專利名稱：激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及激光參數(shù)測量，特別是一種激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，可對激光單脈沖能量、波長、脈沖寬度、重復(fù)頻率、M2因子、遠(yuǎn)場發(fā)散角、束腰直徑和指向穩(wěn)定性進(jìn)行測試。

背景技術(shù)：
要對激光束的性能進(jìn)行測試，常規(guī)的做法是針對不同的激光參數(shù)，使用不同的測試光路和測量器件 (1)脈沖激光單脈沖能量(或連續(xù)激光功率)的測量使用常規(guī)的熱釋電型能量(或功率)計，熱釋電型探測器有著很寬的光譜范圍和較高的探測率，適用于室溫下脈沖激光單脈沖能量(或連續(xù)激光功率)的測量； (2)激光波長用常見的光柵分光的方法進(jìn)行測量，根據(jù)測量波長和分辨率選擇光柵類型及刻線密度； (3)脈沖激光的重復(fù)頻率和脈寬用示波器測量，根據(jù)測量重復(fù)頻率和脈寬選擇示波器的帶寬和采樣率； (4)激光束腰直徑的測量方法有可變光闌法、移動刀口法、移動狹縫法和面陣CCD相機探測法，其中面陣CCD法因其操作簡便而被廣泛使用； (5)遠(yuǎn)場發(fā)散角的測量方法，是用設(shè)計良好的透鏡對待測激光束進(jìn)行聚焦，其焦距為f，用(4)中提到的方法測量透鏡后焦面處的光斑直徑df，則待測激光束的遠(yuǎn)場發(fā)散角可表示為 (6)指向穩(wěn)定性的測量方法，對待測激光束進(jìn)行聚焦，透鏡焦距為f，用CCD在透鏡后焦面處進(jìn)行激光光斑探測，根據(jù)光斑圖像的一階能量分布計算得到光斑的質(zhì)心，連續(xù)進(jìn)行多次光斑探測即可得到激光束在X，Y方向的質(zhì)心位置偏差σx，σy，則激光束在X，Y方向上的指向穩(wěn)定性可表示為 (7)M2因子的測量，目前已發(fā)展有多種技術(shù)，詳細(xì)介紹如下。
激光束的M2因子是描述激光特性的重要技術(shù)指標(biāo)，它的定義為
M2因子同時包含了激光束的近場特性和遠(yuǎn)場特性，也具有無像差光學(xué)系統(tǒng)傳輸不變性的重要特點，使得其得以廣泛推廣。
關(guān)于激光束M2因子、束腰直徑和遠(yuǎn)場發(fā)散角的測量，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織規(guī)定，“可以通過測量不同傳輸位置z的光束寬度的二次曲線擬合后得到。這樣，至少需要測量10個點，其中至少有半數(shù)應(yīng)該是在光腰任一側(cè)的一個瑞利長度內(nèi)，并且至少有一半應(yīng)該分布在離開光腰2個瑞利長度內(nèi)”。具體測量方法的實現(xiàn)主要有如下幾種 一是用一個設(shè)計良好的透鏡將待測激光束聚焦以保證激光束適宜于CCD相機探測，CCD相機在聚焦光束的傳輸方向上對束腰前后不同位置處的光斑進(jìn)行采集，再經(jīng)二次曲線擬合得到M2因子。這種技術(shù)操作簡單，是比較成熟的測量技術(shù)，使用該技術(shù)的商品化的測量儀器有美國Spiricon公司的M2-200和美國Photon公司的ModeScan。
二是A.E.Siegman所用的三點法。A.E.Siegman在1992年采用一個焦距為100mm的透鏡對激光束進(jìn)行聚焦，用三塊分光鏡將光束分為強度一樣的三束，并分別測量聚焦光束的束腰直徑和兩個焦后位置的光束直徑，經(jīng)計算得到激光束的M2因子。該方法的缺點是光斑采集樣點太少，測量誤差大。
三是使用兩塊正交偏心菲涅爾光柵將待測激光束同時分成9束，在接收面上得到的9個光程互不相同的光斑，即可同時實現(xiàn)激光束不同位置處的光斑采集。該方法的優(yōu)點是可實現(xiàn)M2因子的實時測量，不過該偏心菲涅爾光柵設(shè)計復(fù)雜，難于操作，光柵的存在易引入較大的像差，且所接收光斑由于不是垂直光束的正面接收而存在光強分布的失真。
四是使用設(shè)計良好的透鏡對待測激光束進(jìn)行聚焦，再用雙平行平板對聚焦光束進(jìn)行分光，同時得到激光束10個光程互不相同的光斑，即可同時實現(xiàn)激光束不同位置處的光斑采集。該方法的優(yōu)點是可實現(xiàn)M2因子的實時測量，并適宜于大能量激光的測量。該方法得到的各光斑的峰值功率密度差異和光程差與兩平行平板的間距和激光束進(jìn)入平板的入射角和有關(guān)，要保證M2因子計算的精確性，需對兩平行平板的間距和激光束進(jìn)入平板的入射角進(jìn)行準(zhǔn)確調(diào)節(jié)，增加了該方法使用的復(fù)雜度。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，實現(xiàn)用一臺儀器測量激光多個參數(shù)，包括單脈沖能量、脈沖寬度、重復(fù)頻率、波長、M2因子、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和指向穩(wěn)定性等。本發(fā)明的特點是實用，結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡單。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下 一種激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，特點在于其構(gòu)成包括 在待測激光束的前進(jìn)方向斜置一平面反射鏡，該平面反射鏡將所述的待測激光束分為透射光束和反射光束 在所述的透射光束的光路上設(shè)置能量探頭，該能量探頭的入射面固定有毛玻璃，該能量探頭的輸出端經(jīng)第二數(shù)據(jù)采集卡與計算機相連； 在所述的反射光束的光路上依次設(shè)置可調(diào)衰減器和尖劈分光鏡，該尖劈分光鏡將所述的反射光束又分成兩束激光第一束激光由短焦距凹球面反射鏡成像，由第一數(shù)字面陣CCD相機接收以觀察近場光斑，該第一數(shù)字面陣CCD相機的輸出端經(jīng)圖像采集卡接所述的計算機；第二束激光經(jīng)長焦距凹球面反射鏡成像后，由位于移動平臺上的第二數(shù)字面陣CCD相機采集光斑，該第二數(shù)字面陣CCD相機的輸出端經(jīng)所述的圖像采集卡接所述的計算機，該計算機的輸出端經(jīng)控制卡接驅(qū)動電路，該驅(qū)動電路的輸出端接步進(jìn)電機，該步進(jìn)電機驅(qū)動所述的移動平臺運動；所述的可調(diào)衰減器與所述的計算機相連； 在所述的能量探頭的毛玻璃的激光漫反射空間分別設(shè)置硅光電二極管、光電探測器和光纖接收頭，所述的硅光電二極管經(jīng)第一數(shù)據(jù)采集卡與計算機相連，所述的光電探測器與計算機相連，所述的光纖接收頭接光譜議的輸入端，該光譜議的輸出端接所述的計算機。
所述短焦距凹球面反射鏡焦距為f1，長焦距凹球面反射鏡焦距為f2，第一數(shù)字面陣CCD相機到短焦距凹球面反射鏡的距離≤f1；所述的第二數(shù)字面陣CCD相機到所述的長焦距凹球面反射鏡的最短距離d0滿足0.8f2＜d0＜f2，所述的長焦距凹球面反射鏡離軸角≤3°。
所述計算機具有相應(yīng)的軟件，負(fù)責(zé)系統(tǒng)內(nèi)各測量器件的控制和各測量參數(shù)的讀取、數(shù)據(jù)處理、存儲、顯示及輸出打印。
本發(fā)明的優(yōu)點是 1.在本發(fā)明中，用能量探頭接收待測激光束的透射光束實現(xiàn)了單脈沖能量的測量，能量探頭表面固定的毛玻璃為硅光電二極管、光電探測器和光譜儀提供散射光，實現(xiàn)了脈沖寬度、重復(fù)頻率和波長的測量，尖劈分光鏡待測激光束的反射光束分為兩束，該兩束光分別由兩凹球面反射鏡成像并分別由兩個CCD接收，實現(xiàn)了近場光斑的觀察和M2因子、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角、指向穩(wěn)定性的測量，設(shè)備集成度高。
2.本發(fā)明除了可對脈沖激光進(jìn)行測量，也可對連續(xù)激光進(jìn)行測量，只是表征參數(shù)不同功率、波長、M2因子、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和指向穩(wěn)定性。
3.在本發(fā)明中，各參數(shù)的測試單元相互獨立又可同時運作，可單獨對某個激光參數(shù)進(jìn)行測量，又可實現(xiàn)激光各參數(shù)的同步、實時測量。
4.在本發(fā)明中，對于M2因子、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和指向穩(wěn)定性的測量，使用長焦距凹球面反射鏡作為聚光元件，而且該凹球面反射鏡以小離軸角放置，因此無色差引入，所引入的球差和像散相對較小。



圖1為本發(fā)明激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明M2因子等參數(shù)的測量流程圖。
圖3為本發(fā)明激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的測試流程圖。

具體實施例方式 下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。
先請參閱圖1，圖1為本發(fā)明激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖1可見，本發(fā)明激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的構(gòu)成是 在待測激光束22的前進(jìn)方向斜置一平面反射鏡1，該平面反射鏡1將所述的待測激光束22分為透射光束23和反射光束24 在所述的透射光束23的光路上設(shè)置能量探頭15，該能量探頭15的入射面固定有毛玻璃14，該能量探頭15的輸出端經(jīng)第二數(shù)據(jù)采集卡16與計算機8相連； 在所述的反射光束24的光路上依次設(shè)置可調(diào)衰減器2和尖劈分光鏡3，該尖劈分光鏡3將所述的反射光束又分成兩束激光第一束激光25由短焦距凹球面反射鏡4成像，由第一數(shù)字面陣CCD相機6接收以觀察近場光斑，該第一數(shù)字面陣CCD相機6的輸出端經(jīng)圖像采集卡21接所述的計算機8；第二束激光26經(jīng)長焦距凹球面反射鏡5成像后，由位于移動平臺17上的第二數(shù)字面陣CCD相機7采集光斑，該第二數(shù)字面陣CCD相機7的輸出端經(jīng)所述的圖像采集卡21接所述的計算機8，該計算機8的輸出端經(jīng)控制卡20接驅(qū)動電路19，該驅(qū)動電路19的輸出端接步進(jìn)電機18，該步進(jìn)電機18驅(qū)動所述的移動平臺17運動；所述的可調(diào)衰減器2與所述的計算機8相連； 在所述的能量探頭15的毛玻璃14的激光漫反射空間分別設(shè)置硅光電二極管9、光電探測器13和光纖接收頭11，所述的硅光電二極管9經(jīng)第一數(shù)據(jù)采集卡10與計算機8相連，所述的光電探測器13與計算機8相連，所述的光纖接收頭11接光譜議12的輸入端，該光譜議12的輸出端接所述的計算機8。
所述的第一數(shù)據(jù)采集卡10，第二數(shù)據(jù)采集卡16、圖像采集卡21和控制卡20為所述的的計算機8所有。所述平面反射鏡1不鍍膜；尖劈分光鏡3不鍍膜；用于近場光斑觀察的第一數(shù)字面陣CCD相機6位置固定；用于M2因子測量的第二數(shù)字面陣CCD相機7由步進(jìn)電機18帶動，該步進(jìn)電機18由驅(qū)動電路19驅(qū)動并由控制卡20控制；連接硅光電二極管9的第一數(shù)據(jù)采集卡10實現(xiàn)光脈沖轉(zhuǎn)換成的電脈沖信號的數(shù)據(jù)采集；連接能量探頭15的第二數(shù)據(jù)采集卡16實現(xiàn)脈沖能量值轉(zhuǎn)換成的電壓值的采集；連接第一數(shù)字面陣CCD相機6和第二數(shù)字面陣CCD相機7的圖像采集卡21實現(xiàn)數(shù)字光斑圖像的采集；光電探測器13接計算機8；可調(diào)衰減器接計算機8。
短焦距凹球面反射鏡4焦距為f1，長焦距凹球面反射鏡5焦距為f2。用于近場光斑觀察的第一數(shù)字面陣CCD相機6到短焦距凹球面反射鏡4的距離≤f1。用于M2因子測量的第二數(shù)字面陣CCD相機7到長焦距凹球面反射鏡5的最短距離d0滿足0.8f2＜d0＜f2，該長焦距凹球面反射鏡5的離軸角≤3°。所述計算機8具有專門的操作軟件，負(fù)責(zé)系統(tǒng)內(nèi)各測量用器件的控制，和各測量參數(shù)的數(shù)據(jù)讀取、處理、顯示及打印。
圖3為本發(fā)明激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)的測試流程圖。本發(fā)明裝置詳細(xì)的工作情況如下 待測入射激光束22入射到不鍍膜的第一平面反射鏡1上，透射光束23入射到表面固定有毛玻璃14的能量探頭15上，該能量探頭15接收透過毛玻璃14的透射光得到脈沖能量轉(zhuǎn)換成的電壓值，再經(jīng)第二數(shù)據(jù)采集卡16采集將單脈沖能量測量信號提供給計算機8；硅光電二極管9接收毛玻璃14的散射光得到光脈沖信號轉(zhuǎn)換成的電脈沖信號，經(jīng)第一數(shù)據(jù)采集卡10采集將該電脈沖信號提供給計算機8；光電探測器13接收散射光并將測量得到的脈沖重復(fù)頻率值提供給計算機8；光譜儀12的光纖接頭11接收散射光并將之傳輸給該光譜儀12，該光譜儀12將測得的光波長信號提供給計算機8。
待測入射光束22經(jīng)平面反射鏡1和可調(diào)衰減器2后到達(dá)尖劈分光鏡3，激光束24被分為兩束第一激光束25經(jīng)短焦距凹球面反射鏡4成像被第一數(shù)字面陣CCD相機6接收以觀察待測激光束22的近場光斑。第二激光束26經(jīng)長焦距凹球面反射鏡5成像由第二數(shù)字面陣CCD相機7接收，該第二數(shù)字面陣CCD相機7在步進(jìn)電機17帶動的移動平臺17的帶動下在激光束27的束腰兩側(cè)不同位置處進(jìn)行光斑采集，得到不同位置處的光斑直徑，再經(jīng)二次曲線擬合和相關(guān)數(shù)學(xué)計算得到待測激光束22的M2因子、束腰直徑和遠(yuǎn)場發(fā)散角。所述步進(jìn)電機18由驅(qū)動電路19驅(qū)動并經(jīng)控制卡20從計算機8接收控制指令或向其返回相關(guān)數(shù)據(jù)。所述第一數(shù)字面陣CCD相機6和第二數(shù)字面陣CCD相機7經(jīng)圖像采集卡21從計算機8接收圖像幀讀取指令，并向該計算機8傳輸數(shù)字光斑圖像。
M2因子等參數(shù)的測量過程如圖2所示。對光斑直徑的求取使用的是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織規(guī)定的二階矩算法。設(shè)光束沿直角坐標(biāo)系中的z軸傳播，光束橫截面位于x-y平面內(nèi)，對一個位置為z的光斑，光斑上某點的光強值I(x，y，z)由光斑圖像上該點處的像素值表示，光斑在x，y兩個方向上的歸一化光強分布函數(shù)的一階矩為 其中x，y分別是光斑在x，y兩個方向上的歸一化光強分布函數(shù)一階矩，二者的物理意義是光斑在x，y兩個方向上的光強分布重心。進(jìn)而還可以求出光斑光強分布的二階矩，即 其中σx2(z)，σy2(z)分別為光斑在x，y兩個方向上的歸一化光強分布函數(shù)二階矩，光斑基于二階矩的直徑可以表示為 Dx(z)＝4σx(z)，Dy(z)＝4σy(z)，(3) 其中Dx(z)，Dy(z)分別為光斑x，y兩個方向的直徑。因此只要將光斑圖像上的各點像素值按(1)、(2)、(3)式進(jìn)行計算，即可得到該光斑的直徑。
激光束在各個位置處的光斑直徑隨著光束沿z軸傳輸而成雙曲線的規(guī)律發(fā)展，要知道激光束27的具體傳輸規(guī)律，需對不同位置處采集光斑的直徑進(jìn)行二次曲線擬合，即 用得到的擬合系數(shù)ax，bx，cx，ay，by，cy就可得到激光束27的M2因子、束腰位置、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和瑞利長度，計算公式為 其中Mx，22，My，22分別是x，y方向的M2因子，z0x，2，z0y，2分別是x，y方向的束腰位置，d0x，2，d0y，2分別是x，y方向的束腰直徑，θx，2，θy，2分別是x，y方向的發(fā)散角，ZRx，2，ZRy，2分別是x，y方向的瑞利長度。(5)式求的是激光束27的M2因子、束腰位置、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和瑞利長度，而待測激光束22只有M2因子與激光束27相同，要得到待測激光束22的束腰位置、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和瑞利長度，可根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織提供的如下公式進(jìn)行計算 fx＝f2cos(α)， fy＝f2/cos(α) d0x，1＝Vxd0x，2， d0y，1＝Vyd0y，2 其中α是長焦距凹球面反射鏡5離軸角，f2是長焦距凹球面反射鏡5的焦距，fx和fy分別是長焦距凹球面反射鏡5在子午面和弧矢面上的實際焦距。
激光束指向穩(wěn)定性的測量，是用第二數(shù)字面陣CCD相機7在長焦距凹球面反射鏡5的后焦點處(也是步進(jìn)電機18掃描行程上的某一處)進(jìn)行多幅光斑圖像采集，用(1)式計算出每幅圖像的光斑質(zhì)心位置，再經(jīng)數(shù)據(jù)處理得到多幅光斑圖像的質(zhì)心位置平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差(σ0x，σ0y)，光束的指向穩(wěn)定性(δ0x，δ0y)可表示為 fx和fy表達(dá)式見(6)式。
具體實施例 平面反射鏡1帶5°楔角以防止平面反射鏡1的后表面反射光進(jìn)入測試光路，且由于用到透射光，該鏡片不鍍膜。尖劈分光鏡3的楔角為3°，不鍍膜。短焦距凹球面反射鏡4和長焦距凹球面反射鏡5鍍99.9％高反膜。短焦距凹球面反射鏡4的焦距選為250mm(曲率半徑500mm)，長焦距凹球面反射鏡5的焦距選為1000mm(曲率半徑2000mm)，長焦距凹球面反射鏡(5)的離軸角為2°，第二數(shù)字面陣CCD相機7到長焦距凹球面反射鏡5的最短距離為850mm。步進(jìn)電機18帶動第二數(shù)字面陣CCD相機7進(jìn)行光斑圖像采集前，通過計算機8的相應(yīng)軟件設(shè)定第二數(shù)字面陣CCD相機7的初始位置為850mm，第二數(shù)字面陣CCD相機7的移動間隔為20mm，調(diào)節(jié)可調(diào)衰減器2的衰減量以保證激光束27以合適的光強被第二數(shù)字面陣CCD相機7接收。經(jīng)計算機8按上述公式(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)對采集的光斑進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，得到待測激光束23的M2因子、束腰位置、束腰直徑、遠(yuǎn)場發(fā)散角和瑞利長度。通過步進(jìn)電機18的帶動，將第二數(shù)字面陣CCD相機7固定在距離長焦距凹球面反射鏡51000mm處，調(diào)節(jié)可調(diào)衰減器2的衰減量，對激光束27進(jìn)行連續(xù)多幅光斑圖像采集，經(jīng)計算機8按上述(1)、(7)式進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，得到待測激光束22的指向穩(wěn)定性。待測激光束22的單脈沖能量、脈沖寬度、重復(fù)頻率和波長可通過計算機8相應(yīng)軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)讀取和數(shù)據(jù)處理得到。
權(quán)利要求
1.一種激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，特征在于其構(gòu)成是
在待測激光束(22)的前進(jìn)方向斜置一平面反射鏡(1)，該平面反射鏡(1)將所述的待測激光束(22)分為透射光束(23)和反射光束(24)
在所述的透射光束(23)的光路上設(shè)置能量探頭(15)，該能量探頭(15)的入射面固定有毛玻璃(14)，該能量探頭(15)的輸出端經(jīng)第二數(shù)據(jù)采集卡(16)與計算機(8)相連；
在所述的反射光束(24)的光路上依次設(shè)置可調(diào)衰減器(2)和尖劈分光鏡(3)，該尖劈分光鏡(3)將所述的反射光束又分成兩束激光第一束激光(25)由短焦距凹球面反射鏡(4)成像，由第一數(shù)字面陣CCD相機(6)接收以觀察近場光斑，該第一數(shù)字面陣CCD相機(6)的輸出端經(jīng)圖像采集卡(21)接所述的計算機(8)；第二束激光(26)經(jīng)長焦距凹球面反射鏡(5)成像后，由位于移動平臺(17)上的第二數(shù)字面陣CCD相機(7)采集光斑，該第二數(shù)字面陣CCD相機(7)的輸出端經(jīng)所述的圖像采集卡(21)接所述的計算機(8)，該計算機(8)的輸出端經(jīng)控制卡(20)接驅(qū)動電路(19)，該驅(qū)動電路(19)的輸出端接步進(jìn)電機(18)，該步進(jìn)電機(18)驅(qū)動所述的移動平臺(17)運動；所述的可調(diào)衰減器(2)與所述的計算機(8)相連；
在所述的能量探頭(15)的毛玻璃(14)的激光漫反射空間分別設(shè)置硅光電二極管(9)、光電探測器(13)和光纖接收頭(11)，所述的硅光電二極管(9)經(jīng)第一數(shù)據(jù)采集卡(10)與計算機(8)相連，所述的光電探測器(13)與計算機(8)相連，所述的光纖接收頭(11)接光譜議(12)的輸入端，該光譜議(12)的輸出端接所述的計算機(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，其特征在于所述的短焦距凹球面反射鏡(4)焦距為f1，長焦距凹球面反射鏡(5)焦距為f2，第一數(shù)字面陣CCD相機(6)到短焦距凹球面反射鏡(4)的距離≤f1；所述的第二數(shù)字面陣CCD相機(7)到所述的長焦距凹球面反射鏡(5)的最短距離d0滿足0.8f2＜d0＜f2，所述的長焦距凹球面反射鏡(5)離軸角≤3°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，其特征在于所述計算機(8)具有相應(yīng)的軟件，負(fù)責(zé)系統(tǒng)內(nèi)各測量器件的控制和各測量參數(shù)的讀取、數(shù)據(jù)處理、存儲、顯示及輸出打印。
全文摘要
一種激光參數(shù)綜合測試系統(tǒng)，構(gòu)成包括尖劈分光鏡、凹球面反射鏡、數(shù)字面陣CCD相機、硅光電二極管、光電探測器、能量探頭、光譜儀、可調(diào)衰減器、步進(jìn)電機及帶有采集卡和控制卡的計算機，待測激光束入射到平面反射鏡上，利用該平面反射鏡的透射光測量激光束的單脈沖能量、脈沖寬度、重復(fù)頻率和波長，尖劈分光鏡將該平面反射鏡的反射光分為兩束，一束用來觀察近場光斑，另一束用來測量激光束的M2因子、遠(yuǎn)場發(fā)散角、束腰直徑和指向穩(wěn)定性。本發(fā)明可對激光束單脈沖能量、波長、脈沖寬度、重復(fù)頻率、M2因子及指向穩(wěn)定性進(jìn)行綜合、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量。
文檔編號G01J11/00GK101782435SQ20101012233
公開日2010年7月21日 申請日期2010年3月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月11日
發(fā)明者侯霞, 楊靜蕊, 陳衛(wèi)標(biāo), 劉榮濤, 楊燕, 胡善江, 夏文兵 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所