示，將調(diào)節(jié)用電極551A的多個(gè)分支部61中位于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂241A的頂端側(cè)的分支部61切斷需要數(shù)量。另夕卜，圖13 (b)圖示了在未實(shí)施粗調(diào)節(jié)的條件下實(shí)施了微調(diào)節(jié)的情況，圖13 (c)圖示了在實(shí)施了粗調(diào)節(jié)之后實(shí)施了微調(diào)節(jié)的情況。此外，雖然在圖13 (b)、(c)中，圖示了對(duì)分支部61的寬度狹窄部62進(jìn)行切斷的情況，但也可以對(duì)共用部60的中途進(jìn)行切斷。由此，能夠通過一次切斷而匯總多個(gè)分支部61的量，從而減小調(diào)節(jié)用電極551A的電極面積。此處，與粗調(diào)節(jié)相同，通過針對(duì)于各個(gè)分支部61，利用實(shí)驗(yàn)或計(jì)算等而預(yù)先求出由于切斷而產(chǎn)生的調(diào)節(jié)用輸出T的減少量，從而能夠根據(jù)所測(cè)量出的零點(diǎn)輸出，而適當(dāng)?shù)貙?duì)需要切斷的分支部61的數(shù)量以及位置進(jìn)行選擇。在所涉及的微調(diào)節(jié)之后，再次對(duì)泄漏輸出(零點(diǎn)輸出)進(jìn)行檢測(cè)。而且，在零點(diǎn)輸出成為小于第二設(shè)定值之前，交替反復(fù)對(duì)零點(diǎn)輸出的測(cè)量和微調(diào)節(jié)。另一方面，當(dāng)判斷為不需要進(jìn)行微調(diào)節(jié)時(shí)，結(jié)束傳感器元件的特性調(diào)節(jié)。根據(jù)如以上所說明的第二實(shí)施方式所涉及的傳感器元件，也能夠簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度。如以上所說明的各個(gè)實(shí)施方式的傳感器裝置能夠被組裝到各種電子設(shè)備中而使用。根據(jù)這種電子設(shè)備，能夠使可靠性較為優(yōu)異。電子設(shè)備此處，根據(jù)圖14 圖16，而對(duì)具備本發(fā)明的電子裝置的電子設(shè)備的一個(gè)示例進(jìn)行詳細(xì)說明。圖14為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜式(或筆記本式)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、和具備顯示部100的顯示單元1106而構(gòu)成，并且顯示單元1106以能夠通過鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對(duì)于主體部1104進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式被支承。在這種個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。圖15為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)電話(也包括PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，移動(dòng)電話1200具備多個(gè)操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202和聽筒1204之間配置有顯示部100。在這種移動(dòng)電話1200中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。圖16為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，在該圖中，對(duì)該數(shù)碼照相機(jī)與外部設(shè)備的連接也簡(jiǎn)單地進(jìn)行了圖示。此處，通常的照相機(jī)通過被攝物體的光圖像而對(duì)銀鹽感光膠片進(jìn)行感光，與此相對(duì)，數(shù)碼照相機(jī)1300通過CCD (Charge Coupled Device :電荷稱合器件)等的攝像元件而對(duì)被攝物體的光圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部100，并且成為根據(jù)由CXD產(chǎn)生的攝像信號(hào)來進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部100作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包括光學(xué)透鏡(攝像光學(xué)系統(tǒng))及(XD等在內(nèi)的受光單元1304。當(dāng)攝影者對(duì)被顯示在顯示部上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)的CCD的攝像信息被輸送并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有影像信號(hào)輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，而在影像信號(hào)輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用輸入輸出端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。而且，成為如下的結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作，從而使被存儲(chǔ)于存儲(chǔ)器1308中的攝像信號(hào)向影像監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中，內(nèi)置有作為陀螺傳感器而發(fā)揮功能的前文所述的傳感器裝置I。另外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了能夠應(yīng)用于圖14的個(gè)人計(jì)算機(jī)(便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖15的移動(dòng)電話、圖16的數(shù)碼照相機(jī)中之外，根據(jù)電子設(shè)備的類型，還能夠應(yīng)用于如下裝置中，例如，車身姿態(tài)檢測(cè)裝置、指示器、頭戴式顯示器、噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲設(shè)備、游戲用控制器、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (point of sale 銷售點(diǎn))終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖測(cè)量裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測(cè)器、各種測(cè)量設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量?jī)x器類)、飛行模擬器等。以上，雖然根據(jù)圖示的實(shí)施方式而對(duì)本發(fā)明的傳感器元件、傳感器裝置以及電子設(shè)備進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此。此外，在本發(fā)明的傳感器元件、傳感器裝置以及電子設(shè)備中，各個(gè)部分的結(jié)構(gòu)可以置換為發(fā)揮相同的功能的任意的結(jié)構(gòu)，此外，也可以添加任意的結(jié)構(gòu)。 此外，本發(fā)明的傳感器元件、傳感器裝置以及電子設(shè)備還可以對(duì)前文所述的各個(gè)實(shí)施方式的任意結(jié)構(gòu)彼此進(jìn)行組合。此外，雖然在前文所述的實(shí)施方式中，以調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂在X軸方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)的情況為例而進(jìn)行了說明，但本發(fā)明也可以應(yīng)用于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂在z軸方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)的情況。在這種情況下，只需根據(jù)調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的壓電特性而對(duì)一對(duì)第一調(diào)節(jié)用電極和一對(duì)第二調(diào)節(jié)用電極的配置、以及與一對(duì)檢測(cè)用電極之間的電連接進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定即可。此外，雖然在前文所述的實(shí)施方式中，以將本發(fā)明應(yīng)用于H型音叉的傳感器元件中的情況為例而進(jìn)行了說明，但本發(fā)明能夠應(yīng)用于雙T型、雙腳音叉、三腳音叉、梳齒型、正交型、棱柱型等各種傳感器元件(陀螺元件)中。此外，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂、檢測(cè)用振動(dòng)臂以及調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的數(shù)量也可以為一個(gè)或三個(gè)以上。此外，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂也可以兼作為檢測(cè)用振動(dòng)臂。此外，只要驅(qū)動(dòng)用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠通過通電而使驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂進(jìn)行振動(dòng)的值，則并不限定于前文所述的實(shí)施方式。此外，只要驅(qū)動(dòng)用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠電氣性地對(duì)由于施加物理量而產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的振動(dòng)進(jìn)行檢測(cè)的值，則并不限定于前文所述的實(shí)施方式。此外，只要第一調(diào)節(jié)用電極和第二調(diào)節(jié)用電極的數(shù)量、位置、形狀、大小等為，能夠?qū)﹄S著第一調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂以及第二調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生的電荷進(jìn)行輸出的值，則并不限定于前文所述的實(shí)施方式。符號(hào)說明I…傳感器裝置；2…傳感器兀件；3…IC芯片(電子部件)；4…封裝件；21…基部；25…支承部；31…連接端子；41…基座部件；42…蓋部件；51…驅(qū)動(dòng)用電極組；52…驅(qū)動(dòng)用電極組；53…檢測(cè)用電極組；54…檢測(cè)用電極組；55…調(diào)節(jié)用電極組；55A…調(diào)節(jié)用電極組；55B…調(diào)節(jié)用電極組；55C…調(diào)節(jié)用電極組；5 …調(diào)節(jié)用電極組；55E…調(diào)節(jié)用電極組；55F…調(diào)節(jié)用電極組；56…調(diào)節(jié)用電極組；57a…端子；57b…端子；57c…端子；57d…端子；57e…端子；57f…端子；60…共用部；61…分支部；62…寬度狹窄部；63…寬度寬大部；71…內(nèi)部端子；72…內(nèi)部端子；73…外部端子；81…接合部件；82…接合部件；100…顯示部；221…驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；222…驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂；231…檢測(cè)用振動(dòng)臂；232…檢測(cè)用振動(dòng)臂；241…調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂；241A…調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂；242…調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂;261、262、263、264…連結(jié)部；411…板體；412…框體；511…驅(qū)動(dòng)用電極；512…驅(qū)動(dòng)用電極；513…驅(qū)動(dòng)用電極；·514…驅(qū)動(dòng)用電極；531…檢測(cè)用電極；532…檢測(cè)用電極；533…檢測(cè)用電極；534…檢測(cè)用電極；551…調(diào)節(jié)用電極(第一調(diào)節(jié)用電極)；551A…調(diào)節(jié)用電極(第一調(diào)節(jié)用電極)；552…調(diào)節(jié)用電極(第一調(diào)節(jié)用電極);552A…調(diào)節(jié)用電極(第一調(diào)節(jié)用電極);553…調(diào)節(jié)用電極(第一調(diào)節(jié)用電極)；554…調(diào)節(jié)用電極(第二調(diào)節(jié)用電極)；554A…調(diào)節(jié)用電極(第二調(diào)節(jié)用電極)；555…調(diào)節(jié)用電極(第二調(diào)節(jié)用電極)；555A…調(diào)節(jié)用電極(第二調(diào)節(jié)用電極)；556…調(diào)節(jié)用電極(第二調(diào)節(jié)用電極);1100…個(gè)人計(jì)算機(jī);1102…鍵盤;1104…主體部;1106…顯示單元；1200…移動(dòng)電話;1202…操作按鈕;1204…聽筒;1206…話筒;1300…數(shù)碼照相機(jī);1302…殼體；1304…受光單兀；1306…快門;1308…存儲(chǔ)器;1312…影像信號(hào)輸出端子；1314…輸入輸出端子；1430…影像監(jiān)視器；1440…個(gè)人計(jì)算機(jī)；2411…頂端部(質(zhì)量部)；2412…質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜；2412A…質(zhì)量調(diào)節(jié)用膜；2413、2414…槽部；S…泄漏輸出；T…調(diào)節(jié)用輸出角速度；A1、A2、B1、B2、Cl、C2、Dl、D2…箭頭標(biāo)記；S1、S2、S3、S4、S5…步驟；T1、T2…調(diào)節(jié)用輸出。
權(quán)利要求
1.一種傳感器元件，其特征在于，具備 基部; 驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)； 振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而進(jìn)行振動(dòng)； 檢測(cè)部，其包括檢測(cè)用電極，所述檢測(cè)用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而輸出信號(hào)； 第一電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生電荷； 第二電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷。
2.如權(quán)利要求1所述的傳感器元件，其中， 將來自所述第一電極的電荷與來自所述第二電極的電荷相加而得到的電荷，與在所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂上未施加有物理量時(shí)由所述檢測(cè)用電極產(chǎn)生的電荷為相反極性。
3.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 所述振動(dòng)臂具有第一面、該第一面的相反側(cè)的第二面、以及對(duì)所述第一面和所述第二面進(jìn)行連結(jié)的一對(duì)側(cè)面， 所述第一電極包括第一主面電極和第一側(cè)面電極，所述第一主面電極沿著所述振動(dòng)臂的延伸方向而被設(shè)置在所述第一面以及所述第二面上，所述第一側(cè)面電極被設(shè)置于一個(gè)所述側(cè)面上， 所述第二電極包括第二主面電極和第二側(cè)面電極，所述第二主面電極沿著所述振動(dòng)臂的延伸方向，而以與所述第一電極并排的方式被配置在所述第一面以及所述第二面上，所述第二側(cè)面電極被設(shè)置于另一個(gè)所述側(cè)面上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 在所述振動(dòng)臂的頂端部上設(shè)置有質(zhì)量調(diào)節(jié)部。
5.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 所述第一電極以及所述第二電極中的至少一方具備共用部，其沿著所述振動(dòng)臂的延伸方向而設(shè)置；多個(gè)分支部，其從所述共用部分支。
6.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中， 多個(gè)所述分支部的電極寬度在頂端側(cè)比在所述共用部側(cè)大。
7.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中， 所述分支部相對(duì)于所述共用部的所述延伸方向而傾斜。
8.如權(quán)利要求5所述的傳感器元件，其中， 所述振動(dòng)臂具有沿著所述延伸方向而設(shè)置的槽部， 所述分支部的至少一部分被設(shè)置于所述槽部的壁面上。
9.如權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件，其中， 具有檢測(cè)用振動(dòng)臂，所述檢測(cè)用振動(dòng)臂從所述基部延伸，并根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而進(jìn)行振動(dòng)， 所述檢測(cè)用電極被設(shè)置于所述檢測(cè)用振動(dòng)臂上。
10.一種傳感器元件的制造方法，其特征在于，所述傳感器元件具備 基部; 驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)； 振動(dòng)臂，其從所述基部延伸，并隨著所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而進(jìn)行振動(dòng)； 檢測(cè)部，其包括檢測(cè)用電極，所述檢測(cè)用電極根據(jù)被施加于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的物理量而輸出信號(hào)； 第一電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生電荷； 第二電極，其被設(shè)置于所述振動(dòng)臂上，且與所述檢測(cè)用電極電連接，并隨著所述振動(dòng)臂的振動(dòng)而產(chǎn)生與由所述第一電極產(chǎn)生的電荷極性相反的電荷， 所述傳感器元件的制造方法包括電荷調(diào)節(jié)工序,在所述電荷調(diào)節(jié)工序中，通過對(duì)所述第一電極或所述第二電極的一部分或全部進(jìn)行去除，從而對(duì)產(chǎn)生于所述第一電極或所述第二電極上的電荷量進(jìn)行調(diào)節(jié)。
11.如權(quán)利要求10所述的傳感器元件的制造方法，其中， 在所述電荷調(diào)節(jié)工序之前，包括對(duì)在通過通電而使所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂進(jìn)行振動(dòng)的狀態(tài)下，產(chǎn)生于所述檢測(cè)用電極上的電荷進(jìn)行測(cè)量的工序；根據(jù)該測(cè)量結(jié)果而對(duì)所述振動(dòng)臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序。
12.—種傳感器裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件； 使所述傳感器元件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的電路； 對(duì)來自所述檢測(cè)部的輸出進(jìn)行檢測(cè)的電路。
13.—種電子設(shè)備,其特征在于， 具有權(quán)利要求1或2所述的傳感器元件。
全文摘要
本發(fā)明涉及傳感器元件及其制造方法、傳感器裝置以及電子設(shè)備，其能夠簡(jiǎn)單且可靠地發(fā)揮優(yōu)異的檢測(cè)靈敏度，并且可靠性較高。本發(fā)明的傳感器元件具備驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂(221、222)，其通過通電而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)；調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(241、242)，其隨著驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂(221、222)的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)而進(jìn)行振動(dòng)；檢測(cè)用電極，其根據(jù)被施加于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂(221、222)的物理量而輸出電荷；第一電極，其被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(241、242)上，且與檢測(cè)用電極電連接，并隨著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(241、242)的振動(dòng)而輸出電荷；一對(duì)第二電極，其被設(shè)置于調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(241、242)上，且與一對(duì)檢測(cè)用電極電連接，并隨著調(diào)節(jié)用振動(dòng)臂(241、242)的振動(dòng)而輸出與第一電極成為相反極性的電荷。
文檔編號(hào)G01C19/5628GK103017747SQ201210359359
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月26日
發(fā)明者市川史生 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社