專利名稱：一種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，屬于精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在工業(yè)生產(chǎn)中，經(jīng)常遇到進(jìn)行真空度測(cè)量的場合，但是目前真空度測(cè)量裝置體積 較大，且價(jià)值昂貴，使用步驟繁瑣，限制了普通工業(yè)場合的應(yīng)用。

實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)上述不足，本實(shí)用新型提供了一種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，通過該裝置
可以快速測(cè)出空間空氣擊穿電壓，通過計(jì)算可得空間真空度。 本實(shí)用新型通過以下技術(shù)實(shí)現(xiàn) —種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，它設(shè)有電壓可變的高壓電源，高壓電壓表接在 電壓可變的高壓電源兩端，同時(shí)電壓可變的高壓電源的一端接針形電極，另一端接圓盤形 電極。 本實(shí)用新型的高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，主要由電壓可變的高壓電源，高壓電 壓表，針形電極，圓盤電極組成，其特征為該裝置由電壓可變的針形電極、高壓電源、圓盤 形電極逆時(shí)針構(gòu)成一組不閉合高壓擊穿電路，兩電極間距固定，高壓電壓表連接在電源兩 端，當(dāng)測(cè)量某一密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將兩間距固定的電極放置其中，調(diào)節(jié)電壓使針形電 極尖端放電，測(cè)出放電電壓，通過計(jì)算即可得所測(cè)空間真空度。 本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是放電電流小，即使操作失誤對(duì)人體傷害也不大且裝置體積 小，價(jià)格便宜，使用方便，特別適合在普通工業(yè)場合使用。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖中，1、電壓可變的高壓電源，2、高壓電壓表，3、針形電極，4、圓盤形電極。
具體實(shí)施方式
圖1中，該裝置由電壓可變的高壓電源1，針形電極3，圓盤形電極4構(gòu)成一組不 閉合的高壓擊穿電路，高壓電壓表2連接在電壓可變的高壓電源l，當(dāng)測(cè)量某一密閉空間內(nèi) 的真空度時(shí)，將兩間距固定的電極放置其中，調(diào)節(jié)電壓使針形電極3尖端放電，測(cè)出放電電 壓，通過計(jì)算即可得出被測(cè)密閉空間的真空度。
權(quán)利要求一種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，其特征是，它設(shè)有電壓可變的高壓電源，高壓電壓表接在電壓可變的高壓電源兩端，同時(shí)電壓可變的高壓電源的一端接針形電極，另一端接圓盤形電極。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種高壓擊穿型真空度測(cè)量裝置，它設(shè)有電壓可變的高壓電源，高壓電壓表接在電壓可變的高壓電源兩端，同時(shí)電壓可變的高壓電源的一端接針形電極，另一端接圓盤形電極。當(dāng)測(cè)量某一密閉空間內(nèi)的真空度時(shí)，將兩間距固定的電極放置其中，調(diào)節(jié)電壓使針形電極尖端放電，測(cè)出放電電壓，通過計(jì)算即可得所測(cè)空間真空度。
文檔編號(hào)G01L21/30GK201548372SQ20092025293
公開日2010年8月11日 申請(qǐng)日期2009年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月13日
發(fā)明者劉 東, 劉保龍, 李福騰, 李龍, 王兵, 程斌, 莫才勇 申請(qǐng)人:劉保龍