專利名稱：流量測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及流量測(cè)定裝置，具體而言是涉及用于測(cè)定氣體的流量的流量測(cè)定裝置。
背景技術(shù)：
通常的直管型流量測(cè)定裝置如圖1 (a)或者(b)所示，通過(guò)流量檢測(cè)元件1測(cè)定在 流路12內(nèi)流動(dòng)的氣體的流速V，基于測(cè)定到的流速V和流路截面面積等測(cè)定流路12內(nèi)的氣
體流量。這樣的結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置中，在流路12內(nèi)有一定流量的氣體流動(dòng)的情況下，如 圖1(a)所示，當(dāng)流路截面積小時(shí)則氣體的流速V變大，如圖1(b)所示，當(dāng)流路截面積大時(shí) 則氣體的流速V變小。另一方面，流量檢測(cè)元件11具有規(guī)定的可測(cè)定范圍，當(dāng)氣體的流速 V超出可測(cè)定范圍時(shí)，流速V的計(jì)測(cè)精度降低，或者造成不能計(jì)測(cè)。因此，在直接測(cè)定例如 200L/min (為liters/min的簡(jiǎn)記)等大流量氣體的直管型流量測(cè)定裝置中，為了使流速V 降低到流量檢測(cè)元件11的可測(cè)定范圍，需要擴(kuò)大流路12的直徑，從而使裝置的小型化受到 限制。因此，為了使大流量測(cè)定用的流量測(cè)定裝置小型化，提案有如圖2所示的那樣的 旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置。在旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置中，從主流路13分支出副 流路14，在主流路13內(nèi)設(shè)有節(jié)流件25。在主流路13內(nèi)流動(dòng)的氣體通過(guò)在節(jié)流件25的前 后產(chǎn)生的壓差使一部分分流到副流路14，利用流量檢測(cè)元件11測(cè)定在副流路14流動(dòng)的氣 體的流速Vp。而且，采用根據(jù)在主流路13和副流路14流動(dòng)的氣體的分流比、副流路14的 流速Vp及副流路14的流路截面積等求出總流量的方式。(關(guān)于專利文獻(xiàn)1)作為旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置，公知有專利文獻(xiàn)1所公示的裝置。如圖3所 示，在該流量測(cè)定裝置21中，在主流管22內(nèi)形成有主流路13，且在主流管22的外側(cè)形成有 副流路14，在主流路13內(nèi)開(kāi)口的導(dǎo)入口 23和排出口 24分別在副流路14的兩端連通。另 外，在主流路13內(nèi)，在導(dǎo)入口 23和排出口 24的中間設(shè)有節(jié)流件25，通過(guò)節(jié)流件25的開(kāi)口 直徑及形狀調(diào)節(jié)主流路13和副流路14的分流比。但是，在該流量測(cè)定裝置21中，為了消減零件數(shù)量、降低分流比的制造偏差，而將 節(jié)流件25與主流管22進(jìn)行一體成型。因此存在的問(wèn)題是，節(jié)流件25的開(kāi)口直徑及形狀不 可變更，若要變更節(jié)流件25的開(kāi)口直徑等，則必須重新設(shè)計(jì)更改主流管22的整體并進(jìn)行 制造，為了根據(jù)用途將流量范圍的流量測(cè)定裝置湊齊，不僅提高了成本，且需要大的庫(kù)存空 間。另一方面，若可交換節(jié)流件25且使主流管22通用化，則如圖4所示，要考慮將節(jié) 流件25與主流管22分開(kāi)形成。該情況下，如圖4所示，只要將節(jié)流件25收納于主流路13 內(nèi)并利用粘接劑26將節(jié)流件25的全周與主流路13的壁面粘接即可。但是，該方法中，由于粘接劑26的涂敷工序及粘接劑的加熱固化處理等而使流量測(cè)定裝置的組裝工時(shí)增加。另外，在將涂敷有粘接劑26的節(jié)流件25收納于主流路13內(nèi)的 方法中，有可能因粘接劑26附著于主流路13的壁面(特別是導(dǎo)入口 23的附近)而招致測(cè) 定精度的下降?；蛘?，在預(yù)先將粘接劑26涂敷于主流路13的壁面然后再收納節(jié)流件25的 方法中，由于粘接劑26從節(jié)流件25和主流路13的壁面之間溢出，因而招致測(cè)定精度的降 低，需要有粘接劑的管理。(關(guān)于專利文獻(xiàn)2)作為節(jié)流件與主流管分開(kāi)形成，且不使用粘接劑將節(jié)流件固定于主流路內(nèi)的旁通 流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置，還有專利文獻(xiàn)2所公示的裝置。在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的流量測(cè) 定裝置中，如圖5所示，在主流路13內(nèi)收納有節(jié)流件25和做成圓筒狀的套筒32，在形成于 主流路13內(nèi)的定位止動(dòng)部34和套筒32之間夾持并保持節(jié)流件25。在套筒32的端面和定 位止動(dòng)部34上分別形成有嵌合孔35、37，使壓入到套筒32的嵌合孔35的支承銷38插通節(jié) 流件25的通孔36，且插入定位止動(dòng)部34的嵌合孔37。由此阻止套筒32轉(zhuǎn)動(dòng)，使開(kāi)口于套 筒32的通氣孔33與導(dǎo)入口 23對(duì)齊而進(jìn)行定位。此外，套筒32的后方，交互收納氣體整流 板39和輔助襯套40。另外，在如專利文獻(xiàn)2那樣的結(jié)構(gòu)中，由于必須在主流路13的深處將支承銷36插 入到定位止動(dòng)部34的嵌合孔37，因而該作業(yè)難以進(jìn)行。因此，如圖6(b)所示，也考慮到下 述的方法，即，通過(guò)使突部42向套筒32的后端部外周突出，將該突部42如圖6(a)那樣嵌 合于設(shè)置在主流路13的壁面的凹處41，由此，阻止套筒32轉(zhuǎn)動(dòng)。專利文獻(xiàn)1 專利第3870969號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 特愿2004-355045號(hào)公報(bào)但是，在如示于圖5的專利文獻(xiàn)2那樣的結(jié)構(gòu)及如示于圖6(a)、(b)那樣的結(jié)構(gòu) 中，由于部件的制造偏差，有時(shí)在套筒32的通氣孔33和導(dǎo)入口 23之間產(chǎn)生位置偏移。例 如，在如圖5那樣的結(jié)構(gòu)中，由于套筒32的通氣孔33的位置偏差及嵌合孔35的位置偏差、 定位止動(dòng)部34的嵌合孔37的位置偏差等，從而使通氣孔33和導(dǎo)入口 23的位置產(chǎn)生偏移。 即使在如圖6那樣的結(jié)構(gòu)中，由于套筒32的通氣孔33的位置偏差及突部42的位置偏差、 主流路13的凹處41的位置偏差而使通氣孔33和導(dǎo)入口 23的位置產(chǎn)生偏移。這樣，在通氣孔33和導(dǎo)入口 23的位置有偏移時(shí)，由于對(duì)從主流路13流入到副流 路14的氣體的流動(dòng)產(chǎn)生影響，因而成為主流路13和副流路14間的分流比產(chǎn)生偏差、流量 測(cè)定裝置的測(cè)定精度下降的原因。為了確認(rèn)發(fā)生套筒32的位置偏移時(shí)分流比產(chǎn)生偏差的現(xiàn)象，本發(fā)明者們進(jìn)行了 下面的實(shí)驗(yàn)。首先，為了進(jìn)行實(shí)驗(yàn)而預(yù)先備好兩種類型的流量測(cè)定裝置(標(biāo)準(zhǔn)模型1、2)。 這些流量裝置主流路13的流路截面積為0.00031m2，節(jié)流件25的截面積(開(kāi)口面積)為 0. 00018m2,副流路14的流路截面積為5. 00 X 10_5，在外徑為24mm、內(nèi)徑為22mm的套筒32上 開(kāi)口形成有直徑為5mm的通氣孔33。標(biāo)準(zhǔn)模型1為流量大的模式(設(shè)定流量為500L/min)， 標(biāo)準(zhǔn)模型2為流量小的模式(設(shè)定流量為300L/min)。使用這些流量測(cè)定裝置，對(duì)從通氣孔33與導(dǎo)入口 23對(duì)齊的位置向套筒32的軸方 向或者圓周方向偏移時(shí)的分流比的變化率、及主流路13、副流路14以及節(jié)流件25的平均流 速及流量進(jìn)行了測(cè)定。將該結(jié)果示于圖7。圖7的樣品No. 1、No. 4分別使用標(biāo)準(zhǔn)模型1、2，且如圖8 (a)、(b)，以使通氣孔33不論在套筒32的長(zhǎng)度方向還是圓周方向都與導(dǎo)入口 23對(duì)齊的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。樣品No. 2、 No. 5分別使用標(biāo)準(zhǔn)模型1、2，且如圖9 (a)，以使通氣孔33在套筒32的軸方向從導(dǎo)入口 23 偏離0. 25mm(通氣孔33的直徑的5% )的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。樣品No. 3、No. 6分別使用標(biāo)準(zhǔn) 模型1、2，且如圖9 (b)，以使通氣孔33在其圓周方向從與導(dǎo)入口 23對(duì)齊的位置偏移1. 2度 的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。另外，各樣品No. 1 6的分流比變化率是指，設(shè)通氣孔33沒(méi)有位置偏差時(shí)的分流 比為主流路的流量副流路的流量=A B、設(shè)產(chǎn)生了位置偏差時(shí)的分流比為主流路的流 量副流路的流量=a b時(shí)，用下述數(shù)學(xué)式表示。另外，主流路的流量是指不包含在副流 路流動(dòng)的氣體的流量。數(shù)學(xué)式1
b _ B
分流比變化率=a + b nA + B
B
A + B根據(jù)圖7得知，在標(biāo)準(zhǔn)模型1、2中，當(dāng)通氣孔33在套筒32的軸方向偏移其直徑的 5%時(shí)，分流比變化率的變化約為6 15%左右。另外，當(dāng)通氣孔33在套筒32的圓周方向 偏移1. 2度時(shí)，分流比變化率的變化約為10 18%左右。且得知，越是大流量用的流量裝 置分流比的變化越是明顯。因此，為了提高流量測(cè)定裝置(特別是大流量用的流量測(cè)定裝置)的測(cè)定精度，希 望不發(fā)生套筒的通氣孔和導(dǎo)入口的位置偏移，以減小分流比的偏差。另外，如圖9(a)、(b)所示，為了使導(dǎo)入口 23不被通氣孔33的邊緣局部堵塞，考慮 使通氣孔33的直徑比導(dǎo)入口 23的直徑大的方法。但是，在該方法中，由于通氣孔33和導(dǎo) 入口 23之間產(chǎn)生臺(tái)階部分，因此，因該臺(tái)階部分而在向副流路14側(cè)分流的氣體的流動(dòng)中產(chǎn) 生湍流，其結(jié)果是不能減小分流比的偏差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的技術(shù)課題而設(shè)立的，其目的在于，在使用用于保持節(jié)流件的 部件(節(jié)流件保持部件)來(lái)保持節(jié)流件的旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置中，減小因節(jié)流件 保持部件的制造偏差及位置偏移等而引起的分流比的變化。本發(fā)明的流量測(cè)定裝置具備流路塊，其具有兩端開(kāi)口的主流路和從所述主流路 分支的副流路；流量測(cè)定元件，其設(shè)置于所述副流路；分流口及回收口，其在所述主流路的 壁面開(kāi)口且與所述副流路連通，將流到所述主流路的氣體的一部分從所述分流口向所述副 流路分流，使通過(guò)所述副流路的氣體從所述回收口返回到所述主流路，其特征在于，在所述 流路塊的作為所述主流路的空間的周面，在除了含有所述分流口的區(qū)域和含有所述回收口 的區(qū)域以外的區(qū)域，凹設(shè)有保持部件收納部，在所述主流路內(nèi)收納有節(jié)流件，嵌入所述保持 部件收納部的節(jié)流件保持部件通過(guò)與所述節(jié)流件抵接而保持所述節(jié)流件，所述主流路的壁 面由所述主流路中形成有所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁面和所述節(jié)流件保持部件 的內(nèi)面構(gòu)成。本發(fā)明的流量測(cè)定裝置中，由于將用于保持節(jié)流件的節(jié)流件保持部件嵌入到保持
6部件收納部，該保持部件收納部凹設(shè)在所述流路塊的作為所述主流路的空間的周面的除了 含有所述分流口的區(qū)域和含有所述回收口的區(qū)域以外的區(qū)域，因而即使節(jié)流件保持部件及 保持部件收納部有偏差(誤差)，也不必?fù)?dān)心節(jié)流件保持部件與分流口及回收口重疊。另 外，還不必?fù)?dān)心節(jié)流件保持部件在主流路內(nèi)旋轉(zhuǎn)而對(duì)分流口及回收口產(chǎn)生干涉。因此，在將 節(jié)流件與流路塊分體且可更換的旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置中，可減小因部件的偏差而 帶來(lái)的分流比的偏差。另外，由于利用主流路中的形成保持部件收納部的區(qū)域以外的壁面 和嵌入保持部件收納部的節(jié)流件保持部件的內(nèi)面，大致光滑地形成主流路的壁面，因此，還 可使主流路的氣體的流動(dòng)順暢。其結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，可使分流比穩(wěn)定且可提高流量測(cè)定裝 置的測(cè)定精度。在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的一實(shí)施方式中，在所述流路塊的作為所述主流路的空 間的周面突設(shè)有定位止動(dòng)部，通過(guò)使所述節(jié)流件抵接于所述定位止動(dòng)部進(jìn)行定位，在所述 節(jié)流件保持部件的端面和所述定位止動(dòng)部之間夾持并保持所述節(jié)流件。根據(jù)該實(shí)施方式， 由于通過(guò)使節(jié)流件抵接于突設(shè)在主流路內(nèi)的定位止動(dòng)部而進(jìn)行定位，因而可提高節(jié)流件的 定位精度，降低分流比的偏差。此外，在該實(shí)施方式中，也可以在所述流路塊的作為所述主流路的空間的周面，從 所述定位止動(dòng)部朝向所述流路塊的一端面凹設(shè)有均勻的截面形狀的保持部件收納部，在所 述節(jié)流件保持部件上貫穿其長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)而形成有切口部，以在所述節(jié)流件保持部件的 切口部收納所述主流路中的形成所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁面的方式，將所述節(jié) 流件保持部件插入所述保持部件收納部。根據(jù)該實(shí)施方式，由于即使是非硬質(zhì)且具有剛性 的節(jié)流件保持部件也很容易插入保持部件收納部，因而可使用非硬質(zhì)又具有剛性的節(jié)流件 保持部件牢固地固定節(jié)流件。另外，在所述實(shí)施方式中，也可以在所述流路塊的作為所述主流路的空間的周面， 從所述定位止動(dòng)部朝向所述流路塊的一端面設(shè)有均勻的截面形狀的保持部件收納部，在所 述節(jié)流件保持部件上貫穿其長(zhǎng)度方向的一部分而形成有切口部，以在所述節(jié)流件保持部件 的切口部收納所述主流路中的形成所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁面的方式，將所述 節(jié)流件保持部件插入所述保持部件收納部。根據(jù)該實(shí)施方式，由于即使是非硬質(zhì)且具有剛 性的節(jié)流件保持部件也很容易插入保持部件收納部，因而可使用非硬質(zhì)又具有剛性的節(jié)流 件保持部件牢固地固定節(jié)流件。在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的另一實(shí)施方式中，在所述流路塊的作為所述主流路的 空間的周面設(shè)有槽狀的保持部件收納部，在所述節(jié)流件的外周面設(shè)有突起，在所述保持部 件收納部嵌入所述突起并將所述節(jié)流件收納于所述主流路內(nèi)，通過(guò)插入到所述保持部件收 納部的棒狀的所述節(jié)流件保持部件來(lái)保持所述節(jié)流件。根據(jù)該實(shí)施方式，由于可利用小的 截面積的節(jié)流件保持部保持節(jié)流件，故而可使氣體的流動(dòng)穩(wěn)定。在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的另一實(shí)施方式中，利用從所述主流路的一開(kāi)口嵌入到 所述保持部件收納部的所述節(jié)流件保持部件、和從所述主流路的另一開(kāi)口嵌入到所述保持 部件收納部的另一所述節(jié)流件保持部件，夾持并保持收納于所述主流路內(nèi)的節(jié)流件。在這 樣的實(shí)施方式中，通過(guò)兩側(cè)的節(jié)流件保持部件夾持，將節(jié)流件固定，因此，在主流路內(nèi)不需 要用于對(duì)節(jié)流件進(jìn)行定位的定位止動(dòng)部，可通過(guò)調(diào)整兩側(cè)的節(jié)流件保持部件的長(zhǎng)度將節(jié)流 件保持在任意的位置，由此，可調(diào)節(jié)分流比。
在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的另一實(shí)施方式中，所述節(jié)流件保持部件由多個(gè)節(jié)流件 保持部件構(gòu)成。在這樣的實(shí)施方式中，將節(jié)流件保持部件分割成多個(gè)，因此，可根據(jù)節(jié)流件 的厚度調(diào)節(jié)節(jié)流件保持部件的個(gè)數(shù)。在節(jié)流件的前后分別使用多個(gè)節(jié)流件保持部件的情況 下，通過(guò)調(diào)節(jié)兩側(cè)的節(jié)流件保持部件的個(gè)數(shù)，可以改變節(jié)流件的位置。因此，可以容易地調(diào) 節(jié)分流比。在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的再另一實(shí)施方式中，通過(guò)安裝于所述流路塊的端面的 端蓋按壓所述節(jié)流件保持部件的端面。在這樣的實(shí)施方式中，由于利用端蓋按壓節(jié)流件保 持部件的端面，因而通過(guò)端蓋可防止節(jié)流件保持部件的脫落。另外，在這樣的實(shí)施方式中，也可以在所述節(jié)流件保持部的端面和所述端蓋之間 夾持有彈性部件。若在節(jié)流件保持部件的端面和端蓋之間夾持有彈性部件時(shí)，則可利用彈 性部件的彈性反作用力將節(jié)流件保持部件按壓在節(jié)流件，能夠可靠地保持節(jié)流件。在本發(fā)明的流量測(cè)定裝置的再另一實(shí)施方式中，所述流路塊通過(guò)將彼此分體的主 流路部和副流路部組裝而構(gòu)成，在所述主流路部形成所述主流路，在所述副流路部形成所 述副流路。根據(jù)這樣的實(shí)施方式，可根據(jù)用途更換副流路部。另外，可以將一條流路內(nèi)具備 流量檢測(cè)元件的市場(chǎng)銷售或者已有的流量測(cè)定裝置用作副流路部。另外，用于解決本發(fā)明的所述課題的方法，具有將進(jìn)行了所述說(shuō)明的構(gòu)成要素進(jìn) 行適當(dāng)組合的特征，本發(fā)明可進(jìn)行這種構(gòu)成要素的組合的許多變更。


圖1 (a)及(b)是用于說(shuō)明直管型流量測(cè)定裝置的測(cè)定原理的概略剖面圖；圖2是用于說(shuō)明旁通流路結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置的測(cè)定原理的概略剖面圖；圖3是專利文獻(xiàn)1所公示的流量測(cè)定裝置的局部剖面圖；圖4是說(shuō)明專利文獻(xiàn)1所公示的流量測(cè)定裝置的改進(jìn)例的剖面圖；圖5是專利文獻(xiàn)2所公示的流量測(cè)定裝置的概略剖面圖；圖6(a)是說(shuō)明專利文獻(xiàn)2所公示的流量測(cè)定裝置的改進(jìn)例的概略剖面圖，圖6(b) 是表示圖6(a)的流量測(cè)定裝置所使用的套筒的立體圖；圖7是表示使用6個(gè)流量測(cè)定裝置的樣品對(duì)套筒的通氣孔的位置偏移和分流比變 化率的關(guān)系進(jìn)行調(diào)查的結(jié)果的表；圖8 (a)及(b)表示示于圖7的樣品No. 1和No. 4的結(jié)構(gòu)的概略圖；圖9(a)是表示示于圖7的樣品No. 2和No. 5的結(jié)構(gòu)的概略圖，圖9 (b)是表示示 于圖7的樣品No. 6和No. 6的結(jié)構(gòu)的概略圖；圖10是本發(fā)明第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的外觀立體圖；圖11(a)是第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的俯視圖，圖11(b)是圖11(a)的X-X 線的剖面圖，圖11(c)是圖11(b)的Y-Y線的剖面圖；圖12是第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的分解立體圖；圖13(a)及(b)是圖12所表示的流路塊的正面圖及背面圖；圖14(a)是圖13(a)的Z-Z線的剖面圖，圖14(b)是上述的流路塊局部剖面的立 體圖；圖15(a)、(b)及(c)是表示開(kāi)口面積互不相同的節(jié)流件的正面圖，圖15 (d)是節(jié)流件保持襯套的正面圖；圖16(a)及(b)是安裝了節(jié)流件、節(jié)流件保持襯套及密封環(huán)的流路塊的立體圖及 正面圖；圖17(a)及(b)是用于說(shuō)明流量檢測(cè)元件的流量檢測(cè)的原理的概略剖面圖；圖18是表示第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的變形例的剖面圖；圖19為第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的另一變形例，是去掉端蓋的狀態(tài)的正面 圖；圖20(a)為第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的另一變形例，是去掉端蓋的狀態(tài)的正 面圖，圖20(b)是用于該變形例的節(jié)流件和節(jié)流件保持襯套的正面圖；圖21 (a)是第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的再另一變形例的剖面圖，圖21 (b)是 0 21(a)的W-W線的剖面圖；圖22是用于上述的流量測(cè)定裝置的流路塊的立體圖；圖23是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的剖面圖；圖24是第二實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置所使用的流路塊的局部剖面的立體圖；圖25(a)是第二實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置所使用的節(jié)流件保持襯套的立體圖，圖 25(b)是表示第二實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置所使用的節(jié)流件保持襯套的立體圖；圖26為本發(fā)明第三實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置，是去掉端蓋并在中央剖開(kāi)的狀態(tài) 的立體圖；圖27為第三實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的變形例，是去掉端蓋并在中央剖開(kāi)的狀 態(tài)的立體圖；圖28為本發(fā)明第四實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置，是去掉端蓋并在中央剖開(kāi)的狀態(tài) 的立體圖；圖29為本發(fā)明第五實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的立體圖；圖30為將第五實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置的局部分解后的立體圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明51、91、93 95、101 105 流量測(cè)定裝置52:流路塊53 主流路54 流路壁部55a 主流路部55b 副流路部56 副流路60 電路基板61 流量檢測(cè)元件63 節(jié)流件64:凸緣65、65a、65b、65c 節(jié)流件保持襯套66:切口部72 分流導(dǎo)入流路
9
72a:分流口73 分流回收流路73a:回收口74 襯套收納部75 定位止動(dòng)部
具體實(shí)施例方式下面，參照

本發(fā)明的最佳實(shí)施方式。但是，本發(fā)明不限于下述的實(shí)施方 式，在不脫離本發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種設(shè)計(jì)變更。(第一實(shí)施方式)下面，參照?qǐng)D10 圖17說(shuō)明第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置。圖10是第一實(shí)施 方式的流量測(cè)定裝置51的立體圖。圖11(a)是流量測(cè)定裝置51的平面圖，圖11(b)是圖 11(a)的X-X線的剖面圖，圖11(c)是圖11(b)的Y-Y的線剖面圖。圖12是流量測(cè)定裝置 51的分解立體圖。如圖12所示，流量測(cè)定裝置51主要由具有主流路53和副流路56的流路塊52、 具有流量檢測(cè)元件61的電路基板60、罩62、節(jié)流件63、節(jié)流件保持襯套65 (節(jié)流件保持部 件)、一對(duì)密封環(huán)67及一對(duì)端蓋68構(gòu)成。首先，說(shuō)明圖12的流量測(cè)定裝置51中使用的流路塊52的結(jié)構(gòu)。圖13(a)、(b)是 流路塊52的正面圖及背面圖。圖14(a)是圖13(a)的Z-Z線的剖面圖，圖14(b)是在通過(guò) 分流導(dǎo)入流路72的部位剖開(kāi)的流路塊52的立體圖。流路塊52將形成有主流路53的主流 路部55a和形成有副流路56的副流路部55b —體成型，制成合成樹(shù)脂成型品。如圖14(a)所示，主流路部55a具有在前后方向貫通的主流路53，在主流路53的 軸方向的大致中央部，用于抵接節(jié)流件63的做成環(huán)狀的定位止動(dòng)部75從主流路53的壁面 突出。如圖13 (a)及圖14 (b)所示，在定位止動(dòng)部75的前方，主流路53的內(nèi)面中去掉上面 的區(qū)域從應(yīng)成為主流路53的壁面的面被除去一定的深度，凹設(shè)截面C字狀的襯套收納部 74 (保持部件收納部)。其結(jié)果是，襯套收納部74自定位止動(dòng)部75至主流路部55a的前端 面為均勻的截面且沿軸方向延伸。另外，殘留于主流路53的上部的流路壁部54自定位止 動(dòng)部75至主流路部55a的前端面也為均勻的截面且沿軸方向延伸。如圖13(a)及(b)所 示，在主流路部55a的前端面及后端面，以包圍主流路53的端面開(kāi)口的方式形成有環(huán)狀的 環(huán)保持槽58。在環(huán)保持槽58的外側(cè)，在主流路部55a的前端面及后端面的四角分別形成有 螺絲孔59。副流路部55b設(shè)置于主流路部55a的上面。如圖12及圖24(a)、(b)所示，在副流 路部55b的大致整體上形成有上面開(kāi)口的呈淺的盒狀外觀的副流路形成室57。在副流路形 成室57的底部形成有沿前后方向延伸的副流路56，在流路塊52內(nèi)，分流導(dǎo)入流路72和分 流回收流路73分別從副流路56的兩端朝向主流路53垂直地延伸。分流導(dǎo)入流路72的下 端的分流口 72a在定位止動(dòng)部75的前方(即，位于下述的節(jié)流件63的前方)在流路壁部 54的壁面53a開(kāi)口。同樣，分流回收流路73的下端的回收口 73a在定位止動(dòng)部75的后方 在主流路53的頂面開(kāi)口。其次，說(shuō)明圖12的流量測(cè)定裝置51中使用的節(jié)流件63和節(jié)流件保持襯套65。節(jié)流件63在外周的局部具有凸緣64，在中央部具有用于控制氣體的流動(dòng)的開(kāi)口部76。根據(jù)主 流路53和副流路56的分流比準(zhǔn)備例如圖15(a)、(b)及(c)那樣的開(kāi)口部76的面積(開(kāi) 口面積)不同的多種類型的節(jié)流件63。在此，所示的節(jié)流件63都是在中央部具有圓形的開(kāi) 口部76，但是，作為節(jié)流件63，除此以外，也可以是具有蜂窩狀多個(gè)孔或具有微小的多個(gè)孔 的多孔質(zhì)體。但是，下面對(duì)使用具有圓形的開(kāi)口部76的節(jié)流件63的情況進(jìn)行說(shuō)明。任意一個(gè)節(jié)流件63的自開(kāi)口部76的中心至沒(méi)有凸緣64的部分的邊緣的半徑，與 流路塊52的自主流路53的中心至流路壁部54的壁面53a的半徑相等。另外，凸緣64為 與流路塊52的襯套收納部74的截面形狀相同的形狀且為相同的尺寸，節(jié)流件63的自開(kāi)口 部76的中心至凸緣64邊緣半徑與主流路52的自主流路53的中心至襯套收納部74的半 徑相等。另外，為了使氣體順暢地通過(guò)，而對(duì)開(kāi)口部76的邊緣實(shí)施了錐形處理。因此，任意一個(gè)節(jié)流件63都可以通過(guò)使凸緣64與襯套收納部74對(duì)齊而收納于主 流路53內(nèi)，從流路52的前端面收納于主流路53的節(jié)流件63與定位止動(dòng)部75抵接而被定 位。節(jié)流件保持襯套65為將圓筒形的局部遍及長(zhǎng)度方向全長(zhǎng)切開(kāi)的形狀，且具有遍 及全長(zhǎng)的縫隙狀的切口部66。節(jié)流件保持襯套65的外徑與襯套收納部75的直徑相等，節(jié) 流件保持襯套65的厚度與襯套收納部74的深度相等。切口部66的寬度與流路壁部54的 寬度相等。另外，節(jié)流件63的厚度和節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度加在一起等于從定位止動(dòng) 部75的前面至流路塊52的前端面的距離。通過(guò)使切口部66與流路壁部54對(duì)齊，可使節(jié)流件保持襯套65插入襯套收納部 74。由于節(jié)流件保持襯套65的做成大致C字狀的截面形狀與節(jié)流件63的凸緣64的形狀 一致，因此，當(dāng)將節(jié)流件保持襯套65從節(jié)流件63的后面插入襯套收納部74時(shí)，如圖15 (d) 所示，節(jié)流件保持襯套65的端面與節(jié)流件63的凸緣64抵接并推壓節(jié)流件63。圖16(a)及 (b)表示這樣在主流路53內(nèi)插入節(jié)流件63及節(jié)流件保持襯套65的狀態(tài)。這樣，在將節(jié)流件63和節(jié)流件保持襯套65安裝于主流路53內(nèi)的狀態(tài)下，在定位 止動(dòng)部34的前方，由流路壁部54的壁面53a和節(jié)流件保持襯套65的內(nèi)面53c形成主流路 53的壁面。前方的主流路53的內(nèi)徑(壁面53a及內(nèi)面53c的直徑)與定位止動(dòng)部34的后 方的主流路53的壁面53b的內(nèi)徑相等。另外，在圖示例中，安裝了節(jié)流件保持襯套65之后 的主流路53截面為圓形狀，但是主流路53也可以具有多邊形狀(例如，四邊形狀、五邊形 狀、六邊形狀、八邊形狀等)的截面。接著，說(shuō)明副流路部55b。如圖12所示，流量檢測(cè)元件61安裝在電路基板60的 下面。另一方面，在副流路形成室57的底面、副流路56的上面開(kāi)口。如圖11(b)所示，電 路基板60在以流量檢測(cè)元件61為下的狀態(tài)下，經(jīng)由以包圍副流路56的開(kāi)口區(qū)域的方式配 置的環(huán)狀的橡膠襯墊(未圖示)重疊于副流路形成室57的底面，并利用熱鉚接及螺絲緊固 等裝置將電路基板60固定于副流路形成室57。由于電路基板60至少在面向副流路56的 開(kāi)口區(qū)域的部分沒(méi)有孔，因此，副流路56的上面由電路基板60氣密性地密閉。另外，流量 檢測(cè)元件61收納于副流路56中的局部寬度變寬的部分，并被定位于副流路56內(nèi)的規(guī)定位 置。其次，副流路部55b的上面用罩62堵塞。流量檢測(cè)元件61只要是可測(cè)定氣體的流速的裝置，就不用特別限定其種類。作 為流量檢測(cè)元件61可使用例如具有加熱器和熱電元件的流量傳感器。該流量檢測(cè)元件61中，如圖17(a)所示，通過(guò)蝕刻在基板77的上面形成空腔78，在空腔78上覆罩絕緣性薄膜 79并通過(guò)基板77保持絕緣性薄膜79的邊緣。在絕緣性薄膜79的中央部，由多晶硅形成 加熱器，在加熱器80的上游側(cè)和下游側(cè)分別設(shè)有熱電元件81a、81b。熱電元件81a、81b將 Al線素和多晶硅線素交互連接并Z字形配置。熱電元件81a、81b對(duì)于加熱器80對(duì)稱配置， 計(jì)測(cè)加熱器80兩側(cè)對(duì)稱的位置的溫度。另外，符號(hào)82a、82b為加熱器80及熱電元件81a、 81b的電極焊盤(pán)。在測(cè)定時(shí)，加熱器80按規(guī)定的溫度發(fā)熱，在加熱器80的周圍產(chǎn)生規(guī)定的溫度分布 α (溫度梯度)。由于熱電元件81a、81b為對(duì)稱的配置，因此，如圖17(a)所示在氣體不流 經(jīng)加熱器80上的情況下，兩熱電元件81a、81b的檢測(cè)溫度相等，溫度差為零。與此相對(duì)，如 圖17(b)所示，在加熱器80上產(chǎn)生氣體的流動(dòng)(用箭頭表示)時(shí)，由于加熱器80的熱量向 下游側(cè)輸送且溫度分布α向下游側(cè)移動(dòng)，因此，下游側(cè)的熱電元件81b的檢測(cè)溫度上升，上 游側(cè)的熱電元件81a的檢測(cè)溫度下降，可根據(jù)兩熱電元件81a、81b的檢測(cè)溫度的溫度差計(jì) 算出氣體的流速。然后，如圖16(a)及(b)所示，在將密封環(huán)67嵌入到環(huán)保持槽58后，在流路塊52 的兩端面分別安裝端蓋68，將穿過(guò)四角的通孔70的螺栓71緊固于流路塊52的螺絲孔59， 而將端蓋68固定于流路塊52。其結(jié)果是，密封環(huán)67在端蓋68的背面和流路塊52的端面 之間受到擠壓，確保了流路塊52的端面和端蓋68之間的氣密性。另外，通過(guò)利用端蓋68 推壓節(jié)流件保持襯套65端，可使節(jié)流件保持襯套65的另一端推壓節(jié)流件63。端蓋68的連 接孔69為連接輸送氣體的導(dǎo)管等的部分，并與主流路53連通。這樣組裝而成的流量測(cè)定 裝置51示于圖10及圖11。流量測(cè)定裝置51的尺寸例如為長(zhǎng)80mm、寬30mm、高35mm。在這樣構(gòu)成的流量測(cè)定裝置51中，如圖11(b)中箭頭所示，當(dāng)從連接孔69向主流 路53內(nèi)流入氣體時(shí)，因該氣體通過(guò)節(jié)流件63時(shí)的阻力而在節(jié)流件63的前后產(chǎn)生壓力差。 由于該壓力差而使在主流路53流動(dòng)的氣體的一部分通過(guò)分流導(dǎo)入流路72向副流路56分 流，通過(guò)副流路56的氣體通過(guò)分流回收流路73再次回收到主流路53。而且，在分流后的氣 體流經(jīng)副流路56時(shí)，通過(guò)流量檢測(cè)元件61測(cè)定流經(jīng)副流路56的氣體的流量，基于流經(jīng)主 流路53的氣體的流量和流經(jīng)副流路56的氣體的流量的分流比計(jì)算出總流量。另外，該流 量測(cè)定裝置51中，可以從前面?zhèn)葘?dǎo)入氣體，也可以從背面?zhèn)葘?dǎo)入氣體，可以雙方向使用。根據(jù)這樣的旁通結(jié)構(gòu)，在大流量測(cè)定用的流量測(cè)定裝置51的情況下，可以縮小主 流路53的流路截面積，可使流量測(cè)定裝置51小型化。另外，在該流量測(cè)定裝置51中，可以 根據(jù)要測(cè)定的流量范圍，通過(guò)變更為例如圖15(a) (c)那樣的開(kāi)口面積不同的節(jié)流件63 來(lái)變更主流路53和副流路56的分流比，可以進(jìn)行調(diào)整以使副流路56的氣體的流速收于流 量檢測(cè)元件61的可測(cè)定范圍(輸出為線形的范圍)，因此，可根據(jù)客戶要求及用途提供各種 流量范圍的流量測(cè)定裝置，而且，可使節(jié)流件63以外的零件即流路塊52等零件通用化，也 可降低流量測(cè)定裝置51的制造成本。另外，在這樣的構(gòu)造的流量測(cè)定裝置51中，不會(huì)使節(jié)流件保持襯套65重疊于與副 流路56連接的分流口 72a，或者使分流口 72a和節(jié)流件保持襯套65干擾。而且，主流路53 的壁面由流路壁面54的壁面53a和節(jié)流件保持襯套65的內(nèi)面53c構(gòu)成沒(méi)有凹凸的光滑的 面(在圖實(shí)例為圓筒面)。因此，維持了流經(jīng)主流路53內(nèi)的氣體流動(dòng)的穩(wěn)定性，易于將流經(jīng) 主流路53的流量和流經(jīng)副流路56的流量的分流比保持在恒定，可以提高流量測(cè)定裝置51
12的流量的測(cè)定精度。(第一實(shí)施方式的變形例)圖18是表示第一實(shí)施方式的變形例的剖面圖。該流量測(cè)定裝置91中，與第一實(shí) 施方式的情況相比較，使節(jié)流件保持襯套65和流路壁部54的長(zhǎng)度縮短若干，使節(jié)流件保持 襯套65的端面和流路壁部54的端面比主流路55a的前端面縮回若干。而且，在節(jié)流件保 持襯套65的端面及流路壁部54的端面和端蓋68的背面之間夾持有0型環(huán)等彈性部件92， 并壓緊彈性部件92。根據(jù)這樣的變形例，可利用彈性部件92的彈性反作用力將節(jié)流件保持 襯套65推壓到節(jié)流件63，因此，可牢固地保持節(jié)流件63。另外，也可以在節(jié)流件保持襯套65及流路壁部54的各端面和端蓋68的背面之間 與彈性部件92—起夾持除塵用的網(wǎng)(未圖示)等。圖19所示的為第一實(shí)施方式的另一變形例，是去掉了端蓋68的狀態(tài)的正面圖。該 變形例的流量測(cè)定裝置93中，使節(jié)流件保持襯套65形成為截面半圓狀，與此相對(duì)應(yīng)，也將 節(jié)流件63的凸緣64及襯套收納部74形成為半圓狀。在節(jié)流件63由金屬等制作且具有剛 性的情況下，由于只要用節(jié)流件保持襯套65推壓節(jié)流件63的局部即可，因此，即使縮小節(jié) 流件保持襯套65的截面也沒(méi)關(guān)系。圖20(a)、(b)所示的變形例(流量測(cè)定裝置94)使節(jié)流件保持襯套65的截面積 和凸緣64進(jìn)一步縮小。S卩，如圖20(b)所示，在節(jié)流件63的兩側(cè)設(shè)有突起狀的凸緣64(突 起)，兩個(gè)節(jié)流件保持襯套65以使截面形狀成為與凸緣64的形狀相同的棒狀的方式而形 成。另外，在主流路53的兩側(cè)面槽狀地形成有與凸緣64的形狀相同的截面的襯套收納部 74。而且，如圖20(a)所示，將凸緣64嵌入襯套收納部74并將節(jié)流件63收納于主流路53 內(nèi)之后，在左右襯套收納部74分別插入節(jié)流件保持襯套65以保持節(jié)流件63。另外，將節(jié)流 件保持襯套65及襯套收納部74的截面形狀做成使節(jié)流件保持襯套65不從襯套收納部74 拔出脫落到主流路53內(nèi)的那樣的形狀。在圖19及圖20所示的變形例中，由于縮小了節(jié)流件保持襯套65的截面積，因此， 可擴(kuò)大節(jié)流件保持襯套65和流路壁部64的各邊緣彼此的交界及分流口 72a的距離。因此， 即使在節(jié)流件保持襯套65和流路壁部54的各邊緣彼此的交界的氣體的流動(dòng)產(chǎn)生湍流，也 難以對(duì)流入分流口 72a的氣體帶來(lái)影響，從而可使分流比穩(wěn)定。圖21(a)是表示第一實(shí)施方式的另一變形例的流量測(cè)定裝置95的剖面圖，圖 21 (b)是圖21 (a)的W-W線的剖面圖。另夕卜，圖22是表示流量測(cè)定裝置95的流路塊52的 立體圖。在該變形例中，下端的分流口 72a在流路壁部54的壁面53a形成開(kāi)口，且垂直地 形成有兩個(gè)分流導(dǎo)入流路72。在副流路形成室57的底面，以連接左右分流導(dǎo)入流路72的 上端間的方式水平地設(shè)置合流流路96。同樣，以連接左右分流回收流路73的上端間的方式 水平地設(shè)置分散流路97。此外，以連接合流流路96的中央和分散流路97的中央的方式設(shè) 置副流路56。在該流量測(cè)定裝置95中，流經(jīng)主流路53的氣體的一部分從兩個(gè)部位的分流口 72a 通過(guò)分流導(dǎo)入流路72流入合流流路96，從兩端流入合流流路96的氣體從其中央部被送入 副流路56，在通過(guò)副流路56時(shí)由流量檢測(cè)元件61測(cè)定流量。而且，通過(guò)副流路56的氣體流 入分散流路97且被左右分開(kāi)，通過(guò)分流回收流路73，再次從回收口 73a返回到主流路53， 與通過(guò)主流路53的氣體一起流動(dòng)。
13
因此，根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，可將從兩個(gè)部位的分流口 72a分流的氣體匯集到一條副 流路56，將流速分布的偏差進(jìn)行平均化之后，由流量檢測(cè)元件61測(cè)定氣體的流速。因此，可 使副流路56的流量穩(wěn)定，可提高流量的測(cè)定精度。另外，由于副流路部55b的結(jié)構(gòu)無(wú)特別限制，因而除圖21及圖22所示的之外，也 可以是專利文獻(xiàn)1及(日本)特愿2008-222992所公示的結(jié)構(gòu)。(第二實(shí)施方式)圖23是表示本發(fā)明第二實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置101的剖面圖。圖24是用于流 量測(cè)定裝置101的流路塊52的局部剖面的立體圖。圖25(a)是用于流量測(cè)定裝置101的 節(jié)流件保持襯套65的立體圖。如圖25(a)所示，在該流量測(cè)定裝置101中，切口部66不是貫穿節(jié)流件保持襯套 65的全長(zhǎng)而形成，而是使切口部66的長(zhǎng)度比節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度短。另一方面，如圖 24所示，在流路塊52的主流路53內(nèi)，留有形狀及尺寸與切口部66 —致的流路壁部54，在 此之外的區(qū)域形成有襯套收納部74a。分流口 72a在流路壁部54形成開(kāi)口，在流路壁部54 的邊緣和分流口 72a之間確保有足夠的距離以對(duì)分流比不產(chǎn)生影響。通過(guò)這樣的實(shí)施方式 中，也可以實(shí)現(xiàn)與第一實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置51同樣的作用效果。另外，如圖25(b)所示，在該實(shí)施方式所使用的節(jié)流件保持襯套65也可以分為具 有縫隙狀的切口部66的節(jié)流件保持襯套65a、和圓筒狀的節(jié)流件保持襯套65b。(第三實(shí)施方式)圖26為本發(fā)明第三實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置102的局部剖面的立體圖。在該實(shí) 施方式中，如以下進(jìn)行說(shuō)明的那樣，主流路53的后部(回收口 73a開(kāi)口的一側(cè))也采用與 前部(分流口 72a形成開(kāi)口的一側(cè))一樣的結(jié)構(gòu)。在流量測(cè)定裝置102中，主流路53內(nèi)不 設(shè)置定位止動(dòng)部75，從主流路部55a的前端面到后端面形成有流路壁部54和襯套收納部 74。因此，收納節(jié)流件63等之前的主流路從主流路部55a的前端面到后端面成為均勻的截 面形狀。在襯套收納部74的后部插有一節(jié)流件保持襯套65，在其前面插入有節(jié)流件63，在 節(jié)流件63的前方，在節(jié)流件收納部74插有另一節(jié)流件保持襯套65。一節(jié)流件保持襯套65 的長(zhǎng)度和節(jié)流件63的厚度及另一節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度的合計(jì)尺寸與主流路部55a的 前端面和后端面的距離相等(或者，在將彈性部件92插入節(jié)流件保持襯套65的端面的情 況下，上述合計(jì)尺寸比主流路55a的前端面和后端面的距離短若干)，通過(guò)在流路塊52的兩 面安裝端蓋68，將節(jié)流件63夾持在節(jié)流件保持襯套65間并定位保持。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置102，在將前后的節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度之和保 持為恒定的狀態(tài)下，通過(guò)改變各節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度，可使節(jié)流件63的位置發(fā)生變 化，由此，可調(diào)整分流比。(第三實(shí)施方式的變形例)圖27為表示第三實(shí)施方式的變形例的局部剖面的立體圖。在該流量測(cè)定裝置103 中，分別由長(zhǎng)度短的多個(gè)節(jié)流件保持襯套65c形成前后節(jié)流件保持襯套65。這些節(jié)流件保 持襯套65c優(yōu)選使用相同長(zhǎng)度。根據(jù)這樣的變形例，可根據(jù)各節(jié)流件保持襯套65c之間的間隙中在哪個(gè)間隙夾持 節(jié)流件63來(lái)自由改變節(jié)流件63的位置，由此，可調(diào)整分流比。另外，也可以在節(jié)流件保持襯套65c間夾持氣體整流板等。(第四實(shí)施方式)圖28為本發(fā)明第四實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置104局部剖面的立體圖。在圖28的 流量測(cè)定裝置104中，通過(guò)加長(zhǎng)節(jié)流件63的長(zhǎng)度來(lái)擴(kuò)大流體阻力。在流體阻力發(fā)生變化時(shí)， 只要使節(jié)流件63的開(kāi)口面積發(fā)生變化即可，但如本實(shí)施方式，通過(guò)改變節(jié)流件63的長(zhǎng)度也 可使流體阻力發(fā)生變化，可調(diào)整分流比。在使節(jié)流件63的長(zhǎng)度發(fā)生變化的情況下，據(jù)此只要使如第一實(shí)施方式那樣的結(jié) 構(gòu)的節(jié)流件保持襯套65的長(zhǎng)度發(fā)生變化，或者使如第三實(shí)施方式那樣的結(jié)構(gòu)的前后節(jié)流 件保持襯套65的長(zhǎng)度發(fā)生變化，或者在如第三實(shí)施方式的變形例那樣的結(jié)構(gòu)中增減前部 或者后部的節(jié)流件保持襯套65c的個(gè)數(shù)即可。(第五實(shí)施方式)圖29為本發(fā)明第五實(shí)施方式的流量測(cè)定裝置105的立體圖。圖30為將流量測(cè)定 裝置105局部分解后的立體圖。在該流量測(cè)定裝置105中，分別形成構(gòu)成流路塊52的主流 路部55a和副流路部55b。在主流路部55a的上面設(shè)有用于嵌入副流路部55b的下端部并 對(duì)其定位的凹部106，在凹部106內(nèi)使分流導(dǎo)入流路72的上端和分流回收流路73的上端開(kāi) 口。副流路部55b使用市場(chǎng)銷售或者已有的流量測(cè)定裝置。在副流路部55b的內(nèi)部設(shè)有副 流路56(市場(chǎng)銷售或者已有的流量測(cè)定裝置的流路)和流量檢測(cè)元件61，副流路56的兩端 在副流路部55b的下面開(kāi)口。在組裝主流路部55a和副流路部66b時(shí)，在分流導(dǎo)入流路72及分流回收流路73 的上端開(kāi)口的周圍分別放入0型環(huán)，將副流路55b的下端部嵌入凹部106并對(duì)其進(jìn)行定位， 而且，將副流路56的下面開(kāi)口分別與分流導(dǎo)入流路72和分流回收流路73連接。而且，利 用螺栓將副流路部55b固定于主流路部55a的上面。根據(jù)這樣的實(shí)施方式，可利用市場(chǎng)銷售或者已有的流量測(cè)定裝置制作旁通型流量 測(cè)定裝置。(其它的實(shí)施方式)在第一實(shí)施方式及第二實(shí)施方式等中，在分流口 72a形成開(kāi)口的一側(cè)(前部)在 主流路53設(shè)有流路壁部54及襯套收納部74，并通過(guò)從前方插入襯套收納部74的節(jié)流件保 持襯套65來(lái)抑制收納于主流路53的節(jié)流件63。與此相反，也可以在回收口 73a的開(kāi)口的 一側(cè)(后部)在主流路53設(shè)置流路壁部54及襯套收納部74，通過(guò)從后方插入襯套收納部 74的節(jié)流件保持襯套65來(lái)抑制收納于主流路53的節(jié)流件63。另外，也可對(duì)連接孔69實(shí)施螺紋加工。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明的流量測(cè)定裝置用于測(cè)定氣體的流量，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。例如在氣量計(jì)及 燃料電池中可用于測(cè)定氣體流量的用途。另外，還可以應(yīng)用于對(duì)睡眠時(shí)無(wú)呼吸癥候群的治 療儀器等醫(yī)療設(shè)備、工廠的監(jiān)視空氣流量的工業(yè)設(shè)備(工業(yè)用空氣管線)、設(shè)備組裝用途寸。
權(quán)利要求
一種流量測(cè)定裝置，具備流路塊，其具有兩端開(kāi)口的主流路和從所述主流路分支的副流路；流量測(cè)定元件，其設(shè)置于所述副流路；分流口及回收口，其在所述主流路的壁面開(kāi)口且與所述副流路連通，將流到所述主流路的氣體的一部分從所述分流口向所述副流路分流，使通過(guò)所述副流路的氣體從所述回收口返回到所述主流路，其特征在于，在所述流路塊的作為所述主流路的空間的周面，在除了含有所述分流口的區(qū)域和含有所述回收口的區(qū)域以外的區(qū)域，凹設(shè)有保持部件收納部，在所述主流路內(nèi)收納有節(jié)流件，嵌入所述保持部件收納部的節(jié)流件保持部件通過(guò)與所述節(jié)流件抵接而保持所述節(jié)流件，所述主流路的壁面由所述主流路中形成有所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁面和所述節(jié)流件保持部件的內(nèi)面構(gòu)成。
2.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，在所述流路塊的作為所述主流路 的空間的周面突設(shè)有定位止動(dòng)部，通過(guò)使所述節(jié)流件抵接于所述定位止動(dòng)部進(jìn)行定位，在 所述節(jié)流件保持部件的端面和所述定位止動(dòng)部之間夾持并保持所述節(jié)流件。
3.如權(quán)利要求2所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，在所述流路塊的作為所述主流路 的空間的周面，從所述定位止動(dòng)部朝向所述流路塊的一端面凹設(shè)有均勻的截面形狀的保持 部件收納部，在所述節(jié)流件保持部件上貫穿其長(zhǎng)度方向的全長(zhǎng)而形成有切口部，以在所述 節(jié)流件保持部件的切口部收納所述主流路中的形成所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁 面的方式，將所述節(jié)流件保持部件插入所述保持部件收納部。
4.如權(quán)利要求2所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，在所述流路塊的作為所述主流路 的空間的周面，從所述定位止動(dòng)部朝向所述流路塊的一端面設(shè)有均勻的截面形狀的保持部 件收納部，在所述節(jié)流件保持部件上貫穿其長(zhǎng)度方向的一部分而形成有切口部，以在所述 節(jié)流件保持部件的切口部收納所述主流路中的形成所述保持部件收納部的區(qū)域以外的壁 面的方式，將所述節(jié)流件保持部件插入所述保持部件收納部。
5.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，在所述流路塊的作為所述主流路 的空間的周面設(shè)有槽狀的保持部件收納部，在所述節(jié)流件的外周面設(shè)有突起，在所述保持 部件收納部嵌入所述突起并將所述節(jié)流件收納于所述主流路內(nèi)，通過(guò)插入到所述保持部件 收納部的棒狀的所述節(jié)流件保持部件保持所述節(jié)流件。
6.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，利用從所述主流路的一開(kāi)口嵌入 到所述保持部件收納部的所述節(jié)流件保持部件、和從所述主流路的另一開(kāi)口嵌入到所述保 持部件收納部的另一所述節(jié)流件保持部件，夾持并保持收納于所述主流路內(nèi)的節(jié)流件。
7.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，所述節(jié)流件保持部件由多個(gè)節(jié)流 件保持部件構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，通過(guò)安裝于所述流路塊的端面的 端蓋按壓所述節(jié)流件保持部件的端面。
9.如權(quán)利要求8所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，在所述節(jié)流件保持部件的端面和 所述端蓋之間夾持有彈性部件。
10.如權(quán)利要求1所述的流量測(cè)定裝置，其特征在于，所述流路塊通過(guò)將彼此分體的主流路部和副流路部組裝而構(gòu)成，在所述主流路部形成所述主流路，在所述副流路部形成所 述副流路。
全文摘要
一種流量測(cè)定裝置，在利用節(jié)流件保持部件保持節(jié)流件的旁通結(jié)構(gòu)的流量測(cè)定裝置中，減小了因節(jié)流件保持部件的制造偏差引起的分流比的變化。在流路塊設(shè)置主流路，并且與主流路并排地設(shè)置副流路。在主流路的前半部，外周面凹設(shè)截面C字形的襯套收納部，將沒(méi)有襯套收納部的部分作為流路壁部。在使主流路和副流路連通的分流導(dǎo)入流路及分流回收流路中，分流導(dǎo)入流路的分流口在主流路的前部在流路壁部開(kāi)口，分流回收流路的回收口在主流路的后部在主流路的壁面開(kāi)口。節(jié)流件從前方收納于主流路內(nèi)且與定位止動(dòng)部抵接，通過(guò)從前方插入節(jié)流件保持襯套的端面使節(jié)流件保持于襯套收納部。
文檔編號(hào)G01F1/684GK101943590SQ20101012504
公開(kāi)日2011年1月12日 申請(qǐng)日期2010年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月1日
發(fā)明者上田直亞, 前田修治, 山本克行, 辻雄二 申請(qǐng)人:歐姆龍株式會(huì)社