專利名稱：檢查用探針的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使觸頭與形成在檢查基板上的電路圖案接觸以對該電路圖案進行檢
查的檢查用探針。
背景技術(shù)：
在本發(fā)明中，檢查基板并不限于印刷電路板，本發(fā)明例如能夠用于檢查形成在柔性基板、多層布線基板、液晶顯示器或者等離子顯示器用的電極板、以及半導(dǎo)體封裝用的封裝基板或者膜式載體等各種基板或半導(dǎo)體晶片等上的電氣布線。在本說明書中將上述各種布線基板總稱為"基板"。[專利文獻l]日本特開2008-107229號公報 在專利文獻1中公開了由導(dǎo)電性的長條狀部件制造的檢查用觸頭。如專利文獻1中所記載的那樣，現(xiàn)有的探針例如由圓柱的芯材或金屬線制造，因此探針的形狀限定于圓柱或圓筒形狀，并且，比較難形成直線度，難以提高量產(chǎn)性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠提高量產(chǎn)性、容易降低價格、并且能夠容易地達成直線度的檢查用探針。 并且，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠容易地制造成各種形狀或尺寸的檢查用探針。 為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的檢查用探針的制造方法的特征在于，通過將檢查用探針從導(dǎo)電性的板狀部件切下的切下工序來制造檢查用探針，所述檢查用探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對該檢查基板的布線圖案的電氣特性進行檢查。
在該檢查用探針的制造方法中，切下工序包含以下工序?qū)⒍鄠€檢查用探針和連結(jié)多個檢查用探針的框架從導(dǎo)電性的板狀部件切下的工序；以及從框架將多個檢查用探針分開的工序。 并且，本發(fā)明所涉及的檢查用探針的制造方法的特征在于，檢查用探針的制造方法包含以下工序在導(dǎo)電性的板狀部件的表面上形成第一抗蝕劑層的工序，第一抗蝕劑層覆蓋與多個檢查用探針、連結(jié)多個檢查用探針的框架、以及形成在框架上并連接框架和各檢查用探針的連接部對應(yīng)的圖案；以第一抗蝕劑層作為掩膜對板狀部件進行蝕刻處理的工序；除去第一抗蝕劑層的工序；以及從連接部切斷從而將多個檢查用探針從框架分開的工序。 并且，本發(fā)明所涉及的檢查用探針的制造方法的特征在于，檢查用探針的制造方法包含以下工序形成第二抗蝕劑層的工序，第二抗蝕劑層覆蓋除了與多個檢查用探針、連結(jié)多個檢查用探針的框架、以及形成在框架上并連接框架和各檢查用探針的連接部對應(yīng)的圖案中的連接部以外的導(dǎo)電性的板狀部件的表面；以第二抗蝕劑層作為掩膜對連接部進行蝕刻處理的工序；除去第二抗蝕劑層的工序；形成第三抗蝕劑層的工序，第三抗蝕劑層覆
4蓋與多個檢查用探針、框架、以及連接部對應(yīng)的圖案；以第三抗蝕劑層作為掩膜對板狀部件 進行蝕刻處理的工序；除去第三抗蝕劑層的工序；以及從連接部切斷從而將多個檢查用探 針從框架分開的工序。 并且，本發(fā)明所涉及的片形狀的檢查用探針連結(jié)體的特征在于，片形狀的檢查用 探針連結(jié)體具備多個檢查用探針和連結(jié)多個檢查用探針的框架，多個檢查用探針經(jīng)由形成 在框架上的連接部與框架連接。 在該片形狀的檢查用探針連結(jié)體中，連接部也可以形成為比框架以及檢查用探針薄。 通過從連接部切斷從而將多個檢查用探針從框架分開，能夠?qū)⒍鄠€檢查用探針形 成單獨的檢查用探針。 并且，本發(fā)明所涉及的薄板形狀的檢查用探針的特征在于，使薄板形狀的檢查用 探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對檢查基板的布線圖案的電氣特性進行 檢查。 可以層疊多個薄板形狀的部件來形成檢查用探針。 并且，本發(fā)明所涉及的檢查用探針是薄板形狀的檢查用探針，使薄板形狀的檢查 用探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對檢查基板的布線圖案的電氣特性進 行檢查，其特征在于，檢查用探針具有連結(jié)在框架上的連接部的痕跡。 并且，本發(fā)明所涉及的檢查用探針的制造方法是制造用于與檢查基板的布線圖案
上的檢查點接觸從而對檢查基板的布線圖案的電氣特性進行檢查的檢查用探針的方法，其
特征在于，檢查用探針的制造方法包含以下工序從導(dǎo)電性的板狀部件切下薄板形狀的部
件的工序；以及層疊通過切下工序切下的多個薄板形狀的部件并進行壓接的工序。 在該檢查用探針的制造方法中，從導(dǎo)電性的板狀部件切下薄板形狀的部件的工序
也可以包含通過光刻從板狀部件切下薄板形狀的部件的工序。 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種提高了量產(chǎn)性且價格低的檢查用探針。 并且，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠容易地達成直線度的檢查用探針。 進一步，根據(jù)本發(fā)明，能夠容易地提供薄板形狀或者棱柱形狀之類的各種各樣的
形狀或尺寸的檢查用探針。


圖1 (a)是本發(fā)明的一個實施方式所涉及的檢查用探針的立體圖。圖1 (b)是示出
并列配置兩個本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針的狀態(tài)的立體圖。 圖2是示出并列配置兩個本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針的狀態(tài)的
俯視圖。 圖3是示出制造本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針時使用的板狀部件 的立體圖。 圖4是示出具備多個本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針和連結(jié)這些探 針的框架的片形狀的探針連結(jié)體的立體圖。 圖5A是在圖4中用虛線所示的圓包圍的部分的放大圖。
圖5B是從圖5A中的5B-5B線觀察的放大剖視圖。
圖6是用于說明將圖4所示的片形狀的探針連結(jié)體切下時的工序的流程圖。
圖7是示出制造本發(fā)明的第一實施方式所涉及的檢查用探針時使用的板狀部件的立體圖。 圖8A是示出本發(fā)明的其他的實施方式所涉及的檢查用探針的尖端部的尖端形狀的俯視圖。 圖8B是示出本發(fā)明的其他的實施方式所涉及的檢查用探針的尖端形狀的俯視圖。 圖9是示出現(xiàn)有的一例所涉及的檢查用探針的立體圖。
標號說明 10、70...檢查用探針；11、71...主體部；12、72...尖端部；20...螺旋彈簧；30...板狀部件；32、75...框架；38、78...圖案；34、36、74、76...枝狀部分；40...片形狀的探針連結(jié)體；50...空間；52...連接部；82e、82f...薄板形狀的部件。
具體實施例方式
以下，根據(jù)附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式所涉及的檢查用探針及其制造方法進行說明。 另外，在各個附圖中值得注意的是，為了容易理解，對各個部件的厚度、長度、形狀、以及部件彼此之間的間隔等進行了放大 縮小 變形 簡化等。 圖9是現(xiàn)有的檢查用探針90的立體圖。該檢查用探針90具備主體部91以及與
檢查基板的檢查點接觸的尖端部92，由導(dǎo)電性的圓柱狀的芯材或金屬線制造。并且，尖端部
92形成尖銳形狀，且在主體部91和尖端部92的外周面上涂覆了絕緣覆膜。 這種由導(dǎo)電性的圓柱狀的芯材或金屬線制造的檢查用探針比較難以提高量產(chǎn)性，
并且多數(shù)情況下難以使其具有直線度。因此，存在無法提高成品率的問題。并且，由于通過
對金屬線進行拉伸使其變得細長來形成探針，因此探針的形狀限定于圓柱狀或者圓筒狀。[檢查用探針的大致構(gòu)造] 圖1 (a)以及圖1 (b)分別示出利用本發(fā)明的制造方法制造的檢查用探針的第一實施方式和第二實施方式。 圖l(a)所示的本發(fā)明的第一實施方式所涉及的檢查用探針70形成直線狀的薄板形狀，該檢查用探針70具備主體部71 ;尖端部72，其與檢查基板上的布線圖案的檢查點接觸；以及后端部77，其與未圖示的基板檢查裝置電連接。并且，在檢查用基板70上形成有寬度較寬的部分73，當將檢查用探針70安裝在檢查夾具上時，該部分73與檢查夾具的一部分卡合從而被固定?？蓪⒃摍z查用探針70的厚度和寬度形成為大約0. lmm，也可以采用其他的任意尺寸的形狀。另外，該檢查用探針也可以由絕緣材料包覆。
當使用檢查用探針70對基板進行檢查時，使后端部77與基板檢查裝置(未圖示)的電極部導(dǎo)通連接，并使尖端部72與設(shè)在檢查基板上的檢查點導(dǎo)通接觸。由此，將基板檢查裝置的電極部和檢查點電連接在一起。例如，分別使一個檢查用探針70的尖端部72與檢查基板上的兩個檢查點接觸，并從基板檢查裝置對這兩個檢查用探針70供給電流，同時測定兩個檢查用探針70之間的電位差，由此來進行基板檢查。 并且，在檢查用探針70的寬度(面向圖l(a)時的左右方向的距離)較大的情況下，適用于如上所述的基于二端子測定法的基板檢查，但是，在沿重疊方向平行地離開間隔配置兩個檢查用探針的情況下、或者是檢查用探針的寬度較小的情況下，也能夠用于四端子測定法中。在該情況下，使用每兩根為一對的兩對檢查用探針70在兩個檢查點之間供給電流并測定電位差。 圖i (b)是示出并列配置兩個本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針10的狀
態(tài)的立體圖。兩個檢查用探針io形成為將棱柱形狀的部件折彎的形狀，各檢查用探針具備
主體部11和與檢查基板上的布線圖案的檢查點接觸的尖端部12。并且，兩個檢查用探針的外側(cè)表面分別由絕緣材料包覆。 在圖l(b)中，以使一方相對于另一方表里相反的方式配置兩個檢查用探針，進一步，以尖端部12比主體部相互接近的方式配置。之所以以這種方式配置尖端部12，是因為兩個檢查用探針的作用不同，是為了在兩個尖端部的尖端離開間隔的狀態(tài)下使它們與檢查基板上的一個狹窄區(qū)域的檢查點接觸。例如檢查點的縱X橫的尺寸為40iimX50iim。
圖2是以圖l(b)的方式并列配置的兩個檢查用探針的俯視圖。在圖2中，在圖l(b)的狀態(tài)的基礎(chǔ)上，將螺旋彈簧20連接在各檢查用探針10的主體部11的后端面上，該螺旋彈簧20的端部22與未圖示的檢查裝置連接。 例如，當進行一邊對兩個檢查點供給測定用電流一邊測定這兩個檢查點之間的電位差的四端子測定時，準備兩組圖2所示的結(jié)構(gòu)的檢查用探針10并以下述方式使用。
首先，使一組檢查用探針10的尖端部12的尖端與一個檢查點接觸，同時，使另一組檢查用探針10的尖端部12的尖端與另一個檢查點接觸。其次，在該狀態(tài)下，從未圖示的檢查裝置經(jīng)由各自端部22對一組中的一個檢查用探針10和另一組中的一個檢查用探針10供給電流，并經(jīng)由端部22在剩余的兩個檢查用探針10之間測定電位差。
但是，也可以使用采用兩根檢查用探針10的二端子測定法。在該情況下，使一方的檢查用探針10的后端的螺旋彈簧20的端部22與基板檢查裝置(未圖示)的電極部導(dǎo)通連接，并使尖端部12與設(shè)在檢查基板上的一個檢查點導(dǎo)通接觸。進一步，使另一方的檢查用探針10的后端的螺旋彈簧20的端部22與同一個基板檢查裝置(未圖示)的電極部導(dǎo)通連接，并使尖端部12與設(shè)在檢查基板上的另一個檢查點導(dǎo)通接觸。此后，從基板檢查裝置經(jīng)由兩個檢查用探針10使電流在兩個檢查點之間流動，并測定這兩個檢查點之間的電位差。由此檢查規(guī)定的布線圖案的電氣特性。
[檢查用探針的構(gòu)造] 圖3、圖4、圖5A以及圖5B是用于說明制造本發(fā)明的第二實施方式所涉及的檢查用探針I(yè)O的過程的圖。 圖3是導(dǎo)電性的板狀部件、例如金屬板或者鎢片的概要立體圖。板狀部件30例如具有寬度大約為10mm至20mm、長度大約為30mm、厚度大約為0. lmm的尺寸。該板狀部件的尺寸能夠根據(jù)待制造的檢查用探針的尺寸任意決定。并且，也可以使用從巻繞成輥狀的金屬片切下的需要的大小的金屬板。 如圖3所示，為了容易理解，在該板狀部件30的面上示出與從該板狀部件30切下的預(yù)定的多個檢查用探針10以及利用枝狀部分34、36連結(jié)上述多個檢查用探針的框架32對應(yīng)的圖案38。其中，上述多個檢查用探針10以及框架32的圖案38是在后述的蝕刻之前的光刻時形成在光掩模上的圖案，實際上并未描繪在板狀部件30上。但是，也可以將該圖案理解為表示對涂覆抗蝕劑之后的表面進行印相時殘留在表面上的抗蝕劑圖案的輪廓。
另外，在圖3和后述的圖4中，對于多個檢查用探針為了簡化圖面僅示出一部分，
"…"表示省略了檢查用探針。其中，待制造的檢查用探針的數(shù)量能夠根據(jù)需要任意決定。
圖4示出以使與圖3的圖案38對應(yīng)的部分殘留下來的方式對板狀部件30進行蝕
刻處理之后的狀態(tài)。如圖4所示，片形狀的探針連結(jié)體40被從板狀部件30切下而殘留下
來，該探針連結(jié)體40包含框架32和經(jīng)由枝狀部分34、36連結(jié)在框架32上的多個檢查用探
針10。 各檢查用探針10具有長度大約為10mm、寬度大約為0. lmm左右的尺寸。 圖5A是圖4所示的虛線的圓5A所包圍的部分的放大圖。該圖示出一個檢查用探
針10的靠近尖端部12的一側(cè)的一部分連結(jié)在框架32的枝狀部分36上的狀態(tài)。 如圖5A所示，在枝狀部分36的端部和檢查用探針10的靠近尖端部12的一側(cè)的
一部分之間形成有連接部52。 圖5B是從圖5A中所示的5B-5B線觀察的圖，是示出枝狀部分36和檢查用探針10的靠近尖端部12的一側(cè)的一部分之間通過連接部52連結(jié)在一起的狀態(tài)的剖面?zhèn)纫晥D。
如圖5A和圖5B所示，在連接部52的表面?zhèn)纫约氨趁鎮(zhèn)?或者連接部52的上方和下方)形成有空間50。該空間50能夠通過利用半蝕刻(half etching)處理除去該部分的板狀部件30形成。 并且，如圖5A和圖5B所示，由于連接部52形成為比檢查用探針10和枝狀部分36的厚度薄，因此通過將檢查用探針10相對于枝狀部分36折彎或者扭轉(zhuǎn)來切斷連接部52，能夠?qū)z查用探針10從枝狀部分36、即框架32分開。 然后，根據(jù)需要對檢查用探針10的切斷后的部分進行研磨，或者進行淬火以提高
硬度，或者對整體實施電鍍。[蝕刻處理] 圖6是用于對通過蝕刻處理從圖3的板狀部件30切下圖4所示的片形狀的探針連結(jié)體40時的工序進行說明的流程圖。另外，在與該圖的工序不同的工序中，預(yù)先在光掩模上形成與待制造的檢查用探針以及框架的形狀對應(yīng)的圖案，以便在蝕刻處理時使用。并且，為了通過半蝕刻處理除去與連接部52的空間50 (圖5A、圖5B)相當?shù)陌鍫畈考?0的一部分，預(yù)先在光掩模上形成與連接部52的形狀對應(yīng)的圖案。 該流程圖所示的工序大致由以下工序構(gòu)成首先，通過半蝕刻處理形成連接部52 (圖5A、圖5B)，接著，通過蝕刻處理切下片形狀的探針連結(jié)體40 (圖4)。
首先，在圖6的步驟S61中，根據(jù)期望的檢查用探針的形狀和數(shù)量準備需要的大小的板狀部件30，并對該板狀部件30的表面進行清潔。 接著，在步驟S62中，在該板狀部件30的表面和背面上涂布抗蝕劑。然后，使用描
繪有下述圖案的掩膜版將該圖案印相在涂布了抗蝕劑的兩面上，然后進行顯影，所述圖案
形成為當進行下一個工序的半蝕刻處理時僅除去連接部52的空間50。 在步驟S63中，使用蝕刻液體通過蝕刻僅將與抗蝕劑膜被除去而露出的與空間50
對應(yīng)的板狀部件的一部分除去。此時，通過對蝕刻速度進行控制等使得殘留有連接部52。 在步驟S64中，除去殘留在板狀部件30的表面和背面上的抗蝕劑膜。 在步驟S65中，再次在板狀部件30的表面和背面上涂布抗蝕劑。然后，使用描繪有與檢查用探針以及框架的形狀對應(yīng)的圖案的掩膜版將該圖案印相在涂布了抗蝕劑的表面和背面上，然后進行顯影。由此，在板狀部件30的表面和背面上殘留有與檢查用探針以及框架的形狀對應(yīng)的抗蝕劑。 在步驟S66中，使用蝕刻液體通過蝕刻將抗蝕劑膜被除去而露出的部分的板狀部件除去。 在步驟S67中，除去殘留在板狀部件30的表面和背面上的抗蝕劑膜。
其結(jié)果是，能夠形成圖4所示的片形狀的探針連結(jié)體40。 接著，通過切斷連接部52而將多個檢查用探針從框架32分開。由此，能夠得到一個一個地分離的檢查用探針。 圖7是用于制造圖1 (a)所示的本發(fā)明所涉及的第一實施方式所涉及的檢查用探針70的導(dǎo)電性的板狀部件30的概要立體圖。板狀部件30能夠使用與圖4相同的板狀部件。 如圖7所示，在該板狀部件30上示出與從該板狀部件30切下的預(yù)定的多個檢查用探針70和利用枝狀部分74、76將上述多個檢查用探針連結(jié)在一起的框架75對應(yīng)的圖案78。檢查用探針70形成直線狀的薄板形狀，尖端部72附近連結(jié)在枝狀部分76上，相反的后端部附近連結(jié)在枝狀部分74上。在該后端部附近形成有寬度較寬的部分73，當該檢查用探針70被安裝在檢查夾具上時，該部分73與該檢查夾具的一部分卡合來確定檢查用探針70的安裝位置。 另外，在圖7中，與圖3和圖4的實施方式的情況相同，對于多個檢查用探針，為了簡化圖面僅示出一部分，"…"表示省略了檢查用探針。在該實施方式中，待制造的檢查用探針的數(shù)量也能夠根據(jù)需要任意決定。 其次，對圖7所示的圖案78實施與圖3和圖4的實施方式相同的蝕刻處理，從而形成片形狀的探針連結(jié)體。雖然沒有圖示，但是，與圖4所示的實施例相同，在檢查用探針70和枝狀部分74、76之間的連結(jié)部形成有厚度減少的連接部。
[其他的實施方式] 在上述的實施例中，作為檢查用探針的形狀示出了將直線形狀或者棱柱狀的探針折彎后的形狀，但是，除此之外，也可以是具有彎曲部的形狀、具有與檢查夾具卡合的突出部的形狀等，只要能夠由板狀部件形成即可，可以是任何形狀。 圖8A示出檢查用探針的尖端部的形狀的其他的實施方式。圖4和圖7的檢查用探針10、70的尖端部12、72的尖端形狀為直線狀，但是，也可以如圖8A(a)所示那樣通過形成V字形狀的空間而具有兩個尖銳形狀部，也可以如圖8A(b)所示那樣形成曲線形狀，也可以如圖8A(c)所示那樣具有一個尖銳形狀部，進一步，也可以如圖8A(d)所示那樣通過形成兩個V字形狀空間而具有三個尖銳形狀部。 并且，代替如上述的實施方式那樣以單體使用檢查用探針，也可以如圖8B所示那
樣使具有兩種不同的形狀的尖端部的三個薄板形狀的部件交替層疊來制造一個檢查用探針85。對于檢查用探針85，以夾著薄板形狀的部件82f的方式在其兩面上分別通過真空條件下的熱壓接粘貼一片薄板形狀的部件82e。 薄板形狀的部件82f具有一個尖銳形狀的尖端形狀，各薄板形狀的部件82e通過形成V字形狀的空間而具有兩個尖銳形狀部。各個部件的寬度82W大約為150iim。并且，一片薄板形狀的部件82e的厚度82eh大約為50 y m，薄板形狀的部件82f的厚度82fh也大 約為50 m。因此，通過粘貼三片部件，能夠形成側(cè)面的一邊大約為150 m的棱柱狀的檢查 用探針85。 由于圖8B所示的檢查用探針85通過粘貼三片薄板形狀的部件82e、82f、82e形 成，因此其尖端部具有五個尖銳形狀部。該薄板形狀的部件的組合是任意的，由此，能夠形 成各種各樣的形狀的尖端部，能夠容易地調(diào)節(jié)檢查用探針的厚度。 并且，如圖2所示，在上述的實施例中，通過螺旋彈簧20發(fā)揮檢查用探針10的彈 性，但是，根據(jù)構(gòu)成檢查用探針的板狀部件的材質(zhì)，也可以使其自身具備當施加壓力時撓 曲、當解除壓力時復(fù)原的彈力。 以上對本發(fā)明所涉及的檢查用探針及其制造方法的優(yōu)選實施方式進行了說明，但 是，希望能夠了解，本發(fā)明并不拘束于該實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠容易地做出的追 加、刪除、改變等也包含在本發(fā)明中，并且，本發(fā)明的技術(shù)范圍由附加的權(quán)利要求書的記載確定。
10
權(quán)利要求
一種檢查用探針的制造方法，其特征在于，通過將檢查用探針從導(dǎo)電性的板狀部件切下的切下工序來制造檢查用探針，所述檢查用探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對該檢查基板的布線圖案的電氣特性進行檢查。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢查用探針的制造方法，其特征在于， 所述切下工序包含以下工序?qū)⒍鄠€所述檢查用探針和連結(jié)該多個檢查用探針的框架從所述導(dǎo)電性的板狀部件切 下的工序；以及從所述框架將所述多個檢查用探針分開的工序。
3. —種檢查用探針的制造方法，其特征在于， 所述檢查用探針的制造方法包含以下工序在導(dǎo)電性的板狀部件的表面上形成第一抗蝕劑層的工序，所述第一抗蝕劑層覆蓋與多 個檢查用探針、連結(jié)該多個檢查用探針的框架、以及形成在該框架上并連接該框架和各檢 查用探針的連接部對應(yīng)的圖案；以該第一抗蝕劑層作為掩膜對所述板狀部件進行蝕刻處理的工序；除去所述第一抗蝕劑層的工序；以及從所述連接部切斷從而將所述多個檢查用探針從所述框架分開的工序。
4. 一種檢查用探針的制造方法，其特征在于， 所述檢查用探針的制造方法包含以下工序形成第二抗蝕劑層的工序，所述第二抗蝕劑層覆蓋除了與多個檢查用探針、連結(jié)該多 個檢查用探針的框架、以及形成在該框架上并連接該框架和各檢查用探針的連接部對應(yīng)的 圖案中的所述連接部以外的導(dǎo)電性的板狀部件的表面；以該第二抗蝕劑層作為掩膜對所述連接部進行蝕刻處理的工序；除去所述第二抗蝕劑層的工序；形成第三抗蝕劑層的工序，所述第三抗蝕劑層覆蓋與所述多個檢查用探針、所述框架、 以及所述連接部對應(yīng)的所述圖案；以所述第三抗蝕劑層作為掩膜對所述板狀部件進行蝕刻處理的工序； 除去所述第三抗蝕劑層的工序；以及從所述連接部切斷從而將所述多個檢查用探針從所述框架分開的工序。
5. —種片形狀的檢查用探針連結(jié)體，其特征在于，所述片形狀的檢查用探針連結(jié)體具備多個檢查用探針和連結(jié)該多個檢查用探針的框 架，所述多個檢查用探針經(jīng)由形成在所述框架上的連接部與所述框架連接。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的片形狀的檢查用探針連結(jié)體，其特征在于， 所述連接部形成為比所述框架以及所述檢查用探針薄。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的片形狀的檢查用探針連結(jié)體，其特征在于， 通過從所述連接部切斷從而將所述多個檢查用探針從所述框架分開，能夠?qū)⑺龆鄠€檢查用探針形成單獨的檢查用探針。
8. —種薄板形狀的檢查用探針，其特征在于，使該薄板形狀的檢查用探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對該檢查基板的布線圖案的電氣特性進行檢查。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的薄板形狀的檢查用探針，其特征在于， 層疊多個薄板形狀的部件形成該檢查用探針。
10. —種檢查用探針，所述檢查用探針是薄板形狀的檢查用探針，使該薄板形狀的檢查 用探針與檢查基板的布線圖案上的檢查點接觸從而對該檢查基板的布線圖案的電氣特性 進行檢查，其特征在于，所述檢查用探針具有連結(jié)在框架上的連接部的痕跡。
11. 一種檢查用探針的制造方法，所述檢查用探針的制造方法是制造用于與檢查基板 的布線圖案上的檢查點接觸從而對該檢查基板的布線圖案的電氣特性進行檢查的檢查用 探針的方法，其特征在于，所述檢查用探針的制造方法包含以下工序 從導(dǎo)電性的板狀部件切下薄板形狀的部件的工序；以及 層疊通過該切下工序切下的多個薄板形狀的部件并進行壓接的工序。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的檢查用探針的制造方法，其特征在于， 所述從導(dǎo)電性的板狀部件切下薄板形狀的部件的工序包含通過光刻從板狀部件切下薄板形狀的部件的工序。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于制造各種各樣的形狀的檢查用探針，提高量產(chǎn)性，降低價格，并且容易地達成檢查用探針的直線度。在導(dǎo)電性的板狀部件的表面上形成第一抗蝕劑層，所述第一抗蝕劑層覆蓋與多個檢查用探針、連結(jié)多個檢查用探針的框架、以及形成在框架上并連接框架和各檢查用探針的連接部對應(yīng)的圖案，以第一抗蝕劑層作為掩膜對板狀部件進行蝕刻處理，除去該第一抗蝕劑層，并從連接部切斷從而將多個檢查用探針從框架分開。
文檔編號G01R1/067GK101738510SQ200910206470
公開日2010年6月16日 申請日期2009年11月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月13日
發(fā)明者加藤穰, 廣部幸祐, 戎田理夫 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社