專(zhuān)利名稱(chēng)：用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置及其操作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及平板顯示器領(lǐng)域，具體而言，涉及用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置及
其操作方法。
背景技術(shù)：
在平板顯示器(例如等離子顯示器)面板的電極制作過(guò)程中，不可避免地會(huì)產(chǎn)生 一些短路和斷路缺陷。為控制產(chǎn)品質(zhì)量，提高產(chǎn)品良品率，就需要對(duì)這些缺陷進(jìn)行檢查和 修復(fù)。電極缺陷的檢查修復(fù)系統(tǒng)主要包括外觀檢查、缺陷復(fù)查、缺陷修復(fù)及通斷檢查。外 觀檢查是從外觀上對(duì)圖形進(jìn)行缺陷檢查，而通斷檢查則是從電氣性能上對(duì)圖形進(jìn)行缺陷檢 查，兩者相輔相成，確保缺陷檢出的效率和準(zhǔn)確率。 在工藝流程上，一般是先進(jìn)行外觀檢查和缺陷復(fù)查。然后針對(duì)缺陷復(fù)查結(jié)果，對(duì)需 要進(jìn)行修復(fù)的缺陷進(jìn)行激光切割修復(fù)或漿料涂敷修復(fù)。在完成所有缺陷的修復(fù)后，需進(jìn)行 通斷檢查，對(duì)外觀檢查進(jìn)行補(bǔ)充，以防有一些比較特殊的缺陷在外觀檢查中沒(méi)有被檢查出 來(lái)。如果在通斷檢查中仍有缺陷存在，則需對(duì)這些缺陷也進(jìn)行修復(fù)。修復(fù)完后，再次進(jìn)行通 斷檢查。如此反復(fù)，直到通斷檢查結(jié)果為沒(méi)有缺陷為止。 由于通斷檢查的結(jié)果，只能顯示缺陷的X坐標(biāo)，對(duì)Y坐標(biāo)無(wú)法確認(rèn)，這使得在進(jìn)行 缺陷修復(fù)前需對(duì)缺陷的具體位置進(jìn)行確認(rèn)。 目前采用的主要方法是在修復(fù)機(jī)上進(jìn)行缺陷的具體位置確認(rèn)。依據(jù)通斷檢查的顯 示結(jié)果，將修復(fù)頭移動(dòng)到缺陷所在的端子區(qū)域；然后人工計(jì)數(shù)，找到缺陷的X坐標(biāo)后，手動(dòng) 控制搖桿使修復(fù)頭沿著缺陷所在電極線移動(dòng)，直到找到缺陷為止。這種方法最大的缺點(diǎn)是 在進(jìn)行缺陷修復(fù)前，需花大量時(shí)間來(lái)找到缺陷具體位置，不滿足量產(chǎn)線對(duì)高效率和節(jié)拍時(shí) 間的要求。在正常情況下，外觀檢查機(jī)和復(fù)查機(jī)的節(jié)拍時(shí)間是固定的，理論上修復(fù)機(jī)也應(yīng)在 此節(jié)拍時(shí)間內(nèi)至少完成1張屏的缺陷修復(fù)。 在實(shí)現(xiàn)本發(fā)明過(guò)程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)修復(fù)機(jī)要同時(shí)進(jìn)行外觀檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷和 通斷檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷的修復(fù)，對(duì)效率的要求很高。如果要花時(shí)間進(jìn)行缺陷位置確認(rèn)，顯 然會(huì)大大降低修復(fù)機(jī)的效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在提供一種用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置及其操作方法，能夠解決現(xiàn) 有技術(shù)用修復(fù)機(jī)確認(rèn)缺陷降低生產(chǎn)效率的問(wèn)題。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，提供了一種用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置，包括掃描單 元，用于在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像；顯示終端，用于顯示電 極圖像；光源系統(tǒng)，包括對(duì)掃描單元提供照明；控制盤(pán)，用于控制掃描單元的移動(dòng)、光源系 統(tǒng)的調(diào)節(jié)、以及顯示終端的圖像處理。
可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置中，掃描單元包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于移動(dòng)；探頭，用
于照相。
可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫梁，用于安裝固定掃描探頭
與光源系統(tǒng)，并用于滑塊滑動(dòng)的導(dǎo)軌；滑塊，其可沿橫梁移動(dòng)，用于安裝探頭和光源系統(tǒng)；
驅(qū)動(dòng)裝置，用于在控制盤(pán)的控制下驅(qū)動(dòng)滑塊；連動(dòng)裝置，其連接滑塊與驅(qū)動(dòng)裝置。 可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置中，光源系統(tǒng)包括落射照明單元，用于對(duì)掃描單
元提供落射照明；反射照明單元，用于對(duì)掃描單元提供反射照明。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，還提供了上述的缺陷確認(rèn)裝置的操作方法，包括以下步驟 掃描單元在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像，其中，光源系統(tǒng)對(duì)掃描 單元提供照明；顯示終端實(shí)時(shí)顯示電極圖像；通過(guò)觀察顯示終端上的電極圖像來(lái)確定缺陷 位置。 可選的，在上述的操作方法中，掃描單元在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相 具體包括接收通斷檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷信息，缺陷信息包含缺陷類(lèi)別、數(shù)量、X坐標(biāo)；依 據(jù)此缺陷信息，找到缺陷所在的端子區(qū)域；依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線 上；掃描單元延電極線移動(dòng)照相。 可選的，在上述的操作方法中，缺陷為斷路缺陷，依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷 所在的電極線上具體包括電極線位置取X坐標(biāo)數(shù)據(jù)的一半。 可選的，在上述的操作方法中，缺陷為短路缺陷，依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷 所在的電極線上具體包括處于同一個(gè)放電單元兩側(cè)的兩根電極以相同的序數(shù)計(jì)數(shù)，則第 n根電極與第n根電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在放電單元兩側(cè)的電極發(fā)生；第n根 電極與第n+l根電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在非放電側(cè)的電極發(fā)生；連續(xù)短路發(fā) 生，則確定短路缺陷是在圖形區(qū)發(fā)生；若發(fā)生第n根與第n+l根、第n+l根與第n+2根的連 續(xù)短路缺陷，則確定短路缺陷是在端子部發(fā)生；根據(jù)以上判斷，將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在 的電極線上。 可選的，在上述的操作方法中，光源系統(tǒng)包括落射照明單元，用于對(duì)掃描單元提 供落射照明；反射照明單元，用于對(duì)掃描單元提供反射照明；光源系統(tǒng)對(duì)掃描單元提供照 明具體包括在查找ITO短路缺陷時(shí)關(guān)掉反射照明單元，在查找Ag電極短路和斷路缺陷時(shí) 關(guān)掉落射照明單元。 可選的，在上述的操作方法中，通過(guò)觀察顯示終端上的電極圖像來(lái)確定缺陷位置 具體包括對(duì)于單根電極線上只存在一個(gè)缺陷的情況，在找到缺陷位置后，將缺陷坐標(biāo)記錄 下來(lái)，結(jié)束此根電極線的掃描；對(duì)于單根電極線存在多個(gè)缺陷的情況，則進(jìn)一步判定是連續(xù) 缺陷還是非連續(xù)缺陷，如果是連續(xù)缺陷，則在找到缺陷后與通斷后缺陷數(shù)據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行 比對(duì)，只有在完全符合的情況下才終止此根電極線的掃描；如果是非連續(xù)缺陷，則在找到一 處缺陷并記錄其坐標(biāo)后繼續(xù)對(duì)電極線掃描，直到找到此根電極線上的所有缺陷為止；完成 基板上所有電極線的缺陷確認(rèn)后，將確認(rèn)的缺陷坐標(biāo)傳給修復(fù)機(jī)。 本發(fā)明上述實(shí)施例的用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置及其操作方法，因?yàn)椴捎靡?臺(tái)專(zhuān)用的缺陷確認(rèn)機(jī)對(duì)缺陷位置進(jìn)行確認(rèn)，因此解決了使用修復(fù)機(jī)確認(rèn)缺陷降低生產(chǎn)效率 的問(wèn)題，能夠提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良品率。


此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中
圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置的方框圖；
圖2示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的缺陷確認(rèn)裝置的結(jié)構(gòu)圖；
圖3示出了圖1的缺陷確認(rèn)裝置的操作方法的流程圖；
圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷確認(rèn)及修復(fù)過(guò)程。
具體實(shí)施例方式
下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例，來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。 圖1示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置的方框圖， 包括 掃描單元IO，用于在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像； 顯示終端20，用于顯示電極圖像； 光源系統(tǒng)30，包括對(duì)掃描單元10提供照明； 控制盤(pán)40，用于控制掃描單元10的移動(dòng)、光源系統(tǒng)30的調(diào)節(jié)、以及顯示終端20的 圖像處理。 該實(shí)施例采用一臺(tái)專(zhuān)用的缺陷確認(rèn)機(jī)對(duì)缺陷位置進(jìn)行確認(rèn)，相比于現(xiàn)有技術(shù)的修 復(fù)機(jī)上進(jìn)行缺陷的具體位置確認(rèn)，本實(shí)施例顯然能夠提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良品率。
現(xiàn)有技術(shù)也嘗試通過(guò)增加修復(fù)機(jī)數(shù)量來(lái)提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良品率，但這會(huì)大 大增加設(shè)備成本。而且，修復(fù)機(jī)在進(jìn)行缺陷位置確認(rèn)過(guò)程中，其激光修復(fù)系統(tǒng)、漿料涂敷系 統(tǒng)、激光燒結(jié)系統(tǒng)等都處于閑置狀態(tài)，設(shè)備的利用率很低。 另一方面，利用激光修復(fù)機(jī)來(lái)確認(rèn)缺陷位置，效果也并不理想，因?yàn)樗鼘?duì)于ITO電 極缺陷和Ag電極缺陷的區(qū)別不明顯。對(duì)于尋找ITO小面積短路和黑BUS完好白BUS斷開(kāi) 這兩類(lèi)缺陷，存在較大困難。 相關(guān)技術(shù)中還提供了一種方案，在通斷檢查機(jī)上增加一項(xiàng)缺陷位置確認(rèn)功能。但 此功能只能針對(duì)斷路缺陷，對(duì)短路缺陷沒(méi)有解決辦法，并不能從根本上解決此問(wèn)題。斷路缺 陷位置確認(rèn)采用的方法是在通斷檢查完成后，多進(jìn)行一次掃描。將專(zhuān)用探針移動(dòng)到缺陷存 在的電極線一側(cè)，對(duì)位后使探針沿著電極線掃描，接收探頭在電極線另一側(cè)用于接收信號(hào) 并分析結(jié)果。采用此方法可以找到斷路缺陷的確切位置，但需在設(shè)備上增加一個(gè)專(zhuān)用探針， 同時(shí)會(huì)增加通斷檢查的節(jié)拍時(shí)間，對(duì)通斷檢查設(shè)備的對(duì)位精度也提出了更高的要求。而且 在接觸式探針沿著電極線掃描的過(guò)程中，還可能損壞電極。
目前的通斷檢查后缺陷修復(fù)方法有三項(xiàng)不足 1)在進(jìn)行缺陷修復(fù)前，修復(fù)機(jī)需花費(fèi)大量時(shí)間進(jìn)行缺陷位置確認(rèn)工作，增加了修 復(fù)的節(jié)拍時(shí)間；在進(jìn)行缺陷確認(rèn)時(shí)，修復(fù)機(jī)利用效率很低。 2)利用修復(fù)機(jī)來(lái)確認(rèn)缺陷位置時(shí)，對(duì)ITO電極缺陷和Ag電極缺陷的區(qū)別不明顯。 3)通斷后斷路缺陷位置確認(rèn)方法容易損壞電極，且對(duì)設(shè)備的對(duì)位精度要求更高，
還需在設(shè)備上增加一個(gè)專(zhuān)用探針，增加了設(shè)備的成本和通斷檢查的節(jié)拍時(shí)間。 針對(duì)上述不足，本實(shí)施例采用一臺(tái)結(jié)構(gòu)和功能比較簡(jiǎn)單的缺陷確認(rèn)裝置來(lái)專(zhuān)門(mén)進(jìn)
行通斷檢查后缺陷位置的確認(rèn)。采用此缺陷確認(rèn)裝置后，使得修復(fù)機(jī)不用再花時(shí)間查找缺
陷位置，通斷檢查機(jī)也不用再增加斷路缺陷查找功能。
可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置中，掃描單元10包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于移動(dòng)；探頭， 用于照相。這樣的構(gòu)造簡(jiǎn)單易行。 可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置中，移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫梁，用于安裝固定掃描探頭 與光源系統(tǒng)，并用于滑塊滑動(dòng)的導(dǎo)軌；滑塊，其可沿橫梁移動(dòng)，用于安裝探頭和光源系統(tǒng)； 驅(qū)動(dòng)裝置，用于在控制盤(pán)的控制下驅(qū)動(dòng)滑塊；連動(dòng)裝置，其連接滑塊與驅(qū)動(dòng)裝置。這樣的構(gòu) 造簡(jiǎn)單易行。 圖2示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的缺陷確認(rèn)裝置的結(jié)構(gòu)圖，包括以下裝 置 橫梁l，用于安裝滑塊2、驅(qū)動(dòng)裝置5及連動(dòng)裝置6，也可作滑塊2橫向移動(dòng)時(shí)的導(dǎo) 軌； 滑塊2，用于安裝探頭3及光源系統(tǒng)4，并與驅(qū)動(dòng)裝置5連接，帶動(dòng)探頭3及光源系 統(tǒng)4在橫梁1上移動(dòng)； 掃描探頭3，用于對(duì)基板表面圖像進(jìn)行掃描，并獲取圖像的表面信息； 光源系統(tǒng)4，用于缺陷確認(rèn)時(shí)的照明； 驅(qū)動(dòng)裝置5，用于驅(qū)動(dòng)滑塊2沿著橫梁方向運(yùn)動(dòng)； 連動(dòng)裝置6，用于連接滑塊2和驅(qū)動(dòng)裝置5 ; 圖像輸入模塊7，用于傳遞獲取的圖像信息； 顯示終端8，用于實(shí)時(shí)顯示掃描的電極圖像，以此來(lái)確定缺陷位置； 控制盤(pán)9，用于對(duì)整個(gè)裝置和缺陷確認(rèn)工作的控制，該控制盤(pán)分別與滑塊2、驅(qū)動(dòng)
裝置5、顯示終端8連接。 光源系統(tǒng)可以對(duì)入射光強(qiáng)度和對(duì)比度進(jìn)行調(diào)節(jié)。可選的，在上述的缺陷確認(rèn)裝置 中，光源系統(tǒng)包括落射照明單元，用于對(duì)掃描單元提供落射照明；反射照明單元，用于對(duì) 掃描單元提供反射照明。這就可以包含兩種照明方式，分別用于IT0電極缺陷確認(rèn)及Ag電 極缺陷確認(rèn)的照明。 圖3示出了圖1的缺陷確認(rèn)裝置的操作方法的流程圖，包括以下步驟 步驟S10，掃描單元10在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像，
其中，光源系統(tǒng)30對(duì)掃描單元IO提供照明； 步驟S20，顯示終端20實(shí)時(shí)顯示電極圖像； 步驟S30，通過(guò)觀察顯示終端20上的電極圖像來(lái)確定缺陷位置。 本實(shí)施例采用一臺(tái)結(jié)構(gòu)和功能比較簡(jiǎn)單的缺陷確認(rèn)裝置來(lái)專(zhuān)門(mén)進(jìn)行通斷檢查后
缺陷位置的確認(rèn)。采用此缺陷確認(rèn)裝置后，使得修復(fù)機(jī)不用再花時(shí)間查找缺陷位置，通斷檢
查機(jī)也不用再增加斷路缺陷查找功能。 可選的，在上述的操作方法中，步驟S 10具體包括 接收通斷檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷信息，缺陷信息包含缺陷類(lèi)別、數(shù)量、X坐標(biāo)；
依據(jù)此缺陷信息，找到缺陷所在的端子區(qū)域； 依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上；掃描單元延電極線移動(dòng)照相。
如果缺陷為斷路缺陷，依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上具體可包 括電極線位置取X坐標(biāo)數(shù)據(jù)的一半。
如果缺陷為短路缺陷，依X坐標(biāo)將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上具體可包括 處于同一個(gè)放電單元兩側(cè)的兩根電極以相同的序數(shù)計(jì)數(shù)，則第n根電極與第n根 電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在放電單元兩側(cè)的電極發(fā)生； 第n根電極與第n+1根電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在非放電側(cè)的電極發(fā) 生； 連續(xù)短路發(fā)生，則確定短路缺陷是在圖形區(qū)發(fā)生； 若發(fā)生第n根與第n+1根、第n+1根與第n+2根的連續(xù)短路缺陷，則確定短路缺陷 是在端子部發(fā)生；根據(jù)以上判斷，將掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上。
例如，圖2所示的缺陷確定裝置的操作方法包括掃描探頭3在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃 基板表面進(jìn)行照相，并將電極圖像信息實(shí)時(shí)在顯示終端8上顯示出來(lái)；光源系統(tǒng)4主要包 括落射照明和反射照明兩種照明方式，在查找ITO短路缺陷時(shí)需關(guān)掉反射照明，在查找Ag 電極短路和斷路缺陷時(shí)需關(guān)掉落射照明；顯示終端8用來(lái)實(shí)時(shí)顯示掃描的電極圖像，通過(guò) 觀察顯示終端上的圖像來(lái)確定缺陷位置；控制盤(pán)9用來(lái)控制掃描探頭的移動(dòng)、光源系統(tǒng)的 調(diào)節(jié)及圖像處理等操作。在檢查開(kāi)始前，由通斷檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷信息已對(duì)缺陷類(lèi)別、數(shù) 量、X坐標(biāo)等做了明確標(biāo)識(shí)。依據(jù)此缺陷信息，找到缺陷所在的端子區(qū)域，并依X坐標(biāo)將掃 描探頭3移動(dòng)到缺陷所在的電極線上。因BUS電極掃描端和維持端都有引出端，故短路和 斷路的表示方式有所不同。斷路電極線位置只能取X坐標(biāo)數(shù)據(jù)的一半，而短路缺陷情況比 較復(fù)雜。處于同一個(gè)放電單元兩側(cè)的兩根電極以相同的序數(shù)計(jì)數(shù)，則第n根電極與第n根 電極發(fā)生的短路，是放電單元兩側(cè)的電極發(fā)生；第n根電極與第n+l根電極發(fā)生的短路，是 非放電側(cè)的電極發(fā)生；連續(xù)短路多以第n根與第n根、第n根與第n+l根的形式發(fā)生，此類(lèi) 連續(xù)短路發(fā)生在圖形區(qū)；若發(fā)生第n根與第n+l根、第n+l根與第n+2根的連續(xù)短路缺陷， 則可以確定是端子部的短路。在找到缺陷具體位置后，將其坐標(biāo)記錄下來(lái)，傳給修復(fù)機(jī)，修 復(fù)機(jī)即可依據(jù)此缺陷坐標(biāo)直接對(duì)缺陷進(jìn)行修復(fù)。 可選的，在上述的操作方法中，光源系統(tǒng)包括落射照明單元，用于對(duì)掃描單元提 供落射照明；反射照明單元，用于對(duì)掃描單元提供反射照明；光源系統(tǒng)對(duì)掃描單元提供照 明具體包括在查找ITO短路缺陷時(shí)關(guān)掉反射照明單元，在查找Ag電極短路和斷路缺陷時(shí) 關(guān)掉落射照明單元。 可選的，在上述的操作方法中，步驟S30具體包括 對(duì)于單根電極線上只存在一個(gè)缺陷的情況，在找到缺陷位置后，將缺陷坐標(biāo)記錄 下來(lái)，結(jié)束此根電極線的掃描； 對(duì)于單根電極線存在多個(gè)缺陷的情況，則進(jìn)一步判定是連續(xù)缺陷還是非連續(xù)缺 陷，如果是連續(xù)缺陷，則在找到缺陷后與通斷后缺陷數(shù)據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，只有在完全符 合的情況下才終止此根電極線的掃描；如果是非連續(xù)缺陷，則在找到一處缺陷并記錄其坐 標(biāo)后繼續(xù)對(duì)電極線掃描，直到找到此根電極線上的所有缺陷為止；完成基板上所有電極線 的缺陷確認(rèn)后，將確認(rèn)的缺陷坐標(biāo)傳給修復(fù)機(jī)。 圖4示出了根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的缺陷確認(rèn)及修復(fù)過(guò)程，步驟如下 1)在通斷檢查后，對(duì)缺陷信息數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，對(duì)缺陷的種類(lèi)、單根電極線包含的缺
陷數(shù)量、缺陷的端子區(qū)域序數(shù)及X坐標(biāo)進(jìn)行確認(rèn)； 2)用裝載小車(chē)將基板投入缺陷確認(rèn)機(jī)，進(jìn)行居中和原點(diǎn)復(fù)歸操作后，依據(jù)通斷后缺陷數(shù)據(jù)分析結(jié)果，將掃描探頭3移動(dòng)到缺陷所在的端子區(qū)域及X坐標(biāo)。調(diào)節(jié)光源系統(tǒng)4，選擇合適的照明方式及入射光強(qiáng)度，開(kāi)始對(duì)電極線條進(jìn)行掃描。掃描探頭移動(dòng)的速度由控制盤(pán)9控制。掃描的圖像經(jīng)過(guò)圖像輸入模塊7傳給顯示終端8，使得在顯示終端8上可以實(shí)時(shí)地觀察到獲取的圖像信息，并依此確定缺陷位置； 3)對(duì)于單根電極線上只存在一個(gè)缺陷的情況，在找到缺陷位置后會(huì)將缺陷坐標(biāo)記錄下來(lái)，即完成了此根電極線的掃描； 4)對(duì)于單根電極線存在多個(gè)缺陷的情況，則需判定是連續(xù)缺陷還是非連續(xù)缺陷。如果是連續(xù)缺陷，則在找到缺陷后需與通斷后缺陷數(shù)據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，只有在完全符合的情況下才能終止此根電極線的掃描；如果是非連續(xù)缺陷，則需在找到一處缺陷并記錄其坐標(biāo)后繼續(xù)對(duì)電極線掃描，直到找到此根電極線上的所有缺陷為止； 5)完成基板上所有電極線的缺陷確認(rèn)后，將確認(rèn)的缺陷坐標(biāo)傳給修復(fù)機(jī)，修復(fù)機(jī)即可依此坐標(biāo)快速對(duì)缺陷進(jìn)行修復(fù)。 上述實(shí)施例的缺陷確定裝置及其操作方法，解決了修復(fù)機(jī)在進(jìn)行缺陷位置確認(rèn)時(shí)
效率不高的問(wèn)題，減少了缺陷檢查修復(fù)的整體節(jié)拍時(shí)間，具體來(lái)說(shuō)，優(yōu)點(diǎn)如下 1)提高了修復(fù)機(jī)的利用效率，減少了整個(gè)生產(chǎn)線的節(jié)拍時(shí)間； 2)針對(duì)不同類(lèi)的缺陷位置確認(rèn)，采用不同的照明方式，提高了缺陷確認(rèn)的準(zhǔn)確度和速度； 3)采用一臺(tái)比較簡(jiǎn)單的表面檢查機(jī)來(lái)進(jìn)行缺陷確認(rèn)工作，無(wú)需為了降低節(jié)拍而增加一臺(tái)激光修復(fù)機(jī)，降低了設(shè)備成本； 4)避免了通斷檢查后斷路缺陷位置確認(rèn)時(shí)會(huì)對(duì)電極造成損傷的風(fēng)險(xiǎn)，提高了產(chǎn)品的良品率。 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白，上述的本發(fā)明的各模塊或各步驟可以用通用的計(jì)算裝置來(lái)實(shí)現(xiàn)，它們可以集中在單個(gè)的計(jì)算裝置上，或者分布在多個(gè)計(jì)算裝置所組成的網(wǎng)絡(luò)上，可選地，它們可以用計(jì)算裝置可執(zhí)行的程序代碼來(lái)實(shí)現(xiàn)，從而可以將它們存儲(chǔ)在存儲(chǔ)裝置中由計(jì)算裝置來(lái)執(zhí)行，或者將它們分別制作成各個(gè)集成電路模塊，或者將它們中的多個(gè)模塊或步驟制作成單個(gè)集成電路模塊來(lái)實(shí)現(xiàn)。這樣，本發(fā)明不限制于任何特定的硬件和軟件結(jié)合。 以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
9
權(quán)利要求
一種用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置，其特征在于，包括掃描單元，用于在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像；顯示終端，用于顯示所述電極圖像；光源系統(tǒng)，包括對(duì)所述掃描單元提供照明；控制盤(pán)，用于控制所述掃描單元的移動(dòng)、所述光源系統(tǒng)的調(diào)節(jié)、以及所述顯示終端的圖像處理。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷確認(rèn)裝置，其特征在于，所述掃描單元包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，用于移動(dòng)；探頭，用于照相。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的缺陷確認(rèn)裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫梁，用于安裝固定掃描探頭與光源系統(tǒng)，并用于滑塊滑動(dòng)的導(dǎo)軌；滑塊，其可沿所述橫梁移動(dòng)，用于安裝所述探頭和所述光源系統(tǒng)；驅(qū)動(dòng)裝置，用于在所述控制盤(pán)的控制下驅(qū)動(dòng)所述滑塊；連動(dòng)裝置，其連接所述滑塊與所述驅(qū)動(dòng)裝置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷確認(rèn)裝置，其特征在于，所述光源系統(tǒng)包括落射照明單元，用于對(duì)所述掃描單元提供落射照明；反射照明單元，用于對(duì)所述掃描單元提供反射照明。
5. —種根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷確認(rèn)裝置的操作方法，其特征在于，包括以下步驟所述掃描單元在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像，其中，所述光源系統(tǒng)對(duì)所述掃描單元提供照明；所述顯示終端實(shí)時(shí)顯示所述電極圖像；通過(guò)觀察所述顯示終端上的所述電極圖像來(lái)確定缺陷位置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的操作方法，其特征在于，所述掃描單元在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相具體包括接收通斷檢查機(jī)傳過(guò)來(lái)的缺陷信息，所述缺陷信息包含缺陷類(lèi)別、數(shù)量、X坐標(biāo)；依據(jù)此缺陷信息，找到缺陷所在的端子區(qū)域；依X坐標(biāo)將所述掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上；所述掃描單元延所述電極線移動(dòng)照相。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的操作方法，其特征在于，所述缺陷為斷路缺陷，依X坐標(biāo)將所述掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上具體包括所述電極線位置取X坐標(biāo)數(shù)據(jù)的一半。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的操作方法，其特征在于，所述缺陷為短路缺陷，依X坐標(biāo)將所述掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上具體包括處于同一個(gè)放電單元兩側(cè)的兩根電極以相同的序數(shù)計(jì)數(shù)，則第n根電極與第n根電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在放電單元兩側(cè)的電極發(fā)生；第n根電極與第n+l根電極發(fā)生的短路，則確定短路缺陷是在非放電側(cè)的電極發(fā)生；連續(xù)短路發(fā)生，則確定短路缺陷是在圖形區(qū)發(fā)生；若發(fā)生第n根與第n+l根、第n+l根與第n+2根的連續(xù)短路缺陷，則確定短路缺陷是在端子部發(fā)生；根據(jù)以上判斷，將所述掃描單元移動(dòng)到缺陷所在的電極線上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的操作方法，其特征在于，所述光源系統(tǒng)包括落射照明單元， 用于對(duì)所述掃描單元提供落射照明；反射照明單元，用于對(duì)所述掃描單元提供反射照明； 所述光源系統(tǒng)對(duì)所述掃描單元提供照明具體包括在查找ITO短路缺陷時(shí)關(guān)掉所述反射照明單元，在查找Ag電極短路和斷路缺陷時(shí)關(guān)掉 所述落射照明單元。
10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的操作方法，其特征在于，通過(guò)觀察所述顯示終端上的所述電 極圖像來(lái)確定缺陷位置具體包括對(duì)于單根電極線上只存在一個(gè)缺陷的情況，在找到缺陷位置后，將缺陷坐標(biāo)記錄下來(lái)， 結(jié)束此根電極線的掃描；對(duì)于單根電極線存在多個(gè)缺陷的情況，則進(jìn)一步判定是連續(xù)缺陷還是非連續(xù)缺陷，如果是連續(xù)缺陷，則在找到缺陷后與通斷后缺陷數(shù)據(jù)分析結(jié)果進(jìn)行比對(duì)，只有在完全 符合的情況下才終止此根電極線的掃描；如果是非連續(xù)缺陷，則在找到一處缺陷并記錄其坐標(biāo)后繼續(xù)對(duì)電極線掃描，直到找到 此根電極線上的所有缺陷為止；完成基板上所有電極線的缺陷確認(rèn)后，將確認(rèn)的缺陷坐標(biāo)傳給修復(fù)機(jī)。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于平板顯示器的缺陷確認(rèn)裝置及其操作方法，裝置包括掃描單元，用于在移動(dòng)過(guò)程中對(duì)玻璃基板表面進(jìn)行照相，以獲取電極圖像；顯示終端，用于顯示電極圖像；光源系統(tǒng)，包括對(duì)掃描單元提供照明；控制盤(pán)，用于控制掃描單元的移動(dòng)、光源系統(tǒng)的調(diào)節(jié)、以及顯示終端的圖像處理。本發(fā)明因?yàn)椴捎靡慌_(tái)專(zhuān)用的缺陷確認(rèn)機(jī)對(duì)缺陷位置進(jìn)行確認(rèn)，因此能夠提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良品率。
文檔編號(hào)G01N27/02GK101718828SQ200810241000
公開(kāi)日2010年6月2日 申請(qǐng)日期2008年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月24日
發(fā)明者劉君民, 彭欽華, 王鵬年 申請(qǐng)人:四川虹歐顯示器件有限公司