專利名稱：氣相沉積腔體的感溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種感溫裝置，尤其涉及一種溫度感應(yīng)器與計(jì)量顯示器相 隔分置于氣相沉積腔體內(nèi)外的感溫裝置。
背景技術(shù)：
感溫裝置是一套專門用于氣相沉積腔體內(nèi)檢測(cè)加熱器溫度的系統(tǒng)。尤其涉
及到ASM廠牌中型號(hào)為EAGLE-10的機(jī)臺(tái)上的氣相沉積腔體，對(duì)于操作人員 準(zhǔn)確掌握該氣相沉積腔體內(nèi)的溫度環(huán)境極為重要。如圖1現(xiàn)有技術(shù)的感溫裝置 的結(jié)構(gòu)連接示意圖可見(jiàn)，該氣相沉積腔體內(nèi)的感溫裝置包括溫度感應(yīng)器11、測(cè) 溫線3、連接器接頭4及計(jì)量顯示器5。其中，溫度感應(yīng)器11埋入鋁盤1并放 置于氣相沉積腔體2內(nèi)的加熱器上，而通過(guò)一根測(cè)溫線3將溫度感應(yīng)器1與外 界連接器接頭4、計(jì)量顯示器5相連。以此實(shí)現(xiàn)操作人員非常方便地從計(jì)量顯 示器5上準(zhǔn)確地獲取氣相沉積腔體2內(nèi)的溫度環(huán)境，及時(shí)調(diào)整控制參數(shù)，保證 該工藝制程的正常、優(yōu)化運(yùn)轉(zhuǎn)。
然而，由于對(duì)氣相沉積腔體的每次測(cè)量都需要將蓋板關(guān)閉，而連接內(nèi)外的 測(cè)溫線材質(zhì)又很硬，所以在反復(fù)使用多次后，該測(cè)溫線將不可避免地被蓋板壓 斷；又由于該測(cè)溫線與兩端相連的溫度感應(yīng)器及連接器接頭為一體式設(shè)計(jì)、生 產(chǎn)，溫度感應(yīng)器深埋于鋁盤內(nèi)部無(wú)法拆除，而只能將這一感溫裝置全部報(bào)廢， 換之以整套新的感溫裝置。在高昂的成本消耗下，還造成了很大的資源浪費(fèi)。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型提供一種用于ASM廠牌中型號(hào)為EAGLE-10的機(jī)臺(tái)上的氣相 沉積腔體的感溫裝置，其目的旨在解決現(xiàn)有感溫裝置的測(cè)溫線在該機(jī)臺(tái)氣相沉 積腔體蓋板開(kāi)閉處易被壓斷且更換不便，整體維護(hù)成本昂貴的問(wèn)題。
本實(shí)用新型氣相沉積腔體的感溫裝置，其實(shí)現(xiàn)的技術(shù)方案是 氣相沉積腔體的感溫裝置，包括有溫度感應(yīng)器、測(cè)溫線、連接器接頭及計(jì) 量顯示器，其中測(cè)溫線為雙線，測(cè)溫線的一端與深埋于鋁盤內(nèi)部的溫度感應(yīng)器 相連，另一端則通過(guò)連接器接頭接至計(jì)量顯示器，其特征在于在所述的測(cè)溫 線在易損區(qū)段的兩端分別裝設(shè)有2組前壓線端子和2組后壓線端子，形成一個(gè) 帶分段式測(cè)溫線的感溫裝置。
進(jìn)一步地，所述的前、后壓線端子均是采用與測(cè)溫線相一致的材質(zhì)制成。 更進(jìn)一步地，所述的前壓線端子為無(wú)護(hù)套葉片型公/母壓線端子；所述的后 壓線端子為有護(hù)套葉片型公/母壓線端子。
更進(jìn)一步地，所述的前壓線端子組與后壓線端子組之間的測(cè)溫線長(zhǎng)度為 8cm 12cm。
再進(jìn)一步地，所述的前壓線端子外圍設(shè)有一個(gè)耐高溫絕緣盒。 本實(shí)用新型感溫裝置的技術(shù)方案，其有益效果為
采用分段式測(cè)溫線通過(guò)壓線端子連接的感溫裝置，可方便更換易損區(qū)段的 測(cè)溫線，避免報(bào)廢整個(gè)感溫裝置，既節(jié)省機(jī)臺(tái)設(shè)備的維修成本，又杜絕了因材 料報(bào)廢而造成的環(huán)境污染。此外，由于嚴(yán)格參照熱電偶原理，壓線端子采用與 測(cè)溫線相一致的材質(zhì)制成，且將前、后兩組壓線端子之間的測(cè)溫線控制在一定 的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，保持了溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性，具有較好的實(shí)用效益和社會(huì)效益。

圖l是現(xiàn)有技術(shù)的感溫裝置的結(jié)構(gòu)連接示意圖2是本實(shí)用新型的感溫裝置的結(jié)構(gòu)連接示意圖。
以上圖中各附圖標(biāo)記的含義如下
1鋁盤11溫度感應(yīng)器
2氣相沉積腔體3觀'J溫線
4連接器接頭計(jì)量顯示器
612組前壓線端子622組后壓線端子
63絕緣盒
具體實(shí)施方式
以下將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型用于ASM廠牌中型號(hào)為EAGLE-10的機(jī)臺(tái) 上的氣相沉積腔體的感溫裝置實(shí)施例作進(jìn)一步非限制性描述，以較為直觀的方 式加深對(duì)本創(chuàng)作實(shí)質(zhì)的理解。
氣相沉積腔體的感溫裝置，包括有溫度感應(yīng)器、測(cè)溫線、連接器接頭及計(jì) 量顯示器，其中測(cè)溫線為雙線，測(cè)溫線的一端與深埋于鋁盤內(nèi)部的溫度感應(yīng)器 相連，另一端則通過(guò)連接器接頭接至計(jì)量顯示器，其特征在于在所述的測(cè)溫 線在易損區(qū)段的兩端分別裝設(shè)有2組前壓線端子和2組后壓線端子，形成一個(gè) 帶分段式測(cè)溫線的感溫裝置。
如圖2所示，是本實(shí)用新型感溫裝置的結(jié)構(gòu)連接示意圖。由圖可以清楚地 看出本實(shí)用新型的感溫裝置，主要由溫度感應(yīng)器11、連接器接頭4、計(jì)量顯 示器5及測(cè)溫線3組成。其中，該溫度感應(yīng)器11埋入鋁盤1并于測(cè)量時(shí)放置 于氣相沉積腔體2內(nèi)的加熱器上；
該計(jì)量顯示器5藉由連接器接頭4和測(cè)溫線3與溫度感應(yīng)器11相耦接；特別地，該測(cè)溫線3為雙線結(jié)構(gòu)，即每條測(cè)溫線內(nèi)部均包含有兩條相互隔
絕的導(dǎo)熱線材，且材質(zhì)硬度較高。而本實(shí)施例中，該測(cè)溫線3在原來(lái)容易被氣 相沉積腔體蓋板壓損的區(qū)段測(cè)溫線的兩接線端分別裝設(shè)有2組前壓線端子61 和2組后壓線端子62，用以在更換中間壓損段時(shí)作接續(xù)之用。由此，則形成了 一個(gè)帶有分段式測(cè)溫線的感溫裝置。其中，為避免塑料護(hù)套在高達(dá)400攝氏度 的氣相沉積腔體內(nèi)溶化而污染腔體內(nèi)部，保持制程工藝的純凈度，該2組前壓 線端子61為無(wú)護(hù)套葉片型公/母壓線端子，并將其分別放入一個(gè)材質(zhì)為云母微 晶玻璃陶瓷的有可開(kāi)啟蓋子的耐高溫絕緣盒63的2條隔離槽內(nèi)，以防止兩個(gè) 導(dǎo)熱線材發(fā)生短路情況。而該2組后壓線端子62同樣為了阻隔兩個(gè)導(dǎo)熱線材 并便于插接，設(shè)計(jì)為有護(hù)套葉片型公/母壓線端子。通過(guò)前、后共四組公/母壓 線端子，實(shí)現(xiàn)了本創(chuàng)作目的分段式測(cè)溫線設(shè)計(jì)。
為保持測(cè)溫的準(zhǔn)確性，根據(jù)熱電偶原理，該2組前壓線端子61和2組后 壓線端子62采用與常規(guī)測(cè)溫線3相一致的材質(zhì)，且該2組前壓線端子61與2 組后壓線端子62之間的測(cè)溫線的長(zhǎng)度不宜過(guò)長(zhǎng)， 一般取值8cm 12cm即可。
綜上所述，本實(shí)用新型很好地解決了感溫裝置的測(cè)溫線在氣相沉積腔體蓋 板開(kāi)閉處易被壓斷且更換不便的問(wèn)題，只需將測(cè)溫線采用分段式設(shè)計(jì)，對(duì)易被 壓斷的測(cè)溫線兩端以公/母壓線端子相接續(xù)的方式，即可在完全實(shí)現(xiàn)原有感溫裝 置功能的前提下，縮減高昂的機(jī)臺(tái)設(shè)備維修成本，杜絕因材料的報(bào)廢而造成的 環(huán)境污染。具有較好的實(shí)用效益和社會(huì)效益，其應(yīng)用前景非常廣闊。
權(quán)利要求1.氣相沉積腔體的感溫裝置，包括有溫度感應(yīng)器、測(cè)溫線、連接器接頭及計(jì)量顯示器，其中測(cè)溫線為雙線，測(cè)溫線的一端與深埋于鋁盤內(nèi)部的溫度感應(yīng)器相連，另一端則通過(guò)連接器接頭接至計(jì)量顯示器，其特征在于在所述的測(cè)溫線在易損區(qū)段的兩端分別裝設(shè)有2組前壓線端子和2組后壓線端子，形成一個(gè)帶分段式測(cè)溫線的感溫裝置。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積腔體的感溫裝置，其特征在于所述 的前壓線端子為無(wú)護(hù)套葉片型公母壓線端子。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積腔體的感溫裝置，其特征在于所述 的后壓線端子為有護(hù)套葉片型公母壓線端子。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積腔體的感溫裝置，其特征在于所述 的前、后壓線端子均是采用與測(cè)溫線相-一致的材質(zhì)制成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積腔體的感溫裝置，其特征在于所述的前壓線端子組與后壓線端子組之間的測(cè)溫線長(zhǎng)度為8cm 12cm。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積腔體的感溫裝置，其特征在于所述的前壓線端子外圍設(shè)有一個(gè)耐高溫絕緣盒。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣相沉積腔體的感溫裝置，包括有溫度感應(yīng)器、測(cè)溫線、連接器接頭及計(jì)量顯示器，其中測(cè)溫線為雙線，測(cè)溫線的一端與深埋于鋁盤內(nèi)部的溫度感應(yīng)器相連，另一端則通過(guò)連接器接頭接至計(jì)量顯示器，其特征在于所述的測(cè)溫線在易損區(qū)段的兩端分別裝設(shè)有2組前壓線端子和2組后壓線端子，形成一個(gè)帶分段式測(cè)溫線的感溫裝置；而且，所述的前、后壓線端子均是采用與測(cè)溫線相一致的材質(zhì)制成。這種采用分段式測(cè)溫線通過(guò)壓線端子連接的感溫裝置，保持了溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性，可方便更換易損區(qū)段的測(cè)溫線，避免報(bào)廢整個(gè)感溫裝置，既節(jié)省了機(jī)臺(tái)設(shè)備的維修成本，又杜絕了因材料報(bào)廢而造成的環(huán)境污染。
文檔編號(hào)G01K7/00GK201145617SQ20072013182
公開(kāi)日2008年11月5日 申請(qǐng)日期2007年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月21日
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