專利名稱：振動片、振子和應(yīng)用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陀螺儀振子中的振動片、振子和具備該振子的電子裝置。
背景技術(shù)：
一般來說，在用壓電材料形成了陀螺儀振子中的振動片的情況下，采取了在振動片上設(shè)置驅(qū)動電極和檢測電極、利用驅(qū)動電極使振動片進(jìn)行彎曲振動、用檢測電極檢測因在振動片中產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)時在該振動片中被激勵的科里奧利力引起的變形的方法。
例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開了在Z軸方向上具有厚度的H型的振動片中，音叉臂在Y軸方向上延伸、在XY平面上配置音叉以檢測Y軸旋轉(zhuǎn)的角速度的振動片。關(guān)于該振動片中的電極的結(jié)構(gòu)，在驅(qū)動臂(激勵枝)的相向的XY平面上設(shè)置了驅(qū)動電極，在作為檢測臂(拾取枝)的側(cè)面的相向的YZ平面上設(shè)置了檢測電極。為了檢測在檢測臂中發(fā)生的變形，在檢測臂的側(cè)面中在厚度方向上分割檢測電極來構(gòu)成該檢測電極。
專利文獻(xiàn)1特開平7-55479號公報(圖1至圖3)對于上述的振動片來說，利用光刻法對壓電材料的單晶進(jìn)行加工，高精度地形成了H型形狀的外形和電極。但是，根據(jù)以下的原因，不能高精度地形成檢測臂的側(cè)面的檢測電極。即，除了利用外形刻蝕刻蝕了檢測臂的側(cè)面外，由于存在因壓電材料的結(jié)晶軸方向引起的各向異性，故已被刻蝕的平面不是平坦的。此外，為了在厚度方向上分割檢測電極，必須傾斜地射入光進(jìn)行曝光，與垂直地對平面進(jìn)行曝光的情況相比，曝光精度變差。這樣，難以在檢測臂的側(cè)面上高精度地形成電極，使生產(chǎn)率下降了。
再者，對于檢測電極的尺寸精度與變形的檢測靈敏度來說，是有關(guān)聯(lián)的，如果檢測電極的尺寸精度差，則存在使變形的檢測靈敏度下降的問題。因此，作為陀螺儀振子的振動片，存在使角速度的檢測能力下降的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題而進(jìn)行的，其目的在于提供在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、能高精度地檢測角速度的振動片。此外，作為另一目的，提供能高精度地檢測角速度的振子和具備上述振子的電子裝置。
為了解決上述課題，本發(fā)明的振動片是一種由在Z軸方向上具有厚度的壓電材料構(gòu)成的振動片，其特征在于具備棒狀的多個臂部，沿成為上述振動片的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的Y軸方向延伸；以及棒狀的梁，在與上述臂部的延伸方向大致垂直的X軸方向上延伸，在XY平面上與上述臂部連接，在與上述臂部的XY平面相向的面上和與YZ平面相向的面上設(shè)置了使上述臂部在XY平面上進(jìn)行彎曲振動用的驅(qū)動電極，在與上述梁的XY平面相向的面上設(shè)置了檢測上述梁的變形用的檢測電極，其中，上述變形是受到因以上述振動片的Y軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而在上述臂部中激勵的科里奧利力的作用而產(chǎn)生的。
按照該結(jié)構(gòu)，可在平坦的XY平面上形成檢測電極，可容易地得到尺寸精度良好的檢測電極。根據(jù)這一點，可得到在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、角速度的檢測靈敏度良好的振動片。
作為本發(fā)明的振動片的材料的壓電材料，希望是石英。
此外，作為本發(fā)明的振動片的材料的壓電材料，可以是磷酸鎵(GaPO4)。
這樣，通過利用石英或磷酸鎵作為構(gòu)成振動片的壓電材料，可得到穩(wěn)定的振動，可高精度地檢測角速度。
此外，本發(fā)明的振動片的特征在于在上述梁的XY平面的一個面上具備成為對的至少一對檢測電極，在上述梁的XY平面的另一個面上具備成為對的至少一對檢測電極。
這樣，通過在梁的表面背面上分別在同一平面上設(shè)置至少一對檢測電極，可檢測作為對于振動片的Y軸旋轉(zhuǎn)的干擾的加速度。
此外，本發(fā)明的振動片的特征在于在上述梁的位于二個上述臂部之間的部分上具備上述檢測電極。
這樣，通過在位于受到科里奧利力的作用而較大地發(fā)生梁的變形的二個臂部之間的部分上具備檢測電極，可高精度地檢測變形，可得到角速度的檢測能力優(yōu)越的振動片。
此外，本發(fā)明的振動片的特征在于利用光刻形成了上述振動片的形狀和上述驅(qū)動電極、上述檢測電極。
這樣，通過利用光刻形成振動片的外形形狀和驅(qū)動電極、檢測電極，可良好地形成外形和電極的尺寸精度，可得到角速度的檢測靈敏度優(yōu)越的振動片。
此外，本發(fā)明的振子的特征在于具備上述振動片。
這樣，振子具備上述的振動片，可得到在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、角速度的檢測靈敏度良好的振動片。
此外，本發(fā)明的電子裝置的特征在于具備上述振子。
這樣，電子裝置具備在角速度的檢測靈敏度方面優(yōu)越的振子，可提供特性優(yōu)越的電子裝置。


圖1是示出本實施方式的振動片的形狀的立體圖。
圖2是示出在振動片的一個面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3是示出在圖2的背面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖4(a)是示出振動片的在驅(qū)動模式下的工作的立體圖，(b)是示出振動片的在檢測模式下的工作的立體圖。
圖5是示出在驅(qū)動模式和檢測模式下的電場圖形的圖，(a)是在驅(qū)動模式下的沿圖2中的A-A切斷線的剖面圖，(b)是在驅(qū)動模式下的沿圖2中的B-B切斷線的剖面圖，(c)是在檢測模式下的沿圖2中的C-C切斷線或D-D切斷線的剖面圖。
圖6是示出在振動片中產(chǎn)生了加速度的狀態(tài)的立體圖。
圖7是示出產(chǎn)生了加速度的狀態(tài)的梁中的電場圖形的圖，(a)是沿圖2中的C-C切斷線的剖面圖，(b)是沿圖2中的D-D切斷線的剖面圖。
圖8是示出在變形例的振動片的一個面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖9是示出在變形例中的圖8的背面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖10是示出在另一變形例中的振動片形狀的俯視圖。
圖11是示出本實施方式的振子的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖12是示出本實施方式的電子裝置的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
具體實施例方式
以下，按照

本發(fā)明的實施方式。
(第1實施方式)圖1是示出本實施方式的振動片的形狀的立體圖。首先，說明本實施方式的振動片的形狀。
振動片10使用作為壓電材料的石英的大致Z板，利用光刻形成了外形形狀。在振動片10中具有棒狀的2個臂部1a、1b，臂部1a、1b沿Y軸方向以既定的長度延伸。而且，臂部1a、1b與相對于該臂部1a、1b的延伸方向大致垂直地延伸的棒狀的梁2進(jìn)行了連接。此外，形成了臂下端部1c、1d，使得臂部1a、1b的各自的一端從梁2突出。
梁2由位于臂部1a、1b之間的檢測梁部2a和位于臂部1a、1b的外側(cè)的連接梁部2b、2c構(gòu)成。在梁2的連接梁部2b的端部上連接了第1連接部3，在連接梁部2c的端部上連接了第2連接部4。此外，在梁2的檢測梁部2a的中央部上連接了第3連接部8。而且，第1連接部3、第2連接部4、第3連接部8連接到基臺5上。此外，以上的振動片10的各部在Z軸方向(厚度方向)上具有同一厚度。
再有，作為振動片10的材料，也可用壓電材料的磷酸鎵(GaPO4)。
圖2是示出在振動片10的一個面(表面)上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3是示出在圖2的背面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
在臂部1a的XY平面的中央部形成了驅(qū)動電極20，從臂部1a的XY平面的端部到Y(jié)Z平面形成了另一個驅(qū)動電極21。
驅(qū)動電極20從臂部1a的臂下端部1c通過XZ平面連結(jié)到背面的驅(qū)動電極20上。這樣，在沿臂部1a的A-A切斷線的剖面中，將驅(qū)動電極20形成為與臂部1a的XY平面相向，將驅(qū)動電極21形成為與YZ平面相向。
此外，在振動片10的背面的臂部1a上形成了的驅(qū)動電極20上連接了引導(dǎo)電極22，通過第1連接部3到達(dá)基臺5的端部。而且，從基臺5的端部通過XZ平面連結(jié)到在基臺5的表面上設(shè)置了的驅(qū)動電極焊區(qū)24上。再者，從該驅(qū)動電極焊區(qū)24經(jīng)過基臺5的端部通過XZ平面連結(jié)到背面，連結(jié)到從臂部1b的XY平面的端部到Y(jié)Z平面形成了的驅(qū)動電極20上。
在臂部1a上設(shè)置了的另一個驅(qū)動電極21通過引導(dǎo)電極23連接到在基臺5上設(shè)置了的驅(qū)動電極焊區(qū)25上。而且，從驅(qū)動電極焊區(qū)25通過引導(dǎo)電極23連結(jié)到在臂部1b的XY平面的中央部設(shè)置了的驅(qū)動電極21上。再者，驅(qū)動電極21從臂部1b的臂下端部1d通過XZ平面連結(jié)到背面的驅(qū)動電極21上。這樣，在沿臂部1b的C-C切斷線的剖面中，將驅(qū)動電極21形成為與臂部1b的XY平面相向，將驅(qū)動電極20形成為與YZ平面相向。
如以上所述，驅(qū)動電極20和驅(qū)動電極21為不同的極，被構(gòu)成為一對驅(qū)動電極。
再有，從各自的臂部1a、1b的XY平面的端部到Y(jié)Z平面形成了的驅(qū)動電極至少處在YZ平面上即可，在后述的驅(qū)動模式下在臂部1a、1b中可激勵X軸方向的彎曲振動。
此外，在振動片10的一個面(表面)的XY平面上形成了一對檢測電極30、31。檢測電極30被設(shè)置在接近于檢測梁部2a的棱線的部分上，連接了引導(dǎo)電極32。引導(dǎo)電極32通過第3連接部8連接到在基臺5上設(shè)置了的檢測電極焊區(qū)34上。此外，檢測電極31被設(shè)置在接近于檢測梁部2a的另一條棱線的部分上，連接了引導(dǎo)電極33。而且，引導(dǎo)電極33通過第3連接部8連接到在基臺5上設(shè)置了的檢測電極焊區(qū)35上。這樣，檢測電極30、31成為一對，可檢測在表面的檢測梁部2a上發(fā)生的變形。
再者，在振動片10的另一個面(背面)的XY平面上與上述同樣地形成了一對檢測電極40、41。檢測電極40被設(shè)置在接近于檢測梁部2a的棱線的部分上，連接了引導(dǎo)電極42。引導(dǎo)電極42通過第3連接部8，從基臺5的端部經(jīng)由XZ平面連結(jié)到在基臺5的表面上形成了的檢測電極焊區(qū)44上。此外，檢測電極41被設(shè)置在接近于檢測梁部2a的另一條棱線的部分上，連接了引導(dǎo)電極43。而且，引導(dǎo)電極43通過第3連接部8，從基臺5的端部經(jīng)由XZ平面連結(jié)到在基臺5的表面上形成了的檢測電極焊區(qū)45上。這樣，檢測電極40、41成為一對，可檢測在背面的檢測梁部2a上發(fā)生的變形。
再有，將驅(qū)動電極焊區(qū)24、25和檢測電極焊區(qū)34、35、44、45設(shè)置成用引線鍵合或?qū)щ娦哉辰Y(jié)劑等的連接方法連接到另外設(shè)置了的布線上。
利用光刻以高尺寸精度形成了在以上的振動片10中配置了的電極，使用了Au作為電極的材料。
其次，說明以上的結(jié)構(gòu)中的振動片的驅(qū)動模式和檢測模式的工作。
圖4是說明振動片的工作的立體圖，圖4(a)是示出在驅(qū)動模式下的工作的立體圖，圖4(b)是示出在檢測模式下的工作的立體圖。
圖5是示出壓電材料內(nèi)的電場圖形的圖，圖5(a)是在驅(qū)動模式下的沿圖2中的A-A切斷線的剖面圖，該圖(b)是在驅(qū)動模式下的沿圖2中的B-B切斷線的剖面圖，該圖(c)是在檢測模式下的沿圖2中的C-C切斷線或D-D切斷線的剖面圖。
在振動片10的驅(qū)動模式下，如圖4(a)中所示，臂部1a、1b在XY平面內(nèi)進(jìn)行彎曲振動。關(guān)于臂部1a的電極結(jié)構(gòu)，在臂部1a的XY平面的中央部形成了相向的驅(qū)動電極20，從臂部1a的XY平面的端部起到Y(jié)Z平面形成了另一個相向的驅(qū)動電極21。此外，在另一個臂部1b中也配置了驅(qū)動電極20和驅(qū)動電極21。在臂部1b中，將驅(qū)動電極構(gòu)成為彎曲振動與臂部1a的彎曲振動反相。據(jù)此，如圖5(a)、(b)中所示，例如，如果對驅(qū)動電極20施加正的電壓，對另一個驅(qū)動電極21施加負(fù)的電壓，則以從驅(qū)動電極20朝向驅(qū)動電極21的方式產(chǎn)生電場。這樣，以臂部1a、1b的中心為邊界，在右側(cè)的一半部分和左側(cè)的一半部分中電場的方向相反，如果一方產(chǎn)生伸展的變形，則另一方產(chǎn)生縮小的變形，臂部1a、1b彎曲。而且，如果對驅(qū)動電極20和驅(qū)動電極21交替地施加電壓，則臂部1a、1b可進(jìn)行彎曲振動。
這樣，對于臂部1a和臂部1b來說，由于將驅(qū)動電極構(gòu)成為相互以反相的方式振動，故以臂部1a、1b的前端接近或遠(yuǎn)離的方式進(jìn)行彎曲振動。
其次，對于振動片的檢測模式進(jìn)行說明。在振動片10以上述的驅(qū)動模式進(jìn)行彎曲振動的期間內(nèi)，如果產(chǎn)生以Y軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，則在臂部1a、1b中在用圖4(b)的實線箭頭示出的Z軸方向上交替地激勵用實線箭頭示出的科里奧利力F和用虛線箭頭示出的科里奧利力F。而且受到在臂部1a、1b中被激勵了的科里奧利力的作用，在梁2中產(chǎn)生因扭曲引起的剪切變形。
如圖5(c)中所示，在梁2的檢測梁部2a中的XY平面上配置了一對檢測電極30、31，在背面的XY平面上配置了一對檢測電極40、41。如果在檢測梁部2a中產(chǎn)生扭曲，則在沿圖2中的C-C切斷線和D-D切斷線的剖面上產(chǎn)生同樣的電場。關(guān)于電場的產(chǎn)生圖形，例如從檢測電極30至檢測電極31產(chǎn)生電場，在另一方，從檢測電極40至檢測電極41產(chǎn)生電場。
從檢測電極30、31和檢測電極40、41作為電壓取出在該檢測梁部2a的表面和背面上發(fā)生了的變形并進(jìn)行差分放大，通過用運算電路進(jìn)行處理，可檢測角速度的方向、大小。
再有，關(guān)于檢測電極的配置，在本實施方式中在檢測梁部2a上進(jìn)行了設(shè)置，但在連接梁部2b、2c中也發(fā)生了變形，即使至少在連接梁部2b、2c的某一個上設(shè)置檢測電極，也可檢測梁2的變形，可進(jìn)行角速度的檢測。
其次，說明振動片10的Y軸旋轉(zhuǎn)中的對于角速度的檢測作為外部擾動的Z軸方向的加速度的檢測。
圖6是示出對振動片施加了Z軸方向的加速度時的狀態(tài)的立體圖。圖7是示出對振動片施加了Z軸方向的加速度時的壓電材料內(nèi)的電場圖形的圖，圖7(a)是沿圖2中的C-C切斷線的剖面圖，該圖(b)是沿圖2中的D-D切斷線的剖面圖。
如果對振動片10施加沿Z軸方向的加速度Fa，則如圖6中所示，臂部1a、1b在Z軸方向上以同相的關(guān)系發(fā)生變形，在梁2中產(chǎn)生扭曲。此時，在檢測梁部2a的沿圖2中的C-C切斷線的剖面上例如從檢測電極30至檢測電極31產(chǎn)生電場，從檢測電極41至檢測電極40產(chǎn)生電場。另一方面，此時在檢測梁部2a的沿圖2中的D-D切斷線的剖面上例如從檢測電極31至檢測電極30產(chǎn)生電場，從檢測電極40至檢測電極41產(chǎn)生電場。
這樣，由于在檢測梁部2a中產(chǎn)生的電場與檢測角速度的檢測模式中的電場的產(chǎn)生的圖形不同，故可識別產(chǎn)生了加速度的模式，可進(jìn)行與角速度的區(qū)別。
如以上所述，本實施方式的振動片10在厚度方向上不分割檢測電極30、31、40、41，可在XY平面上形成，可容易地得到尺寸精度良好的檢測電極30、31、40、41。此外，因為可進(jìn)行振動片10的Y軸旋轉(zhuǎn)中的相對于角速度的檢測作為干擾的Z軸方向的加速度的檢測，故可分離角速度和加速度。據(jù)此，可得到在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、角速度的檢測靈敏度良好的振動片10。
(變形例1)以下，說明檢測電極的配置的變形例。
圖8是示出在振動片的一個面(表面)上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖9是示出在圖8的背面上配置了的電極的結(jié)構(gòu)的俯視圖。由于就振動片的外形形狀和驅(qū)動電極、進(jìn)而是振動片的工作來說與上述中已說明的振動片是同樣的，故附以相同的符號而省略其說明。
在振動片100的表面的檢測梁部2a的XY平面上設(shè)置了二對檢測電極。檢測電極101、103在表面的XY平面上構(gòu)成一對檢測電極，用檢測電極102、104構(gòu)成了另一對檢測電極。檢測電極101、103分別連接到引導(dǎo)電極105、107上，通過第3連接部8，連接到在基臺5上設(shè)置了的檢測電極焊區(qū)109、111上。同樣，檢測電極102、104分別連接到引導(dǎo)電極106、108上，通過第3連接部8，連接到在基臺5上設(shè)置了的檢測電極焊區(qū)110、112上。
此外，在振動片100背面的檢測梁部2a的XY平面上與上述同樣地設(shè)置了二對檢測電極。用檢測電極121、123構(gòu)成了一對檢測電極，用檢測電極122、124構(gòu)成了另一對檢測電極。檢測電極121、123分別連接到引導(dǎo)電極125、127上，通過第3連接部8，從基臺5的端部經(jīng)由XZ平面，連結(jié)到在基臺5的表面上形成了的檢測電極焊區(qū)129、131上。同樣，檢測電極122、124分別連接到引導(dǎo)電極126、128上，通過第3連接部8，從基臺5的端部經(jīng)由XZ平面，連結(jié)到在基臺5的表面上形成了的檢測電極焊區(qū)130、132上。
這樣，在梁2的檢測梁部2a中，通過在表面上設(shè)置二對檢測電極、在背面上設(shè)置二對檢測電極，可使由檢測梁部2a的形狀或電極的尺寸誤差產(chǎn)生的變形的檢測誤差平均化，可更加高精度地檢測檢測梁部2a的變形。據(jù)此，可更加高精度地進(jìn)行角速度的檢測。
(變形例2)其次，說明對振動片的形狀進(jìn)行了變形的情況的變形例。
圖10是在振動片中具備3個臂部的振動片的俯視圖。在振動片200中，具有棒狀的3個臂部201a、201b、201c，臂部201a、201b、201c沿Y軸方向以既定的長度延伸。而且，臂部201a、201b、201c與棒狀的梁202連接，而棒狀的梁202與該臂部201a、201b、201c的延伸方向大致垂直地(沿X軸方向)延伸。此外，形成了臂下端部201d、201e、201f，使得臂部201a、201b、201c的各自的一端從梁202突出。
梁202由位于臂部201a、201b之間的檢測梁部202a、位于臂部201b、201c之間的檢測梁部202b和位于臂部201a、201c的外側(cè)的連接梁部202c、202d構(gòu)成。
在梁202的連接梁部202c的端部上連接了第1連接部203，在連接梁部202d的端部上連接了第2連接部204。此外，梁202的檢測梁部202a和202b的中央部連接了第3連接部205和第4連接部206。而且，將第1連接部203、第2連接部204、第3連接部205和第4連接部206連接到基臺205上。此外，以上的振動片200的各部在Z軸方向(厚度方向)上具有同一厚度。
在臂部201a、201b、201c上分別配置了與上述的驅(qū)動電極同樣的驅(qū)動電極(未圖示)，在驅(qū)動模式下相鄰的臂部沿X軸方向分別以反相的關(guān)系進(jìn)行彎曲振動。
此外，在檢測梁部202a和202b的2個部位上分別配置了與上述的檢測電極同樣的檢測電極(未圖示)。在Y軸旋轉(zhuǎn)中的檢測模式下，臂部201a、201b、201c沿Z軸方向以相互反相的關(guān)系彎曲。因此，在檢測梁部202a、202b中產(chǎn)生變形，通過用檢測電極檢測該變形，可識別角速度的大小、方向。
(第2實施方式)圖11是示出本發(fā)明的實施方式的振子的剖面圖。
振子50由振動片10、電路元件52、容納容器51和蓋體53構(gòu)成。用陶瓷等形成的容納容器51的一面開放，設(shè)置了凹部。通過用導(dǎo)電性粘結(jié)劑將振動片10粘結(jié)到該凹部上，將振動片10固定在容納容器51上并與在容納容器51上形成了的布線(未圖示)進(jìn)行了電連接。此外，在容納容器51的凹部的底面上設(shè)置了驅(qū)動振動片10的驅(qū)動電路或包含將已檢測的變形作為角速度信號進(jìn)行運算處理的運算電路的電路元件52。利用引線鍵合將電路元件52連接到在容納容器上形成了的布線上。然后，用蓋體53密封了容納容器51的上表面，將內(nèi)部保持為真空氣氛。
這樣，振子50具備上述的振動片10，可得到在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、角速度的檢測靈敏度良好的振子50。
(第3實施方式)其次，說明與本發(fā)明有關(guān)的電子裝置的實施方式。
圖12是示出電子裝置的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。在電子裝置60中具備包含在上述的實施方式中已說明的各自的振動片的振子50。
作為使用了實施方式的振子的電子裝置，可舉出有必要檢測其姿態(tài)的變化的移動電話機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和導(dǎo)航系統(tǒng)那樣的電子裝置。
在這樣的電子裝置中，具備在角速度的檢測靈敏度方面優(yōu)越的上述振子，可提供特性優(yōu)越的電子裝置。
權(quán)利要求
1.一種由在Z軸方向上具有厚度的壓電材料構(gòu)成的振動片，其特征在于具備棒狀的多個臂部，沿成為上述振動片的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的Y軸方向延伸；以及棒狀的梁，在與上述臂部的延伸方向大致垂直的X軸方向上延伸，在XY平面上與上述臂部連接，在與上述臂部的XY平面相向的面上和與YZ平面相向的面上設(shè)置了使上述臂部在XY平面上進(jìn)行彎曲振動用的驅(qū)動電極，在與上述梁的XY平面相向的面上設(shè)置了檢測上述梁的變形用的檢測電極，其中，上述變形是受到因以上述振動片的Y軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而在上述臂部中激勵起的科里奧利力的作用而產(chǎn)生的。
2.如權(quán)利要求1中所述的振動片，其特征在于上述壓電材料是石英。
3.如權(quán)利要求1中所述的振動片，其特征在于上述壓電材料是磷酸鎵(GaPO4)。
4.如權(quán)利要求1至3的任意一項中所述的振動片，其特征在于在上述梁的XY平面的一個面上具備成為對的至少一對檢測電極，在上述梁的XY平面的另一個面上具備成為對的至少一對檢測電極。
5.如權(quán)利要求1至4的任意一項中所述的振動片，其特征在于在上述梁的位于二個上述臂部之間的部分上具備上述檢測電極。
6.如權(quán)利要求1至5的任意一項中所述的振動片，其特征在于利用光刻形成了上述振動片的形狀和上述驅(qū)動電極、上述檢測電極。
7.一種振子，其特征在于具備權(quán)利要求1至6的任意一項中所述的振動片。
8.一種應(yīng)用裝置，其特征在于具備權(quán)利要求7中所述的振子。
全文摘要
振動片、振子和應(yīng)用裝置。本發(fā)明的課題是提供在生產(chǎn)率方面優(yōu)越的、能高精度地檢測角速度的振動片。在由Z軸方向上具有厚度的壓電材料構(gòu)成的振動片(10)中，具備沿成為振動片(10)的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸的Y軸方向延伸的棒狀的臂部(1a、1b)；以及在與臂部(1a、1b)的延伸的方向垂直的X軸方向上延伸的、在XY平面上與臂部(1a、1b)連接的棒狀的梁(2)，在與臂部(1a、1b)的XY平面相向的面上和與YZ平面相向的面上設(shè)置使臂部(1a、1b)在XY平面上進(jìn)行彎曲振動的驅(qū)動電極(20、21)，在與梁(2)的XY平面相向的面上設(shè)置了檢測梁(2)的變形用的檢測電極(30、31、40、41)，其中，上述變形是受到因以振動片(10)的Y軸為旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)而在臂部(1a、1b)中激勵起的科里奧利力的作用而產(chǎn)生的。
文檔編號G01P9/04GK1737498SQ20051009056
公開日2006年2月22日 申請日期2005年8月17日 優(yōu)先權(quán)日2004年8月19日
發(fā)明者江口誠 申請人:精工愛普生株式會社