專利名稱：石英坩堝的檢測工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種在常規(guī)環(huán)境下檢測石英坩堝尺寸和圓度的工具。
背景技術(shù)：
硅單晶用的石英坩堝如圖1所示內(nèi)表面具有光潔的涂層，嚴(yán)禁在拆開包裝后再 次污染，上半部分為柱體，各處的外圓與壁厚(“各處”代表了圓度)均有特定的尺寸要求； 底部為碗狀，與石墨坩堝吻合即可。光伏用的石英坩堝一般由坩堝廠家在潔凈度非常高的環(huán)境中檢測完畢后交付單 晶廠家使用，包裝拆開后即使用。對于單晶廠家來說對入廠的原輔材料也需要進行必要的 檢測。18英寸的坩堝外徑在450mm左右，20英寸的在500mm左右。使用一般的卡尺對石英 坩堝進行檢測尺寸和圓度的話，由于卡尺從正上方測試，由于不易確定坩堝的圓心，會造成 幾個毫米的偏差，且無法測試整個坩堝各處的圓度；由于尺寸限制，無法通過卡坩堝的外徑 來對坩堝尺寸進行測試。使用卡尺尋找圓心的同時，特別是坩堝的內(nèi)表面是一個光潔度很 高的涂層，會造成新的污染，且不能測試其圓度；卡尺是鋼制的，在測試過程中容易因為磕 碰造成石英坩堝的裂紋。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種石英坩堝的檢測工 具，使用簡便。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述石英坩堝的檢測工具包括兩個圓環(huán)狀的外 卡環(huán)和內(nèi)卡環(huán)，所述外卡環(huán)的內(nèi)徑為允許的石英坩堝最大外徑加2 5毫米，以整數(shù)為宜； 所述內(nèi)卡環(huán)的最大外徑為允許的石英坩堝的最小內(nèi)徑r，也可以稍微小點，r (r-Ι)毫米 之間為宜。所述外卡環(huán)和內(nèi)卡環(huán)的材質(zhì)為塑料。本實用新型的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單，能夠簡便的檢測石英坩堝尺寸和圓度且不會損 壞石英坩堝和造成污染。

圖1是石英坩堝中心剖視圖。圖2是檢測外徑和圓度的工具示意圖。圖3是檢測內(nèi)徑和圓度的工具示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。本實用新型分別針對石英坩 堝的外圓和內(nèi)圓的尺寸做兩個塑料材質(zhì)的圓環(huán)薄片。如圖2所示為檢測石英坩堝外徑R和 圓度的外卡環(huán)4，圖3所示為檢測石英坩堝的內(nèi)徑r和圓度的內(nèi)卡環(huán)5。以20英寸的石英坩堝為例，假如石英坩堝的要求為503士2mm，則石英坩堝的外徑
3R不得超過505mm，我們制作一個內(nèi)徑為507mm(507 510mm之間，以整數(shù)為宜)的外卡環(huán) 4，在測試坩堝外圓的時候如果套不下去，則說明石英坩堝尺寸偏大；套的時候通過使坩堝 外徑與外卡環(huán)4的內(nèi)徑相切，使空余部分全部在一側(cè)，觀察間隙察寬度即可得知石英坩堝 的外徑R ；使外卡環(huán)4的內(nèi)徑與石英坩堝同心，觀察間隙相等，即可得知該石英坩堝的圓度。 所述石英坩堝具有筒形的壁2和球形的底部3及內(nèi)腔1。石英坩堝WRgr從外徑R的尺寸中刨去壁2的兩邊壁厚各10mm，則為483 士 2mm， 制作一個外徑為481mm(尺寸上考慮負(fù)公差)的圓環(huán)狀內(nèi)卡環(huán)5 (也可以稍微小點，480 481mm之間為宜)，塑料材質(zhì)。使用的時候握住內(nèi)卡環(huán)5的圓心空缺處，使石英坩堝的內(nèi)徑 與內(nèi)卡環(huán)5外徑相切，即得石英坩堝的內(nèi)徑r ；同心后可測圓度。內(nèi)卡環(huán)5的外圓與石英坩堝的內(nèi)壁接觸的地方要做潔凈處理，放置的容器也應(yīng)干 凈無塵屑，許久不用需用酒精擦拭待酒精揮發(fā)后使用，在石英坩堝的筒體部分沿石英坩堝 內(nèi)壁往下即可檢查石英坩堝部分的內(nèi)圓直徑和圓度。碗狀部分的底部3目前只能以石英坩 堝與石墨坩堝的吻合程度來判斷。
權(quán)利要求1.石英坩堝的檢測工具，其特征是包括兩個圓環(huán)狀的外卡環(huán)和內(nèi)卡環(huán)，所述外卡環(huán) 的內(nèi)徑為石英坩堝最大外徑加2 5毫米，所述內(nèi)卡環(huán)的最大外徑為石英坩堝最小內(nèi)徑 r (r-Ι)毫米。
2.如權(quán)利要求1所述的石英坩堝的檢測工具，其特征是所述外卡環(huán)和內(nèi)卡環(huán)的材質(zhì)為塑料。
專利摘要本實用新型提供一種石英坩堝的檢測工具，包括兩個圓環(huán)狀的外卡環(huán)和內(nèi)卡環(huán)，所述外卡環(huán)的內(nèi)徑為允許的石英坩堝最大外徑加2～5mm，以整數(shù)為宜；所述內(nèi)卡環(huán)的最大外徑為允許的石英坩堝的最小內(nèi)徑r，也可以稍微小點，r～(r-1)毫米之間為宜。本實用新型的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單，能夠簡便的檢測石英坩堝尺寸和圓度且不會損壞石英坩堝和造成污染。
文檔編號G01B5/12GK201858942SQ20102024662
公開日2011年6月8日 申請日期2010年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月25日
發(fā)明者何勤忠, 俞振明, 楊樂 申請人:高佳太陽能股份有限公司