專(zhuān)利名稱：平行度測(cè)定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種對(duì)復(fù)數(shù)個(gè)光反射面間的平行度進(jìn)行高精度地測(cè)定的平行度測(cè)定方法，特別是涉及一種例如關(guān)于一種象在基座上帶有間隔地配置極薄的玻璃板的場(chǎng)合那樣，在存在有復(fù)數(shù)個(gè)光反射平面的情況下，可對(duì)其平面間的平行度進(jìn)行測(cè)定的平行度測(cè)定方法。
背景技術(shù)：
例如，在那種在基座上以微小的間隔配置極薄的玻璃板的部件中，就存在需要對(duì)平行平面玻璃的表面或背面與基座之間的平行度(因?yàn)榘ň植康钠叫卸龋栽谝韵碌恼f(shuō)明中也稱作平行不均)進(jìn)行高精度地測(cè)定的要求。
眾所周知，由于這種測(cè)定要求排除因被檢面以外的面所造成的干涉條紋干擾，所以在現(xiàn)有習(xí)知技術(shù)中，是利用搭載了能夠輸出可干涉距離短的光束的米切爾森型等的等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置而進(jìn)行的。
以下對(duì)利用該米切爾森型等的干涉儀裝置的測(cè)定的一個(gè)例子進(jìn)行具體說(shuō)明，其可將該部件以平行平面玻璃位于上方的形態(tài)設(shè)置于被檢測(cè)體載置用的載物臺(tái)上，首先將該載物臺(tái)沿上下方向移動(dòng)到能夠由平行平面玻璃的表面或背面觀察干涉條紋的位置，并得到第1干涉條紋圖像，接著將該載物臺(tái)沿上下方向移動(dòng)至能夠由基座觀察干涉條紋的位置，并得到第2干涉條紋圖像，然后根據(jù)第1干涉條紋圖像和第2干涉條紋圖像的各個(gè)傾斜信息的差，對(duì)兩者的平行不均進(jìn)行測(cè)定。
由于象上述那樣的被檢測(cè)體載置用載物臺(tái)是搭載于干涉儀裝置上的，所以雖然采用使其上下移動(dòng)順利且能保持被檢測(cè)體的姿勢(shì)的高精度的構(gòu)成，但是移動(dòng)后的被檢測(cè)面與移動(dòng)前的被檢測(cè)面無(wú)論如何也多少會(huì)有些傾斜。因此，象上述例子那樣，在必須以高精度對(duì)平行平面玻璃的表面或背面與基座的平行不均進(jìn)行測(cè)定的場(chǎng)合，由于伴隨被檢測(cè)體載置用載物臺(tái)的移動(dòng)的被檢測(cè)面的傾斜度的變化，難以在精度上得到滿意的測(cè)定結(jié)果。
由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法仍存在有缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法的缺陷，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。
有鑒于上述現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法存在的缺陷，本發(fā)明人基于從事此類(lèi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專(zhuān)業(yè)知識(shí)，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種新的平行度測(cè)定方法，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試作及改進(jìn)后，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法存在的缺陷，而提供一種新的平行度測(cè)定方法，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其提供一種在利用能夠防止產(chǎn)生來(lái)自被檢測(cè)面以外的面的干涉條紋干擾的照明光，并利用干涉儀裝置對(duì)復(fù)數(shù)個(gè)光反射面間的平行度進(jìn)行高精度地測(cè)定時(shí)，即使伴隨使應(yīng)測(cè)定的被檢測(cè)面移動(dòng)至所需位置的被檢測(cè)體載置用載物臺(tái)的移動(dòng)操作，而使被檢測(cè)體的姿勢(shì)產(chǎn)生傾斜，也能夠?qū)⒃搩A斜進(jìn)行高精度地校正的平行度測(cè)定方法，從而更加適于實(shí)用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種平行度測(cè)定方法，是一種將具有由沿上下方向排列的復(fù)數(shù)個(gè)光反射面構(gòu)成的被檢測(cè)面的被檢測(cè)體載置于載物臺(tái)上，并利用干涉儀裝置對(duì)該復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面的平行度進(jìn)行測(cè)定的方法，其包括以下步驟作為干涉儀裝置的照明光，采用可將依據(jù)前述被檢測(cè)面和干涉儀裝置的參照面的距離而產(chǎn)生對(duì)比度變化的干涉條紋的第1光束、不依據(jù)該被檢測(cè)面和該參照面的距離而產(chǎn)生一定對(duì)比度的干涉條紋的第2光束進(jìn)行轉(zhuǎn)換而構(gòu)成；關(guān)于從復(fù)數(shù)個(gè)前述被檢測(cè)面中所選擇的第1被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第1位置設(shè)定前述載物臺(tái)，并在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第1干涉條紋圖像，同時(shí)關(guān)于與前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面相對(duì)略平行固定的傾斜校正面，將利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第2干涉條紋圖像；之后，使前述載物臺(tái)在上下方向進(jìn)行移動(dòng)，并關(guān)于從前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面中所選擇的第2被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第2位置設(shè)定前述載物臺(tái)，且在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第3干涉圖像，同時(shí)關(guān)于前述傾斜校正面，對(duì)利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第4干涉條紋圖像；之后，根據(jù)分別從前述第2干涉條紋圖像和前述第4干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差，對(duì)分別從前述第1干涉條紋圖像和前述第3干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差進(jìn)行校正，并測(cè)定前述第1被檢測(cè)面和前述第2被檢測(cè)面的平行度。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的平行度測(cè)定方法，其中所述的第1光束由可干涉距離短的光構(gòu)成，前述的第2光束由可干涉距離長(zhǎng)的光構(gòu)成。
前述的平行度測(cè)定方法，其中所述的第1光束由可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的多波長(zhǎng)波型光構(gòu)成，所述的第2光束由可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的單波長(zhǎng)波型光構(gòu)成。
前述的平行度測(cè)定方法，其中所述的傾斜校正面為配置于前述載物臺(tái)上的鏡面。
前述的平行度測(cè)定方法，其中所述的干涉儀裝置為米切爾森型等的等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
前述的平行度測(cè)定方法，其中所述的干涉儀裝置為菲佐型等的不等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，為了達(dá)到前述發(fā)明目的，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下本發(fā)明的平行度測(cè)定方法，是一種將具有由沿上下方向排列的復(fù)數(shù)個(gè)光反射面構(gòu)成的被檢測(cè)面的被檢測(cè)體載置于載物臺(tái)上，并利用干涉儀裝置對(duì)該復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面的平行度進(jìn)行測(cè)定的方法，其特征在于作為干涉儀裝置的照明光，是采用可將依據(jù)前述被檢測(cè)面和干涉儀裝置的參照面的距離而產(chǎn)生對(duì)比度變化的干涉條紋的第1光束、不依據(jù)該被檢測(cè)面和該參照面的距離而產(chǎn)生一定對(duì)比度的干涉條紋的第2光束進(jìn)行轉(zhuǎn)換而構(gòu)成；關(guān)于從復(fù)數(shù)個(gè)前述被檢測(cè)面中所選擇的第1被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第1位置設(shè)定前述載物臺(tái)，并在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第1干涉條紋圖像，同時(shí)關(guān)于與前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面相對(duì)略平行固定的傾斜校正面，是將利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第2干涉條紋圖像；之后，使該載物臺(tái)在上下方向進(jìn)行移動(dòng)，并關(guān)于從前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面中所選擇的第2被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第2位置設(shè)定前述載物臺(tái)，且在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第3干涉圖像，同時(shí)關(guān)于前述的傾斜校正面，是對(duì)利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第4干涉條紋圖像；之后，根據(jù)分別從前述第2干涉條紋圖像和前述第4干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差，對(duì)分別從前述第1干涉條紋圖像和前述第3干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差進(jìn)行校正，并測(cè)定前述第1被檢測(cè)面和前述第2被檢測(cè)面的平行度。
而且，可使前述的第1光束為可干涉距離短的光，并使前述的第2光束為可干涉距離長(zhǎng)的光。
在這種情況下，使前述的干涉儀裝置為米切爾森型等的等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
而且，可使前述第1光束為從可變波長(zhǎng)激光光源輸出的多波長(zhǎng)波型光，并使前述的第2光束為從可變波長(zhǎng)激光光源輸出的單波長(zhǎng)波型光。
在這種情況下，使前述的干涉儀裝置為菲佐型等的不等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
而且，前述的傾斜校正面可為配置于前述載物臺(tái)上的鏡面。
在這里，上述的平行度是指2個(gè)光反射面的平行程度，是全體的平行程度及局部的平行程度(平行不均)兩者的總稱。
經(jīng)由上述可知，本發(fā)明是關(guān)于一種平行度測(cè)定方法，其是在利用可干涉距離短的第1光束對(duì)被檢測(cè)體的各光反射面進(jìn)行干涉條紋測(cè)定時(shí)，也利用可干涉距離長(zhǎng)的第2光束進(jìn)行關(guān)于傾斜校正面的測(cè)定，并根據(jù)來(lái)自各傾斜校正面的干涉條紋圖像信息的校正數(shù)據(jù)，對(duì)各光反射面的傾斜信息進(jìn)行校正，從而高精度地進(jìn)行光反射面間的平行度測(cè)定。其是將載物臺(tái)30設(shè)定于第1位置，并利用可干涉距離短的光源11所發(fā)出的光，得到關(guān)于光反射面20a的第1干涉條紋圖像信息，利用可干涉距離長(zhǎng)的光源12所發(fā)出的光，得到關(guān)于反射鏡26的第2干涉條紋圖像信息。將載物臺(tái)30設(shè)定于第2位置，并與上述同樣地得到關(guān)于光反射面20b的第3干涉條紋圖像信息及關(guān)于反射鏡26的第4干涉條紋圖像信息。求第2、第4干涉條紋圖像信息的傾斜信息，并據(jù)此對(duì)第1、第3干涉條紋圖像信息的傾斜信息的差進(jìn)行校正，且測(cè)定光反射面20a、b間的平行不均。
綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的平行度測(cè)定方法，提供了一種在利用能夠防止產(chǎn)生來(lái)自被檢測(cè)面以外的面的干涉條紋干擾的照明光，并利用干涉儀裝置對(duì)復(fù)數(shù)個(gè)光反射面間的平行度進(jìn)行高精度地測(cè)定時(shí)，即使伴隨使應(yīng)測(cè)定的被檢測(cè)面移動(dòng)至所需位置的被檢測(cè)體載置用載物臺(tái)的移動(dòng)操作，而使被檢測(cè)體的姿勢(shì)產(chǎn)生傾斜，也能夠?qū)⒃搩A斜進(jìn)行高精度地校正的平行度測(cè)定方法，從而更加適于實(shí)用。其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類(lèi)方法中未見(jiàn)有類(lèi)似的設(shè)計(jì)公開(kāi)發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在方法上或功能上皆有較大改進(jìn)，在技術(shù)上有較大進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的平行度測(cè)定方法具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。


圖1是本發(fā)明的第1實(shí)施形態(tài)的干涉儀裝置的概略示意圖。
圖2是本發(fā)明的第2實(shí)施形態(tài)的干涉儀裝置的概略示意圖。
圖3是圖2中的干涉儀裝置的作用的示意圖。
圖4是利用圖2中的干涉儀裝置，并將多波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，且關(guān)于被檢測(cè)面得到干涉條紋圖像時(shí)的說(shuō)明示意圖。
圖5是利用圖2中的干涉儀裝置，在被檢測(cè)體載物臺(tái)與圖4的測(cè)定時(shí)相同的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，并關(guān)于反射鏡面得到干涉條紋圖像時(shí)的說(shuō)明示意圖。
圖6是利用圖2中的干涉儀裝置，并將多波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，且關(guān)于被檢測(cè)體背面得到干涉條紋圖像時(shí)的說(shuō)明示意圖。
圖7是利用圖2中的干涉儀裝置，在被檢測(cè)體載物臺(tái)與圖6的測(cè)定時(shí)相同的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，并關(guān)于反射鏡面得到干涉條紋圖像時(shí)的說(shuō)明示意圖。
圖8是利用圖2中的干涉儀裝置，并將多波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，且使載物臺(tái)移動(dòng)所得的關(guān)于被檢測(cè)面的干涉條紋圖像圖。
圖9是利用圖2中的干涉儀裝置，在被檢測(cè)體載物臺(tái)與圖8的測(cè)定時(shí)相同的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型光作為照明光使用所得的關(guān)于反射鏡面的干涉條紋圖像圖。
圖10是利用圖2中的干涉儀裝置，并將多波長(zhǎng)波型光作為照明光使用，且使載物臺(tái)移動(dòng)所得的關(guān)于被檢測(cè)體背面的干涉條紋圖像圖。
圖11是利用圖2中的干涉儀裝置，在被檢測(cè)體載物臺(tái)與圖10的測(cè)定時(shí)相同的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型光作為照明光使用所得的關(guān)于反射鏡面的干涉條紋圖像圖。
10干涉儀主體11第1光源12第2光源 13光束轉(zhuǎn)換鏡14射束擴(kuò)展器15射束分裂器16基準(zhǔn)板16a基準(zhǔn)面17聚焦透鏡 18攝像透鏡19攝像裝置(CCD照相機(jī)) 20被檢測(cè)體20a～c光反射面(被檢測(cè)面)25PZT載物臺(tái)26反射鏡30被檢測(cè)體載物臺(tái)40計(jì)算機(jī)50監(jiān)視器100干涉儀裝置 101干涉儀裝置110干涉儀主體 111半導(dǎo)體激光光源(LD)112準(zhǔn)直儀透鏡 113發(fā)散透鏡114射束分裂器 115準(zhǔn)直儀透鏡
116基準(zhǔn)板 116a基準(zhǔn)面117平行平面玻璃板(被檢測(cè)體)117a被檢測(cè)面117b被檢測(cè)面背面 118攝像透鏡119攝像裝置(CCD照相機(jī)) 120計(jì)算機(jī)121監(jiān)視器 122電源(LD電源)123函數(shù)發(fā)生器 124壓電元件126反射鏡 130被檢測(cè)體載物臺(tái)140激光光具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的平行度測(cè)定方法其具體方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。以下利用圖示對(duì)關(guān)于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的平行度測(cè)定方法進(jìn)行具體說(shuō)明。
第1實(shí)施形態(tài)請(qǐng)參閱圖1所示，是用于實(shí)施關(guān)于第1實(shí)施形態(tài)的平行度測(cè)定方法的干涉儀裝置的構(gòu)成的概略示意圖。
如圖中所示，該干涉儀裝置100采用配備有米切爾森型(特懷曼-格林型)的干涉儀主體10、使具有復(fù)數(shù)個(gè)光反射面20a～c的被檢測(cè)體20保持可上下移動(dòng)及可沿2軸周?chē)钡谋粰z測(cè)體載物臺(tái)30、計(jì)算機(jī)40以及監(jiān)視器50，并藉由在使被檢測(cè)體20保持于被檢測(cè)體載物臺(tái)30上的狀態(tài)下，將復(fù)數(shù)個(gè)光反射面20a～c分別作為被檢測(cè)面進(jìn)行干涉條紋測(cè)定，從而可高精度地測(cè)定這些復(fù)數(shù)個(gè)光反射面間的平行不均而構(gòu)成。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中的被檢測(cè)體20，是一種例如在基座上以微小間隔配置有厚度薄的玻璃板的部件，例如，光反射面20a為不透光面，光反射面20b、c為透光面。
上述的干涉儀主體10，包括可干涉距離短的鹵素?zé)舻鹊?光源11、可干涉距離長(zhǎng)的激光器等第2光源12、對(duì)這兩個(gè)光源11、12進(jìn)行二選一式的轉(zhuǎn)換的光束轉(zhuǎn)換鏡13、射束擴(kuò)展器14、射束分裂器15、反射型的基準(zhǔn)板16、聚焦透鏡17、攝像透鏡18及CCD照相機(jī)等的攝像裝置19。
在干涉儀主體10中，使第1光源11或第2光源12所輸出的照明光向射束分裂器15的光束分割面15a入射，并在該光束分割面15a中分割為透過(guò)光束和反射光束2部分。而且，使透過(guò)光束入射基準(zhǔn)板16并將其反射光作為參照光，且使反射光束入射被檢測(cè)面并將其反射光作為物體光，并利用攝像裝置19獲取由這些參照光及物體光的光干涉所產(chǎn)生的干涉條紋且對(duì)干涉條紋圖像信息進(jìn)行測(cè)定。
另外，基準(zhǔn)板16通過(guò)圖中未示的PZT驅(qū)動(dòng)電路所連接的復(fù)數(shù)個(gè)壓電元件(圖中未示)，由PZT載物臺(tái)25進(jìn)行支持。而且，在干涉儀裝置100中，利用來(lái)自計(jì)算機(jī)40的指示，藉由在一定的標(biāo)記時(shí)間對(duì)壓電元件施加一定電壓而驅(qū)動(dòng)該壓電元件，可使基準(zhǔn)板16沿光軸方向進(jìn)行移動(dòng)，且使根據(jù)該移動(dòng)進(jìn)行變化的干涉條紋的圖像數(shù)據(jù)從CCD照相機(jī)19向計(jì)算機(jī)40輸出。
而且，在本實(shí)施形態(tài)中，在檢測(cè)體載物臺(tái)30上保持有作為要點(diǎn)的反射鏡26。
如上所述，來(lái)自可干涉距離短的第1光源11的輸出光和來(lái)自可干涉距離長(zhǎng)的第2光源12的輸出光，利用光束轉(zhuǎn)換鏡13被轉(zhuǎn)換，在光束轉(zhuǎn)換鏡13配置于圖示的位置的情況下來(lái)自第2光源12的輸出光，另一方面在光束轉(zhuǎn)換鏡13從圖示的位置移動(dòng)至一定的退避位置(圖中未示；下同)的情況下來(lái)自第1光源11的輸出光，分別向射束擴(kuò)展器14入射。另外，該光束轉(zhuǎn)換鏡13的移動(dòng)既可利用手動(dòng)進(jìn)行，也可依據(jù)計(jì)算機(jī)40的程序而自動(dòng)進(jìn)行。
而且，來(lái)自上述第1光源11的輸出光因?yàn)榭筛缮婢嚯x短，所以當(dāng)來(lái)自基準(zhǔn)板16的參照光和來(lái)自一定的光反射面20a～c的物體光恰好為等光程長(zhǎng)時(shí)，即只在被檢測(cè)體載物臺(tái)30的移動(dòng)范圍內(nèi)的所定位置，產(chǎn)生關(guān)于一定的光反射面20a～c的干涉條紋。因此，當(dāng)利用被檢測(cè)體載物臺(tái)30的上下方向(箭頭符號(hào)A)的移動(dòng)，關(guān)于所需的光反射面20a～c形成產(chǎn)生干涉條紋的狀態(tài)時(shí)，就不會(huì)產(chǎn)生來(lái)自其它光反射面20a～c的干涉條紋，所得到的干涉條紋信息可排除干涉條紋干擾，而能夠良好地體現(xiàn)所需的光反射面20a～c的表面形狀。
另一方面，來(lái)自上述第2光源12的輸出光因?yàn)榭筛缮婢嚯x長(zhǎng)，所以來(lái)自基準(zhǔn)板16的參照光和來(lái)自一定的光反射面20a～c的物體光即使不為等光程長(zhǎng)，也可產(chǎn)生關(guān)于一定的光反射面20a～c的干涉條紋，可在被檢測(cè)體載物臺(tái)30的移動(dòng)范圍內(nèi)的整個(gè)范圍，得到關(guān)于所需的光反射面20a～c的干涉條紋信息。因此，在本實(shí)施形態(tài)中，來(lái)自第2光源12的輸出光被用來(lái)得到關(guān)于反射鏡26的各位置的干涉條紋信息，其中該反射鏡26伴隨上下移動(dòng)的被檢測(cè)體載物臺(tái)30的移動(dòng)而只移動(dòng)相同的距離。
以下將利用上述干涉儀100的第1實(shí)施形態(tài)的平行度測(cè)定方法的測(cè)定程序進(jìn)行說(shuō)明。
(1)、首先，將光束轉(zhuǎn)換鏡13從圖1所示的位置向一定的退避位置移動(dòng)設(shè)定，并將來(lái)自可干涉距離短的第1光源11的輸出光作為照明光使用。進(jìn)行被檢測(cè)體載物臺(tái)30的上下移動(dòng)操作及2軸周?chē)钠辈僮?，以利用?lái)自第1光源11的輸出光，在攝像裝置19的攝像元件上形成關(guān)于第1光反射面20a的干涉條紋。
(2)、對(duì)利用第1光源11所得到的，關(guān)于第1光反射面20a的干涉條紋由攝像裝置19進(jìn)行拍照，并將所得的干涉條紋圖像信息(第1干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)40的存儲(chǔ)器(圖中未示)中。
(3)、接著，在被檢測(cè)體載物臺(tái)30保持不動(dòng)的狀態(tài)下，使光束轉(zhuǎn)換鏡13移動(dòng)至圖1所示的位置，并將來(lái)自可干涉距離長(zhǎng)的第2光源12的輸出光作為照明光使用。
(4)、對(duì)利用第2光源12所得到的，關(guān)于反射鏡26的干涉條紋由攝像裝置19進(jìn)行拍照，并將所得到的干涉條紋圖像信息(第2干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)40的存儲(chǔ)器中。
(5)、使光束轉(zhuǎn)換器13從圖1所示的位置移動(dòng)到所定的退避位置，并將來(lái)自可干涉距離短的第1光源11的輸出光作為照明光使用。進(jìn)行被檢測(cè)體載物臺(tái)30的上下移動(dòng)操作及2軸周?chē)钠辈僮?，以利用?lái)自第1光源11的輸出光，在攝像裝置19的攝像元件上形成關(guān)于第2光反射面20b的干涉條紋。
(6)、對(duì)利用第1光源11所得到的，關(guān)于第2光反射面20b的干涉條紋由攝像裝置19進(jìn)行拍照，并將所得的干涉條紋圖像信息(第3干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)40的存儲(chǔ)器中。
(7)、接著，在被檢測(cè)體載物臺(tái)30保持不動(dòng)的狀態(tài)下，使光束轉(zhuǎn)換鏡13移動(dòng)至圖1所示的位置，并將來(lái)自可干涉距離長(zhǎng)的第2光源12的輸出光作為照明光使用。
(8)、對(duì)利用第2光源12所得到的，關(guān)于反射鏡26的干涉條紋由攝像裝置19進(jìn)行拍照，并將所得到的干涉條紋圖像信息(第4干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)40的存儲(chǔ)器中。
(9)、求取分別從存儲(chǔ)器所存儲(chǔ)的上述第2干涉條紋圖像信息和上述第4干涉條紋圖像信息中抽出的傾斜信息的差，并根據(jù)該差對(duì)分別從上述第1干涉條紋圖像信息和上述第3干涉條紋圖像信息中抽出的傾斜信息的差進(jìn)行校正。
(10)、依據(jù)需要，對(duì)第3光反射面20c進(jìn)行上述程序(5)～(8)，得到關(guān)于第3光反射面20c的第5干涉條紋圖像信息及關(guān)于此時(shí)的反射鏡26的第6干涉條紋圖像信息，并進(jìn)行上述程序(9)，對(duì)該光反射面20c和光反射面20a或光反射面20b之間的平行不均進(jìn)行校正。
在本實(shí)施形態(tài)中，如上所述，在各光反射面20a～c的測(cè)定時(shí)，也進(jìn)行關(guān)于反射鏡26的測(cè)定，并分別得到傾斜校正數(shù)據(jù)，所以可對(duì)根據(jù)該校正數(shù)據(jù)被校正的各光反射面20a～c的傾斜信息的差，即各光反射面20a～c間的平行不均進(jìn)行高精度的測(cè)定。
另外，光反射面20b和光反射面20c之間的平行不均，在前述例子中為玻璃板的厚度不均。
在上述實(shí)施形態(tài)中，使來(lái)自第1光源11的輸出光由可干涉距離短的光構(gòu)成，來(lái)自第2光源12的輸出光由可干涉距離長(zhǎng)的光構(gòu)成，并將這2個(gè)輸出在光反射面20a～c的測(cè)定時(shí)和反射鏡26的測(cè)定時(shí)彼此進(jìn)行轉(zhuǎn)換，但是也可象以下所說(shuō)明的實(shí)施形態(tài)那樣，使用可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的多波長(zhǎng)波型光取代上述可干涉距離短的光，使用可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的單波長(zhǎng)波型取代上述可干涉距離長(zhǎng)的光，并利用多波長(zhǎng)波型的光進(jìn)行光反射面的測(cè)定，利用單波長(zhǎng)波型的光進(jìn)行反射鏡的測(cè)定。這樣一來(lái)，可如后述那樣，使用不等光程長(zhǎng)型的菲佐型等干涉儀裝置作為干涉儀裝置。
第2實(shí)施形態(tài)以下，對(duì)關(guān)于第2實(shí)施形態(tài)的平行度測(cè)定方法進(jìn)行說(shuō)明，但是首先利用圖2對(duì)用于實(shí)施該平行度測(cè)定方法的干涉儀裝置進(jìn)行說(shuō)明。
如圖中所示，該干涉儀裝置101，包括利用干涉條紋對(duì)透明平行平面玻璃板(被檢測(cè)體)117的被檢測(cè)面117a的表面形狀進(jìn)行觀察的菲佐型的干涉儀主體110、計(jì)算機(jī)120、監(jiān)視器121、半導(dǎo)體激光光源(LD)111的電源(LD電源)122、用于產(chǎn)生對(duì)來(lái)自該電源(LD電源)122的輸出電流值進(jìn)行控制的控制信號(hào)的函數(shù)發(fā)生器123。
上述干涉儀主體110包括來(lái)自半導(dǎo)體激光光源111的可干涉光入射的準(zhǔn)直儀透鏡112、發(fā)散透鏡113、射束分裂器114、準(zhǔn)直儀透鏡115、在與被檢測(cè)體(平行平面玻璃板)117之間通過(guò)工作空間相對(duì)并具有基準(zhǔn)面116a的基準(zhǔn)板116以及對(duì)利用光干涉所得的干涉條紋進(jìn)行拍照的攝像透鏡118及CCD攝像裝置119。
在該干涉儀主體110中，使來(lái)自半導(dǎo)體激光光源111的激光光140入射基準(zhǔn)板116的基準(zhǔn)面116a，在該基準(zhǔn)面116a中分割為透過(guò)光束和反射光束2部分，并使透過(guò)光束入射平行平面玻璃板117的被檢測(cè)面117a，將其反射光作為物體光，且將基準(zhǔn)面116a中的反射光作為參照光，并將利用這些物體光及參照光的光干涉所產(chǎn)生的干涉光通過(guò)準(zhǔn)直儀透鏡115、射束分裂器114、攝像透鏡118導(dǎo)向CCD攝像裝置119，且在該CCD攝像裝置119中對(duì)干涉條紋進(jìn)行拍照。
所拍攝到的干涉條紋在計(jì)算機(jī)120被解析，并可藉此對(duì)被檢測(cè)面117a的表面形狀進(jìn)行測(cè)定。另外，所拍攝到的干涉條紋及所解析的被檢測(cè)面117a的表面形狀在監(jiān)視器121中進(jìn)行顯示。
而且，作為被檢測(cè)體的平行平面玻璃板117被保持在用于使被檢測(cè)體保持可上下移動(dòng)及可沿2軸周?chē)钡谋粰z測(cè)體載物臺(tái)130上。
在被檢測(cè)體載物臺(tái)130上，保持有上述第1實(shí)施形態(tài)的反射鏡26和發(fā)揮相同作用的反射鏡126。
另外，基準(zhǔn)板116通過(guò)與未圖示的PZT驅(qū)動(dòng)電路連接的壓電元件124，由未圖示的基準(zhǔn)板支持構(gòu)件進(jìn)行支持。而且，依據(jù)來(lái)自計(jì)算機(jī)120的指示，在該壓電元件124上施加一定的電壓并使該壓電元件124被驅(qū)動(dòng)，且藉此使基準(zhǔn)板116沿光軸方向(圖中的左右方向)只移動(dòng)一定相位部分。利用該移動(dòng)進(jìn)行變化的干涉條紋的圖像數(shù)據(jù)被輸出至計(jì)算機(jī)120，并對(duì)這些復(fù)數(shù)張圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行條紋圖像解析。
上述的半導(dǎo)體激光光源111使用具有溫度控制機(jī)能的類(lèi)型，如前述的那樣，當(dāng)使注入電流一定時(shí)，可振蕩得到單波長(zhǎng)波型的激光光(例如波長(zhǎng)λ在650nm附近的單波長(zhǎng))，另一方面，當(dāng)使注入電流變化時(shí)，所輸出的激光光的波長(zhǎng)和光強(qiáng)度產(chǎn)生變化，形成多波長(zhǎng)波型的激光光。
而且，上述攝像裝置119使用1光存儲(chǔ)期間為1/30(秒)的CCD。
使上述函數(shù)發(fā)生器123所輸出的上述控制信號(hào)為矩形波(包括階梯狀矩形波)，其頻率為例如200HZ左右，且速度設(shè)定在將利用CCD所拍攝的圖像信息進(jìn)行再生時(shí)不產(chǎn)生閃爍的程度。
而且，在本實(shí)施形態(tài)的干涉儀裝置101中，為了阻止干涉條紋干擾的產(chǎn)生，采用以下所示的構(gòu)成。
即，在輸出多波長(zhǎng)波型的激光光時(shí)，利用單縱波型的半導(dǎo)體激光光源111，并對(duì)受光干涉條紋的元件(CCD攝像裝置119的CCD)的1光存儲(chǔ)期間，以足夠短的周期將光源111所輸出的激光光140調(diào)制為復(fù)數(shù)個(gè)波長(zhǎng)，且將來(lái)自被檢測(cè)體117的干涉光利用上述元件受光，從而可使該干涉光在上述1光存儲(chǔ)期間中進(jìn)行積分。
半導(dǎo)體激光光源具有通過(guò)使注入電流變化可使波長(zhǎng)也產(chǎn)生變化的特征，受光干涉條紋的元件由于具有一定的光存儲(chǔ)期間，所以在本實(shí)施形態(tài)的多波長(zhǎng)波型中，藉由以較其1光存儲(chǔ)期間足夠快的速度對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行掃描，與利用同時(shí)輸出多波長(zhǎng)光的光源對(duì)干涉條紋進(jìn)行觀察的場(chǎng)合相比，可得到同樣的結(jié)果。
接著，利用表示干涉條紋對(duì)比度的變化的圖3，關(guān)于由上述多波長(zhǎng)波型的光對(duì)被檢測(cè)面117a的表面進(jìn)行測(cè)定的情況進(jìn)行概念性地說(shuō)明。在本實(shí)施形態(tài)的干涉儀裝置101中，如圖3所示，當(dāng)對(duì)光軸的距離變化時(shí)，干涉條紋對(duì)比度產(chǎn)生周期性的變化。在圖3中，藉由進(jìn)行設(shè)定以在被檢測(cè)面117a(第1光反射面)變成峰值，可在基準(zhǔn)面116a和被檢測(cè)體表面117a形成對(duì)比度良好的干涉條紋，并使被檢測(cè)體背面117b的干涉條紋對(duì)比度為0，從而消除被檢測(cè)體背面117b的干涉條紋干擾。
這樣，在本實(shí)施形態(tài)中，利用多波長(zhǎng)波型的光相當(dāng)于在上述第1實(shí)施形態(tài)中利用可干涉距離短的光，另一方面，利用單波長(zhǎng)波型的光相當(dāng)于在上述第1實(shí)施形態(tài)中利用可干涉距離長(zhǎng)的光。
以下，對(duì)利用上述干涉儀裝置所進(jìn)行的，關(guān)于第2實(shí)施形態(tài)的平行度測(cè)定方法的測(cè)定程序，一面參照?qǐng)D4～圖7一面進(jìn)行說(shuō)明。另外，在這里，關(guān)于對(duì)作為第1測(cè)定面的上述被檢測(cè)面117a和作為第2測(cè)定面的上述被檢測(cè)體背面117b的平行不均(厚度不均)進(jìn)行測(cè)定的情況進(jìn)行說(shuō)明。
(1)、首先，調(diào)整函數(shù)發(fā)生器123，并進(jìn)行設(shè)定以使半導(dǎo)體激光光源111所輸出的光束為一定的多波長(zhǎng)波型，且將該多波長(zhǎng)波型的激光光作為照明光使用。進(jìn)行被檢測(cè)體載物臺(tái)130的上下移動(dòng)操作及2軸周?chē)钠辈僮?，以利用多波長(zhǎng)波型的激光光，在攝像裝置119的攝像元件上形成關(guān)于被檢測(cè)面117a的對(duì)比度良好的干涉條紋(如圖4所示)。
(2)、對(duì)利用多波長(zhǎng)波型的激光光所得到的，關(guān)于被檢測(cè)面117a的干涉條紋由攝像裝置119進(jìn)行拍照，并將所得的干涉條紋圖像信息(第1干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)120的存儲(chǔ)器(圖中未示)中。
(3)、接著，在被檢測(cè)體載物臺(tái)130保持不動(dòng)的狀態(tài)下，調(diào)整函數(shù)發(fā)生器123，并進(jìn)行轉(zhuǎn)換使半導(dǎo)體激光光源111所輸出的光束變成一定的單波長(zhǎng)波型，且將該單波長(zhǎng)波型的激光光作為照明光使用。
(4)、對(duì)利用單波長(zhǎng)波型的激光光所得到的，關(guān)于反射鏡126的干涉條紋(參照?qǐng)D5)由攝像裝置119進(jìn)行拍照，并將所得到的干涉條紋圖像信息(第2干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)120的存儲(chǔ)器中。
(5)、調(diào)整函數(shù)發(fā)生器123，并進(jìn)行轉(zhuǎn)換以使半導(dǎo)體激光光源111所輸出的光束變成一定的多波長(zhǎng)波型，且將該多波長(zhǎng)波型的激光光作為照明光使用。進(jìn)行被檢測(cè)體載物臺(tái)130的上下移動(dòng)操作及2軸周?chē)钠辈僮?，以利用該多波長(zhǎng)波型的激光光，在攝像裝置119的攝像元件上形成關(guān)于被檢測(cè)體背面117b的干涉條紋(如圖6所示)。
(6)、對(duì)利用多波長(zhǎng)波型的激光光所得到的，關(guān)于被檢測(cè)面117b的干涉條紋由攝像裝置119進(jìn)行拍照，并將所得的干涉條紋圖像信息(第3干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)120的存儲(chǔ)器(圖中未示)中。
(7)、接著，在被檢測(cè)體載物臺(tái)130保持不動(dòng)的狀態(tài)下，調(diào)整函數(shù)發(fā)生器123，并進(jìn)行轉(zhuǎn)換使半導(dǎo)體激光光源111所輸出的光束變成一定的單波長(zhǎng)波型，且將該單波長(zhǎng)波型的激光光作為照明光使用。
(8)、對(duì)利用單波長(zhǎng)波型的激光光所得到的，關(guān)于反射鏡126的干涉條紋(參照?qǐng)D7所示)由攝像裝置119進(jìn)行拍照，并將所得到的干涉條紋圖像信息(第4干涉條紋圖像信息)存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)120的存儲(chǔ)器中。
(9)、求取分別從存儲(chǔ)器所存儲(chǔ)的上述第2干涉條紋圖像信息和上述第4干涉條紋圖像信息中抽出的傾斜信息的差，并根據(jù)該差對(duì)分別從上述第1干涉條紋圖像信息和上述第3干涉條紋圖像信息中抽出的傾斜信息的差進(jìn)行校正。
在本實(shí)施形態(tài)中，如上所述，在被檢測(cè)面117a及被檢測(cè)體背面117b的測(cè)定時(shí)，也進(jìn)行關(guān)于反射鏡26的測(cè)定，并分別得到傾斜校正數(shù)據(jù)，所以可對(duì)根據(jù)該校正數(shù)據(jù)被校正的被檢測(cè)面 17a及被檢測(cè)體背面117b的傾斜信息的差，即被檢測(cè)面117a及被檢測(cè)體背面117b的平行不均(厚度不均)進(jìn)行高精度的測(cè)定。
請(qǐng)參閱圖8-圖11所示，是利用上述各測(cè)定程序所得到的各干涉條紋圖像信息。另外，在各圖中，右側(cè)的大干涉條紋為關(guān)于被檢測(cè)面117a及被檢測(cè)體背面117b的，左側(cè)的小圓形內(nèi)的干涉條紋為關(guān)于反射鏡126的。
即，圖8是為將多波長(zhǎng)波型的光作為照明光使用，并使被檢測(cè)體載物臺(tái)130移動(dòng)，得到關(guān)于被檢測(cè)面117a的干涉條紋圖像信息(對(duì)應(yīng)第1干涉條紋圖像信息)時(shí)的圖示，圖9是為在被檢測(cè)體載物臺(tái)130保持不動(dòng)的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型的光作為照明光使用，得到關(guān)于反射鏡126的干涉條紋圖像信息(對(duì)應(yīng)第2干涉條紋圖像信息)時(shí)的圖示。
而且，圖10是為將多波長(zhǎng)波型的光作為照明光使用，并使被檢測(cè)體載物臺(tái)130移動(dòng)，得到關(guān)于被檢測(cè)體背面117b的干涉條紋圖像信息(對(duì)應(yīng)第3干涉圖像信息)時(shí)的圖示，圖11是為在被檢測(cè)體載物臺(tái)130保持不動(dòng)的狀態(tài)下，將單波長(zhǎng)波型的光作為照明光使用，得到關(guān)于反射鏡126的干涉條紋圖像信息(對(duì)應(yīng)第4干涉條紋圖像信息)時(shí)的圖示。
另外，作為本發(fā)明的平行度測(cè)定方法，并不限定于上述實(shí)施形態(tài)，也可采用其它各種變更的形態(tài)。例如，測(cè)定光反射面的順序無(wú)論采用什么樣的順序都可以，可按照從距離光源較遠(yuǎn)一側(cè)的光反射面開(kāi)始的順序，或按照從距離光源較近一側(cè)的光反射面開(kāi)始的順序進(jìn)行測(cè)定。
而且，作為測(cè)定所得的光反射面，并不限定于上述的類(lèi)型，如果為例如成階梯狀配置的光反射面，則即使為不透光的光反射面也可測(cè)定。
作為對(duì)上述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面的平行度進(jìn)行校正時(shí)的運(yùn)算順序，可考慮各種各樣的形態(tài)，只要使結(jié)果為本發(fā)明所說(shuō)明的“根據(jù)分別從第2干涉條紋圖像信息和第4干涉條紋圖像信息得到的傾斜信息的差，對(duì)分別從第1干涉條紋圖像信息和第3干涉條紋圖像信息得到的傾斜信息的差進(jìn)行校正的狀態(tài)”即可。
另外，即使作為測(cè)定所用的干涉儀裝置，也并不限定于上述實(shí)施形態(tài)，可使用各種類(lèi)型的干涉儀裝置。
而且，本發(fā)明的平行度測(cè)定方法可適用于各種形態(tài)的被檢測(cè)體，在對(duì)例如象半導(dǎo)體制造過(guò)程等所應(yīng)用的光學(xué)部件那樣的，尺寸小、具有需要進(jìn)行高精度設(shè)定的復(fù)數(shù)個(gè)光反射面的部件等的測(cè)定中，特別有用。
如上所述，如利用本發(fā)明的平行度測(cè)定方法，作為干涉儀裝置的照明光，采用可將依據(jù)被檢測(cè)面和干涉儀裝置的參照面的距離而產(chǎn)生對(duì)比度變化的干涉條紋的第1光束、不依據(jù)該被檢測(cè)面和該參照面的距離而產(chǎn)生一定對(duì)比度的干涉條紋的第2光束進(jìn)行轉(zhuǎn)換的構(gòu)成；當(dāng)利用上述第1光束對(duì)被檢測(cè)體上的各光反射面進(jìn)行干涉條紋測(cè)定時(shí)，也可利用第2光束，對(duì)關(guān)于與上述反射鏡相對(duì)略平行固定配置的傾斜校正面進(jìn)行測(cè)定，并從各傾斜校正面的干涉條紋圖像信息中得到傾斜校正數(shù)據(jù)，所以能夠高精度地對(duì)根據(jù)該校正數(shù)據(jù)被校正的各光反射面的傾斜信息的差，即各光反射面間的平行度進(jìn)行測(cè)定。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種平行度測(cè)定方法，是一種將具有由沿上下方向排列的復(fù)數(shù)個(gè)光反射面構(gòu)成的被檢測(cè)面的被檢測(cè)體載置于載物臺(tái)上，并利用干涉儀裝置對(duì)該復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面的平行度進(jìn)行測(cè)定的方法，其特征在于其包括以下步驟作為干涉儀裝置的照明光，采用可將依據(jù)前述被檢測(cè)面和干涉儀裝置的參照面的距離而產(chǎn)生對(duì)比度變化的干涉條紋的第1光束、不依據(jù)該被檢測(cè)面和該參照面的距離而產(chǎn)生一定對(duì)比度的干涉條紋的第2光束進(jìn)行轉(zhuǎn)換而構(gòu)成，關(guān)于從復(fù)數(shù)個(gè)前述被檢測(cè)面中所選降的第1被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第1位置設(shè)定前述載物臺(tái)，并在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第1干涉條紋圖像，同時(shí)關(guān)于與前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面相對(duì)略平行固定的傾斜校正面，將利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第2干涉條紋圖像，之后，使前述載物臺(tái)在上下方向進(jìn)行移動(dòng)，并關(guān)于從前述復(fù)數(shù)個(gè)被檢測(cè)面中所選擇的第2被檢測(cè)面，在利用前述第1光束產(chǎn)生干涉條紋的第2位置設(shè)定前述載物臺(tái)，且在該狀態(tài)下對(duì)該干涉條紋進(jìn)行拍照得到第3干涉圖像，同時(shí)關(guān)于前述傾斜校正面，對(duì)利用前述第2光束所得到的干涉條紋進(jìn)行拍照得到第4干涉條紋圖像，之后，根據(jù)分別從前述第2干涉條紋圖像和前述第4干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差，對(duì)分別從前述第1干涉條紋圖像和前述第3干涉條紋圖像所得到的傾斜信息的差進(jìn)行校正，并測(cè)定前述第1被檢測(cè)面和前述第2被檢測(cè)面的平行度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的第1光束由可干涉距離短的光構(gòu)成，前述第2光束由可干涉距離長(zhǎng)的光構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的第1光束由可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的多波長(zhǎng)波型光構(gòu)成，所述的第2光束由可變波長(zhǎng)激光光源所輸出的單波長(zhǎng)波型光構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一權(quán)利要求所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的傾斜校正面為配置于前述載物臺(tái)上的鏡面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的干涉儀裝置為米切爾森型等的等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的干涉儀裝置為米切爾森型等的等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的干涉儀裝置為菲佐型等的不等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平行度測(cè)定方法，其特征在于其中所述的干涉儀裝置為菲佐型等的不等光程長(zhǎng)型干涉儀裝置。
全文摘要
一種平行度測(cè)定方法，在用干涉距離短的第1光束對(duì)被檢測(cè)體各光反射面進(jìn)行干涉條紋測(cè)定時(shí)，也用干涉距離長(zhǎng)的第2光束進(jìn)行傾斜校正面測(cè)定，并根據(jù)來(lái)自各傾斜校正面干涉條紋圖像信息的校正數(shù)據(jù)，對(duì)各光反射面傾斜信息校正，高精度進(jìn)行光反射面間平行度測(cè)定。將載物臺(tái)30設(shè)于第1位置，利用干涉距離短的光源11發(fā)出的光，得到光反射面20a第1干涉條紋圖像信息，利用干涉距離長(zhǎng)的光源12發(fā)出的光得到反射鏡26的第2干涉條紋圖像信息。將載物臺(tái)30設(shè)于第2位置，得到光反射面20b第3干涉條紋圖像信息及反射鏡26第4干涉條紋圖像信息。求第2、第4干涉條紋圖像信息的傾斜信息，而對(duì)第1、第3干涉條紋圖像信息的傾斜信息的差進(jìn)行校正，且測(cè)定光反射面20a、b間的平行不均。
文檔編號(hào)G01B11/26GK1624421SQ20031011691
公開(kāi)日2005年6月8日 申請(qǐng)日期2003年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月1日
發(fā)明者植木伸明 申請(qǐng)人:富士能株式會(huì)社