專利名稱：半導(dǎo)體裝置、墨盒及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置、墨盒及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往，公知有通過墨水進(jìn)行記錄的打印機(jī)等中墨盒的墨水消耗的管理方法。
該管理方法可列舉出通過軟件累積記錄頭中的墨水液滴的噴出數(shù)和維修所吸引的墨水量來計算墨水消耗從而進(jìn)行管理的方法。
但是，通過軟件在計算墨水消耗的基礎(chǔ)上進(jìn)行管理的上述方法中，存在以下問題。
記錄頭中所噴出的液滴具有重量偏差。
該液滴的重量偏差雖然對像質(zhì)沒有賦予影響，但是偏差所產(chǎn)生的墨水消耗量的誤差累積在墨盒內(nèi)。
為此，存在以下問題即計算上得到的墨水殘量和實際的墨水殘量不同，盡管墨水殘留顯示為零，但是實際上墨盒內(nèi)還殘余墨水。
因而，盡管墨水殘余，但將使用完畢的墨盒和未使用的墨盒進(jìn)行交換，還可產(chǎn)生殘余墨水的浪費，由此有時使用者也對存在問題有所認(rèn)識。
為了解決上述問題，特開2002-283586號公報公開了利用壓電裝置監(jiān)視墨盒內(nèi)的墨水的殘量的技術(shù)。
根據(jù)該方法，利用基于壓電裝置的振蕩部的殘留振蕩所產(chǎn)生的殘留振蕩信號的諧振頻率變化，能夠監(jiān)視墨盒內(nèi)的墨水殘量。
但是，該特開2002-283586號公報中，由于傳感器結(jié)構(gòu)復(fù)雜并且伴隨于此也使系統(tǒng)復(fù)雜化，從而增大制造成本。
另外，與壓電裝置連接的電極端子，在將墨盒設(shè)置在固定器(holder)內(nèi)時，通過與設(shè)置在固定器內(nèi)的接觸端子接觸而被電連接。
為此，擔(dān)心墨盒與主體機(jī)器之間的電連接的可靠性，并且產(chǎn)生殘余墨水的浪費，由此有時使用者也對存在問題有所認(rèn)識。
另外，在現(xiàn)有技術(shù)中，大多是通過檢測墨水信息的檢測部和記錄墨水信息的存儲部分別獨立的系統(tǒng)，并介由主體機(jī)器來在存儲部中存儲所檢測的墨水信息的系統(tǒng)。
為此，綜合雙方的信息，即例如在未設(shè)置在主體機(jī)器內(nèi)的狀態(tài)下不能發(fā)揮功能等，就難于以簡便方式進(jìn)行詳細(xì)的信息管理。
專利文獻(xiàn)1特開2002-283586號公報發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而作成的，其目的在于提供以簡易結(jié)構(gòu)能夠正確且可靠地檢測出及管理墨盒內(nèi)的墨水信息，并能夠防止墨水的浪費且提高使用者的滿意度的半導(dǎo)體裝置、墨盒及電子設(shè)備。
本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具備具有形成有源元件的有源元件形成面的半導(dǎo)體基板；通過接液(接觸)墨水來檢測上述墨水的殘量的檢測電極；發(fā)送接收信息的天線；存儲上述墨水信息的存儲電路；和對上述檢測電極、上述天線及上述存儲電路進(jìn)行控制的控制電路。
根據(jù)該構(gòu)成，可提供綜合檢測電極、天線、控制電路及存儲電路的一體型的半導(dǎo)體裝置。
由此，在裝入墨盒時不麻煩，可使制造容易并且削減制造成本。
另外，通過測量與墨水進(jìn)行接液的檢測電極間的阻抗/電流能夠檢測出收容部內(nèi)的墨水的殘量(實量)。
由此，能夠可靠地把握墨盒內(nèi)有無墨水。
因而，在收容部內(nèi)不殘留墨水并且墨水使用完畢的狀態(tài)下，能夠?qū)δ羞M(jìn)行交換。
為此，可以削減使用者花費在墨水上的成本，提高使用者的滿意度。
這是與以下說明的所有的作用效果也共同的重要內(nèi)容。
另外，對來自電子設(shè)備主體側(cè)的墨水信息(例如、顏色、噴出液滴計數(shù)數(shù)等)和來自墨盒側(cè)的檢測電極的墨水信息(例如、殘量、實量等)進(jìn)行綜合并使其存儲在存儲電路中，由此能夠?qū)δM(jìn)行較寬的信息管理。
并且，通過利用天線可在電子設(shè)備主體和墨盒之間進(jìn)行無線傳送，即使墨盒沒有安裝在電子設(shè)備主體的狀態(tài)下，也能夠容易地以非接觸方式參照存儲電路的內(nèi)容信息或?qū)懭氪鎯﹄娐返取?br> 由此，不存在以往那樣擔(dān)心電子設(shè)備主體和墨盒之間的電接點(連接)之虞，從而提高可靠性。
這樣，通過以非接觸方式發(fā)送接收信息，能夠削減信息管理成本。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，優(yōu)選將上述天線及上述檢測電極按照在上述有源元件形成面之側(cè)構(gòu)成同層的方式形成。
根據(jù)該構(gòu)成，由于在同一面上將天線和檢測電極形成為同層，所以能夠?qū)㈦p方同時形成。
由此，能夠不僅削減制造工序并且削減制造成本。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，優(yōu)選上述檢測電極及上述天線是在上述有源元件形成面上隔著鈍化膜所形成的導(dǎo)電層。
根據(jù)該構(gòu)成，通過由導(dǎo)電層形成檢測電極及天線，能夠在有源元件形成面上進(jìn)行有效活用，從而能夠提高安裝效率。
另外，通過鈍化膜能夠保護(hù)有源元件，而使有源元件形成面上平滑化，從而易于形成導(dǎo)電層。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，作為優(yōu)選，還具備以覆蓋上述導(dǎo)電層的方式所形成的保護(hù)膜；和形成在保護(hù)膜上且使上述導(dǎo)電層的至少一部分露出的開口部，上述檢測電極是從上述開口部露出的上述導(dǎo)電層的一部分。
根據(jù)該構(gòu)成，由于從開口部露出的導(dǎo)電層的一部分為檢測電極，所以能夠在將與有源元件形成面上設(shè)置的集成電路的電極的物理的位置和檢測電極的位置錯開的狀態(tài)下，配置檢測電極，從而能夠阻止集成電路受到墨水的影響。
另外，根據(jù)開口部的大小決定檢測電極的面積的大小，從而能夠?qū)z測電極形成為期望的大小(范圍)。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，作為優(yōu)選，還具備以覆蓋上述導(dǎo)電層的方式所形成的保護(hù)膜；形成在上述保護(hù)膜上且使上述導(dǎo)電層的至少一部分露出的開口部；和從上述開口部露出的上述導(dǎo)電層上形成的突起，上述檢測電極是上述突起。
根據(jù)該構(gòu)成，由于導(dǎo)電層上形成的突起為檢測電極，所以能夠?qū)⒂性丛纬擅婧蜋z測電極之間的距離增長。由此，能夠防止墨水對有源元件形成面的影響。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，優(yōu)選上述檢測電極的表面形成有鍍覆層。
該結(jié)構(gòu)中，將與墨水接觸的檢測電極例如通過耐藥品性優(yōu)異的金屬進(jìn)行鍍覆處理來形成鍍覆層。
由此，能夠防止檢測電極的腐蝕并且防止墨水侵入內(nèi)部，從而能夠防止墨水對有源元件的影響。
一般而言，由于墨水大多為具有強(qiáng)堿性的材料，所以通過對鍍覆材料使用耐藥品性的金屬，從而能夠可靠地阻止墨水的侵入。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，優(yōu)選在上述檢測電極及上述天線的下層側(cè)形成有電介質(zhì)層。
根據(jù)該構(gòu)成，通過在天線的下層側(cè)形成電介質(zhì)層，從而能夠提高天線特性。
另外，通過在檢測電極的下層側(cè)形成電介質(zhì)層，就能夠?qū)挠性丛纬擅嬷翙z測電極為止的距離進(jìn)一步增長，從而能夠防止墨水對有源元件的化學(xué)損壞。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，作為優(yōu)選，利用與上述半導(dǎo)體基板上形成的上述有源元件所使用的導(dǎo)電材料相同的導(dǎo)電材料，將上述天線及上述檢測電極直接形成在上述有源元件形成面上。
根據(jù)該構(gòu)成，能夠?qū)⒂捎性丛?gòu)成的集成電路、天線及檢測電極一次性地形成，從而使得制造容易。
另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置中，優(yōu)選將上述檢測電極形成為3個以上。
根據(jù)該構(gòu)成，在假設(shè)即使兩個檢測電極間存在氣泡或垃圾而使基于檢測電極的檢測精度降低的情況下，也能夠通過除此之外的檢測電極間補(bǔ)償檢測精度，從而能夠獲得正確的有無墨水的信息。
本發(fā)明的墨盒，使用在具備天線的電子設(shè)備主體上，其中具備具有收容墨水的收容部的墨盒筐體；和具有對收容在上述收容部中的上述墨水的信息進(jìn)行檢測及管理的半導(dǎo)體裝置的液體傳感器，上述半導(dǎo)體裝置具備半導(dǎo)體基板；檢測電極，在上述收容部內(nèi)露出，埋設(shè)在上述墨盒筐體內(nèi)，并通過接液上述墨水來檢測上述墨水的殘量；天線，在與上述電子設(shè)備主體的上述天線之間進(jìn)行信息發(fā)送接收；存儲電路，存儲上述墨水信息；和控制電路，對上述檢測電極、上述天線及上述存儲電路進(jìn)行控制。
根據(jù)該構(gòu)成，由于將檢測電極設(shè)置為在收容部內(nèi)露出，而使其與墨水直接接觸，從而能夠可靠地檢測出收容部內(nèi)的墨水的殘量(有無)。
另外，能夠預(yù)先將包括例如有無墨水填充、墨水的填充日、墨水的結(jié)束日及墨水填充次數(shù)等的墨水信息存儲在存儲電路中，從而能夠由存儲電路對上述的墨水信息以及墨水相關(guān)的詳細(xì)信息機(jī)械能統(tǒng)一管理。
由此，在收容部內(nèi)不殘留墨水并且墨水使用完畢的狀態(tài)下，能夠?qū)δ羞M(jìn)行交換。
這樣，如果能夠進(jìn)行細(xì)微的信息管理，則能夠組成將對使用者有益的信息以細(xì)微方式傳送到使用者的系統(tǒng)。
另外，即使處于墨盒未安裝在打印機(jī)主體的狀態(tài)下，除能夠進(jìn)行參照存儲電路的內(nèi)容信息或?qū)懭氪鎯﹄娐返韧?，也能夠不通過打印機(jī)主體而使來自檢測電極的墨水信息存儲在存儲電路中，由此可以以墨盒單體對墨水信息進(jìn)行檢測及管理，從而提高墨盒7的通用性。
由此，能夠使墨盒側(cè)具有管理檢測功能，從而能夠減少電子設(shè)備主體中的布線數(shù)，可使結(jié)構(gòu)簡單化。
因而，可謀求實現(xiàn)電子設(shè)備主體的設(shè)計布局的自由度提高。
另外，由于將檢測電極以外的半導(dǎo)體裝置的其他部分埋設(shè)于墨盒內(nèi)，所以可防止墨水侵入半導(dǎo)體基板，從而阻止墨水對其他部分形成的有源元件的化學(xué)損壞。
另外，由于埋設(shè)在墨盒筐體內(nèi)，所以能夠防止不慎的墨水液漏出，從而也使使用者滿意度提高。
本發(fā)明的墨盒中，優(yōu)選將上述半導(dǎo)體裝置的上述檢測電極沿上述收容部的深度方向設(shè)置多個，并且將上述檢測電極配置得沿著上述收容部的底面。
根據(jù)該構(gòu)成，隨著墨水量的降低，能夠從上方的檢測電極順次檢測出檢測電極間的無墨水的信息(液位)。
進(jìn)一步，當(dāng)由沿底面的檢測電極檢測出無墨水的信息時，能夠從墨盒獲得墨水完全用畢的信息。
為此，不僅是正確的有無墨水的信息并且逐漸減少的墨水量的信息也可經(jīng)時地確實地獲得。
關(guān)于墨盒內(nèi)的墨水殘量，如果墨水殘量變少，則尤其使用者介意墨水殘量的情況較多。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，尤其在使用者注意到的墨盒內(nèi)的墨水殘量較少的區(qū)域，因為能夠獲得及時的墨水殘量信息，所以可大幅度提高使用者滿意度。
本發(fā)明的墨盒中，作為優(yōu)選，將上述半導(dǎo)體裝置沿上述收容部的深度方向設(shè)置多個，并且將上述多個半導(dǎo)體裝置中的至少一個的上述半導(dǎo)體裝置的上述檢測電極配置得沿著上述收容部的底面。
根據(jù)該構(gòu)成，通過沿收容部的深度方向設(shè)置多個半導(dǎo)體裝置，能夠檢測出墨水的液位，從而就能夠正確地把握墨水殘量。
另外，通過將至少一個的半導(dǎo)體裝置的檢測電極配置得沿著上述收容部的底面，從而能夠可靠地檢測出收容部內(nèi)有無墨水，由此能夠在墨水不殘留的狀態(tài)下進(jìn)行使用。
即使在這樣的構(gòu)成中，尤其在使用者介意的墨水殘量較少的區(qū)域，因為能夠獲得及時的墨水殘量信息，所以可大幅度提高使用者滿意度。
本發(fā)明的電子設(shè)備，具備本發(fā)明的墨盒；和具有天線的電子設(shè)備主體。
根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠?qū)ι鲜龅哪畔⑦M(jìn)行可靠的檢測及管理，從而能夠例如決定墨盒適當(dāng)?shù)慕粨Q時間。
為此，能夠在收容部內(nèi)不殘留墨水的狀態(tài)下對墨盒進(jìn)行交換，從而可以將墨盒的交換周期延長，并且實現(xiàn)花費在墨水上的成本降低。
這樣，通過實現(xiàn)墨水的詳細(xì)的信息管理，使有效的沒有浪費的墨盒的重復(fù)使用成為可能。
另外，例如，根據(jù)墨水填充次數(shù)的信息能夠決定墨盒的再循環(huán)次數(shù)，從而不僅可起到作為使用者服務(wù)所不可缺的功能，并且從推進(jìn)再循環(huán)的環(huán)境側(cè)方面而言也為有益的信息。
當(dāng)然，也能夠提供高可靠性、高品質(zhì)的制品。


圖1是表示本發(fā)明的一例涉及的噴墨式打印機(jī)的概念的框圖。
圖2是表示本發(fā)明的第一實施方式涉及的半導(dǎo)體裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)截面圖。
圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式涉及的半導(dǎo)體裝置的外觀的俯視圖。
圖4是表示半導(dǎo)體裝置的其他實施方式中的外觀的俯視圖。
圖5是表示第二天線的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖6是表示第二天線的概念結(jié)構(gòu)的側(cè)截面圖。
圖7是表示本發(fā)明的第二實施方式涉及的半導(dǎo)體裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)截面圖。
圖8是用于說明本發(fā)明的墨盒的剖視圖。
圖9是表示將內(nèi)部包藏著半導(dǎo)體裝置的墨盒安裝在打印機(jī)主體上的噴墨式打印機(jī)的主要結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖10是表示墨盒的一變形例的俯視圖。
圖11是表示噴墨式打印機(jī)的系統(tǒng)的流程圖。
具體實施例方式
以下，參照圖1～圖10對本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置、墨盒及電子設(shè)備的實施方式進(jìn)行說明。
以下說明的半導(dǎo)體裝置1、41被內(nèi)部包藏(內(nèi)藏)在后述的具有第一天線22的打印機(jī)主體23(電子設(shè)備主體)上安裝的墨盒7內(nèi)。
圖1是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的概念的框圖。
圖2是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的第一實施方式的截面圖。
圖3是表示本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置的第一實施方式的外觀圖。
這些圖中符號1是晶片級CSP(W-CSPWafer level Chip ScalePackage)結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置。
該半導(dǎo)體裝置1具有設(shè)置在矩形狀的半導(dǎo)體基板10上的接液電極9、9(檢測電極)、第二天線3、EEPROM4(存儲電路)、和控制器5(控制電路)。
接液電極9、9檢測出墨水的殘量。
第二天線3在與打印機(jī)主體23的第一天線22之間進(jìn)行信息的發(fā)送接收。
EEPROM4存儲墨水信息。
控制器5統(tǒng)一控制這些接液電極9、第二天線3、及EEPROM4。
半導(dǎo)體基板10以硅為材料進(jìn)行構(gòu)成(由硅材料構(gòu)成)。
半導(dǎo)體基板10的有源元件形成面10a上形成有集成電路(未圖示)，該集成電路具有有晶體管等有源元件構(gòu)成的上述控制器5及EEPROM4。
集成電路至少形成有布線圖案，并且由將EEPROM4和控制器5、其他的有源元件相互連接的布線等構(gòu)成。
本實施方式中，存儲電路使用可讀出寫入的存儲介質(zhì)即EEPROM(非易失性存儲器)4。
控制器5基于墨盒7內(nèi)殘余的墨水信息來更新EEPROM4所存儲的墨水信息等。
還有，半導(dǎo)體基板10也可以除硅外由玻璃、石英、水晶等材料構(gòu)成。
另一方面，在半導(dǎo)體基板10的有源元件形成面10a的周緣部形成有用于導(dǎo)通集成電路的一對元件電極11。
元件電極11以與半導(dǎo)體基板10的上述集成電路直接導(dǎo)通的方式形成，設(shè)置得排列在矩形狀的半導(dǎo)體基板10的周緣部。
元件電極11的材料可以采用鈦(Ti)、氮化鈦(TiN)、鋁(Al)、銅(Cu)或包含這些的合金等。
本實施方式中，元件電極11的材料采用鋁(Al)。
這些集成電路及元件電極11由上述有源元件形成面10a上形成的鈍化膜14覆蓋而被保護(hù)。
該鈍化膜14的材料可采用電絕緣性材料例如聚酰亞胺樹脂、硅變性聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、硅變性環(huán)氧樹脂、丙烯酸樹脂、苯酚樹脂、BCB(benzocyclobutene苯環(huán)丁烯)及PBO(polybenzoxazole聚苯并噁唑)等。
另外，也可以采用氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)等無機(jī)絕緣性材料。
本實施方式中，鈍化膜14的材料采用聚酰亞胺樹脂。
在這種鈍化膜14上在上述元件電極11上形成有開口部14a。
通過這樣的結(jié)構(gòu)，元件電極11在上述開口部14a內(nèi)露出外側(cè)。
鈍化膜14上，在避開上述元件電極11的位置即本實施方式中半導(dǎo)體基板10的中央部形成有由絕緣樹脂構(gòu)成的電介質(zhì)層15。
該電介質(zhì)層15由感光性聚酰亞胺樹脂、硅變性聚酰亞胺樹脂、環(huán)氧樹脂、硅變性環(huán)氧樹脂等構(gòu)成。
另外，上述元件電極11在上述鈍化膜14的開口部14a內(nèi)與再配置布線16(導(dǎo)電層)電連接。
該再配置布線16用來對上述集成電路的元件電極11進(jìn)行再配置，由此形成得從半導(dǎo)體基板10的周邊部所配置的元件電極11延伸至半導(dǎo)體基板10的中央部側(cè)，并且形成得擱置在電介質(zhì)層15上。
該再配置布線16在半導(dǎo)體基板10的元件電極11和后述的接液電極9之間進(jìn)行布線，由此一般稱為再配置布線。
該再配置布線是用于使細(xì)微設(shè)計較多的半導(dǎo)體基板10的元件電極11的位置與具有起伏間距的接液電極9、9之間的物理位置錯開所配置的重要機(jī)構(gòu)。
另外，在半導(dǎo)體基板10上形成的集成電路上，除元件電極11外，如圖5所示那樣形成有利用與元件電極11相同的材料所形成的電極20a、20b。
因而，與元件電極11的狀態(tài)相同，該電極20a、20b與再配置布線19(導(dǎo)電層)連接。
將該再配置布線19形成得從電極20a、20b延伸至中央部，并且形成得擱置在電介質(zhì)層15上。
以擱置在電介質(zhì)層15上的方式所形成的再配置布線19配置在與上述再配置布線16(參照圖2)不干擾的位置，并且是與上述打印機(jī)主體23的第一天線22進(jìn)行通信的第二天線3。
另外，接液電極9、9中，通過測量接液電極9、9之間的阻抗或電流，能夠檢測出有無墨水。
另外，在一個接液電極9與集成電路的晶體管柵極連接并且另一個接液電極9與電源連接的情況下，在有墨水時處于ON狀態(tài)的晶體管，當(dāng)無墨水時處于OFF狀態(tài)。
根據(jù)對此進(jìn)行檢測，能夠檢測出有無墨水。
為了防止墨水組成物的電解所引起的劣化，優(yōu)選在接液電極9、9之間流動的電流盡可能少，并且為脈沖狀。
如上述，該第二天線3位于半導(dǎo)體基板10的大致中央部，由平面型電感元件(螺旋電感元件)構(gòu)成。
如圖6所示，電介質(zhì)層15的表面所形成的再配置布線19在截面視中形成在同一平面上，在圖5所示的俯視圖中形成為螺旋狀(螺旋狀)。
第二天線3由從半導(dǎo)體基板10的電極20a至電極20b所配設(shè)的再配置布線19形成，如圖6所示，具有在電介質(zhì)層15的下側(cè)配設(shè)的下層布線25和電介質(zhì)層15的上側(cè)配設(shè)的上層布線26。
這些下層布線25和上層布線26介由在電介質(zhì)層15中形成的孔15a內(nèi)埋設(shè)Cu所形成的連接部27而連接。
由此，將上層布線26配置得與鈍化膜14上形成的下層布線25不短路。
另外，由下層布線25及上層布線26中的從半導(dǎo)體基板10相對隔開的上層布線26形成圖5所示的螺旋部28。
為此，螺旋部28與半導(dǎo)體基板10之間存在電介質(zhì)層15，從而能夠使螺旋部28和半導(dǎo)體基板10更加隔開。
由此，可將第二天線3的特性提高。
介由再配置布線19的下層布線25，將該第二天線3的內(nèi)側(cè)端部與電極20a連結(jié)。
另一方面，介由上層布線26將其外側(cè)端部與電極20b連結(jié)。
還有，如圖6所示，在第二天線3的下側(cè)存在由Cu構(gòu)成的濺射膜層21，在形成第二天線3時使用該濺射膜層21。
這樣，通過在電介質(zhì)層15上形成第二天線3，可取得與電磁波吸收體即半導(dǎo)體基板10之間的間隙，而使來自第二天線3的漏電流減少，提高傳送效率。
另外，如果提高電介質(zhì)層15的介電常數(shù)，則能夠形成窄面積短長度的第二天線3，由此除能夠促進(jìn)半導(dǎo)體裝置1的小型化外，還可削減制造成本。
另外，為了在同一工序中形成這些再配置布線16及再配置布線19，相互使用相同材料。
再配置布線16及再配置布線19的材料可以使用金(Au)、銅(Cu)、銀(Ag)、鈦(Ti)、鎢(W)、鎢化鈦(TiW)、氮化鈦(TiN)、鎳(Ni)、釩化鎳(NiV)，鉻(Cr)、鋁(Al)、鈀(Pd)等單層膜或多層膜及其合金膜，在本實施方式中由Cu鍍覆膜形成。
由此，通過同時形成再配置布線16及再配置布線19，能夠?qū)㈦p方在同一面(有源元件形成面10a)上形成為同層，由此能夠削減制造工序并且削減制造成本。
因而，在半導(dǎo)體基板10的有源元件形成面10a側(cè)形成有保護(hù)層17(保護(hù)膜)以覆蓋再配置布線16和第二天線3、電介質(zhì)層15、鈍化膜14。
在此，保護(hù)層17由焊料抗蝕劑(solder resist)所構(gòu)成的耐熱性的材料形成。
用于形成該保護(hù)層17的樹脂例如具有耐堿性的樹脂可使用聚酰亞胺樹脂、PPS、PE等。
或者，也可以使用SiN、SiO2、SiON等作為無機(jī)膜。
為了防止在墨水槽(ink tank)內(nèi)的墨水減少時保護(hù)層17的表面殘留墨水而使接液電極9、9間的阻抗值下降(即為了使接液傳感器的S/N比提高)，優(yōu)選保護(hù)層17采用對墨水具有疏液性的材料。
本實施方式中，使用聚酰亞胺樹脂。
在這樣的保護(hù)層17上在上述電介質(zhì)層15的各再配置布線16上分別形成開口部17a。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在上述開口部17a內(nèi)再配置布線16外側(cè)露出一部分。
另外，也可以保護(hù)層17的表面施行氟化處理或硅化處理等疏液加工。由此，也可以保護(hù)層17全體對墨水不具有疏液性，從而樹脂材料的選擇幅度增寬。
另外，也可以保護(hù)層17覆蓋半導(dǎo)體裝置1的側(cè)面、背面。
由此，完全沒有半導(dǎo)體裝置1因墨水受到損壞。
因而，如圖2所示，在從各自的開口部17a露出的再配置布線16上形成突起(bump)。
通過在由可高速鍍覆的Cu形成的核(core)的表面成膜鍍金膜18(鍍覆層)來形成該突起。
該突起通過接液墨水，從而作為檢測墨水信息的接液電極9、9發(fā)揮功能。
在Cu核表面形成鍍金膜18，由此能夠可靠地阻止墨水浸入半導(dǎo)體基板10。
作為鍍覆膜優(yōu)選采用不受強(qiáng)堿性墨水成分所產(chǎn)生的影響的耐藥品性優(yōu)異的金屬，除上述的鍍金膜外，也可以使用例如Pt鍍覆膜、Ni-p鍍覆膜、或Ni-p+Au鍍覆膜等。
另外，因為這些接液電極9、9的下方已經(jīng)存在電介質(zhì)層15，所以能夠增長從有源元件形成面10a至接液電極9、9為止的距離，由此能夠進(jìn)一步防止墨水對有源元件的影響。
在這樣構(gòu)成的半導(dǎo)體裝置1中，通過EEPROM4可進(jìn)行針對墨水的寬幅的信息管理，該信息總括有介由第一天線22從后述的打印機(jī)主體23取得的信息、和有接液電極9、9檢測出的墨水信息。
來自打印機(jī)主體23的墨水信息可列舉出例如噴出液滴計數(shù)數(shù)或墨盒7可否使用等，來自接液電極9的墨水信息可列舉出墨水殘量(有無墨水)等。
還有，EEPROM4中優(yōu)選在工廠出荷時預(yù)先寫入以下墨水信息，即該墨水信息包括墨水的種類(顏色)、墨水的使用期許、墨水的填充日、墨水的填充次數(shù)(簡歷信息)等。
另外，雖然本實施方式中存儲電路示例了使用EEPROM4的例子，但是也可以使用FlushMEMORY等其他的存儲元件。
這樣，將接液電極9、9、第二天線3、控制器5及EEPROM4進(jìn)行綜合來構(gòu)成一體型的半導(dǎo)體裝置1，由此，在裝入墨盒7時也不麻煩不僅制造容易并且能夠削減制造成本。
另外，通過與墨水進(jìn)行接液的接液電極9、9能夠檢測出墨水槽(6)(收容部)內(nèi)的墨水殘量(實量)，由此能夠可靠地把握住墨盒7內(nèi)有無墨水。
由此，可在墨水槽6沒有殘留墨水的狀態(tài)下交換墨盒7，從而能夠削減使用者花費在墨水上的成本。
還有，本發(fā)明中，第二天線3與接液電極9、9的位置不相互干擾，從而只要是不損壞設(shè)計自由度的位置，就可以配置得從電極20a、20b由再配置布線延伸至任意的位置。
另外，除再配置布線19或電極20a、20b外，也可以由焊盤等形成第二天線3。
另外，也可以不由再配置布線19形成第二天線3，而由集成電路形成時所使用的布線(Al、Cu)等來形成第二天線3。
這也可對再配置布線16進(jìn)行表述。
圖3表示圖2的剖視圖所表示的本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置1的外觀圖的一例。
該示例中，檢測電極由一組2個接液電極9、9構(gòu)成，由此通過測量其間的阻抗或電流而能夠檢測出有無墨水。
另外，圖4表示圖2的剖視圖所表示的本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置1的外觀圖的另一示例。
該示例中接液電極9形成為6個。
由此，假設(shè)即使一組接液電極9、9間存在氣泡或垃圾而使基于接液電極9、9的檢測精度降低，也能夠通過除此之外的組的接液電極9、9間補(bǔ)償檢測精度，從而能夠獲得正確的墨水有無信息。
這時，通過一組以上的接液電極9、9能夠防止精度降低，并且接液電極9越多就越能提高檢測精度。
接著，參照圖7對第二實施方式進(jìn)行說明。
符號41表示本實施方式的半導(dǎo)體裝置。
本實施方式與上述第一實施方式的不同點在于將從設(shè)置在保護(hù)層17的開口部17a露出的再配置布線16的一部分作為接液電極12(檢測電極)。
本實施方式是通過侵入開口部17a內(nèi)的墨水接液再配置布線16來檢測墨水信息。
為此，在從開口部17a露出的再配置布線16上，與上述同樣地由耐藥品性優(yōu)異的金屬施加鍍金膜(未圖示)。
通過預(yù)先形成該鍍金膜，可防止墨水從開口部17a侵入半導(dǎo)體裝置41內(nèi)。
由此，能夠阻止墨水影響半導(dǎo)體裝置41的有源元件形成面10a上的元件元件(集成電路)。
這樣，將再配置布線16的一部分作為接液電極12，由此能夠以簡易的結(jié)構(gòu)起到與第一實施方式相同的效果。
還有，在上述實施方式中，對第二天線3和接液電極9、9形成在半導(dǎo)體基板10上的半導(dǎo)體裝置1進(jìn)行了說明。例如，當(dāng)要使第二天線單體的性能提高時，可以為半導(dǎo)體裝置1安裝在高性能的分體的天線上的一體型模塊結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置。另外，也可以為與實況轉(zhuǎn)播用的天線一體化構(gòu)成的一體型模塊結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體裝置。
圖1及圖8中符號7是內(nèi)藏上述半導(dǎo)體裝置1并且安裝在具有后述的第一天線22的打印機(jī)主體23(電子設(shè)備主體)的墨盒。
該半導(dǎo)體裝置1具有作為管理及檢測墨盒7內(nèi)的墨水信息的液體傳感器的功能。
如圖8所示，墨盒7按照在具備收容墨水的墨水槽6的墨盒筐體8內(nèi)內(nèi)藏上述半導(dǎo)體裝置1的方式，例如通過樹脂注射模塑成形形成為一體。
半導(dǎo)體裝置1使一對接液電極9、9在收容墨水的墨水槽6內(nèi)露出。
另外，接液電極9、9以外的半導(dǎo)體裝置1的其他部分被埋設(shè)在墨盒筐體8內(nèi)。
另外，將半導(dǎo)體裝置1設(shè)置在墨盒筐體8的壁部下方以使一對接液電極9、9沿著墨水槽6的底面。
在該墨盒7的墨水槽6內(nèi)分別收容有規(guī)定種類的墨水，由此從個墨盒7的規(guī)定位置導(dǎo)出墨水。
這樣，將接液電極9、9設(shè)置得在墨水槽6內(nèi)露出，由此接液電極9、9接液墨水，從而能夠可靠地檢測出墨水槽6內(nèi)的墨水的信息(殘量等)。
另外，將接液電極9、9以外的半導(dǎo)體裝置1的其他部分埋設(shè)在墨盒7內(nèi)，由此能夠阻止墨水對形成在其他部分的控制器5及EEPROM4的產(chǎn)生的損壞，從而提高這些控制器5及EEPROM4的可靠性。
并且，在例如通過注射模塑成形在墨盒7內(nèi)將半導(dǎo)體裝置1以一體化方式裝入時，可確保收容在墨水槽6的墨水與墨盒7的外部的氣密性。
由此，沒有從埋入半導(dǎo)體裝置1的部分漏出墨水，從而可避免來自墨盒7的墨水漏出。
另外，通過埋設(shè)可使接液電極9、9間由樹脂覆蓋，從而能夠防止墨水殘量減少時的誤判斷。
還有，也可以在墨盒7形成后將半導(dǎo)體裝置1粘接在墨盒7內(nèi)。
另外，可以將墨盒7構(gòu)成為內(nèi)藏多個半導(dǎo)體裝置1，此時，例如可在墨盒筐體8的壁部沿墨水槽6的深度方向隔開規(guī)定間隔在接液電極9、9并列的狀態(tài)下進(jìn)行連設(shè)(接連設(shè)置)。
由此，能夠檢測出墨水的液位(液體位置)，從而能夠正確地把握墨水殘量和消耗經(jīng)過。
另外，此時，沿墨水槽6的底面設(shè)置至少一個半導(dǎo)體裝置1的接液電極9、9，從而可靠地檢測有無墨水。
本實施方式中，雖然對第二天線3和接液電極9、9以一體化方式形成在半導(dǎo)體基板10上的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但是例如在進(jìn)一步提高第二天線單體的性能時，也可以進(jìn)一步配設(shè)實況轉(zhuǎn)播用天線，構(gòu)成一體型模塊結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)。
圖10表示本發(fā)明的另外的墨盒7的實施方式。
在此所使用的半導(dǎo)體裝置1，如圖4所示那樣將一對接液電極9、9設(shè)置為3組。
在墨盒筐體8的內(nèi)壁部的底部附近沿墨水槽6的深度方向配置有半導(dǎo)體裝置1。
接液電極9、9為3組(此時為6個)，只要測量墨水與何組的接液電極9、9進(jìn)行接觸(接液)，就可以檢測出墨水的液位，從而正確地把握墨水的殘量和消耗經(jīng)過。
另外，此時通過將至少一組接液電極9、9沿墨水槽6的底面進(jìn)行設(shè)置，從而能夠可靠地檢測有無墨水。
由此，通過一個半導(dǎo)體裝置1能夠檢測出上述信息，從而能夠以簡易的結(jié)構(gòu)進(jìn)行高性能的檢測。
還有，也可以將接液電極9、9設(shè)置為3組以上，由此能夠獲得詳細(xì)的墨水信息。
接著，參照圖1、圖8及圖9對打印機(jī)主體進(jìn)行說明。
圖8是圖9的A-A截面圖。
如圖9所示，打印機(jī)主體23以可裝卸方式具備多個上述墨盒7。
打印機(jī)主體23具備記錄頭和送紙機(jī)構(gòu)。
向記錄頭供給來自各墨盒7的墨水。
相當(dāng)于記錄頭，送紙機(jī)構(gòu)將記錄用紙13相對移送。
在這種打印機(jī)主體23中，基于印刷數(shù)據(jù)一邊移動記錄頭一邊向記錄用紙13噴出墨水，由此在記錄用紙13上進(jìn)行記錄。
并且，如圖8所示，在打印機(jī)主體23中配置第一天線22。
第一天線22用來進(jìn)行與設(shè)置在各墨盒7的第二天線3之間的通信。
將第一天線22配置得與第二天線3對向。
另外，打印機(jī)主體23還具備對墨盒7所噴出的墨水液滴數(shù)進(jìn)行計數(shù)的噴出液滴計數(shù)部(未圖示)，由此計算出墨水槽6內(nèi)的墨水殘量。
如圖9所示，在這樣的結(jié)構(gòu)的打印機(jī)主體23中安裝多個墨盒7。
將多個墨盒7按照由各墨盒7收容的墨水的種類所預(yù)先決定的排列安裝呈并列狀態(tài)。
因而，通過第一天線22和第二天線3之間的無線通信來進(jìn)行打印機(jī)主體23和墨盒7間的墨水信息的發(fā)送接收。
另外，通過利用天線3、22，可在墨盒7和打印機(jī)主體23之間進(jìn)行非接觸式信息的發(fā)送接收。
由此，不存在以往那樣擔(dān)心電子設(shè)備主體和墨盒7之間的電連接之虞，從而提高可靠性。
由此，可以削減信息管理成本。
本實施方式的墨盒7中，當(dāng)墨盒7安裝在打印機(jī)主體23時，優(yōu)選從作為由第一天線22輸出的墨水信息的傳送波所利用的電磁波取出必要的功率，并且將該功率作為半導(dǎo)體裝置1的驅(qū)動電源進(jìn)行利用。
由此，第二天線3能夠兼顧信息收發(fā)功能和功率接收功能。
另外，通過利用第一天線22和第二天線3之間的通信，能夠判斷墨盒7是否正確地安裝在打印機(jī)主體23上。
此時，例如在墨盒未正確地安裝在打印機(jī)主體23上時，可將其內(nèi)容顯示在顯示部或計算機(jī)的顯示器。
并且，通過設(shè)置上述半導(dǎo)體裝置1，能夠使墨盒7具有管理檢測功能，從而能夠減少打印機(jī)主體23中的布線數(shù)，可實現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡單化。
由此，能夠?qū)崿F(xiàn)打印機(jī)主體23的設(shè)計布局的自由度提高。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的墨盒，即使在墨盒未安裝在打印機(jī)主體23的狀態(tài)下，除能夠進(jìn)行參照EEPROM4的內(nèi)容信息或?qū)懭隕EPROM4等外，也能夠不通過打印機(jī)主體23而將來自接液電極9、9的墨水信息存儲在EEPROM4中。
例如，能夠在墨盒7的制造時、或按每墨盒7的一捆包單位統(tǒng)一進(jìn)行墨水制造信息等的發(fā)送接收。
另外，即使斷開打印機(jī)23的電源或從打印機(jī)主體23取出墨盒7，也可對墨盒7的EEPROM4所存儲的墨水信息進(jìn)行保持，由此可以以墨盒單體對墨水信息進(jìn)行檢測及管理，從而提高墨盒7的通用性。
還有，也可以在墨盒7上設(shè)置顯示部，從而使EEPROM4所存儲的墨水信息反映在顯示部。
另外，在使用以每個顏色等獨立的墨盒7時，優(yōu)選將半導(dǎo)體裝置1裝入每個墨盒7，以交換獨立的每個墨盒7的信息。
打印機(jī)主體23的第一天線22可以按每個墨盒7的個數(shù)進(jìn)行配設(shè)。
為了減少打印機(jī)主體23的第一天線22的數(shù)量，也可以配設(shè)一個以上的天線，如后述那樣在每次移動載架31時進(jìn)行各自的墨盒7的信息收發(fā)。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)碜越右弘姌O的模擬接液信號介由控制器從天線直接輸出為數(shù)字信號。
另外，減少機(jī)械的連接接點，并且能夠由穩(wěn)定的數(shù)字信號進(jìn)行輸出，而非易于加載噪音的不穩(wěn)定的模擬信號。
接著，基于圖9所示的實施方式，對本發(fā)明涉及的噴墨式打印機(jī)30(電子設(shè)備)的主要結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
該噴墨式打印機(jī)30在打印機(jī)主體23上以可裝卸方式具備多個墨盒7。
圖9中符號31是載架，介由載架電動機(jī)32所驅(qū)動的定時帶(timingbelt)33，將該載架31由導(dǎo)引桿(rod)導(dǎo)引并沿滾筒(platen)35的軸方向往返移動。
在上述載架31進(jìn)行掃描的掃描區(qū)域配置記錄用紙13，并將該記錄用紙13按照與載架31的掃描方向正交的方式進(jìn)行搬送。
因而，在載架31的與上述記錄用紙13對向的面上設(shè)置有記錄頭。
另外，在記錄頭的上部以可裝卸方式安裝有向上述記錄頭供給墨水的分別貯存黑、黃、青、洋紅的各墨水的墨盒7B、7Y、7C、7M。
另外，非印字區(qū)域外即原位置(home position)上配置有壓蓋(capping)機(jī)構(gòu)36。
該壓蓋機(jī)構(gòu)36，在載架31移動到原位置時，伴隨載架31的移動而密封載架31所搭載的記錄頭的噴嘴形成面。
在此，原位置上，如圖8所示，將墨盒7的各個第二天線3和第一天線22(打印機(jī)主體對向部上所配置的第一天線22)配置得相互對置。
由此，在每次墨盒7返回原位置時，能夠在第二天線3和第一天線22之間發(fā)送接收墨水信息。
另外，在本實施方式中，因為通信方法為無線通信，所以并非需要上述的結(jié)構(gòu)，也可以在不對應(yīng)各個第二天線3上的位置配置第一天線22，由此也能夠提高主體設(shè)計的自由度。
另外，壓蓋機(jī)構(gòu)36隨著上述載架31向印字區(qū)域側(cè)移動而下降，從而能夠解除記錄頭的密封狀態(tài)。
因而，在上述壓蓋機(jī)構(gòu)36的下方配置有用于對壓蓋機(jī)構(gòu)36的內(nèi)部空間賦予負(fù)壓的吸引泵37。
壓蓋機(jī)構(gòu)36作為噴墨式打印機(jī)30停止期間中防止記錄體的噴嘴開口干燥的蓋體起作用。
另外，壓蓋機(jī)構(gòu)36也作為對記錄頭施加與印刷無關(guān)的驅(qū)動信號而使墨水液滴噴出的沖洗(flushing)動作時的墨水接受體起作用。
進(jìn)一步，壓蓋機(jī)構(gòu)36也兼并具備作為將來自上述吸引泵37的負(fù)壓作用于記錄頭、并通過記錄頭吸引排出墨水的清洗(cleaning)機(jī)構(gòu)的功能。
因而，與壓蓋機(jī)構(gòu)36的印字區(qū)域側(cè)鄰接配置有由橡膠等彈性板構(gòu)成的擦拭部件38。
擦拭部件38，在載架31往返移動到壓蓋機(jī)構(gòu)36側(cè)時，根據(jù)需要對記錄頭的噴嘴形成面進(jìn)行擦拭從而進(jìn)行清掃的擦拭動作。
噴墨式打印機(jī)30，相對接受來自各墨盒7的墨水供給的噴墨式記錄頭，使記錄用紙13相對移送。
基于印刷數(shù)據(jù)，使記錄頭移動，同時向記錄用紙13噴出墨水液滴來進(jìn)行記錄。
接著，參照圖11，對上述噴墨式打印機(jī)30的系統(tǒng)進(jìn)行說明。
首先，將墨盒7安裝在打印機(jī)主體23。
接著，在步驟S1中，對安裝在打印機(jī)主體23的墨盒7是否可使用進(jìn)行檢測。此時，在第一天線22及第二天線3之間進(jìn)行信號的發(fā)送接收。
然后，通過從第一天線22發(fā)送信號，從打印機(jī)主體23側(cè)對第二天線3供給電力，并且起動半導(dǎo)體裝置1的IC，向接液電極9、9施加規(guī)定的電壓。
由此，在墨水槽6內(nèi)收容有墨水時，通過與接液電極9、9接觸的墨水而使電流在接液電極9、9間流動。
將由這樣的接液電極9、9檢測出的信號向控制器5輸出。
在控制器5中，當(dāng)所檢測的信號為在接液電極9、9間通電時，進(jìn)行有墨水這樣的判斷，并將基于該判斷結(jié)果的墨水信息(有無墨水)存儲在EEPROM4中。
于是，在判明可使用墨盒7的情況下，將該信息發(fā)送到打印機(jī)主體23，而使打印機(jī)主體23進(jìn)入印字待機(jī)狀態(tài)，然后，如步驟S2所示，隨著接受到印字信號而進(jìn)行印字?jǐn)?shù)據(jù)的記錄。
另一方面，當(dāng)所檢測的信號為在接液電極9、9間未通電這樣的信號時，控制器5判斷為無墨水(墨水用畢狀態(tài))。
然后，將基于該判斷結(jié)果的墨水信息(有無墨水)存儲在EEPROM4中，并向步驟S5移動，且將敦促交換墨盒7的信號向打印機(jī)主體23輸出。
這樣，通過檢測接液電極9、9間的通電狀態(tài)，可確認(rèn)墨水槽6內(nèi)有無墨水，從而可判斷墨盒7可否使用。
如步驟S2所示，當(dāng)驅(qū)動打印機(jī)主體23進(jìn)行印字時，墨盒7如步驟S3所示那樣按每規(guī)定時間檢測出這些接液電極9、9間的通電狀態(tài)。
將由接液電極9、9檢測出的檢測信號(電流值)輸出到控制器5。
對該墨水信息的檢測周期進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)定。
控制器5基于該判斷結(jié)果隨時更新EEPROM4的墨水信息。
這樣，進(jìn)行墨水殘量(有無墨水)的管理。
因而，介由第二天線3通過控制器5將存儲在EEPROM4的墨水信息向打印機(jī)主體23側(cè)輸出，并通過顯示部或計算機(jī)的顯示器提供給使用者。
另一方面，如步驟S3所示，在打印機(jī)主體23側(cè)通過軟件累積墨水液滴的噴出液滴計數(shù)數(shù)和維修所使用的墨水量，從而計算墨水的消耗量。
介由第一天線22，將該結(jié)果按每規(guī)定時間向墨盒7的EEPROM4傳送，從而由EEPROM4進(jìn)行墨水殘量(消耗量)的管理。
這樣，基于打印機(jī)主體23的第一天線22所輸出的輸出信號，隨時更新EEPROM4的墨水相關(guān)的信息。
因而，介由第二天線3，將存儲在EEPROM4的墨水信息從EEPROM4向打印機(jī)主體23側(cè)的顯示部或計算機(jī)的顯示器輸出，從而提供給使用者。
由此，使用者能夠一邊監(jiān)視墨水的消耗經(jīng)過，一邊確認(rèn)墨水殘量等。
開始印字片刻后，例如從打印機(jī)主體23側(cè)向控制器5發(fā)送墨水殘量為零的計算結(jié)果。
但是，如步驟S4所示，當(dāng)接液電極9、9所檢測的檢測信號為有墨水的信號即接液電極9、9間處于通電狀態(tài)時，可知墨水槽6內(nèi)殘留墨水，從而不會判斷此時墨水槽6內(nèi)沒有墨水，而返回步驟S2繼續(xù)印字?jǐn)?shù)據(jù)的記錄。
其后，如步驟S4所示，如果檢測出墨盒7側(cè)中接液電極9、9間沒有處于通電狀態(tài)這樣的信號，則控制器5基于該信號此次進(jìn)行墨水用畢的判斷，并且更新EEPROM4的墨水信息。
因為將一對接液電極9、9分別沿墨水槽6的底面進(jìn)行設(shè)置，所以在接液電極9、9間沒有通電就意味著墨水槽6內(nèi)沒有墨水。
由于這種判斷比由噴出液滴計數(shù)部通過計算所計算出的墨水殘量更加確切，所以控制器5中始終優(yōu)先控制來自接液墨水的接液電極9、9的信號。
噴出液滴計數(shù)部所獲得的墨水殘量和實際在墨水槽6中所存在的墨水實量之間產(chǎn)生的差，是墨水液滴的重量離散偏差或制造時的墨水注入量的離散偏差所引起的，是會經(jīng)常產(chǎn)生的現(xiàn)象。
優(yōu)先控制來自接液電極9、9的信號，是為了避免以下問題即在噴出液滴計數(shù)部所得到的墨水殘量為零的時刻將墨盒7判斷為墨水用畢狀態(tài)的情況下，盡管實際上墨水槽6內(nèi)累積有墨水，也會指示交換墨盒7。
在步驟S5中，基于接液電極9、9的信號對墨水用畢進(jìn)行判斷的控制器5，介由第二天線3將敦促交換墨盒7的信號向打印機(jī)主體23側(cè)輸出，并且通過打印機(jī)主體23的顯示部(未圖示)或計算機(jī)向使用者進(jìn)行報警。
由此，使用者可以知道交換墨盒7的時間。
然后，如步驟S6所示，將墨水用畢的墨盒7從打印機(jī)主體23取出，并且交換為新墨盒7。
在此，例如，盡管由墨盒7的接液電極9、9判明墨水槽6內(nèi)為墨水用畢狀態(tài)，如果由打印機(jī)主體23側(cè)的噴出液滴計數(shù)部計算出的墨水殘量為有墨水，也會認(rèn)為是打印機(jī)主體23側(cè)異常，從而在打印機(jī)主體23的顯示部或計算機(jī)上顯示表示異常內(nèi)容的誤差信息。
另外，在當(dāng)打印機(jī)主體23側(cè)計算出墨水殘量為零的時刻，墨盒7內(nèi)殘留的墨水量被判斷為比由墨水液滴的重量偏差產(chǎn)生的墨水殘量多得多的情況下，可認(rèn)為按比通常噴出的墨水液滴的量少的量進(jìn)行噴出。
此時，例如可使敦促清洗墨水噴出頭的信息在顯示部或計算機(jī)上輸出。
這樣，由EEPROM4對打印機(jī)主體23側(cè)的墨水信息和墨盒7的接液電極9、9所檢測的墨水信息進(jìn)行綜合管理，從而通過比較雙方來檢測出打印機(jī)主體23及墨盒7中的異常。
根據(jù)本實施方式的噴墨式打印機(jī)30，由于能夠以簡單的結(jié)構(gòu)檢測及管理墨水的信息，從而能夠例如決定墨盒7的適當(dāng)?shù)慕粨Q時間。
為此，能夠在不殘余墨水的狀態(tài)下交換墨盒7，從而可延長墨盒7的交換周期，并且能夠?qū)崿F(xiàn)使用者花費在墨水上的成本降低。
這樣，通過實現(xiàn)墨水的詳細(xì)信息管理，而使有效地沒有浪費的墨盒7的再循環(huán)(recycle)成為可能。
另外，例如，根據(jù)墨水填充次數(shù)的信息能夠決定墨盒7的重復(fù)使用次數(shù)等，不僅對使用者并且對再循環(huán)工作者(制造者)側(cè)也為有益的信息。
綜上所述，能夠以簡單結(jié)構(gòu)對墨盒7內(nèi)的墨水信息進(jìn)行正確且可靠的檢測及管理，從而能夠提供高可靠性、高品質(zhì)的制品。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體裝置，具備半導(dǎo)體基板，具有形成有源元件的有源元件形成面；檢測電極，通過與墨水接觸來檢測上述墨水的殘量；天線，發(fā)送接收信息；存儲電路，存儲上述墨水的信息；和控制電路，對上述檢測電極、上述天線及上述存儲電路進(jìn)行控制。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，在上述有源元件形成面一側(cè)上，上述天線及上述檢測電極形成在同一個層。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，上述檢測電極及上述天線是在上述有源元件形成面上經(jīng)由鈍化膜所形成的導(dǎo)電層。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，還具備保護(hù)膜，以覆蓋上述導(dǎo)電層的方式形成；和開口部，形成在保護(hù)膜上且使上述導(dǎo)電層的至少一部分露出，上述檢測電極是從上述開口部露出的上述導(dǎo)電層的一部分。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，還具備保護(hù)膜，以覆蓋上述導(dǎo)電層的方式形成；開口部，形成在上述保護(hù)膜上且使上述導(dǎo)電層的至少一部分露出；和突起，從上述開口部所露出的上述導(dǎo)電層上形成；上述檢測電極是上述突起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5的任一項所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，在上述檢測電極的表面形成有鍍覆層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6的任一項所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，在上述檢測電極及上述天線的下層側(cè)形成有電介質(zhì)層。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，利用與上述半導(dǎo)體基板上形成的上述有源元件所使用的導(dǎo)電材料相同的導(dǎo)電材料，將上述天線及上述檢測電極直接形成在上述有源元件形成面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8的任一項所述的半導(dǎo)體裝置，其特征在于，上述檢測電極形成為3個以上。
10.一種墨盒，在具備天線的電子設(shè)備主體中使用，具備墨盒筐體，具有收容墨水的收容部；和液體傳感器，具有對收容在上述收容部中的上述墨水的信息進(jìn)行檢測及管理的半導(dǎo)體裝置；上述半導(dǎo)體裝置具備半導(dǎo)體基板；檢測電極，在上述收容部內(nèi)露出，在上述墨盒筐體內(nèi)埋設(shè)，通過與上述墨水接觸，而檢測上述墨水的殘量；天線，在與上述電子設(shè)備主體的上述天線之間進(jìn)行信息的發(fā)送接收；存儲電路，存儲上述墨水信息；和控制電路，對上述檢測電極、上述天線及上述存儲電路進(jìn)行控制。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的墨盒，其特征在于，上述半導(dǎo)體裝置的上述檢測電極沿著上述收容部的深度方向設(shè)置多個，且上述檢測電極以沿著上述收容部的底面的方式被配置。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的墨盒，其特征在于，上述半導(dǎo)體裝置沿著上述收容部的深度方向設(shè)置多個，且上述多個半導(dǎo)體裝置中的至少一個的上述半導(dǎo)體裝置的上述檢測電極以沿著上述收容部的底面的方式被配置。
13.一種電子設(shè)備，具備權(quán)利要求10～12的任一項所述的墨盒；和具有天線的電子設(shè)備主體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體裝置，其具備具有形成有源元件的有源元件形成面的半導(dǎo)體基板；通過接液墨水而檢測上述墨水殘量的檢測電極；發(fā)送接收信息的天線；存儲上述墨水的信息的存儲電路；和對上述檢測電極、上述天線及上述存儲電路進(jìn)行控制的控制電路。
文檔編號G01F23/22GK101034706SQ20071008569
公開日2007年9月12日 申請日期2007年3月6日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月10日
發(fā)明者橋元伸晃 申請人:精工愛普生株式會社