專利名稱：半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的引腳電子線路中調(diào)整驅(qū)動器和比較器的工作時序的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的引腳電子線路中包含了對被測定器件施加信號的驅(qū)動器及判定與該信號對應(yīng)地從被測定器件輸出的信號的邏輯的比較器。驅(qū)動器進(jìn)行與被輸入的時鐘信號同步的信號的輸出工作。此外，比較器進(jìn)行與被輸入的選通信號同步的判定工作。
但是，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的初始狀態(tài)下，由于被測定器件的各個輸入輸出引腳的信號路徑的時間長度中存在離散性，故從驅(qū)動器輸出信號的時序或由比較器進(jìn)行的判定時序偏離了預(yù)期的時序。因此，在對被測定器件實(shí)施各種試驗(yàn)前，要進(jìn)行時序校準(zhǔn)。
圖73是示出進(jìn)行半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)的圖。在圖73中，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體90經(jīng)在性能板92中具備的專用的電纜93連接到插座板94上。例如，在對具有BGA(球柵格陣列)類型的封裝體的被測定器件進(jìn)行各種試驗(yàn)的情況下，使用在表面上設(shè)置了多個裝有彈簧的引腳的插座板94。測試板96是為了使從基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器(DR/CP)部98引出的探針99與在插座板94的表面上設(shè)置的這些裝有彈簧的引腳接觸的作業(yè)變得容易而使用的，具有在內(nèi)部導(dǎo)電性地連接分別在表面和背面上設(shè)置的焊區(qū)的結(jié)構(gòu)。
圖74是圖73中示出的現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)的電的配置圖。在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體90中，具備多組驅(qū)動器和比較器，各組的驅(qū)動器和比較器經(jīng)性能板(PB)92和插座板(SB)94連接到共同的器件插座端上。再有，在圖74中省略了測試板96。
圖75、圖76、圖77是示出現(xiàn)有的時序校準(zhǔn)的概要的圖。如圖75中所示，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的初始狀態(tài)下，分別輸入到n個驅(qū)動器DR1～DRn和n個比較器CP1～CPn中的時鐘信號CLK1～CLKn和選通信號STB1～STBn的相位發(fā)生了偏移(skew)。
首先，將基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部98的探針99經(jīng)測試板96連接到某一個器件插座端上，使選通信號STB1的相位(由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時刻)與基準(zhǔn)驅(qū)動器信號(基準(zhǔn)DR)的上升時刻相一致(圖76)。其次，在使基準(zhǔn)比較器信號(基準(zhǔn)CP)的相位與該基準(zhǔn)驅(qū)動器的輸出信號的上升時刻相一致后，調(diào)整輸入到驅(qū)動器DR1中的時鐘信號的CLK1的相位，以使從驅(qū)動器DR1輸出的信號的上升時刻與該基準(zhǔn)比較器信號的輸出時刻(由基準(zhǔn)比較器進(jìn)行的比較工作的時刻)相一致(圖77)。對每個器件插座端進(jìn)行這樣的時序校準(zhǔn)作業(yè)。
但是，在上述的現(xiàn)有的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)方法中，為了在器件插座端上進(jìn)行時序校正，必須重復(fù)地進(jìn)行基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部98中具備的探針99的移動和該前端部分的接觸，為了使該操作自動化而必須有特殊的裝置。雖然考慮讓專用的自動裝置來進(jìn)行該作業(yè)，但一般來說這樣的自動裝置的價格高，而且在很多情況下，為了確保高的定位精度，其操作是不容易的，故存在作業(yè)內(nèi)容變得復(fù)雜的問題。此外，雖然也可在不使用自動裝置的情況下用手工作業(yè)來進(jìn)行探針99的對位，但在被測定器件的引腳數(shù)多的情況下或在同時進(jìn)行試驗(yàn)的被測定器件的數(shù)目多的情況下，由于重復(fù)進(jìn)行探針99的移動和接觸的次數(shù)變得非常多，故存在到時序校準(zhǔn)結(jié)束為止的作業(yè)時間增大的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的問題而進(jìn)行的，其目的在于提供一種能降低成本、簡化作業(yè)內(nèi)容、縮短作業(yè)時間的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在多個驅(qū)動器的每一個與多個比較器的每一個以1對1的方式相對應(yīng)的狀態(tài)下，對于彼此以1對1的方式對應(yīng)的時鐘信號和選通信號，以某一方為基準(zhǔn)來調(diào)整另一方的相位。在第2步驟中，取得分別與多個驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號相互間的相對的相位差或分別與多個比較器對應(yīng)的選通信號相互間的相對的相位差。在第3步驟中，根據(jù)相對的相位差調(diào)整多個時鐘信號和多個選通信號的相位。由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動和接觸實(shí)現(xiàn)自動化用的專用的自動裝置等，故可大幅度地削減成本。
特別是，希望通過使時鐘信號的相位可變以使根據(jù)選通信號由比較器進(jìn)行比較工作的時序與從驅(qū)動器輸出而輸入到比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述的第1步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。或者，希望通過使選通信號的相位可變以使根據(jù)選通信號由比較器進(jìn)行比較工作的時序與從驅(qū)動器輸出而輸入到比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述的第1步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。此外，在改變了第1步驟中的驅(qū)動器與比較器的組合的狀態(tài)下，希望通過對于彼此以1對1的方式對應(yīng)的時鐘信號和選通信號以某一方為基準(zhǔn)測定另一方的相位差來進(jìn)行上述的第2步驟中進(jìn)行的相位差的取得。通過一邊觀察由比較器得到的比較工作的結(jié)果一邊使時鐘信號或選通信號的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對的相位差的測定等。
此外，希望在上述的時鐘信號對于驅(qū)動器的供給路徑和選通信號對于比較器的供給路徑中分別插入使信號的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個別地可變，可將與各器件插座端對應(yīng)的時鐘信號和選通信號的各自的相位調(diào)整為任意的值。
此外，希望使用對應(yīng)的一個驅(qū)動器的輸出端和一個比較器的輸入端經(jīng)相等的時間長度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望使用對應(yīng)的一個驅(qū)動器的輸出端和一個比較器的輸入端經(jīng)相等的時間長度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的、其布線的組合與第1校準(zhǔn)板不同的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。通過使用第1校準(zhǔn)板或第2校準(zhǔn)板能進(jìn)行時鐘信號和選通信號的相位調(diào)整或選通信號間的相位差或時鐘信號間的相位差的測定。因而，與使用探針以各器件插座端為單位調(diào)整時鐘信號或選通信號的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。由于機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，故可大幅度地縮短時序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時間。
此外，希望使用對應(yīng)的一個驅(qū)動器的輸出端和一個比較器的輸入端經(jīng)相等的時間長度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以使對應(yīng)的一個驅(qū)動器的輸出端和一個比較器的輸入端經(jīng)相等的時間長度的布線分別連接到短路連接點(diǎn)上來進(jìn)行第2步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1和第2步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個分組以便包含2個以上的多個驅(qū)動器和多個比較器的至少一方的狀態(tài)下，在每個組中使從多個驅(qū)動器輸出并輸入到比較器中的信號的變化的時序與由多個比較器進(jìn)行比較工作的時序相一致來調(diào)整時鐘信號的相位和選通信號的相位。在第2步驟中，對于不同的組來說，取得與驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號相互間的相對的相位差或與比較器對應(yīng)的選通信號相互間的相對的相位差。在第3步驟中，根據(jù)相對的相位差，調(diào)整與多個組中分別包含的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位和與比較器對應(yīng)的選通信號的相位。由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動和接觸實(shí)現(xiàn)自動化用的專用的自動裝置等，故可大幅度地削減成本。此外，通過以組為單位進(jìn)行校準(zhǔn)工作，由于可使組內(nèi)的調(diào)整誤差平均化，故可減少因測定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差。
此外，希望在上述的時鐘信號對于驅(qū)動器的供給路徑和選通信號對于比較器的供給路徑中分別插入使信號的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個別地可變，可將時鐘信號和選通信號的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望在多個組的每一組中使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了一個組中包含的驅(qū)動器的輸出端與另一個組中包含的比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個別地調(diào)整時鐘信號或選通信號的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時鐘信號和選通信號，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，可大幅度地縮短時序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時間。
此外，希望使用對于全部的組來說經(jīng)時間長度相等的布線連接了各組中包含的驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便在全部的組之間經(jīng)時間長度相等的布線連接一個組中包含的驅(qū)動器的輸出端與另一個組中包含的比較器的輸入端來進(jìn)行第2步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1和第2步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個分組以便包含2個以上的多個驅(qū)動器和多個比較器的至少一方的狀態(tài)下，將一個比較器作為共同比較器，將與該共同比較器對應(yīng)的選通信號為基準(zhǔn)，將各組中包含的一個驅(qū)動器作為組內(nèi)共同驅(qū)動器，調(diào)整與該組內(nèi)共同驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位。在第2步驟中，在m個組的每一組中，以與組內(nèi)共同驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的比較器對應(yīng)的選通信號的相位。在第3步驟中，在m個組的每一組中，以與任意的比較器對應(yīng)的選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位。
或者，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1～第3步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，在進(jìn)行了m個分組以便包含2個以上的多個驅(qū)動器和多個比較器的至少一方的狀態(tài)下，將一個驅(qū)動器作為共同驅(qū)動器，將與該共同驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號為基準(zhǔn)，將各組中包含的一個比較器作為組內(nèi)共同比較器，調(diào)整與該組內(nèi)共同比較器對應(yīng)的選通信號的相位。在第2步驟中，在m個組的每一組中，以與組內(nèi)共同比較器對應(yīng)的選通信號的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位。在第3步驟中，在m個組的每一組中，以與任意的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與相同的組中包含的比較器對應(yīng)的選通信號的相位。
由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動和接觸實(shí)現(xiàn)自動化用的專用的自動裝置等，故可大幅度地削減成本。此外，可在每個組中并行地進(jìn)行第2和第3步驟中的調(diào)整作業(yè)，可提高作業(yè)效率和縮短作業(yè)時間。
希望通過使時鐘信號或選通信號的相位可變以使根據(jù)選通信號由比較器進(jìn)行比較工作的時序與分別從驅(qū)動器輸出而輸入到比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述第1～第3步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。通過一邊觀察由比較器進(jìn)行的比較工作的結(jié)果一邊使時鐘信號或選通信號的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對的相位差的測定等。
此外，希望在上述的時鐘信號對于驅(qū)動器的供給路徑和選通信號對于比較器的供給路徑中分別插入使信號的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個別地可變，可將時鐘信號和選通信號的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望使用經(jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了共同比較器的輸入端與組內(nèi)共同驅(qū)動器的輸出端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟?；蛘撸Ｍ褂媒?jīng)共同的第1短路連接點(diǎn)連接了共同驅(qū)動器的輸出端與組內(nèi)共同比較器的輸入端的第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，希望在多個組的每一組中使用經(jīng)共同的第2短路連接點(diǎn)連接了驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2和第3步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個別地調(diào)整時鐘信號或選通信號的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時鐘信號和選通信號，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，希望在上述的第1步驟與第2步驟之間具有將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板的第4步驟。機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，可大幅度地縮短時序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時間。
此外，希望使用對于全部的組來說經(jīng)時間長度相等的布線連接了共同比較器的輸入端與m個組中分別包含的組內(nèi)共同驅(qū)動器的輸出端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便對于全部的組來說經(jīng)時間長度相等的布線連接各組中包含的驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端來進(jìn)行第2和第3步驟?；蛘?，希望使用對于全部的組來說經(jīng)時間長度相等的布線連接了共同驅(qū)動器的輸出端與m個組中分別包含的組內(nèi)共同比較器的輸入端的第3校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟，希望轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)以便對于全部的組來說經(jīng)時間長度相等的布線連接各組中包含的驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端來進(jìn)行第2和第3步驟。通過使用可轉(zhuǎn)換布線內(nèi)容的第3校準(zhǔn)板，由于不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，故可進(jìn)一步縮短整體的作業(yè)時間。
此外，希望在上述的第3校準(zhǔn)板中包含轉(zhuǎn)換布線狀態(tài)的多個轉(zhuǎn)換開關(guān)，通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)的連接狀態(tài)來進(jìn)行第1、第2和第3步驟的工作。由此，可容易地轉(zhuǎn)換第3校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動化。
此外，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1和第2步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，以與一個驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個比較器對應(yīng)的選通信號的相位。在第2步驟中，以在第1步驟中相位調(diào)整結(jié)束了的一個選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位。
或者，在本發(fā)明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法中，為了進(jìn)行具備進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作的驅(qū)動器和進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，包含第1和第2步驟而構(gòu)成。在第1步驟中，以與一個比較器對應(yīng)的選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位。在第2步驟中，以在第1步驟中相位調(diào)整結(jié)束了的一個時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個比較器對應(yīng)的選通信號的相位。
由于不需要像以往那樣只為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動和接觸實(shí)現(xiàn)自動化用的專用的自動裝置等，故可大幅度地削減成本。
此外，希望通過使時鐘信號或選通信號的相位可變以使根據(jù)選通信號由比較器進(jìn)行比較工作的時序與分別從驅(qū)動器輸出而輸入到比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述第1和第2的各步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。通過一邊觀察由比較器得到的比較工作的結(jié)果一邊使時鐘信號或選通信號的相位可變，可容易地進(jìn)行這些相位的調(diào)整或相對的相位差的測定等。
此外，希望在上述的時鐘信號對于驅(qū)動器的供給路徑和選通信號對于比較器的供給路徑中分別插入使信號的相位可變的延遲元件。通過使各延遲元件的延遲量個別地可變，可將時鐘信號和選通信號的各自的相位調(diào)整為任意的值，這些信號的相位調(diào)整變得容易。
此外，希望使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了一個驅(qū)動器的輸出端與多個比較器的各自的輸入端的多個第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟?；蛘?，希望使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了多個驅(qū)動器的各自的輸出端與一個比較器的輸入端的多個第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第1步驟。此外，多個驅(qū)動器的每一個與多個比較器的每一個相對應(yīng)，希望使用連接了對應(yīng)的驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述的第2步驟。由于通過更換第1和第2校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，故與使用探針個別地調(diào)整時鐘信號或選通信號的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡化作業(yè)內(nèi)容。
此外，希望將連接上述的驅(qū)動器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度和連接比較器與第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度設(shè)定為全部相同。由此，可在相同的條件下調(diào)整全部的時鐘信號和選通信號，從而可實(shí)現(xiàn)由觀察比較器的輸出而進(jìn)行的校準(zhǔn)工作。
此外，也可使用進(jìn)行了同樣的布線的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替使用上述的各種校準(zhǔn)板。特別是，通過使用裝卸裝置進(jìn)行校準(zhǔn)器件的更換，可實(shí)現(xiàn)更換作業(yè)的自動化。
圖1是示出成為時序校準(zhǔn)的對象的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
圖2是示出一個校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖3是示出另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖4是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖5是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體上放置了一個校準(zhǔn)板(CB)的狀態(tài)的圖。
圖6是示出在步驟101中被實(shí)施的時鐘信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖7是示出圖6中示出的時鐘信號的相位的調(diào)整工作的細(xì)節(jié)的圖。
圖8是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體上放置了另一校準(zhǔn)板的狀態(tài)的圖。
圖9是示出在步驟103中被實(shí)施的選通信號的相位差取得工作的概略的圖。
圖10是示出在步驟104、105中被實(shí)施的選通信號的校正值決定工作和校正工作的概略的圖。
圖11是示出在步驟106中被實(shí)施的時鐘信號的相位校正工作的概略的圖。
圖12是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖13是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖14是示出第3實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的一個校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖15是示出第3實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖16是示出在進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中的時鐘信號和選通信號的初始狀態(tài)的圖。
圖17是示出第3實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖18是示出與圖17中示出的步驟201對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖19是示出在圖17中示出的步驟201中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖20是示出與圖17中示出的步驟202對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖21是示出在圖17中示出的步驟202中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖22是示出與圖17中示出的步驟204對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖23是示出在圖17中示出的步驟204中被實(shí)施的選通信號的相位差測定工作的概略的圖。
圖24是示出在圖17中示出的步驟206中被實(shí)施的選通信號的相位校正的概略的圖。
圖25是示出與圖17中示出的步驟207對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖26是示出在圖17中示出的步驟207中被實(shí)施的時鐘信號的校正工作的概略的圖。
圖27是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖28是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖29是示出第5實(shí)施形態(tài)的一個校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖30是示出第5實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖31是示出第5實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖32是示出與圖31中示出的步驟301對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖33是示出在圖31中示出的步驟301中被實(shí)施的時鐘信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖34是示出與圖31中示出的步驟303對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖35是示出在圖31中示出的步驟303中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖36是示出與圖31中示出的步驟304對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。
圖37是示出在圖31中示出的步驟304中被實(shí)施的時鐘信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。
圖38是示出第6實(shí)施形態(tài)的一個校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖39是示出第6實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖40是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖41是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖42是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的變例的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖43是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板的功能的變例的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖44是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖45是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖46是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖47是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖48是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。
圖49是示出第8實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。
圖50是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的變例的圖。
圖51是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的n+1種校準(zhǔn)板的功能的第9實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)的圖。
圖52是示出圖51中示出的校準(zhǔn)板的變例的圖。
圖53是示出變更了校準(zhǔn)板的設(shè)置狀態(tài)的變例的圖。
圖54是與圖53中示出的結(jié)構(gòu)對應(yīng)的時鐘信號的相位調(diào)整的說明圖。
圖55是示出校準(zhǔn)器件與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。
圖56是示出使用了校準(zhǔn)器件的時序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖57是示出校準(zhǔn)晶片與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。
圖58是示出使用了校準(zhǔn)晶片的時序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖59是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖60是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖61是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖62是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖63是示出實(shí)現(xiàn)了與第5實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖64是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖65是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖66是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖67是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖68是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。
圖69是示出實(shí)現(xiàn)了與第1實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖70是示出實(shí)現(xiàn)了與第3實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖71是示出實(shí)現(xiàn)了與第5實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖72是示出實(shí)現(xiàn)了與第8實(shí)施形態(tài)中使用的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。
圖73是進(jìn)行半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的圖。
圖74是圖73中示出的現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的電配置圖。
圖75是示出現(xiàn)有的時序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖76是示出現(xiàn)有的時序校準(zhǔn)的概要的圖。
圖77是示出現(xiàn)有的時序校準(zhǔn)的概要的圖。
具體實(shí)施例方式
以下，詳細(xì)地說明提供了本發(fā)明的一個實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
〔第1實(shí)施形態(tài)〕圖1是示出成為在第1實(shí)施形態(tài)中進(jìn)行的時序校準(zhǔn)的對象的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。該半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置為了對被測定器件(未圖示)實(shí)施規(guī)定的試驗(yàn)，包含半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10和工作站(WS)40而構(gòu)成。
工作站40控制功能試驗(yàn)等的一系列的試驗(yàn)工作或時序校準(zhǔn)工作的整體，同時實(shí)現(xiàn)與用戶之間的接口。
半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10通過執(zhí)行從工作站40傳送來的規(guī)定的試驗(yàn)程序來進(jìn)行對被測定器件的各種試驗(yàn)。此外，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10通過執(zhí)行從工作站40傳送來的專用程序，實(shí)施時序校準(zhǔn)。為此，半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10具備測試器控制部(TP)12；時序發(fā)生器(TG)14；模式發(fā)生器(PG)16；數(shù)據(jù)選擇器(DS)18；格式控制部(FC)20；以及引腳電子線路22。
測試器控制部12經(jīng)總線與時序發(fā)生器14等的各構(gòu)成部連接，通過執(zhí)行從工作站40傳送來的試驗(yàn)程序，對各構(gòu)成部進(jìn)行在各種試驗(yàn)工作或校正工作中必要的控制。
時序發(fā)生器14設(shè)定試驗(yàn)工作的基本周期，同時生成該已設(shè)定的基本周期內(nèi)包含的各種時序沿。模式發(fā)生器16發(fā)生對被測定器件的各引腳輸入的模式數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)選擇器18使從模式發(fā)生器16輸出的各種模式數(shù)據(jù)與輸入該數(shù)據(jù)的被測定器件的各引腳相對應(yīng)。格式控制部20根據(jù)由模式發(fā)生器16發(fā)生并由數(shù)據(jù)選擇器18選擇的模式數(shù)據(jù)和由時序發(fā)生器14生成的時序沿，進(jìn)行對被測定器件的波形控制。
引腳電子線路22用來在與被測定器件之間取得物理的接口，根據(jù)由格式控制部20的波形控制生成的時鐘信號CLK和選通信號STB，生成實(shí)際上在與被測定器件之間被輸入輸出的信號。為此，引腳電子線路22包含n個驅(qū)動器DR1～DRn和n個比較器CP1～CPn而構(gòu)成。
驅(qū)動器DR1進(jìn)行與從格式控制部20輸出的時鐘信號CLK1同步的信號的生成工作，在時鐘信號CLK1上升時，使輸出信號從低電平變化為高電平。同樣，驅(qū)動器DR2～DRn進(jìn)行分別與被輸入的時鐘信號CLK2～CLKn同步的信號的生成工作，在對應(yīng)的時鐘信號上升時，使輸出信號從低電平變化為高電平。
再有，在本實(shí)施形態(tài)(對于其它的實(shí)施形態(tài)來說也是同樣的)中，使驅(qū)動器的輸出信號以與時鐘信號相同的方式變化，即，與時鐘信號的上升同步地使驅(qū)動器的輸出信號也上升，與時鐘信號的下降同步地使驅(qū)動器的輸出信號也下降，但也可相反地與時鐘信號的上升同步地使驅(qū)動器的輸出信號下降，與時鐘信號的下降同步地使驅(qū)動器的輸出信號上升。
比較器CP1進(jìn)行與從格式控制部20輸出的選通信號STB1同步的比較工作，在輸入了選通信號STB1的時刻處判定從被測定器件的對應(yīng)引腳輸入的信號的邏輯。同樣，比較器CP2～CPn進(jìn)行分別與被輸入的選通信號STB2～STBn同步的比較工作，在輸入了對應(yīng)的選通信號的時刻處判定從被測定器件的對應(yīng)引腳輸入的信號的邏輯。
再有，在利用比較器進(jìn)行與選通信號同步的比較工作的情況下，考慮與選通信號的上升同步地進(jìn)行比較器的比較工作的情況和與選通信號的下降同步地進(jìn)行比較器的比較工作的情況，但在本實(shí)施形態(tài)(對于其它的實(shí)施形態(tài)來說也是同樣的)中，由于在與本發(fā)明的關(guān)系中沒有本質(zhì)的差異，故采用哪一種比較時序都可以。
上述的驅(qū)動器DR1和比較器CP1成為一組，與被測定器件的一組輸入輸出引腳相對應(yīng)。此外，驅(qū)動器DR2和比較器CP2成為一組，與被測定器件的另一組輸入輸出引腳相對應(yīng)。這樣，與被測定器件的各輸入輸出引腳相對應(yīng)地設(shè)置了一組驅(qū)動器和比較器。
此外，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上安裝了性能板30，上述的引腳電子線路22經(jīng)該性能板30連接到校準(zhǔn)板50A(或50B)上。
校準(zhǔn)板50A、50B是為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而進(jìn)行了特別的內(nèi)部布線的板，對這2個板進(jìn)行了彼此不同的布線。
圖2是示出一個校準(zhǔn)板50A的布線狀態(tài)的圖。在圖2中，2個端子1a、1b與短路連接點(diǎn)(器件插座端)1c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度(時間長度)為相同。此外，2個端子2a、2b與短路連接點(diǎn)2c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度為相同。同樣，2個端子na、nb與短路連接點(diǎn)nc共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度為相同。再者，將上述的各布線長度對于全部的短路連接點(diǎn)設(shè)定成相同的長度。
圖3是示出另一校準(zhǔn)板50B的布線狀態(tài)的圖。在圖3中，2個端子1a、nb與短路連接點(diǎn)1c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度為相同。此外，2個端子2a、1b與短路連接點(diǎn)2c共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度為相同。同樣，2個端子na、2b與短路連接點(diǎn)nc共同地連接，而且，設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度為相同。再者，將上述的各布線長度對于2種校準(zhǔn)板50A、50B的全部的短路連接點(diǎn)設(shè)定成相同的長度。
本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置具有這樣的結(jié)構(gòu)，其次，說明使用了該結(jié)構(gòu)的校準(zhǔn)工作。
圖4是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個校準(zhǔn)板50A后(步驟100)，測試器控制部12在該校準(zhǔn)板50A的每個短路連接點(diǎn)上以選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整時鐘信號的相位(步驟101)。
在上述的步驟101中，一邊使時鐘信號的上升時刻稍微變化，一邊輸出選通信號(上升)并觀察進(jìn)行了比較器的比較工作時的輸出信號的電平，通過求出比較器的輸出信號的電平正好倒相時的時鐘信號的相位，來進(jìn)行時鐘信號的相位調(diào)整。
圖5是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上經(jīng)性能板(PB)30放置了校準(zhǔn)板(CB)50A的狀態(tài)的圖。在圖5中，Tx1～Txn表示由從各驅(qū)動器的輸出端到校準(zhǔn)板50A的端子為止的布線產(chǎn)生的延遲時間，Ty1～Tyn表示由從校準(zhǔn)板50A的端子到各比較器的輸入端為止的布線產(chǎn)生的延遲時間，Ta表示由校準(zhǔn)板50A內(nèi)的各布線產(chǎn)生的延遲時間。例如，假定將Tx1～Txn、Ty1～Tyn全部設(shè)定為相同的值。
如圖5中所示，在對各驅(qū)動器DR1～DRn供給時鐘信號的路徑中為了調(diào)整該時鐘信號的相位(變化時序)而設(shè)置了延遲元件T。通過使各延遲元件T的元件常數(shù)為可變，可任意地且獨(dú)立地調(diào)整時鐘信號對于各驅(qū)動器DR1～DRn的相位。同樣，在對各比較器CP1～CPn供給選通信號的路徑中為了調(diào)整該選通信號的相位而設(shè)置了延遲元件T。通過使各延遲元件T的元件常數(shù)為可變，可任意地且獨(dú)立地調(diào)整選通信號對于各比較器CP1～CPn的相位(變化時序)。
再有，在本實(shí)施形態(tài)和第2實(shí)施形態(tài)以后的各實(shí)施形態(tài)中，說明了從校準(zhǔn)板的各端子到驅(qū)動器的輸出端和比較器的輸入端為止的布線長度全部相同的情況，但也可使這些布線長度不同，同時用上述的延遲元件T來調(diào)整各布線長度的差。
圖6是示出在上述的步驟101中被實(shí)施的時鐘信號的相位的調(diào)整工作的概略的圖。此外，圖7是示出圖6中示出的時鐘信號的相位的調(diào)整工作的細(xì)節(jié)的圖。在圖7中，與各時鐘信號對應(yīng)地示出的「DR」、「短路連接點(diǎn)」、「CP」表示與各時鐘信號對應(yīng)地從驅(qū)動器輸出的信號通過或到達(dá)的時刻。例如，如果著眼于時鐘信號CLK1，則在用「DR」示出的時刻處與該時鐘信號CLK1對應(yīng)地從驅(qū)動器DR1輸出信號。該信號在用「短路連接點(diǎn)」示出的時刻處到達(dá)短路連接點(diǎn)(器件插座端)，再者，在用「CP」示出的時刻處到達(dá)比較器CP1。再有，圖6著眼于在圖7中用「CP」示出的時刻，省略了除此以外的部分。
首先，測試器控制部12著眼于短路連接點(diǎn)1c，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位(進(jìn)行比較工作的時刻)的狀態(tài)下，使對驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1的相位可變，調(diào)整為與該時鐘信號CLK1對應(yīng)地從驅(qū)動器DR1輸出的信號在經(jīng)由短路連接點(diǎn)1c和端子1b輸入到比較器CP1中時上升。其次，測試器控制部12著眼于短路連接點(diǎn)2c，在固定了對比較器CP2輸入的選通信號STB2的相位(進(jìn)行比較工作的時刻)的狀態(tài)下，使對驅(qū)動器DR2輸入的時鐘信號CLK2的相位可變，調(diào)整為與該時鐘信號CLK2對應(yīng)地從驅(qū)動器DR2輸出的信號在經(jīng)由短路連接點(diǎn)2c和端子2b輸入到比較器CP2中時上升。這樣，測試器控制部12分別著眼于短路連接點(diǎn)nc，在固定了對比較器CPi(i＝1、2、...、n)輸入的選通信號STBi的相位(進(jìn)行比較工作的時刻)的狀態(tài)下，使對驅(qū)動器DRi輸入的時鐘信號CLKi的相位可變，調(diào)整為與該時鐘信號CLKi對應(yīng)地從驅(qū)動器DRi輸出的信號在經(jīng)由短路連接點(diǎn)ic和端子ib輸入到比較器CPi中時上升。
這樣，如果使用一個校準(zhǔn)板50A結(jié)束了與全部的短路連接點(diǎn)1c～nc對應(yīng)的時鐘信號CLK1～CLKn的相位調(diào)整，則接著放置另一個校準(zhǔn)板50B(步驟102)。再有，考慮用手動進(jìn)行步驟100、102中的校準(zhǔn)板50A、50B的放置的情況和使用專用的自動裝置等來謀求作業(yè)的自動化的情況。
圖8是示出在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上放置了校準(zhǔn)板50B的狀態(tài)的圖。
其次，測試器控制部12在校準(zhǔn)板50B的每個短路連接點(diǎn)上利用測定取得選通信號的相位差(步驟103)。
圖9是示出在步驟103中被實(shí)施的選通信號的相位差取得工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)1c，以對驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1的相位為基準(zhǔn)(準(zhǔn)確地說，以與該時鐘信號CLK1對應(yīng)地從驅(qū)動器DR1輸出的信號在比較器CPn的輸入端處上升的時刻為基準(zhǔn))，測定對比較器CPn輸入的選通信號STBn的相位差Tn。在固定了時鐘信號CLK1的相位的狀態(tài)下，通過在規(guī)定的范圍內(nèi)對選通信號STBn的相位進(jìn)行掃描，可進(jìn)行該測定。具體地說，在固定了與時鐘信號CLK1對應(yīng)地從驅(qū)動器DR1輸出并經(jīng)由短路連接點(diǎn)1c輸入到比較器CPn中的信號的上升時刻的狀態(tài)下，使選通信號STBn的輸出時刻稍微變化，直到比較器CPn的輸出信號的電平倒相為止。以這種方式使選通信號STBn的相位變化時的變化量相當(dāng)于打算測定的選通信號STBn的相位差Tn。
其次，測試器控制部12著眼于校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)2c，以對驅(qū)動器DR2輸入的時鐘信號CLK2的相位為基準(zhǔn)，測定對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位差T1。這樣，測試器控制部12著眼于到校準(zhǔn)板50B的短路連接點(diǎn)nc為止的每個連接點(diǎn)，以對與一個相鄰的組對應(yīng)的各驅(qū)動器DRi(i＝1、2、...、n)輸入的時鐘信號CLKi的相位為基準(zhǔn)，測定對比較器CPj(j＝n、1、2、...、n-1)輸入的選通信號STBj的相位差Tj。
這樣，使用另一校準(zhǔn)板50B就取得了全部的選通信號STB1～STBn的相對的相位差。
其次，測試器控制部12使用已取得的各選通信號STB1～STBn的相位差，決定選通信號的校正值(步驟104)。具體地說，在步驟103中的各選通信號的相位差取得工作中，由于知道對分別與鄰接的2個短路連接點(diǎn)對應(yīng)的2個比較器輸入的2個選通信號的相位的相對的偏移，故通過以對與某個短路連接點(diǎn)對應(yīng)的比較器輸入的選通信號的相位為基準(zhǔn)，可決定為了使對另一比較器輸入的選通信號的相位與該成為基準(zhǔn)的選通信號的相位一致所必要的校正值。其后，測試器控制部12使用已決定的校正值進(jìn)行對各比較器CP1～CPn輸入的選通信號STB1～STBn的相位校正(步驟105)。
圖10是示出在步驟104、105中被實(shí)施的選通信號的校正值決定工作和校正工作的概略的圖。例如，在以選通信號STB1的相位(輸出時刻)為基準(zhǔn)時的選通信號STB2的相位差為T1時，測試器控制部12通過使選通信號STB2的相位錯開T1，使該選通信號STB2的相位與選通信號STB1一致。由此，可使與選通信號STB1同步的比較器CP1的比較工作的時序與與選通信號STB2同步的比較器CP2的比較工作的時序一致。
同樣，在以選通信號STB1的相位(輸出時刻)為基準(zhǔn)時的選通信號STBn的相位差為T1+T2時，測試器控制部12通過使選通信號STBn的相位錯開T1+T2，使該選通信號STBn的相位與選通信號STB1的相位一致。這樣，可使全部的比較器的比較工作的時序一致。
其次，測試器控制部12進(jìn)行對各驅(qū)動器DR1～DRn輸入的時鐘信號CLK1～CLKn的相位校正(步驟106)。使用對與各驅(qū)動器對應(yīng)的比較器輸入的選通信號的相位的校正值來進(jìn)行該校正。
圖11是示出在步驟106中被實(shí)施的時鐘信號的相位的校正工作的概略的圖。首先，測試器控制部12校正與該選通信號STB2對應(yīng)的時鐘信號CLK2的相位，以便在步驟105中與校正結(jié)束了的選通信號STB2的相位一致。同樣，測試器控制部12校正到對應(yīng)的時鐘信號CLKn為止的各相位，以便與到選通信號STBn為止的各自的相位一致。這樣，與各時鐘信號的上升同步地可使從各驅(qū)動器輸出的信號上升的時序互相一致。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先通過使用一個校準(zhǔn)板50A，在每個器件插座端上以選通信號為基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整時鐘信號的相位的工作。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板50B，在測定了鄰接的短路連接點(diǎn)上的2個選通信號的相位之差后，以與某一個短路連接點(diǎn)對應(yīng)的時鐘信號和選通信號為基準(zhǔn)，進(jìn)行其它的選通信號和時鐘信號的相位校正。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針與每個短路連接點(diǎn)接觸，只是單單放置校準(zhǔn)板50B、50B即可，故可簡化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動的專用的自動裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，故可謀求大幅度的成本下降。再者，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動的工作只是校準(zhǔn)板50A、50B的放置，故與以往那樣以短路連接點(diǎn)的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時間。
再有，在上述的實(shí)施形態(tài)中，首先通過最初使用一個校準(zhǔn)板50A，以各選通信號為基準(zhǔn)來調(diào)整時鐘信號的相位，但也可反過來以各時鐘信號的相位為基準(zhǔn)來調(diào)整選通信號的相位。此外，在使用另一校準(zhǔn)板50B調(diào)整了選通信號的相位后(圖4的步驟105)，調(diào)整了時鐘信號的相位(圖4的步驟106)，但也可調(diào)換該順序。
〔第2實(shí)施形態(tài)〕在上述的實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板50A、50B來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板50A、50B的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換校準(zhǔn)板的時間。
圖12、圖13是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板50A、50B的功能的第2實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板50C的結(jié)構(gòu)的圖，示出了經(jīng)性能板30連接到半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10上的狀態(tài)。在這些圖中示出的校準(zhǔn)板50C與各短路連接點(diǎn)相對應(yīng)，具備2個轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，與短路連接點(diǎn)1c對應(yīng)地在該短路連接點(diǎn)1c的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1e，在與比較器CP1對應(yīng)的端子1b附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1d。通過轉(zhuǎn)換該轉(zhuǎn)換開關(guān)1d，可以有選擇地將端子1b連接到短路連接點(diǎn)1c、2c的某一方上。此外，通過轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)1e，可以有選擇地實(shí)現(xiàn)將短路連接點(diǎn)1c共同地連接到端子1a、1b的狀態(tài)和將短路連接點(diǎn)1c共同地連接到端子1a、nb的狀態(tài)。關(guān)于其它的轉(zhuǎn)換開關(guān)2d等也是同樣的。再有，將各短路連接點(diǎn)1c～nc的每一個與各端子1a、1b等之間的布線長度設(shè)定為信號的延遲時間全部相等。
如圖12、圖13中所示，通過轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)1d等，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種校準(zhǔn)板50A、50B的布線內(nèi)容。因而，通過使用該校準(zhǔn)板50C轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時間。
〔第3實(shí)施形態(tài)〕但是，在上述的各實(shí)施形態(tài)中，組合了1個驅(qū)動器和1個比較器來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可按每多個驅(qū)動器和比較器將它們組合起來形成組，以各組為單位進(jìn)行校準(zhǔn)工作。
圖14是示出本實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的一個校準(zhǔn)板150A的布線狀態(tài)的圖。再有，作為圖14中示出的m個短路連接點(diǎn)的器件插座端1g～mg與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A的短路連接點(diǎn)1c～nc相對應(yīng)，在圖14中，將這些短路連接點(diǎn)按圖示的情況在校準(zhǔn)板150A內(nèi)進(jìn)行了描繪。但是，如果在圖2中示出的校準(zhǔn)板50A或圖14中示出的校準(zhǔn)板150A中只著眼于校準(zhǔn)工作，則由于各短路連接點(diǎn)不一定需要在外部露出，故也可如在圖14中圖示的那樣，將各短路連接點(diǎn)1g埋置于校準(zhǔn)板內(nèi)。
在圖14中，關(guān)于分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na，每規(guī)定個數(shù)(例如3個)集中為1組，形成了m個組。第1組(組1)包含了分別與驅(qū)動器DR1～DR3對應(yīng)的端子1a～3a，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)1g上。第2組(組2)包含了分別與驅(qū)動器DR4～DR6對應(yīng)的端子4a～6a，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)2g上。對于除此以外的端子也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與驅(qū)動器DRn-2～DRn對應(yīng)的端子(n-2)a～na，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)mg上。
同樣，關(guān)于分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb，每規(guī)定個數(shù)集中為1組，形成了m個組。第1組包含了分別與比較器CP1～CP3對應(yīng)的端子1b～3b，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)1g上。第2組包含了分別與比較器CP4～CP6對應(yīng)的端子4b～6b，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)2g上。對于除此以外的端子也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與比較器CPn-2～CPn對應(yīng)的端子(n-2)b～nb，將這些端子共同地連接到1個短路連接點(diǎn)mg上。
這樣，在短路連接點(diǎn)1g～mg的每一個上連接了分別與3個驅(qū)動器和3個比較器對應(yīng)的合計為6個的端子。再有，將連接各端子與短路連接點(diǎn)的布線設(shè)定為換算為信號的延遲時間的各自的布線長度(時間長度)全部相同。
圖15是示出本實(shí)施形態(tài)中的為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用的另一個校準(zhǔn)板150B的布線狀態(tài)的圖。
圖15中示出的校準(zhǔn)板150B對于圖14中示出的校準(zhǔn)板150A來說只在短路連接點(diǎn)1g～mg的每一個與連接到各驅(qū)動器上的端子1a～na的對應(yīng)關(guān)系不同。具體地說，分別與第1組中包含的驅(qū)動器DR1～DR3對應(yīng)的端子1a～3a共同地連接到在第m組中包含的短路連接點(diǎn)mg上。此外，分別與第2組中包含的驅(qū)動器DR4～DR6對應(yīng)的端子4a～6a共同地連接到短路連接點(diǎn)1g上。這樣，將與各驅(qū)動器對應(yīng)的端子與短路連接點(diǎn)的對應(yīng)關(guān)系設(shè)定為在每一組中均有所偏離。再有，在該校準(zhǔn)板150B中，也將連接各端子與短路連接點(diǎn)的布線設(shè)定為換算為信號的延遲時間的各自的布線長度(時間長度)全部相同。即，將連接在2個校準(zhǔn)板150A、150B中包含的各端子與短路連接點(diǎn)的布線的布線長度設(shè)定為全部相同的長度。
本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板150A、150B具有這樣的結(jié)構(gòu)，其次說明使用了該校準(zhǔn)板的校準(zhǔn)工作。再有，關(guān)于校準(zhǔn)板150A、150B以外，假定使用在第1實(shí)施形態(tài)中已說明的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10、性能板30和工作站40等。
圖16是示出在進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置10中的時鐘信號和選通信號的初始狀態(tài)的圖。再有，在圖16中，與在第1實(shí)施形態(tài)中使用的圖6相同，著眼于從各驅(qū)動器輸出的信號到達(dá)各比較器的時刻。如圖16中所示，在初始狀態(tài)下，與各時鐘信號CLK1～CLKn對應(yīng)地從各驅(qū)動器輸出并輸入到比較器中的信號上升的時刻與對各比較器輸入選通信號STB1～STBn的時刻不一致。
圖17是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置一個校準(zhǔn)板150A后(步驟200)，測試器控制部12在該校準(zhǔn)板150A的每個組中以任意的時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號的相位(步驟201)。
如上所述，在本說明書中，在考慮時鐘信號或選通信號的相位的調(diào)整的情況下，著眼于根據(jù)時鐘信號由驅(qū)動器生成的信號輸入到比較器的時刻中的比較器的工作。因而，在步驟201中以任意的時鐘信號為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號的相位這一點(diǎn)無非是在對各組的任意的驅(qū)動器輸入時鐘信號、從該驅(qū)動器輸出的信號經(jīng)由短路連接點(diǎn)輸入到相同的組內(nèi)的各比較器中時使由比較器進(jìn)行比較工作的時刻與該已被輸入的信號上升的時刻相一致。
圖18是示出與步驟201對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。在圖18中，對工作為有效的驅(qū)動器或比較器加上影線。如圖18中所示，例如，在組1中，被輸入時鐘信號CLK1的驅(qū)動器DR1的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從該驅(qū)動器DR1輸出的信號的3個比較器CP1～CP3的各工作為有效。對于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖19是示出在步驟201中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于組1，在固定了對驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g分別對3個比較器CP1～CP3輸入的信號上升的時刻的狀態(tài)下，通過使選通信號STB1～STB3的相位可變以找出比較器CP1～CP3的各自的輸出電平倒相的位置，以時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號STB1～STB3的相位。其次，測試器控制部12著眼于組2，在固定了對驅(qū)動器DR4輸入的時鐘信號CLK4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g分別對3個比較器CP4～CP6輸入的信號上升的時刻的狀態(tài)下，通過使選通信號STB4～STB6的相位可變以找出比較器CP4～CP6的各自的輸出電平倒相的位置，以時鐘信號CLK4為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號STB4～STB6的相位。這樣，測試器控制部12著眼于各組，在固定了對任意的驅(qū)動器輸入的時鐘信號的相位的狀態(tài)下，通過使選通信號的相位可變以找出3個比較器的各自的輸出電平倒相的位置，以時鐘信號為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號的相位。
這樣，在每個組中進(jìn)行選通信號的相位調(diào)整。但是，由于與該相位調(diào)整中使用的各組對應(yīng)的時鐘信號的相位(與各時鐘信號對應(yīng)的信號在各比較器的輸入端上升的時刻)彼此不一致，故在該階段中不同的組的各選通信號的相位彼此不一致。此外，進(jìn)行選通信號的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也可按任意的順序或并行地進(jìn)行。
其次，測試器控制部12在校準(zhǔn)板150A的每個組中以任意的選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各時鐘信號的相位(步驟202)。在此，以任意的選通信號為基準(zhǔn)調(diào)整各時鐘信號的相位這一點(diǎn)無非是在固定了對某一個比較器輸入的選通信號的相位的狀態(tài)下，調(diào)整各時鐘信號的相位，使得從各驅(qū)動器輸出的信號的上升時刻與由該比較器進(jìn)行的比較工作的時刻相一致。
圖20是示出與步驟202對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。如圖20中所示，例如組1中，3個驅(qū)動器DR1～DR3的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g有選擇地被輸入從這些驅(qū)動器DR1～DR3的輸出信號的比較器CP1的工作為有效。對于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖21是示出在步驟202中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于組1，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時刻的狀態(tài)下，調(diào)整時鐘信號CLK2的相位，使得從驅(qū)動器DR2輸出并輸入到比較器CP1中的信號上升的時刻與該比較器CP1的比較時刻相一致。如果結(jié)束了與驅(qū)動器DR2對應(yīng)的相位調(diào)整，則對于驅(qū)動器DR3來說也同樣地進(jìn)行時鐘信號CLK3的相位調(diào)整。其次，測試器控制部12著眼于組2，在固定了對比較器CP4輸入的選通信號STB4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP4進(jìn)行的比較工作的時刻的狀態(tài)下，調(diào)整時鐘信號CLK5的相位，使得從驅(qū)動器DR5輸出并輸入到比較器CP4中的信號上升的時刻與該比較器CP4的比較時刻相一致。如果結(jié)束了與驅(qū)動器DR5對應(yīng)的相位調(diào)整，則對于驅(qū)動器DR6來說也同樣地進(jìn)行時鐘信號CLK6的相位調(diào)整。這樣，測試器控制部12著眼于各組，在固定了對任意的比較器輸入的選通信號的相位的狀態(tài)下，通過使輸入到各驅(qū)動器中的時鐘信號的相位可變而使3個驅(qū)動器的各自的輸出上升的時刻與由比較器進(jìn)行比較工作的時刻相一致，來調(diào)整各時鐘信號的相位。
這樣，在每個組中進(jìn)行時鐘信號的相位調(diào)整。但是，由于在該相位調(diào)整中使用的各組的選通信號的相位彼此不一致，故在該階段中不同的組的各時鐘信號的相位彼此不一致。此外，進(jìn)行選通信號的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也可按任意的順序或并行地進(jìn)行。
這樣，如果結(jié)束了使用一個校準(zhǔn)板150A在每個組中調(diào)整與各組中包含的全部的驅(qū)動器和比較器對應(yīng)的時鐘信號和選通信號的相位的工作，則接著放置另一校準(zhǔn)板150B(步驟203)。再有，考慮用手動進(jìn)行步驟200、203中的校準(zhǔn)板150A、150B的放置的情況和使用專用的自動裝置等來謀求作業(yè)的自動化的情況。
其次，測試器控制部12在每個組中以與任意的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號為基準(zhǔn)，利用測量取得與組內(nèi)包含的比較器對應(yīng)的各選通信號的相位差(步驟204)。由此，可得到各組間的選通信號的相位差。
圖22是示出與步驟204對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。如圖22中所示，例如，在組1中，3個比較器CP1～CP3的工作為有效，為了測定與這3個比較器CP1～CP3對應(yīng)的選通信號STB1～STB3的相位差，組2中包含的驅(qū)動器DR4的工作為有效。對于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖23是示出在步驟204中被實(shí)施的選通信號的相位差測定工作的概略的圖。首先，測試器控制部12以與組2中包含的驅(qū)動器DR4對應(yīng)的時鐘信號CLK4為基準(zhǔn)，測定與組1中包含的比較器CP1～CP3對應(yīng)的各選通信號STB1～STB3的相位差T1。具體地說，在固定了對比較器CP1～CP3輸入的選通信號STB1～STB3的相位的狀態(tài)下，即固定了3個比較器CP1～CP3的比較工作的時刻的狀態(tài)下，通過使與驅(qū)動器DR4對應(yīng)的時鐘信號CLK4的相位可變以找出比較器CP1～CP3的各自的輸出倒相的位置，將時鐘信號CLK4的相位的變化量作為相位差T1來測定。其次，測試器控制部12以與組3中包含的驅(qū)動器DR7對應(yīng)的時鐘信號CLK7為基準(zhǔn)，測定與組2中包含的比較器CP4～CP6對應(yīng)的各選通信號STB4～STB6的相位差。這樣，測試器控制部12以與不同的組中包含的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號為基準(zhǔn)，測定與各組中包含的比較器對應(yīng)的各選通信號的相位差。由此，可知道各組間的選通信號的相位的偏移。
再有，在上述的說明中，使時鐘信號的相位可變，但也可反過來在固定了時鐘信號的相位的狀態(tài)下使選通信號的相位可變。此外，利用上述的步驟201的相位調(diào)整，與各組中包含的比較器對應(yīng)的選通信號相互間的相位理應(yīng)達(dá)到一致，但在實(shí)際的測定時，往往產(chǎn)生離散性。因而，希望在每個組中通過對關(guān)于3個選通信號的每一個信號已被測定的相位差的值進(jìn)行平均，求出在每個組中進(jìn)行了平均的相位差?；蛘撸材芤耘c相同的組內(nèi)的另外的驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號為基準(zhǔn)，求出各選通信號的相位差并進(jìn)行平均。例如，在測定圖23中示出的相位差T1的情況下，也可使用時鐘信號CLK5、6。通過如此對測定結(jié)果進(jìn)行平均，可減少因測定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差，可實(shí)現(xiàn)因在校準(zhǔn)工作后進(jìn)行的測定作業(yè)中的測定誤差的均勻化而導(dǎo)致的測定精度的提高。
其次，使用已取得的各組間的選通信號的相位差，決定各選通信號的校正值(步驟205)。具體地說，在步驟204中的各組間的選通信號的相位差取得工作中，由于知道鄰接的2個組間的選通信號的相對的相位差，故通過以與一個組對應(yīng)的選通信號的相位為基準(zhǔn)，可決定為了使與另一組對應(yīng)的選通信號的相位與該成為基準(zhǔn)的選通信號的相位一致所必要的校正值。
其后，測試器控制部12使用已決定的校正值，進(jìn)行與各組對應(yīng)的選通信號的相位校正(步驟206)。
圖24是示出在步驟206中被實(shí)施的選通信號的相位校正的概略的圖。例如，測試器控制部12通過以步驟206中求出的校正值T1將與組2中包含的比較器CP4～CP6對應(yīng)的各選通信號STB4～STB6的相位校正為與組1中包含的比較器CP1～CP3對應(yīng)的各選通信號STB1～STB3的相位，可使這些選通信號STB1～STB6的相位達(dá)到一致。這樣，通過使用在步驟206中求出的校正值校正與各組的比較器對應(yīng)的選通信號的相位，可使全部的選通信號的相位達(dá)到一致。
其次，測試器控制部12進(jìn)行對各驅(qū)動器DR1～DRn輸入的時鐘信號CLK1～CLKn的相位校正(步驟207)。以與各組內(nèi)的任意的比較器對應(yīng)的選通信號的相位為基準(zhǔn)進(jìn)行該校正。
圖25是示出與步驟207對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。如圖25中所示，例如，在組1中，3個驅(qū)動器DR1～DR3的工作為有效，為了進(jìn)行與這3個驅(qū)動器DR1～DR3對應(yīng)的時鐘信號CLK1～CLK3的相位校正，在組m中包含的比較器CPn-2的工作為有效。對于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖26是示出在步驟207中被實(shí)施的時鐘信號的校正工作的概略的圖。例如，測試器控制部12以與組1內(nèi)的比較器CP1對應(yīng)的選通信號為基準(zhǔn)，進(jìn)行分別與組2內(nèi)包含的3個驅(qū)動器DR4～DR6對應(yīng)的時鐘信號CLK4～CLK6的相位校正。這樣，測試器控制部12以與不同的組中包含的任意的比較器對應(yīng)的選通信號為基準(zhǔn)，進(jìn)行與各組中包含的3個驅(qū)動器對應(yīng)的時鐘信號的相位校正。由此，全部的時鐘信號與選通信號的相位達(dá)到一致。
這樣，在使用了校準(zhǔn)板150A、150B的本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先通過最初使用一個校準(zhǔn)板150A，在每個組中進(jìn)行時鐘信號和選通信號的調(diào)整。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板150B，測定組間的選通信號的相位差，根據(jù)該已被測定的相位差進(jìn)行消除組間的選通信號的相位差或時鐘信號的相位差的相位校正工作。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針接觸每個器件插座端，只是放置校準(zhǔn)板150A、150B即可，故可簡化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動的專用的自動裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，可謀求大幅度的成本下降。此外，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動的工作只是校準(zhǔn)板150A、150B的放置，故與以往那樣以器件插座端的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時間。再者，通過將驅(qū)動器和比較器分成多個組并在每個組中使用已測定的相位差的數(shù)據(jù)，可減少因測定結(jié)果的離散性而產(chǎn)生的校準(zhǔn)誤差，可實(shí)現(xiàn)因在校準(zhǔn)工作后進(jìn)行的測定作業(yè)中的測定誤差的均勻化而導(dǎo)致的測定精度的提高。
再有，在上述的實(shí)施形態(tài)中，在圖17中示出的步驟201、202中，最初以任意的時鐘信號為基準(zhǔn)調(diào)整各選通信號的相位，其次調(diào)整各時鐘信號的相位，但也可最初以任意的選通信號為基準(zhǔn)調(diào)整各時鐘信號的相位，其次調(diào)整各選通信號的相位。
此外，在圖17中示出的步驟204中，以任意的時鐘信號為基準(zhǔn)取得各選通信號的相位差，但也可以任意的選通信號為基準(zhǔn)取得各時鐘信號的相位差。
此外，在使用校準(zhǔn)板150B調(diào)整了選通信號的相位后(圖17的步驟206)，調(diào)整了時鐘信號的相位(圖17的步驟207)，但也可調(diào)換該順序。
〔第4實(shí)施形態(tài)〕在上述的第3實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板150A、150B進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板150A、150B的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時間。
圖27、圖28是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板150A、150B的功能的第4實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板150C的結(jié)構(gòu)的圖。在這些圖中示出的校準(zhǔn)板150C在每組中具備2個轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，在共同地連接到與組1對應(yīng)的3個驅(qū)動器DR1～DR3的各輸出端的端子1f的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1j，在共同地連接到3個比較器CP1～CP3的各輸入端的端子1h的附近設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)1k。同樣，在組2中設(shè)置了2個轉(zhuǎn)換開關(guān)2j、2k，...、在組m中設(shè)置了轉(zhuǎn)換開關(guān)mj、mk。
通過轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)1j，可將與組1對應(yīng)的3個驅(qū)動器DR1～DR3的各輸出端有選擇地連接到與相同的組1對應(yīng)的3個比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)和與組m對應(yīng)的3個比較器CPn-2～CPn的各輸入端一側(cè)的某一方上。對于其它的轉(zhuǎn)換開關(guān)也是同樣的，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種連接狀態(tài)。再有，連接各驅(qū)動器的輸出端與各比較器的輸入端之間的布線的布線長度被設(shè)定為與各轉(zhuǎn)換開關(guān)的狀態(tài)無關(guān)、信號的延遲時間全部相等。
如圖27、圖28中所示，通過轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)1j、1k等，可有選擇地實(shí)現(xiàn)2種校準(zhǔn)板150A、150B的布線內(nèi)容。因而，通過使用該校準(zhǔn)板150C轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時間。
〔第5實(shí)施形態(tài)〕其次，說明使用了與上述的實(shí)施形態(tài)不同的布線內(nèi)容的校準(zhǔn)板的第5實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
圖29是示出一個校準(zhǔn)板250A的布線狀態(tài)的圖。再有，按圖示的情況在校準(zhǔn)板250A內(nèi)描繪了圖29中示出的短路連接點(diǎn)(器件插座端)e。
在圖29中，關(guān)于分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na，每規(guī)定個數(shù)(例如3個)集中為1組，形成了m個組。第1組(組1)包含了分別與驅(qū)動器DR1～DR3對應(yīng)的端子1a～3a，在這些端子中只有端子1a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。第2組(組2)包含了分別與驅(qū)動器DR4～DR6對應(yīng)的端子4a～6a，在這些端子中只有端子4a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。對于除此以外的端子，也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與驅(qū)動器DRn-2～DRn對應(yīng)的端子(n-2)a～na，在這些端子中只有端子(n-2)a共同地連接到短路連接點(diǎn)e上。
同樣，關(guān)于分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb，每規(guī)定個數(shù)集中為1組，形成了m個組。第1組包含了分別與比較器CP1～CP3對應(yīng)的端子1b～3b，在這些端子中只有端子1b連接到短路連接點(diǎn)e上。第2組包含了分別與比較器CP4～CP6對應(yīng)的端子4b～6b。對于除此以外的端子，也是同樣的，第m組(組m)包含了分別與比較器CPn-2～CPn對應(yīng)的端子(n-2)b～nb。
這樣，在校準(zhǔn)板250A中設(shè)置的唯一的短路連接點(diǎn)e被共同地連接到與各組中包含的3個驅(qū)動器中的一個(將該驅(qū)動器稱為「組內(nèi)共同驅(qū)動器」)對應(yīng)的端子上，同時被連接到與組1中包含的3個比較器中的一個(將該比較器稱為「共同比較器」)對應(yīng)的端子上。再有，將連接各端子與短路連接點(diǎn)e的布線設(shè)定成換算為信號的延遲時間的各自的布線長度(時間長度)全部相同。
圖30是示出另一校準(zhǔn)板250B的布線狀態(tài)的圖。再有，與圖29中示出的短路連接點(diǎn)e相同，按圖示的情況在校準(zhǔn)板250B內(nèi)描繪了圖30中示出的m個短路連接點(diǎn)1g～mg。但是，由于各短路連接點(diǎn)不一定需要在外部露出，故也可如在圖30中圖示的那樣，將各短路連接點(diǎn)1g埋置于校準(zhǔn)板內(nèi)。在圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B中進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線，故其布線狀態(tài)的說明從略。
本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板250A、250B具有這樣的結(jié)構(gòu)，接著，說明使用了該校準(zhǔn)板的校準(zhǔn)工作。假定進(jìn)行校準(zhǔn)工作之前的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10中的時鐘信號和選通信號處于例如圖16中示出的初始狀態(tài)。
圖31是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個校準(zhǔn)板250A后(步驟300)，測試器控制部12以與該校準(zhǔn)板250A的比較器CP1對應(yīng)的選通信號STB1為基準(zhǔn)，調(diào)整與各組中包含的一個驅(qū)動器(組內(nèi)共同驅(qū)動器)DR1、DR4、...、DRn-2對應(yīng)的各時鐘信號CLK1、CLK4、...CLKn-2的相位(步驟301)。
在上述的步驟301中，由于必須調(diào)整以選通信號STB1為基準(zhǔn)的時鐘信號CLK1等的相位，故一邊使時鐘信號CLK1等的上升時刻稍微變化，一邊輸出選通信號STB1(上升)并觀察由比較器CP1進(jìn)行了比較工作時的比較器CP1的輸出信號的電平，通過求出比較器CP1的輸出信號的電平正好倒相時的時鐘信號CLK1等的相位，來進(jìn)行時鐘信號CLK1等的相位調(diào)整。對于各時鐘信號CLK1、CLK4、...CLKn-2按順序進(jìn)行該工作。
圖32是示出與步驟301對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。在圖32中，對工作為有效的驅(qū)動器或比較器加上影線。如圖32中所示，例如，在組1中，被輸入時鐘信號CLK1的驅(qū)動器DR1的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)e被輸入從該驅(qū)動器DR1輸出的信號的比較器CP1的工作為有效。此外，在其它的組中，被輸入時鐘信號的一個驅(qū)動器的工作為有效。例如，在組2中，驅(qū)動器DR4的工作為有效，在組m中，驅(qū)動器DRn-2的工作為有效。
圖33是示出在步驟301中被實(shí)施的時鐘信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于組1的驅(qū)動器DR1，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時刻的狀態(tài)下，通過使時鐘信號CLK1的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整時鐘信號CLK1的相位。其次，測試器控制部12著眼于組2的驅(qū)動器DR4，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位的狀態(tài)下，通過使時鐘信號CLK4的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整時鐘信號CLK4的相位。這樣，測試器控制部12著眼于各組中包含的一個驅(qū)動器，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位的狀態(tài)下，通過使對各自的驅(qū)動器輸入的時鐘信號的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，來調(diào)整各時鐘信號的相位。
這樣，以共同的選通信號STB1為基準(zhǔn)在每個組中進(jìn)行調(diào)整一個時鐘信號的相位的工作。再有，進(jìn)行時鐘信號的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也能以任意的順序進(jìn)行。
這樣，如果使用一個校準(zhǔn)板250A，在每個組中結(jié)束了以輸入到共同比較器CP1中的選通信號STB1為基準(zhǔn)調(diào)整對各組中包含的一個組內(nèi)共同驅(qū)動器輸入的時鐘信號的工作，則接著放置另一校準(zhǔn)板250B(步驟302)。再有，考慮用手動進(jìn)行步驟300、302中的校準(zhǔn)板250A、250B的放置的情況和使用專用的自動裝置等來謀求作業(yè)的自動化的情況。
其次，測試器控制部12在該校準(zhǔn)板250B的每組中以結(jié)束了相位調(diào)整的時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號的相位(步驟303)。
圖34是示出與步驟303對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。如圖34中所示，被輸入時鐘信號CLK1的驅(qū)動器DR1的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從該驅(qū)動器DR1輸出的信號的比較器CP2、CP3的工作為有效。此外，在組2中，被輸入時鐘信號CLK4的驅(qū)動器DR4的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g被輸入從該驅(qū)動器DR4輸出的信號的3個比較器CP4～CP6的各工作為有效。對于其它的組來說，基本上與組2相同，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖35是示出在步驟303中被實(shí)施的選通信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于組1，在固定了對驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g分別對2個比較器CP2、CP3輸入的信號上升的時刻的狀態(tài)下，通過使選通信號STB2、STB3的相位可變以找出比較器CP2、CP3各自的輸出電平倒相的位置，以時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號STB2、STB3的相位。其次，測試器控制部12著眼于組2，在固定了對驅(qū)動器DR4輸入的時鐘信號CLK4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)2g分別對3個比較器CP4～CP6輸入的信號上升的時刻的狀態(tài)下，通過使選通信號STB4～STB6的相位可變以找出比較器CP4～CP6各自的輸出電平倒相的位置，以時鐘信號CLK4為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號STB4～STB6的相位。關(guān)于組3～m，也與組2相同，測試器控制部12在每個組中在固定了相位調(diào)整已結(jié)束的一個時鐘信號的相位的狀態(tài)下，通過使選通信號的相位可變來找出3個比較器的各自的輸出電平倒相的位置，以一個時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號的相位。
這樣，在每個組中進(jìn)行選通信號的相位調(diào)整。再有，進(jìn)行選通信號的相位調(diào)整的組的順序不一定需要從組1開始順序地進(jìn)行，也能以任意的順序或并行地進(jìn)行。
其次，測試器控制部12在每個組中以任意的選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各時鐘信號的相位(步驟304)。
圖36是示出與步驟304對應(yīng)地進(jìn)行信號的輸入輸出的驅(qū)動器和比較器的圖。如圖36中所示，例如，在組1中，被輸入相位調(diào)整沒有結(jié)束的2個時鐘信號CLK2、CLK3的驅(qū)動器DR2、DR3的工作為有效，同時經(jīng)由短路連接點(diǎn)1g被輸入從這些驅(qū)動器DR2、DR3輸出的信號的比較器CP1的工作為有效。對于其它的組來說，也是同樣的，其詳細(xì)的說明就從略了。
圖37是示出在步驟304中被實(shí)施的時鐘信號的相位調(diào)整工作的概略的圖。首先，測試器控制部12著眼于組1，在固定了對比較器CP1輸入的選通信號STB1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP1進(jìn)行的比較工作的時刻的狀態(tài)下，調(diào)整時鐘信號CLK2的相位，使得從驅(qū)動器DR2輸出的信號上升的時刻與該比較器CP1的比較時刻相一致。如果與驅(qū)動器DR2對應(yīng)的相位調(diào)整結(jié)束，則對于驅(qū)動器DR3來說也同樣地進(jìn)行時鐘信號CLK3的相位調(diào)整。其次，測試器控制部12著眼于組2，在固定了對比較器CP4輸入的選通信號STB4的相位的狀態(tài)下，即，在固定了由比較器CP4進(jìn)行的比較工作的時刻的狀態(tài)下，調(diào)整時鐘信號CLK5的相位，使得從驅(qū)動器DR5輸出的信號上升的時刻與該比較器CP4的比較時刻相一致。如果與驅(qū)動器DR5對應(yīng)的相位調(diào)整結(jié)束，則對于驅(qū)動器DR6來說也同樣地進(jìn)行時鐘信號CLK6的相位調(diào)整。這樣，測試器控制部12著眼于各組，在固定了對任意的比較器輸入的選通信號的相位的狀態(tài)下，通過使輸入到各驅(qū)動器中的時鐘信號的相位可變而使相位調(diào)整沒有結(jié)束的2個驅(qū)動器的各自的輸出電平上升的時刻與由比較器進(jìn)行比較工作的時刻相一致，來調(diào)整各時鐘信號的相位。
再有，在上述的說明中，在組1中將比較器CP1定為共同比較器，但也可將其它的比較器CP2、CP3的某一個定為共同比較器。對于其它的組來說，也是同樣的。
這樣一來，調(diào)整全部的時鐘信號和選通信號的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置中，首先，通過最初使用一個校準(zhǔn)板250A，以輸入到共同比較器CP1中的選通信號STB1為基準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整輸入到各組內(nèi)的一個組內(nèi)共同驅(qū)動器中的時鐘信號的相位的工作。其次，通過使用另一校準(zhǔn)板250B，在每個組中以該相位調(diào)整結(jié)束了的時鐘信號為基準(zhǔn)，進(jìn)行各選通信號的相位調(diào)整，其后，以相位調(diào)整結(jié)束了的任意的選通信號為基準(zhǔn)，進(jìn)行相位調(diào)整沒有結(jié)束的剩下的時鐘信號的相位調(diào)整。因而，在本實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)工作中，由于沒有必要使探針接觸每個器件插座端，只放置校準(zhǔn)板250A、250B即可，故可簡化在校準(zhǔn)工作中必要的作業(yè)內(nèi)容。此外，不需要用于校準(zhǔn)工作的另外的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部或重復(fù)進(jìn)行探針的接觸或移動的專用的自動裝置等的特殊的結(jié)構(gòu)，可謀求大幅度的成本下降。此外，由于在校準(zhǔn)工作結(jié)束之前伴隨機(jī)械的運(yùn)動的工作只是校準(zhǔn)板250A、250B的放置，故與以往那樣以器件插座端的數(shù)目重復(fù)進(jìn)行探針的移動和接觸的情況相比，可大幅度地減少作業(yè)時間。
〔第6實(shí)施形態(tài)〕在上述的第5實(shí)施形態(tài)中，使用了在短路連接點(diǎn)e上連接了屬于各組的m個驅(qū)動器DR1、DR4、...、DRn-2與1個比較器CP1的校準(zhǔn)板250A，但也可代之以使用在短路連接點(diǎn)e上連接了1個驅(qū)動器(共同驅(qū)動器)DR1與屬于各組的m個比較器(組內(nèi)共同比較器)CP1、CP4、...、CPn-2的校準(zhǔn)板250C。
圖39是示出組合了圖38中示出的校準(zhǔn)板250C與圖30中示出的校準(zhǔn)板250B來進(jìn)行的本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個校準(zhǔn)板250C后(步驟400)，測試器控制部12以與該校準(zhǔn)板250C的驅(qū)動器DR1對應(yīng)的時鐘信號CLK1的相位為基準(zhǔn)，調(diào)整與各組中包含的一個比較器CP1、CP4、...、CPn-2對應(yīng)的各選通信號STB1、STB4、...、STBn-2的相位(步驟401)。
這樣一來，如果使用校準(zhǔn)板250C結(jié)束了在每個組中以輸入到共同驅(qū)動器中的時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整輸入到各組中包含的一個組內(nèi)共同比較器中的選通信號的相位的工作，則接著放置另一個校準(zhǔn)板250B(步驟402)。
其次，測試器控制部12在該校準(zhǔn)板250B的每個組中以相位調(diào)整結(jié)束了的選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各時鐘信號的相位(步驟403)。再者，測試器控制部12在每個組中以任意的時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各選通信號的相位(步驟404)。這樣一來，調(diào)整全部的時鐘信號和選通信號的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
〔第7實(shí)施形態(tài)〕在上述的第5和第6實(shí)施形態(tài)中，按順序使用2種校準(zhǔn)板來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@2種校準(zhǔn)板的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時間。
圖40、圖41是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板250A、250B的功能的第7實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板250D的結(jié)構(gòu)的圖。這些圖中示出的校準(zhǔn)板250D與組1對應(yīng)地具備2個轉(zhuǎn)換開關(guān)，與除此以外的各組對應(yīng)地具備1個轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，以與組1對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個驅(qū)動器DR1～DR3的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j和連接到3個比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1 k。此外，以與組2對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個驅(qū)動器DR4～DR6的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2j。同樣，以分別與其它的組對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個驅(qū)動器的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)。通過轉(zhuǎn)換在校準(zhǔn)板250D中具備的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j～mj、1k的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)與圖29中示出的一個校準(zhǔn)板250A相同的連接狀態(tài)(圖40)和與圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B相同的連接狀態(tài)(圖41)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板250D轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時間。
圖42、圖43是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的2種校準(zhǔn)板250C、250B的功能的本實(shí)施形態(tài)的變例的校準(zhǔn)板250E的結(jié)構(gòu)的圖。這些圖中示出的校準(zhǔn)板250E與組1對應(yīng)地具備2個轉(zhuǎn)換開關(guān)，與除此以外的各組對應(yīng)地具備1個轉(zhuǎn)換開關(guān)。
具體地說，以與組1對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個驅(qū)動器DR1～DR3的各輸出端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j和連接到3個比較器CP1～CP3的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)1k。此外，以與組2對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個比較器CP4～CP6的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2k。同樣，以分別與其它的組對應(yīng)的方式設(shè)置了連接到3個比較器的各輸入端一側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)。通過轉(zhuǎn)換在校準(zhǔn)板250E中具備的轉(zhuǎn)換開關(guān)1j、1k～mk的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)與圖38中示出的一個校準(zhǔn)板250C相同的連接狀態(tài)(圖42)和與圖30中示出的另一校準(zhǔn)板250B相同的連接狀態(tài)(圖43)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板250E轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時間。
〔第8實(shí)施形態(tài)〕其次，說明使用了另外的校準(zhǔn)板的第8實(shí)施形態(tài)的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。
圖44～圖48是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)方法中使用的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)的圖。再有，將連接這些圖中示出的短路連接點(diǎn)1p、1q等與各端子1a、1b等的布線的布線長度設(shè)定為全部相同。
圖44是示出本實(shí)施形態(tài)的一個校準(zhǔn)板350A-1的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-1中，在分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)1p上。此外，在分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb中只將端子1b連接到上述的短路連接點(diǎn)1p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-1，將從驅(qū)動器DR1輸出的信號經(jīng)由短路連接點(diǎn)1p輸入到比較器CP1中。
圖45是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-2的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-2中，在分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)2p上。此外，在分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb中只將端子2b連接到上述的短路連接點(diǎn)2p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-2，將從驅(qū)動器DR1輸出的信號經(jīng)由短路連接點(diǎn)2p輸入到比較器CP2中。
圖46是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-3的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-3中，在分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)3p上。此外，在分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb中只將端子3b連接到上述的短路連接點(diǎn)3p上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-3，將從驅(qū)動器DR1輸出的信號經(jīng)由短路連接點(diǎn)3p輸入到比較器CP3中。
圖47是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350A-n的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350A-n中，在分別連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na中只將端子1a連接到短路連接點(diǎn)np上。此外，在分別連接了n個比較器CP1～CPn的n個端子1b～nb中只將端子nb連接到上述的短路連接點(diǎn)np上。即，通過使用該校準(zhǔn)板350A-n，將從驅(qū)動器DR1輸出的信號經(jīng)由短路連接點(diǎn)np輸入到比較器CPn中。
在本實(shí)施形態(tài)中，為了這樣將一個驅(qū)動器DR1經(jīng)短路連接點(diǎn)與n個比較器CP1～CPn的某一個連接，使用了n個校準(zhǔn)板350A-1～350A-n。
此外，圖48是示出本實(shí)施形態(tài)的另一校準(zhǔn)板350B的布線狀態(tài)的圖。在該校準(zhǔn)板350B中，連接了n個驅(qū)動器DR1～DRn的n個端子1a～na分別以1對1的方式連接到對應(yīng)的短路連接點(diǎn)1q～nq上。此外，這些短路連接點(diǎn)1q～nq也分別連接到n個比較器CP1～CPn上。由此，分別從驅(qū)動器DR1～DRn輸出的信號經(jīng)由分別對應(yīng)的各自的短路連接點(diǎn)1q～nq分別輸入到比較器CP1～CPn中。
圖49是示出本實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)工作次序的流程圖。在性能板30上放置了一個校準(zhǔn)板(例如校準(zhǔn)板350A-1)后(步驟500)，測試器控制部12以與該校準(zhǔn)板350A-1的驅(qū)動器DR1對應(yīng)的時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整與經(jīng)該驅(qū)動器DR1和短路連接點(diǎn)1p連接的比較器CP1對應(yīng)的選通信號STB1的相位(步驟501)。
在該步驟501中，在固定了對驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1的相位的狀態(tài)下，即，在固定了經(jīng)由短路連接點(diǎn)1p對比較器CP1輸入的信號上升的時刻的狀態(tài)下，通過使選通信號STB1的相位可變以找出比較器CP1的輸出電平倒相的位置，進(jìn)行以時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)的選通信號STB1的相位調(diào)整。
其次，測試器控制部12判定是否遺留了未調(diào)整的選通信號(步驟502)，在遺留了的情況下，返回到步驟501，重復(fù)進(jìn)行放置下一校準(zhǔn)板(例如，校準(zhǔn)板350A-2)的工作以后的工作。這樣，通過分別使用圖44～圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n，以對一個驅(qū)動器DR1輸入的時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)，調(diào)整分別對n個比較器CP1～CPn輸入的選通信號STB1～STBn的相位。
這樣，如果全部的選通信號的相位調(diào)整結(jié)束(在步驟502中判斷為否定)，則接著放置另一校準(zhǔn)板350B(步驟503)。再有，考慮用手動進(jìn)行步驟500、503中的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的放置的情況和使用專用的自動裝置等來謀求作業(yè)的自動化的情況。
其次，測試器控制部12使用該校準(zhǔn)板350B，以相位調(diào)整結(jié)束了的各選通信號為基準(zhǔn)，調(diào)整各時鐘信號的相位(步驟504)。如上所述，在校準(zhǔn)板350B中，由于驅(qū)動器DR1經(jīng)短路連接點(diǎn)1q連接到比較器CP1上，故能以選通信號STB1為基準(zhǔn)調(diào)整時鐘信號CLK1的相位。此外，由于驅(qū)動器DR2經(jīng)短路連接點(diǎn)2q連接到比較器CP2上，故能以選通信號STB2為基準(zhǔn)調(diào)整時鐘信號CLK2的相位。同樣，由于驅(qū)動器DRn經(jīng)短路連接點(diǎn)nq連接到比較器CPn上，故能以選通信號STBn為基準(zhǔn)調(diào)整時鐘信號CLKn的相位。
這樣，調(diào)整全部的選通信號和時鐘信號的相位的一系列的校準(zhǔn)工作就告結(jié)束。
再有，在本實(shí)施形態(tài)中，最初以一個時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整n個選通信號STB1～STBn的相位，其次，以各自的選通信號為基準(zhǔn)調(diào)整n個時鐘信號CLK1～CLKn的相位，但也可最初以一個選通信號為基準(zhǔn)調(diào)整n個時鐘信號CLK1～CLKn的相位，其次，以各自的時鐘信號為基準(zhǔn)調(diào)整n個選通信號STB1～STBn的相位。
此外，在本實(shí)施形態(tài)中，為了以一個時鐘信號CLK1為基準(zhǔn)調(diào)整n個選通信號STB1～STBn的相位，按順序分別放置n片校準(zhǔn)板350A-1～350A-n，但也可如圖50中所示，通過使用在1個短路連接點(diǎn)上連接了n個比較器CP1～CPn的全部的校準(zhǔn)板350C，使用一個校準(zhǔn)板350C進(jìn)行各選通信號STB1～STBn的相位調(diào)整。
此外，在本實(shí)施形態(tài)中，使用了以1對1的方式使驅(qū)動器DR1～DRn的每一個與比較器CP1～CPn的每一個相對應(yīng)的校準(zhǔn)板250B，但這些對應(yīng)關(guān)系不一定必須是1對1的方式。
〔第9實(shí)施形態(tài)〕在上述的第8實(shí)施形態(tài)中，按順序使用n+1種校準(zhǔn)板進(jìn)行了校準(zhǔn)工作，但也可使用兼?zhèn)溥@些校準(zhǔn)板的功能的1種校準(zhǔn)板以節(jié)省更換的時間。
圖51是示出兼?zhèn)洳季€內(nèi)容不同的n+1種的校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的功能的第9實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板350D的結(jié)構(gòu)的圖。
該圖中示出的校準(zhǔn)板350D具備分別與除了比較器CP1外的其它的比較器CP2～CPn對應(yīng)的轉(zhuǎn)換開關(guān)2r～nr。通過轉(zhuǎn)換這些轉(zhuǎn)換開關(guān)2r～nr的連接狀態(tài)，可有選擇地實(shí)現(xiàn)分別與校準(zhǔn)板350A-1～350A-n相同的連接狀態(tài)和與校準(zhǔn)板350B相同的連接狀態(tài)。因而，通過使用該校準(zhǔn)板350D，不需要校準(zhǔn)板的更換作業(yè)，可進(jìn)一步簡化作業(yè)內(nèi)容、降低成本、減少作業(yè)時間。
圖52是示出圖51中示出的校準(zhǔn)板350D的變例的圖。在最初以一個選通信號為基準(zhǔn)進(jìn)行各時鐘信號的相位調(diào)整、其后進(jìn)行各選通信號的相位調(diào)整的工作的情況下，使用圖52中示出的校準(zhǔn)板350E轉(zhuǎn)換各轉(zhuǎn)換開關(guān)2s～ns的連接狀態(tài)即可。
〔其它的實(shí)施形態(tài)〕在上述的各實(shí)施形態(tài)中，在性能板30上放置了各種校準(zhǔn)板，但考慮實(shí)際的設(shè)置狀態(tài)，也可在性能板30上安裝插座板和IC插座，再在其上放置校準(zhǔn)板。
圖53是示出變更了校準(zhǔn)板的設(shè)置狀態(tài)的變例的圖。圖53中示出的結(jié)構(gòu)相對于圖5中示出的結(jié)構(gòu)來說，在性能板(PB)30與校準(zhǔn)板(CB)50A之間附加了插座板(SB)32和IC插座34。即，在安裝了為了實(shí)際上對被測定器件進(jìn)行各種試驗(yàn)而使用的插座板32和IC插座34的狀態(tài)下放置校準(zhǔn)板50A等。此時，各驅(qū)動器的輸出端與各短路連接點(diǎn)之間的布線長度和各短路連接點(diǎn)與各比較器的輸入端之間的布線長度雖然變長了，但可用與上述的各實(shí)施形態(tài)相同的要點(diǎn)來進(jìn)行校準(zhǔn)工作。
例如，如果將在插座板32和IC插座34中包含的布線的布線長度作為Tb來改寫圖7，則成為圖54中示出的關(guān)系。在圖54中示出的由各驅(qū)動器產(chǎn)生的信號的輸出時序或?qū)τ诟鞅容^器的信號的輸入時序與圖7中示出的這些時序相同，可知能在設(shè)置了插座板32或IC插座34的狀態(tài)下以與各實(shí)施形態(tài)相同的要點(diǎn)進(jìn)行時序校準(zhǔn)。
此外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，使用各種校準(zhǔn)板進(jìn)行了時序校準(zhǔn)，但也可使用相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件或校準(zhǔn)晶片來代替這些校準(zhǔn)板。
圖55是示出校準(zhǔn)器件與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。此外，圖56是示出使用了校準(zhǔn)器件的時序校準(zhǔn)的概要的圖。如圖55中所示，在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10中設(shè)置了性能板(PB)30、插座板(SB)32和IC插座34的狀態(tài)下放置校準(zhǔn)器件450。校準(zhǔn)器件450具有與被測定器件相同的外觀形狀和端子形狀，將內(nèi)部的布線狀態(tài)設(shè)定為與上述的各實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板相同。在上述各實(shí)施形態(tài)中，根據(jù)需要，有必要用手動方式或用自動裝置進(jìn)行的自動方式來更換校準(zhǔn)板，但在使用校準(zhǔn)器件450的情況下，如圖56中所示，在通常的半導(dǎo)體試驗(yàn)中通過使用進(jìn)行被測定器件的調(diào)換的裝卸裝置100，可進(jìn)行校準(zhǔn)器件450的更換。因而，與進(jìn)行手動更換的情況相比，可減少更換的時間。此外，與使用自動裝置進(jìn)行自動更換的情況相比，可謀求因不需要專用的自動裝置而導(dǎo)致的成本下降。
圖57是示出校準(zhǔn)晶片與半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體之間的連接狀態(tài)的圖。此外，圖58是示出使用了校準(zhǔn)晶片的時序校準(zhǔn)的概要的圖。在使用半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置對在晶片上形成了的狀態(tài)的被試驗(yàn)器件進(jìn)行試驗(yàn)的情況下，如圖57中所示，在性能板30上安裝探針卡(PC)36，使從該探針卡36突出的針38與在晶片上所形成的焊區(qū)接觸。因而，通過將形成了被試驗(yàn)器件的晶片置換為內(nèi)部的布線狀態(tài)被設(shè)定為與上述的各實(shí)施形態(tài)的校準(zhǔn)板的布線狀態(tài)相同的校準(zhǔn)晶片550，可實(shí)施時序校準(zhǔn)。此外，在上述各實(shí)施形態(tài)中，根據(jù)需要，有必要用手動方式或用自動裝置進(jìn)行的自動方式來更換校準(zhǔn)板，但在使用校準(zhǔn)晶片550的情況下，如圖58中所示，在通常的半導(dǎo)體試驗(yàn)中通過使用進(jìn)行被測定器件的移動等的卡盤110，可進(jìn)行校準(zhǔn)晶片550的更換。因而，與進(jìn)行手動更換的情況相比，可減少更換的時間。此外，與使用自動裝置進(jìn)行自動更換的情況相比，可謀求因不需要專用的自動裝置而導(dǎo)致的成本下降。再有，在圖57和圖58中示出的例子中，說明了利用探針卡36上的針38在與校準(zhǔn)晶片550或?qū)嶋H上形成了被試驗(yàn)器件的晶片之間確保導(dǎo)電性的接觸的類型的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置，但也可使用針38以外的方法、例如經(jīng)凸點(diǎn)來確保導(dǎo)電性的接觸。
其次，說明上述的校準(zhǔn)器件450的具體例子。
圖59和圖60是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第1實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖59中示出的一個校準(zhǔn)器件450A中進(jìn)行了與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A相同的布線。此外，在圖60中示出的另一校準(zhǔn)器件450B中進(jìn)行了與圖3中示出的校準(zhǔn)板50B相同的布線。再有，對圖59和圖60中示出的校準(zhǔn)器件450A、450B的各端子和短路連接點(diǎn)附以在圖2和圖3中示出的校準(zhǔn)板50A、50B中與對應(yīng)的端子和短路連接點(diǎn)相同的符號。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450A、450B，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板50A、50B的第1實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖4中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖61和圖62是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第3實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖61中示出的一個校準(zhǔn)器件450C中進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線。此外，在圖62中示出的另一校準(zhǔn)器件450D中進(jìn)行了與圖15中示出的校準(zhǔn)板150B相同的布線。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450C、450D，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板150A、150B的第3實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖17中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖63是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第5實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖63中示出的校準(zhǔn)器件450E中進(jìn)行了與圖29中示出的校準(zhǔn)板250A相同的布線。再有，由于圖30中示出的校準(zhǔn)板250B的布線狀態(tài)與圖61中示出的校準(zhǔn)器件450C的布線狀態(tài)相同，故可將該校準(zhǔn)器件450C組合在上述的校準(zhǔn)器件450E中來使用。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450E、450C，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板250A、250B的第5實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖31中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖64～圖68是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第8實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)器件的圖。在圖64中示出的校準(zhǔn)器件450F-1中進(jìn)行了與圖44中示出的校準(zhǔn)板350A-1相同的布線。在圖65中示出的校準(zhǔn)器件450F-2中進(jìn)行了與圖45中示出的校準(zhǔn)板350A-2相同的布線。在圖66中示出的校準(zhǔn)器件450F-3中進(jìn)行了與圖46中示出的校準(zhǔn)板350A-3相同的布線。在圖67中示出的校準(zhǔn)器件450F-n中進(jìn)行了與圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-n相同的布線。此外，在圖68中示出的校準(zhǔn)器件450G中進(jìn)行了與圖48中示出的校準(zhǔn)板350B相同的布線。通過按順序放置這些校準(zhǔn)器件450F-1～F-n、450G，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的第8實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖49中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
其次，說明上述的校準(zhǔn)器件450的具體例子。
圖69是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第1實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。再有，由于在圖69等中示出的校準(zhǔn)晶片用來實(shí)現(xiàn)與上述的校準(zhǔn)板同樣的布線狀態(tài)，故不一定需要使用由半導(dǎo)體材料形成的晶片，可使用環(huán)氧樹脂等的半導(dǎo)體材料以外的廉價的材料來構(gòu)成。
在圖69中示出的校準(zhǔn)晶片550A中包含進(jìn)行了與圖2中示出的校準(zhǔn)板50A相同的布線的第1區(qū)域550A-1和進(jìn)行了與圖3中示出的校準(zhǔn)板50B相同的布線的第2區(qū)域550A-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550A-1、550A-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板50A、50B的第1實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖4中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖70是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第3實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖70中示出的校準(zhǔn)晶片550B中包含進(jìn)行了與圖14中示出的校準(zhǔn)板150A相同的布線的第1區(qū)域550B-1和進(jìn)行了與圖15中示出的校準(zhǔn)板150B相同的布線的第2區(qū)域550B-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550B-1、550B-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板150A、150B的第3實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖17中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖71是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第5實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖71中示出的校準(zhǔn)晶片550C中包含進(jìn)行了與圖29中示出的校準(zhǔn)板250A相同的布線的第1區(qū)域550C-1和進(jìn)行了與圖30中示出的校準(zhǔn)板250B相同的布線的第2區(qū)域550C-2。通過使探針卡36的針38與這些第1和第2區(qū)域550C-1、550C-2順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板250A、250B的第5實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖31中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
圖72是示出實(shí)現(xiàn)了與上述的第8實(shí)施形態(tài)中使用了的校準(zhǔn)板相同的布線狀態(tài)的校準(zhǔn)晶片的圖。在圖72中示出的校準(zhǔn)晶片550D中包含進(jìn)行了與圖44中示出的校準(zhǔn)板350A-1相同的布線的區(qū)域550D-1、進(jìn)行了與圖45中示出的校準(zhǔn)板350A-2相同的布線的區(qū)域550D-2、進(jìn)行了與圖46中示出的校準(zhǔn)板350A-3相同的布線的區(qū)域550D-3、進(jìn)行了與圖47中示出的校準(zhǔn)板350A-n相同的布線的區(qū)域550D-n和進(jìn)行了與圖48中示出的校準(zhǔn)板350B相同的布線的區(qū)域550D-B。通過使探針卡36的針38與這些各區(qū)域550D-1～550D-n、550 D-B順序地接觸，可實(shí)施由與使用了校準(zhǔn)板350A-1～350A-n、350B的第8實(shí)施形態(tài)同樣的次序(圖49中示出的工作次序)進(jìn)行的時序校準(zhǔn)。
再有，本發(fā)明不限定于上述的實(shí)施形態(tài)，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)可作各種各樣的變形來實(shí)施。例如，在上述的實(shí)施形態(tài)中，為了進(jìn)行校準(zhǔn)工作而使用了專用的校準(zhǔn)板50A、50B、150A、150B等，但也可在為了實(shí)際上設(shè)置被測定器件而使用的插座板上進(jìn)行與校準(zhǔn)板50B、150A、150B等同樣的布線，在校準(zhǔn)工作時適當(dāng)?shù)剞D(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換開關(guān)以變更布線內(nèi)容。
此外，在上述的實(shí)施形態(tài)中，考慮了分別將構(gòu)成組的驅(qū)動器的輸出端和比較器的輸入端連接到短路連接點(diǎn)上的情況，但即使在半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置本體10或性能板30的內(nèi)部連接驅(qū)動器的輸出端與比較器的輸入端、經(jīng)1條布線連接了該連接點(diǎn)與短路連接點(diǎn)間的情況下也可應(yīng)用本發(fā)明。但是，由于此時的由校準(zhǔn)進(jìn)行的相位校正的對象為到上述的連接點(diǎn)為止的范圍，故必須預(yù)先測定該連接點(diǎn)與短路連接點(diǎn)間的布線的時間長度。
產(chǎn)業(yè)上利用的可能性如上所述，按照本發(fā)明，由于不需要只為了進(jìn)行時序校準(zhǔn)而專用的基準(zhǔn)驅(qū)動器/比較器部及連接到其上的探針或使探針的移動和接觸實(shí)現(xiàn)自動化用的專用的自動裝置等，故可大幅度地削減成本。
此外，通過使用第1校準(zhǔn)板及第2校準(zhǔn)板可進(jìn)行時鐘信號和選通信號的相位調(diào)整及選通信號間的相位差的測定。因而，與使用探針以各器件插座端為單位調(diào)整時鐘信號或選通信號的相位的現(xiàn)有的方法相比，可簡化作業(yè)內(nèi)容。特別是，機(jī)械的作業(yè)只是將第1校準(zhǔn)板更換為第2校準(zhǔn)板，故可大幅度地縮短時序校準(zhǔn)整體的作業(yè)時間。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，在該方法中進(jìn)行具備驅(qū)動器和比較器的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的時序校準(zhǔn)，上述驅(qū)動器進(jìn)行與時鐘信號同步的信號的生成工作，上述比較器進(jìn)行與選通信號同步的比較工作，其特征在于，具有下述步驟第1步驟，以與一個上述驅(qū)動器對應(yīng)的上述時鐘信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個上述比較器對應(yīng)的上述選通信號的相位；以及第2步驟，以在上述第1步驟中相位調(diào)整結(jié)束了的多個上述選通信號中各個信號為基準(zhǔn)，調(diào)整分別與多個上述驅(qū)動器對應(yīng)的上述時鐘信號的相位，其中多個上述驅(qū)動器分別與多個上述比較器對應(yīng)；上述第2步驟中，多個上述驅(qū)動器中的各個驅(qū)動器分別與多個上述比較器相對應(yīng)，使用相對應(yīng)的上述驅(qū)動器的輸出端和上述比較器的輸入端連接的第2校準(zhǔn)板進(jìn)行該步驟。
2.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于通過使各自的上述選通信號的相位可變以使根據(jù)分別輸入的上述選通信號由多個上述比較器分別進(jìn)行比較工作的時序與從上述驅(qū)動器輸出而分別輸入到多個上述比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述第1步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。
3.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于通過使各自的上述時鐘信號的相位可變以使根據(jù)上述選通信號由上述比較器進(jìn)行比較工作的時序與從多個上述驅(qū)動器分別輸出而輸入到上述比較器中的信號變化的時序相一致來進(jìn)行在上述第2步驟中進(jìn)行的相位的調(diào)整。
4.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述時鐘信號對于上述驅(qū)動器的供給路徑和上述選通信號對于上述比較器的供給路徑中分別插入使信號的相位可變的延遲元件。
5.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了一個上述驅(qū)動器的輸出端與多個上述比較器的各自的輸入端的多個第1校準(zhǔn)板來進(jìn)行上述第1步驟。
6.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于將連接上述驅(qū)動器與上述第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度和連接上述比較器與上述第1和第2短路連接點(diǎn)的布線的布線長度設(shè)定為全部相同。
7.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了一個上述驅(qū)動器的輸出端與多個上述比較器的各自的輸入端的多個第1校準(zhǔn)器件來進(jìn)行上述第1步驟。
8.如權(quán)利要求7中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于多個上述驅(qū)動器的每一個與多個上述比較器的每一個以1對1的方式相對應(yīng)，使用經(jīng)第2短路連接點(diǎn)連接了對應(yīng)的一個上述驅(qū)動器的輸出端與一個上述比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)器件來進(jìn)行上述第2步驟。
9.如權(quán)利要求8中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于在上述第1步驟與上述第2步驟之間具有使用裝卸裝置將上述第1校準(zhǔn)器件更換為上述第2校準(zhǔn)器件的第3步驟。
10.如權(quán)利要求1中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于使用經(jīng)第1短路連接點(diǎn)分別連接了一個上述驅(qū)動器的輸出端與多個上述比較器的各自的輸入端的多個第1校準(zhǔn)晶片內(nèi)的第1區(qū)域來進(jìn)行上述第1步驟，多個上述驅(qū)動器的每一個與多個上述比較器的每一個以1對1的方式相對應(yīng)，使用經(jīng)第2短路連接點(diǎn)連接了對應(yīng)的一個上述驅(qū)動器的輸出端與一個上述比較器的輸入端的第2校準(zhǔn)晶片內(nèi)的第2區(qū)域來進(jìn)行上述第2步驟。
11.如權(quán)利要求10中所述的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法，其特征在于上述第2校準(zhǔn)晶片與上述第1校準(zhǔn)晶片是同一晶片，在該晶片內(nèi)形成了上述第1和第2區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種能降低成本、簡化作業(yè)內(nèi)容、縮短作業(yè)時間的半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置的校準(zhǔn)方法。在多個驅(qū)動器的每一個與多個比較器的每一個以1對1的方式相對應(yīng)的狀態(tài)下，在對于彼此以1對1的方式相對應(yīng)的時鐘信號和選通信號來說以某一方為基準(zhǔn)調(diào)整了另一方的相位后，取得時鐘信號相互間的相對的相位差或選通信號相互間的相對的相位差，根據(jù)該相對的相位差來調(diào)整多個時鐘信號和多個選通信號的相位。
文檔編號G01R31/319GK1677123SQ20051007011
公開日2005年10月5日 申請日期2002年6月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年6月7日
發(fā)明者謝羽徹 申請人:株式會社艾德溫特斯特