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帶有旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的校準(zhǔn)區(qū)域的輪廓標(biāo)準(zhǔn)器件、標(biāo)準(zhǔn)器件的使用以及用于校準(zhǔn)和/或探測(cè)輪廓測(cè)量?jī)x的方法與流程

文檔序號(hào):11996324閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種輪廓標(biāo)準(zhǔn)器件(10),其包括帶有旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的校準(zhǔn)區(qū)域(14)的主體(11)。旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的校準(zhǔn)區(qū)域(14)具有非圓柱形的多個(gè)軸向區(qū)段(17),其在形成給定的角度的情況下相應(yīng)凸出地、凹入地實(shí)施為徑向突出部(22)或?qū)嵤閺较虬继?23)。沿著校準(zhǔn)區(qū)域(14)設(shè)置有平行于主體(11)的縱軸線L伸延的至少一個(gè)測(cè)量部段(28),其不僅給定軸向的校準(zhǔn)變量li(i=1至n),而且給定徑向的校準(zhǔn)變量a、b。在校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x時(shí)可將校準(zhǔn)變量a、b、li的值與掃描值進(jìn)行比較且以確定的偏差為基礎(chǔ)對(duì)測(cè)量?jī)x進(jìn)行調(diào)準(zhǔn)。輪廓標(biāo)準(zhǔn)器件(10)由于旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的校準(zhǔn)區(qū)域(14)不僅適合于校準(zhǔn)觸覺(jué)輪廓測(cè)量?jī)x,而且適合于校準(zhǔn)光學(xué)測(cè)量的輪廓測(cè)量?jī)x。

技術(shù)研發(fā)人員:T·克勒;G·沃爾夫
受保護(hù)的技術(shù)使用者:卡爾.馬爾控股有限公司
文檔號(hào)碼:201180070487
技術(shù)研發(fā)日:2011.12.23
技術(shù)公布日:2017.03.08

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